KR100868286B1 - 간극 교정 장치 - Google Patents

간극 교정 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100868286B1
KR100868286B1 KR1020080015383A KR20080015383A KR100868286B1 KR 100868286 B1 KR100868286 B1 KR 100868286B1 KR 1020080015383 A KR1020080015383 A KR 1020080015383A KR 20080015383 A KR20080015383 A KR 20080015383A KR 100868286 B1 KR100868286 B1 KR 100868286B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gap
sliding member
measuring device
lower housing
rail
Prior art date
Application number
KR1020080015383A
Other languages
English (en)
Inventor
김성태
Original Assignee
주식회사 다스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 다스 filed Critical 주식회사 다스
Priority to KR1020080015383A priority Critical patent/KR100868286B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100868286B1 publication Critical patent/KR100868286B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/14—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D18/00—Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D18/00—Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00
    • G01D18/001—Calibrating encoders
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

본 발명은 간극 교정 장치에 관한 것으로, 특히, 리니어 스케일 소자를 이용한 간극 교정 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 간극 측정 장치는 하부 하우징과, 상기 하부 하우징과 결합되어 상하 운동을 하는 상부 하우징과, 상기 상부 하우징이 상기 하부 하우징에 대하여 상대적으로 이동한 변위를 측정하는 리니어 스케일 소자와, 상기 하부 하우징에 고정되는 제 1 슬라이딩 부재와, 상기 상부 하우징에 고정되어, 상기 제 1 슬라이딩 부재와의 상대적인 슬라이딩 운동을 하는 제 2 슬라이딩 부재 및 상기 하부 하우징과 상기 제 2 슬라이딩 부재 사이에 설치되어 상기 제 2 슬라이딩 부재를 탄성 지지하는 탄성 부재를 포함한다.
간극 교정, 간극 측정, 리니어 스케일

Description

간극 교정 장치{APPARATUS FOR CORRECTING GAP}
본 발명은 간극 교정 장치에 관한 것으로, 특히, 리니어 스케일 소자를 이용한 간극 교정 장치에 관한 것이다.
각종 산업 분야에서, 소자 간의 또는 부재 간의 간극(gap)을 제어하는 기술은 매우 중요하다. 특히, 화학적 기상 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition) 장치에서 전극 간의 간극에 미세한 오차가 발생하거나 전극 간의 상호 기울어짐이 발생하는 것은 바람직하지 않다. 또한, 프레스의 기본 위치를 셋팅할 때나 머시닝 센터의 틀을 교정하는 경우 등에도 간극을 측정하고 제어하는 기술은 매우 중요하다.
도 1은 종래 기술에 따른 간극 제어 장치의 개략적인 블록도를 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 간극 제어 장치는 서보 모터(10), 인코더(20), 제어부(30) 및 볼 스크류(40)를 포함한다.
서보 모터(10)는 소정의 모터 구동 신호에 따라 볼 스크류(40)를 회전시키는 방식에 의해 하부 교정 대상물(A)을 상부 교정 대상물(B)에 대하여 상하로 이동시킨다.
서보 모터(10)에 연결된 인코더(20)는 서보 모터(30)의 회전수 등을 검출하 여 제어부(30)로 전송한다.
제어부(30)는 검출된 서버 모터(30)의 회전수 등에 기초하여 하부 교정 대상물(A)이 이동한 변위 값을 산출한다. 따라서, 제어부(30)가 산출한 이동 변위 값에 기초하여 상부 교정 대상물(B)과 하부 교정 대상물(A) 간의 간극 값을 간접적으로 측정할 수 있다.
