KR100867742B1 - 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템 - Google Patents

중량법을 이용한 혼합가스제조시스템 Download PDF

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KR100867742B1
KR100867742B1 KR1020070110447A KR20070110447A KR100867742B1 KR 100867742 B1 KR100867742 B1 KR 100867742B1 KR 1020070110447 A KR1020070110447 A KR 1020070110447A KR 20070110447 A KR20070110447 A KR 20070110447A KR 100867742 B1 KR100867742 B1 KR 100867742B1
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김광섭
이정순
강남구
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Abstract

본 발명은 여러 종류의 순수가스를 가스통에 순차적으로 충전하여 혼합가스를 제조하는 시스템에 있어서, 가스통의 중량을 측정하는 저울; 두 종류 이상의 순수가스를 공급할 수 있는 가스공급장치; 가스통의 주입구에 결합되는 제1포트, 파이프에 의해 가스공급장치와 연결되는 제2포트, 및 제3포트를 구비하고, 일단이 제1포트에 위치하며 타단이 제2포트에 위치하는 제1유로, 및 일단이 제1포트에 위치하며 타단이 제3포트에 위치하는 제2유로를 포함하는 서로 격리된 두 개의 유로가 내부에 형성되는 가스배관용 3-포트형 연결관; 및 제3포트에 결합되어 제2유로를 개폐하는 배출밸브;를 포함하여, 제1유로는 가스공급장치로부터 가스통으로 순수가스를 전달하는 통로로 이용되며, 제2유로는 가스통에 구비되는 개폐밸브 폐쇄시에 제1유로를 통해 가스통으로 공급되는 가스를 외부로 배출시키는 통로로 이용되는 것을 특징으로 하는 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템을 제공함으로써, 충전되는 순수가스의 종류를 변경하는 과정에서 가스공급장치와 가스통을 연결하는 파이프 내부공간에 잔류하는 직전에 충전되던 순수가스를 완벽하게 제거할 수 있도록 하며, 따라서 더욱 정밀한 성분비의 혼합가스를 제조할 수 있도록 한다.
혼합가스, 가스통, 가스공급장치, 저울, 가스배관용 3-포트형 연결관

Description

중량법을 이용한 혼합가스제조시스템{GAS MIXTURE MAKING SYSTEM USING GRAVIMETRIC METHOD}
도 1은 종래기술에 따른 혼합가스 제조공정의 일 예를 예시한 도면,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 혼합가스제조시스템을 도시한 배치구성도,
도 3은 본 발명의 주요 구성요소인 가스배관용 3-포트형 연결관을 도시한 사시도,
도 4는 도 3의 가스배관용 3-포트형 연결관을 도시한 단면도,
도 5는 도 2의 혼합가스제조시스템에서 가스통과 결합되는 가스배관용 3-포트형 연결관 내에서의 혼합가스제조시 유동경로를 부분적으로 예시한 단면도,
도 6은 도 2의 혼합가스제조시스템에서 가스통과 결합되는 가스배관용 3-포트형 연결관 내에서의 가스 외부배출시 유동경로를 부분적으로 예시한 단면도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10: 가스통 20: 가스공급장치
25, 35: 파이프 30: 저울
45: 이음부재 50: 배출가스 회수수단
70: 배출밸브 100: 가스배관용 3-포트형 연결관
110: 제1포트 115: 밀폐플랜지
120: 제2포트 130: 제3포트
140: 밀폐형 체결너트 145: 걸림턱
210: 제1유로 220: 제2유로
본 발명은 둘 이상의 순수가스를 혼합된 혼합가스를 제조하는 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 빈 가스통과 충전된 가스통의 중량을 비교하여 혼합가스를 제조하는 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템에 관한 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 혼합가스 제조공정의 일 예를 예시한 도면이다.
일반적으로, 혼합가스는 레이저 발진, 식품 포장, 특수 용접, 의료, 조명, 호흡, 해저탐사, PDP TV, 방사능 측정 등과 같은 다양한 분야에서 다양한 용도로 사용되는 것으로서, 개별적인 용도에 적합하도록 2 종류 이상의 고순도 순수 가스를 필요한 농도로 혼합한 것이다.
이와 같은 혼합가스는 "중량법"으로 통용되는 방법으로 제조될 수 있다. 구체적으로, 도 1에 도시한 바와 같이, 혼합가스는 정밀측정이 가능한 저울(30), 혼 합가스가 충전될 가스통(10), 가스통(10)에 충전할 두 종류 이상의 순수가스를 순차적으로 공급하는 가스공급장치(20), 및 가스공급장치(20)와 가스통(10)을 연결하는 파이프(25)를 사용하여 제조된다.