하지만, 종래 기술에 따른 간극 측정 방법은 두 대상물 간의 간극을 직접적으로 측정하는 것이 아니라, 서보 모터(10)의 인코더(20)에 검출된 모터 회전수로부터 간접적으로 측정하는 것이기 때문에 정밀한 간극 제어가 필요한 분야에서는 부적합한 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 도출된 것으로서, 리니어 스케일 소자를 포함하는 간극 측정 장치를 이용하여 간극 교정 대상물 간의 간극을 정밀하게 측정하는 것을 그 기술적 과제로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예는 리니어 스케일 소자를 포함하는 간극 측정 장치에 의해 측정된 값에 기초하여 간극 교정 대상물 간의 간극을 정밀하게 교정하는 것을 그 기술적 과제로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예는 간극 교정 대상물이 진공 챔버 내부에 있는 경우에도 간극 교정 대상물 간의 간극을 정밀하게 교정하는 것을 그 기술적 과제로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 제 1 측면은 간극 측정 장치에 있어서, 하부 하우징과, 상기 하부 하우징과 결합되어 상하 운동을 하는 상부 하우징과, 상기 상부 하우징이 상기 하부 하우징에 대하여 상대적으로 이동한 변위를 측정하는 리니어 스케일 소자와, 상기 하부 하우징에 고정되는 제 1 슬라이딩 부재와, 상기 상부 하우징에 고정되어, 상기 제 1 슬라이딩 부재와의 상대적인 슬라이딩 운동을 하는 제 2 슬라이딩 부재 및 상기 하부 하우징과 상기 제 2 슬라이딩 부재 사이에 설치되어 상기 제 2 슬라이딩 부재를 탄성 지지하는 탄성 부재를 포함하는 간극 측정 장치를 제공한다.
상기 탄성 부재는 스프링이며, 상기 스프링의 일 단부는 상기 하우 하우징에 접하고, 다른 한 단부는 상기 제 2 슬라이딩 부재에 형성된 요홈에 삽입될 수 있다.
베어링 부재는 상기 제 1 슬라이딩 부재와 상기 제 2 슬라이딩 부재 사이에 설치되어 슬라이딩 운동을 원활하게 하며, 제 1 레일, 제 2 레일, 상기 제 1 레일과 상기 제 2 레일 사이에 설치된 롤러 및 상기 제 2 레일이 상기 제 1 레일로부터 이탈하는 것을 방지하는 스토퍼를 포함할 수 있다.
상기 리니어 스케일 소자는 상기 제 2 슬라이딩 부재에 고정된 리니어 정밀 눈금과 상기 하부 하우징에 고정된 리니어 인코더(linear encoder)를 포함하며, 리니어 인코더는 측정된 변위 값을 외부로 전송한다.
한편, 본 발명의 제 2 측면은 간극 교정 장치에 있어서, 상부 교정 대상물과 하부 교정 대상물의 간극을 측정하는 간극 측정 장치와, 상기 간극 측정 장치와 연결되어, 상기 측정된 간극 값을 수신하는 제어부와, 상기 측정된 간극 값을 표시하는 디스플레이부 및 상기 측정된 간극 값에 기초하여 상기 상부 교정 대상물과 상기 하부 교정 대상물의 간극을 교정하는 구동부를 포함하는 간극 교정 장치를 제공한다.
상기 간극 측정 장치는 복수 개일 수 있다. 또한, 상기 간극 측정 장치가 진공 챔버의 내부에 설치되고, 상기 제어부는 상기 진공 챔버의 외부에 설치되는 경우에는 상기 간극 측정 장치와 상기 제어부가 플랫 케이블(flat cable)에 의해 연결될 수 있다.
상기 제어부는 상기 측정된 간극 값에 기초하여 상기 상부 교정 대상물과 상기 하부 교정 대상물의 간극이 사용자가 설정한 간극과 일치하도록 상기 구동부를 제어할 수 있다.
전술한 본 발명의 일 실시예에 의하면, 하부 교정 대상물(A) 또는 상부 교정 대상물(B)이 상대적으로 운동하거나 하부 교정 대상물(A)과 상부 교정 대상물(B) 간의 간격을 알 수 없을 경우에, 하부 교정 대상물(A)과 상부 교정 대상물(B) 사이에 설치하여 하부 교정 대상물(A)과 상부 교정 대상물(B)의 높이 등을 비교하여 기울어짐 또는 간격을 측정함으로써 하부 교정 대상물(A)과 상부 교정 대상물(B)의 틀어짐을 교정하는 장치가 제공된다.