좀더 구체적으로 설명하면, 우선 저울(30) 위에 가스통(10)을 올려둔 상태에서, 가스통(10)의 주입구(13)와 가스공급장치(20)를 파이프(25)로 연결한다. 이어서, 가스통에 구비되는 개폐밸브(11)를 개방한 상태에서, 가스공급장치(20)에 내장되는 진공펌프(도시 안됨)를 작동시켜 가스통(10) 내부의 기체를 배출시킴으로써 가스통(10)과 연결용 파이프(25)의 내부공간을 진공상태로 만들게 되며, 이때 저울(30)의 지침을 읽어 비어 있는 가스통(10)의 중량을 측정한다. 그 다음에, 가스공급장치(20)를 통해 혼합될 어느 한 종류의 순수가스를 공급하여, 파이프(25)를 통해 한 종류의 순수가스가 가스통(10) 내에 충전될 수 있도록 한다. 이 과정에서 저울(30)의 지침을 읽어 충전되는 순수가스가 필요한 양만큼 충전될 수 있도록 가스공급을 조절하게 된다. 한 종류의 순수가스가 충전완료되면, 가스통(10)의 개폐밸브(11)를 폐쇄한 상태에서, 가스공급장치(20)와 가스통(10)을 연결하는 파이프(25)의 내부공간에 잔류하는 한 종류의 순수가스를 제거하는 과정을 수행한다. 즉, 진공펌프(도시 안됨)를 가동하여 파이프(25) 내부공간에 진공이 형성되도록 함으로써 잔류하는 가스를 제거하게 되는 것이다. 이어서, 가스공급장치(20)를 통해 혼합될 다른 한 종류의 순수가스를 공급함과 더불어 가스통의 개폐밸브(11)를 개방하여 파이프(25)를 통해 가스통(10) 내에 다른 한 종류의 순수가스가 충전될 수 있도록 하며, 이 과정에서도 저울(30)의 지침을 읽어 충전되는 가스를 양적으로 조절 하게 된다. 이와 같은 반복적인 과정은 혼합될 순수가스의 가짓수에 따라 반복횟수가 결정되며, 마지막으로 충전될 순수가스의 충전이 완료되면 개폐밸브(11)를 폐쇄하고 가스통(10)의 주입구(13)를 밀봉함으로써 혼합가스의 제조가 완료된다.
그러나, 이상과 같은 방법으로 혼합가스를 제조하게 되면, 농도비 즉 성분비를 정밀하게 맞추기 어렵다. 구체적으로, 충전될 순수가스의 종류를 변경할 때, 진공펌프를 사용하여 파이프(25) 내부공간에 진공을 형성하는 방법으로 잔류가스를 제거하게 되는데, 이와 같이 진공펌프를 사용하여 형성할 수 있는 파이프 내부공간의 진공도 수준에는 한계가 있고, 진공도에 한계가 있다는 것은 먼저 주입했던 가스가 소량이라도 배관 내부에 잔류하게 된다는 것을 의미하며, 나아가 연결용 파이프 내부에 가스가 잔류한다는 것은 혼합가스를 이루는 순수가스의 성분비를 원하는 규격에 맞게 정밀하게 조절하기 어렵게 만든다는 것을 의미한다. 결과적으로, 용처에 따라 혼합가스의 성분비가 정밀하게 조절될 필요가 있는 경우에는, 이상과 같은 방법으로 제조된 혼합가스를 사용하는 것이 부적절할 수 있는 것이다.
상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서,
본 발명은 충전되는 순수가스의 종류를 변경하는 과정에서 파이프 내부에 잔류하는 직전에 충전되던 순수가스를 완벽하게 제거할 수 있도록 하여 정밀한 성분비의 혼합가스를 제조할 수 있도록 하는 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
여러 종류의 순수가스를 가스통에 순차적으로 충전하여 혼합가스를 제조하는 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템에 있어서,
가스통의 중량을 측정하는 저울;
두 종류 이상의 순수가스를 공급할 수 있는 가스공급장치;
상기 가스통의 주입구에 결합되는 제1포트, 파이프에 의해 상기 가스공급장치와 연결되는 제2포트, 및 제3포트를 구비하고,
일단이 제1포트에 위치하며 타단이 제2포트에 위치하는 제1유로, 및 일단이 제1포트에 위치하며 타단이 제3포트에 위치하는 제2유로를 포함하는 서로 격리된 두 개의 유로가 내부에 형성되는 가스배관용 3-포트형 연결관; 및
상기 제3포트에 결합되어 상기 제2유로를 개폐하는 배출밸브;를 포함하여,
상기 제1유로는 상기 가스공급장치로부터 상기 가스통으로 순수가스를 전달하는 통로로 이용되며, 상기 제2유로는 상기 가스통에 구비되는 개폐밸브 폐쇄시에 상기 제1유로를 통해 상기 가스통으로 공급되는 가스를 외부로 배출시키는 통로로 이용되는 것을 특징으로 하는 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템을 제공한다.