간극 측정 장치는 한 개 또는 복수 개를 사용하여 교정, 시험 또는 측정 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 LCD 또는 반도체의 전극 교정용이나, 다른 기계 장치의 간격을 정확히 알 수 없을 때 교정 및 시험용으로 사용할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 리니어 스케일 소자를 포함하는 간극 측정 장치를 이용하여 간극 교정 대상물 간의 간극을 정밀하게 측정할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예는 리니어 스케일 소자를 포함하는 간극 측정 장치에 의해 측정된 값에 기초하여 간극 교정 대상물 간의 간극을 정밀하게 교정할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예는 간극 교정 대상물이 진공 챔버 내부에 있는 경우에도 간극 교정 대상물 간의 간극을 정밀하게 교정할 수 있다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하에서는 도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 교정 장치에 대해 설명하기로 한다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 교정 장치의 개략적인 블록도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 간극 교정 장치는 간극 측정 장치(100 내지 10N), 측정 신호 수신부(200), 플랫 케이블(300), 제어부(400), 디스플레이부(500) 및 구동부(600)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 간극 교정 장치에서 측정 신호 수신부(200), 플랫 케이블(300), 디스플레이부(500) 및 구동부(600) 중 하나 이상은 필요에 따라 생략될 수도 있으며, 하나의 구성 요소로서 통합되거나 다른 구성 요소에 결합될 수도 있다.
간극 측정 장치(100 내지 10N)는 상부 교정 대상물과 하부 교정 대상물의 간극을 측정한다. 간극 측정 장치는 복수 개일 수 있으며 간극 측정 장치의 개수는 교정 대상물의 크기 등에 따라 설계자가 임의로 설계 변경 가능하다.
측정 신호 수신부(200)는 간극 측정 장치(100 내지 10N) 각각에 의해 측정된 간극 값을 수신하여 플랫 케이블(300) 또는 통상의 케이블을 통해 제어부(400)로 전달한다.
플랫 케이블(300)은 간극 측정 장치(100 내지 10N)가 진공 챔버의 내부에 있을 때 진공 챔버의 외부로 데이터를 전송하기 위해 사용되며, 간극 교정 대상물이 진공 챔버 내에 있지 않은 경우에는 통상의 케이블로 대체될 수 있다.
제어부(400)는 간극 측정 장치(100 내지 10N)에 의해 측정된 간극 값을 플랫 케이블(300) 또는 통상의 케이블을 통해 수신하여, 디스플레이부(500)를 통해 표시한다. 제어부(400)는 측정된 간극 값에 기초하여 간극 교정 대상물의 간극이 사용자가 설정한 간극과 일치하도록 구동부(600)를 자동제어 할 수도 있다.
디스플레이부(500)는 간극 측정 장치(100 내지 10N)에 의해 측정된 각각의 간극 값을 표시한다. 사용자는 디스플레이부(500)에 표시된 간극 값에 따라 구동 부(600)를 제어함으로써, 간극 교정 대상물의 간극을 조정한다. 디스플레이부(500)는 LCD 소자 등을 사용하여 제어부(400)와 일체로 구현될 수도 있고, 제어부(400)와 유선 또는 무선으로 연결되는 별도의 모니터일 수도 있다.
구동부(600)는 모터 제어 수단 등을 포함할 수 있으며, 제어부(400)의 자동 제어 또는 사용자의 직접 제어에 따라 상부 교정 대상물과 하부 교정 대상물의 간극을 교정한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치의 외형을 도시한 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상부 하우징(120)은 하부 하우징(110)에 대하여 상대적인 상하 운동을 할 수 있도록 결합되어 있다. 도 3에는 상부 하우징(120)이 하부 하우징(110) 내에 삽입된 것으로 도시되어 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 외형은 다양하게 설계 변경 가능하다.
이하에서는 도 4를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치의 조립 과정을 설명하기로 한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치의 조립 사시도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치는 하부 하우징(110), 상부 하우징(120), 리니어 인코더(130, linear encoder), 리니어 정밀 눈금(140), 제 1 슬라이딩 부재(150), 제 2 슬라이딩 부재(160), 베어링 부재(170) 및 탄성 부재(180)를 포함한다.
우선, 하부 하우징(110)에 리니어 인코더(130)와 제 1 슬라이딩 부재(150)가 각각 고정된다. 상부 하우징(120)은 하부 하우징(110)과의 상대적인 상하 운동이 가능하도록 하부 하우징(110)과 결합된다.
제 2 슬라이딩 부재(160)는 상부 하우징(120)에 고정되며, 제 1 슬라이딩 부재(150)와의 상대적인 상하 운동이 가능하도록 제 1 슬라이딩 부재(150)에 결합된다.
제 1 슬라이딩 부재(150)와 제 2 슬라이딩 부재(160)에는 각각 베어링 부재(170)가 설치되어 있으며, 상기 베어링 부재(170)를 통해 원활한 슬라이딩 운동이 가능하게 된다.
리니어 정밀 눈금(140)은 제 2 슬라이딩 부재(160)에 고정되어, 제 2 슬라이딩 부재(160)가 상하 운동을 함에 따라, 리니어 인코더(130)의 홈에 삽입되어 함께 상하 운동을 한다.
탄성 부재(180)는, 예를 들어, 스프링일 수 있으며, 일 단부는 하부 하우징(110)에 접하고, 다른 한 단부는 제 2 슬라이딩 부재(160)에 형성된 요홈에 삽입되어, 상부 하우징(120)에 고정된 제 2 슬라이딩 부재(160)를 탄성 지지한다.
이하에서는 도 5 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 방법에 대해 설명하기로 한다.
도 5 및 도 6은 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치의 압축 전 상태와 압축 후 상태를 설명하기 위한 도면이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치를 사용하여 간극 교정 대상물 간의 간극을 측정하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 간극 측정 장치(100 내지 10N)의 하부 하우 징(110)은 하부 교정 대상물(A) 상에 설치되며, 간극 측정 장치(100 내지 10N)의 상부 하우징(120)의 위에는 상부 교정 대상물(B)이 위치하게 된다.
예를 들어, 하부 교정 대상물(A)과 상부 교정 대상물(B) 간의 간극을 교정하기 위하여 하부 교정 대상물(A)이 상부 교정 대상물(B) 방향으로 이동한다면, 간극 측정 장치(100 내지 10N)가 도 5에 도시된 바와 같은 압축 전 상태에서 도 6에 도시된 바와 같은 압축 후 상태로 변화하게 된다.
또한, 하부 교정 대상물(A)이 상부 교정 대상물(B)의 반대 방향으로 이동한다면, 간극 측정 장치(100 내지 10N) 내에 설치된 탄성 부재(180)의 탄성력에 의해 간극 측정 장치(100 내지 10N)가 도 6에 도시된 바와 같은 압축 후 상태에서 도 5에 도시된 바와 같은 압축 전 상태로 변화하게 된다.
지금까지는, 상부 교정 대상물(B)의 위치는 고정되어 있고 하부 교정 대상물(A)만이 상부 교정 대상물(B)에 대하여 상하로 이동하는 것으로 설명하였지만, 반대로 하부 교정 대상물(A)의 위치는 고정되어 있고 상부 교정 대상물(B)만이 하부 교정 대상물(A)에 대하여 상하로 이동하는 방식도 가능하다.
또한, 상부 교정 대상물(B)과 하부 교정 대상물(A)이 동시에 상하로 이동하여 서로간의 간극을 교정하는 방식도 가능함은 물론이다.
또한, 간극 측정 장치(100 내지 10N)를 복수 개 설치함으로써, 상부 교정 대상물(B)과 하부 교정 대상물(A) 간의 비틀어짐, 기울어짐 등을 측정할 수 있다.
간극 측정 장치(100 내지 10N)가 하부 교정 대상물(A) 및 상부 교정 대상물(B)에 의하여 가압됨에 따라, 간극 측정 장치(100 내지 10N) 내에 설치된 리니어 정밀 눈금(140)이 리니어 인코더(130)의 홈 내에서 이동하게 된다.
리니어 인코더(130)는 리니어 정밀 눈금(140)이 이동한 변위를 측정함으로써, 하부 교정 대상물(A)과 상부 교정 대상물(B) 간의 간극을 직접적으로 측정할 수 있다. 리니어 인코더(130)는 상기와 같이 측정된 변위 값을 외부에 있는 제어부로 전송한다.
리니어 인코더(130) 및 리니어 정밀 눈금(140)은 리니어 스케일 소자의 구성 요소이며, 리니어 스케일 소자는 리니어 인코더(130) 및 리니어 정밀 눈금(140)을 이용하여 간극 값을 정밀하게 측정할 수 있다.
이하에서는 도 8을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 베어링 부재의 동작 방법에 대해 설명하기로 한다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치의 베어링 부재를 도시한 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 베어링 부재(170)는 제 1 레일(172), 제 2 레일(174), 상기 제 1 레일(172)과 상기 제 2 레일(174) 사이에 설치된 롤러(176) 및 스토퍼(178)를 포함한다.