그리고, 상기 배출밸브에 연결되는 배출가스 회수수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제2유로의 일단은 상기 제1유로의 일단을 둘러싸도록 형성되어, 상기 제1포트에서 상기 제1유로의 일단은 상기 제2유로의 일단의 내부에 위치하게 되는 것을 특징으로 한다.
더불어, 상기 제1포트는 가스통의 주입구 내에 부분적으로 삽입된 상태로 연결되고, 그 외주면에 방사형으로 돌출하는 밀폐플랜지를 구비하며,
상기 가스통의 주입구 외주면에 형성되는 수나사와 맞물리는 암나사가 내주면에 형성되고, 체결시 상기 밀폐플랜지를 가스통 방향으로 압박하도록 내주면 일측에서 중심을 향해 돌출하는 걸림턱을 구비하며, 상기 제1포트의 외주면을 부분적으로 둘러싸도록 배치되는 밀폐형 체결너트를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 혼합가스제조시스템을 도시한 배치구성도이고, 도 3은 본 발명의 주요 구성요소인 가스배관용 3-포트형 연결관을 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3의 가스배관용 3-포트형 연결관을 도시한 단면도이다. 그리고, 도 5는 도 2의 혼합가스제조시스템에서 가스통과 결합되는 가스배관용 3-포트형 연결관 내에서의 혼합가스제조시 유동경로를 부분적으로 예시한 단면도이고, 도 6은 도 2의 혼합가스제조시스템에서 가스통과 결합되는 가스배관용 3-포트형 연결관 내에서의 가스 외부배출시 유동경로를 부분적으로 예시한 단면도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 혼합가스제조시스템은, 도 2에 도시한 바와 같이, 여러 종류의 순수가스를 가스통에 순차적으로 충전하여 혼합가스를 제조 하기 위한 것으로서, 가스통(10)의 중량을 측정하는 저울(30)과, 두 종류 이상의 순수가스를 공급할 수 있는 가스공급장치(20)와, 가스통(10)의 주입구(13)에 결합되는 제1포트(110), 파이프(25)에 의해 가스공급장치(20)와 연결되는 제2포트(120), 및 제3포트(130)를 구비하는 가스배관용 3-포트형 연결관(100), 및 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 제3포트(130)에 결합되는 배출밸브(70)를 포함한다.
한편, 본 발명에 따른 혼합가스제조시스템은, 배출밸브(70)에 파이프(35)에 의해 연결되는 배출가스 회수수단(50)을 포함할 수 있다. 배출가스 회수수단(50)의 장착은 선택적인 것이며, 따라서 필요에 따라 장착 여부가 결정될 수 있는 것이라 할 수 있겠다. 이와 같이 배출가스 회수수단(50)이 장착되면, 배출밸브(70) 개방을 통해 가스공급장치(20)와 가스통(10)을 연결하는 배관의 내부공간에 잔류하는 가스를 배출시키고자 할 때, 배출되는 가스를 배출가스 회수수단(50)이 포집하게 된다. 즉, 배출되는 가스가 바로 대기 중으로 배출되지 않도록 한다는 것이며, 이는 가스의 종류가 인체에 해로운 독성을 갖는 가스인 경우에는 반드시 필요하다 할 것이다.
가스배관용 3-포트형 연결관(100)은, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 상기한 바와 같은, 제1포트(110), 제2포트(120) 및 제3포트(130)를 구비함과 더불어, 내부에 형성되는 두 개의 유로(210)(220)를 구비한다.
두 개의 유로(210)(220)는 서로 격리된 형태로 형성되는 것으로서, 그중 제1유로(210)는 일단(211)이 제1포트(110)에 위치하며, 타단(213)이 제2포트(120)에 위치한다. 그리고, 제2유로(220)는 일단(221)이 제1포트(110)에 위치하며, 타단(223)이 제3포트(130)에 위치한다. 즉, 두 유로의 일단(211)(221)은 제1포트(110)에 함께 위치하며, 두 유로의 타단(213)(223)은 제2포트(120)와 제3포트(130)에 각각 독립적으로 위치하게 된다.