제 1 레일(172)과 제 2 레일(174)은 슬라이딩 가능하도록 상호 결합되며, 상기 제 1 레일(172)과 상기 제 2 레일(174) 사이에 설치된 롤러(176)는 상기 슬라이딩 운동시 발생하는 마찰력을 감소시켜 슬라이딩 운동을 원활하게 한다. 상술한 롤러(176) 대신에 볼(ball)이 사용될 수도 있다.
한편, 스토퍼(178)는 제 2 레일(174)이 제 1 레일(172)로부터 이탈하는 것을 방지한다.
따라서, 상기 베어링 부재(170)에 의해, 제 1 슬라이딩 부재(150)와 제 2 슬라이딩 부재(160)가 상호 이탈하지 않도록 결합되어 원활한 슬라이딩 운동을 할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 플랫 케이블(300)을 도시한 도면이다.
도 2로 돌아가면, 간극 측정 장치(100)는 진공 챔버의 내부에 설치되고, 제어부(400)는 진공 챔버의 외부에 설치되어야 하는 경우에, 간극 측정 장치(100)와 제어부(400)를 연결하는 케이블이 소정의 두께를 넘는다면, 진공 챔버의 내부에 설치하여 간극을 측정할 수 없는 문제점이 발생한다.
따라서, 도 9에 도시된 바와 같은 플랫 케이블(300)을 사용해야 할 필요가 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 간극 제어 장치의 개략적인 블록도를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 교정 장치의 개략적인 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치의 외형을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치의 조립 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치의 압축 전 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치의 압축 후 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치를 사용하여 간극 교정 대상물 간의 간극을 교정하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 간극 측정 장치의 베어링 부재를 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 플랫 케이블을 도시한 도면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 간극 측정 장치 200 : 측정 신호 수신부
300 : 플랫 케이블 400 : 제어부
500 : 디스플레이부 600 : 구동부

Claims (13)

  1. 간극 측정 장치에 있어서,
    하부 하우징과,
    상기 하부 하우징과 결합되어 상하 운동을 하는 상부 하우징과,
    상기 상부 하우징이 상기 하부 하우징에 대하여 상대적으로 이동한 변위를 측정하는 리니어 스케일 소자와,
    상기 하부 하우징에 고정되는 제 1 슬라이딩 부재와,
    상기 상부 하우징에 고정되어, 상기 제 1 슬라이딩 부재와의 상대적인 슬라이딩 운동을 하는 제 2 슬라이딩 부재 및
    상기 하부 하우징과 상기 제 2 슬라이딩 부재 사이에 설치되어 상기 제 2 슬라이딩 부재를 탄성 지지하는 탄성 부재
    를 포함하는 간극 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성 부재는 스프링이며, 상기 스프링의 일 단부는 상기 하부 하우징에 접하고, 다른 한 단부는 상기 제 2 슬라이딩 부재에 형성된 요홈에 삽입되는 것인 간극 측정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 슬라이딩 부재와 상기 제 2 슬라이딩 부재 사이에 설치되어 상기 슬라이딩 운동을 원활하게 하는 베어링 부재를 더 포함하는 간극 측정 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 베어링 부재는 제 1 레일, 제 2 레일 및 상기 제 1 레일과 상기 제 2 레일 사이에 설치된 롤러를 포함하는 간극 측정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 베어링 부재는 상기 제 2 레일이 상기 제 1 레일로부터 이탈하는 것을 방지하는 스토퍼를 더 포함하는 간극 측정 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 리니어 스케일 소자는 상기 제 2 슬라이딩 부재에 고정된 리니어 정밀 눈금과 상기 하부 하우징에 고정된 리니어 인코더(linear encoder)를 포함하는 간극 측정 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 리니어 인코더는 상기 측정된 변위 값을 외부로 전송하는 간극 측정 장치.