두 유로(210)(220)의 일단(211)(221)이 함께 위치하게 되는 제1포트(110)에서, 제2유로(220)의 일단(221)은 제1유로(210)의 일단(211)을 둘러싸도록 형성된다. 따라서, 제1포트(110)에서 제1유로(210)의 일단(211)은 제2유로(220)의 일단(221)의 내부에 위치하게 되며, 나아가 중심이 일치하는 동심원 형태로 배치되는 것이 바람직하다 하겠다.
여기서, 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 제1유로(210)는 가스공급장치(20)로부터 가스통(10)으로 순수가스를 전달하는 통로로 이용되며, 제2유로(220)는 가스통(10)에 구비되는 개폐밸브(11) 폐쇄시에 제1유로(210)를 통해 가스공급장치로(20)부터 가스통(10) 방향으로 공급되거나 가스공급장치(20)와 가스통(10)을 연결하는 배관의 내부공간에 잔류하는 가스를 외부로 배출시키는 통로로 이용된다.
구체적으로, 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 제1포트(110)는 가스통(10)의 주입구(13)에 결합되고, 제2포트(120)는 이음부재(45)에 의해 가스공급장치(20)에서 연장되는 파이프(25)에 연결되어, 제1유로(210)를 이용한 가스공급장치(20)로부터 가스통(10)으로의 가스이동이 가능하도록 한다. 그리고, 제3포트(130)는 대기와 소통하도록 배치되거나 배출밸브(70)와 파이프(35)를 통해 배출가스 회수수단(50)에 연결되어, 가스공급장치(20)와 가스통(10)을 연결하는 배관의 내부공간에 잔류하는 가스를 제2유로(220)를 이용하여 대기중으로 또는 배출가스 회수수단(50)으로 배출시킬 수 있도록 한다.
제1포트(110)는, 도 5 및 도 6을 참조하면 알 수 있는 바와 같이, 가스통(10)의 주입구(13) 내에 부분적으로 삽입된 상태로 결합된다.
그리고, 제1포트(110)는, 도 4 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 그 단부에서 일정거리 떨어진 외주면 부분에서 방사형으로 돌출하는 밀폐플랜지(115)를 구비한다. 따라서, 후술하는 밀폐형 체결너트(140)를 사용한 체결시 밀폐플랜지(115)에 의한 압박을 통해 가스통(10)과 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 연결부위에서 가스의 누출이 발생하지 않는 밀폐상태를 유지할 수 있도록 한다.
일반적인 가스통(10)은 구비하는 주입구(13)의 외주면 부분에 배관연결을 위한 수나사가 구비된다. 그리고, 이상과 같은 제1포트(110)는 나사결합방식으로 가스통(10)의 주입구(13)에 결합하게 된다. 따라서, 나사결합방식의 결합을 위해, 본 발명에 따른 가스배관용 3-포트형 연결관(100)은 제1포트(110)의 외주면을 둘러싸도록 배치되는 밀폐형 체결너트(140)를 구비한다.
밀폐형 체결너트(140)는 가스통의 주입구 외주면에 형성되는 수나사와 맞물리도록 원통형의 내주면에 형성되는 암나사(141)를 구비한다. 그리고, 체결시 밀폐플랜지(115)를 가스통(10) 방향으로 압박하도록 내주면 일측에서, 달리 표현하면 내주면의 가스통 방향 반대측 단부에서 중심을 향해 돌출하는 걸림턱(145)을 구비한다. 걸림턱(145)을 구비함에 따라, 체결시 걸림턱(145)이 밀폐플랜지(115)를 압박하여 가스통의 주입구에서 밀폐상태를 안정적으로 유지할 수 있게 되며, 결과적 으로 가스통(10)과 본 발명에 따른 가스배관용 3-포트형 연결관(100) 간의 연결부위에서의 기밀상태를 또한 안정적으로 유지할 수 있게 되는 것이다.
이하, 이상과 같은 본 발명에 따른 혼합가스제조시스템을 이용한 혼합가스제조과정을 설명한다.
1) 가스통(10)을 저울(30) 위에 올려둔 상태에서, 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 제1포트(110)를 가스통(10)의 주입구(13)에 연결한다.
2) 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 제3포트(130)에 연결되는 배출밸브(70)를 조정하여 배출가스 회수수단(50)과 연결되는 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 제1포트(110)와 제3포트(130) 사이에 형성되는 제2유로(220)를 차단한다.
3) 이어서, 도 5에 도시한 바와 같이, 혼합가스가 충전될 가스통(10)의 주입구(13)를 개폐밸브(11)의 조정을 통해 개방한다.
4) 가스공급장치(20)에 내장되는 진공펌프(도시 안됨)를 작동시켜, 가스통 내부의 기체를, 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 제1포트(110)와 제2포트(120) 사이에 형성되는, 제1유로(210)를 경유하여 가스공급장치(20) 방향으로 배출되도록 흡입하여, 가스통(10)과 연결용 파이프(25), 이음부재(45) 및 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 내부공간을 진공상태로 만들고, 이 상태에서 저울(30)의 지침을 읽어 비어 있는 가스통(10)의 중량을 측정한다.
5) 가스공급장치(20)를 통해 혼합될 어느 한 종류의 순수가스를 공급하여, 도 5에 도시한 바와 같이, 파이프(25)와 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 제1유로(210)를 통해 순수가스가 가스통(10) 내에 충전될 수 있도록 한다. 이 과정에서 지속적으로 저울(30)의 지침을 읽어 충전되는 순수가스가 필요한 양만큼 충전될 수 있도록 가스공급을 조절하게 된다.
6) 한 종류의 순수가스가 충전완료되면, 가스통(10)의 개폐밸브(11)를 폐쇄한 다음, 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 제3포트(130)에 연결되는 배출밸브(70)를 조정하여 배출가스 회수수단(50)과 연결되는 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 제2유로(220)를 개방한 상태에서, 가스공급장치(20)와 가스통(10)을 연결하는 파이프(25)와, 제1유로(210)를 포함하는 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 내부공간에 잔류하는 직전에 충전되던 종류의 순수가스를 제거하는 과정을 수행한다. 즉, 종래기술에서와 같이 진공펌프로 흡입하여 잔류하는 가스를 제거하는 것이 아니라, 도 6에 도시한 바와 같이, 가스공급장치(20)를 통해 혼합될 다른 한 종류의 순수가스를 공급하여, 충전될 새로운 종류의 순수가스가 잔류하던 가스를 밀어내어, 충전될 새로운 종류의 순수가스와 잔류하던 가스가 함께 제2유로(220)를 경유하여 배출가스 회수수단(50)으로 배출되도록 함으로써, 잔류하던 가스를 제거하게 되는 것이다. 이와 같은 과정을 수행하게 되면 결국, 가스공급장치(20)와 가스통(10)을 연결하는 파이프(25)와 제1유로(210)를 포함하는 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 내부공간에 새로 충전될 종류의 순수가스만이 잔류하게 된다.
7) 이어서, 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 제3포트(130)에 연결되는 배출밸브(70)를 조정하여 배출가스 회수수단(50)과 연결되는 가스배관용 3-포트형 연 결관(100)의 제2유로(220)를 다시 차단하고, 새로운 종류의 순수가스가 가스통(10) 내부에 이미 충전된 가스의 압력보다 높은 압력으로 가스공급장치(20)에 의해 공급되는 상태에서, 가스통(10)의 주입구(13)를 개폐밸브(11)의 조정을 통해 다시 개방함으로써, 새로운 종류의 순수가스가 가스통(10) 내부에 충전되면서 이미 충전되어 있는 순수가스와 혼합되도록 한다. 역시, 이 과정에서도 지속적으로 저울(30)의 지침을 읽어 새롭게 충전되는 순수가스가 필요한 양만큼 충전될 수 있도록 가스공급을 조절하게 된다.
8) 혼합될 새로운 종류의 순수가스가 있는 경우에는 이상의 잔류가스 제거과정과 새로운 종류의 가스를 공급하는 과정을 반복적으로 수행하게 되며, 더 이상 혼합될 가스가 없는 경우에는 단지, 가스통(10)의 주입구(13)를 개폐밸브(11)의 조정을 통해 폐쇄한 다음, 가스통의 주입구와 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 제1포트(110) 간의 연결상태를 해제함으로써, 가스통(10)을 본 발명에 따른 혼합가스제조시스템으로부터 분리함으로써, 혼합가스 제조를 완료하게 되는 것이다.
9) 한편, 마지막에 충전된 순수가스가 부식을 유발하거나 인체에 해로운 영향을 미칠 수 있는 흡착성가스나 독성가스임에 따라 혼합가스제조시스템 내부에 미량이라도 잔류하거나 그대로 대기로 배출되는 것이 부적절한 경우에는, 가스통