  8. 간극 교정 장치에 있어서,
    상부 교정 대상물과 하부 교정 대상물의 간극을 측정하는 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 따른 간극 측정 장치와,
    상기 간극 측정 장치와 연결되어, 상기 측정된 간극 값을 수신하는 제어부와,
    상기 측정된 간극 값을 표시하는 디스플레이부 및
    상기 측정된 간극 값에 기초하여 상기 상부 교정 대상물과 상기 하부 교정 대상물의 간극을 교정하는 구동부
    를 포함하는 간극 교정 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 측정된 간극 값을 수신하여 상기 제어부로 전달하는 측정 신호 수신부를 더 포함하는 간극 교정 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 간극 측정 장치는 복수 개인 것인 간극 교정 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 간극 측정 장치는 진공 챔버의 내부에 설치되고, 상기 제어부는 상기 진공 챔버의 외부에 설치되는 간극 교정 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 간극 측정 장치와 상기 제어부는 플랫 케이블(flat cable)에 의해 연결되는 것인 간극 교정 장치.
  13. 제 8 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 측정된 간극 값에 기초하여 상기 상부 교정 대상물과 상기 하부 교정 대상물의 간극이 사용자가 설정한 간극과 일치하도록 상기 구동부를 제어하는 간극 교정 장치.
KR1020080015383A 2008-02-20 2008-02-20 간극 교정 장치 KR100868286B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080015383A KR100868286B1 (ko) 2008-02-20 2008-02-20 간극 교정 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080015383A KR100868286B1 (ko) 2008-02-20 2008-02-20 간극 교정 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100868286B1 true KR100868286B1 (ko) 2008-11-11

Family

ID=40284082

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080015383A KR100868286B1 (ko) 2008-02-20 2008-02-20 간극 교정 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100868286B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160002005U (ko) * 2014-12-03 2016-06-13 서울메트로 축상의 위치 표시장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06109410A (ja) * 1992-09-24 1994-04-19 Kanto Auto Works Ltd 間隙寸法測定用プローブ
JP2001082904A (ja) 1999-09-17 2001-03-30 Hitachi Koki Co Ltd 用紙厚測定装置
KR20060133152A (ko) * 2005-06-20 2006-12-26 부산대학교 산학협력단 나노미터 스케일의 측정 및 가공을 위한 센서 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06109410A (ja) * 1992-09-24 1994-04-19 Kanto Auto Works Ltd 間隙寸法測定用プローブ
JP2001082904A (ja) 1999-09-17 2001-03-30 Hitachi Koki Co Ltd 用紙厚測定装置
KR20060133152A (ko) * 2005-06-20 2006-12-26 부산대학교 산학협력단 나노미터 스케일의 측정 및 가공을 위한 센서 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160002005U (ko) * 2014-12-03 2016-06-13 서울메트로 축상의 위치 표시장치
KR200481026Y1 (ko) 2014-12-03 2016-08-04 서울메트로 축상의 위치 표시장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6164641B2 (ja) 粘弾性測定装置
US9211647B2 (en) Parallel link robot
US7759893B2 (en) Motor control apparatus and motor control method
JP6031541B2 (ja) 試料の長さ変化及び／又は試料にかかる変形力を測定するための装置並びに方法
JP6529732B2 (ja) 偏心荷重誤差を補正するためのデバイスを備えた秤量セル、および偏心荷重誤差を補正するための方法
US8151480B2 (en) Contour measuring device for measuring aspects of objects
CN110918388B (zh) 点胶装置及点胶方法
KR100868286B1 (ko) 간극 교정 장치
KR20130128846A (ko) 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치 및 방법
KR101562278B1 (ko) 4포인트 프로브를 구비한 표면저항 측정장치
CN110918389B (zh) 点胶装置及点胶方法
CN109443701B (zh) 屏幕测试的定位设备及控制系统
JP5418877B2 (ja) ４探針抵抗率測定装置
JP2009526510A (ja) 軸方向力測定部が組み込まれた回転駆動部と直線駆動部を備えるモータ
JP2009302322A (ja) ティーチング装置及びティーチング方法
CN105444744A (zh) 校正装置及校正方法
JP6593862B2 (ja) ハイトゲージ
WO2012066756A1 (ja) 触針式測定装置
KR100718917B1 (ko) 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치
JP6298672B2 (ja) 運動誤差測定装置及びこれを備えた工作機械
US9146089B2 (en) Method and apparatus for measuring a manufacturing deviation in an external gear
WO2019221096A1 (ja) 大型映像表示装置、大型映像表示装置の組立装置及びこの組立装置を用いた大型映像表示装置の組立方法
KR102167080B1 (ko) 축대칭형 중량측정장치
KR20130110889A (ko) 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치 및 방법
JPH0926368A (ja) 力学量センサ装置用自動較正装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20111014

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee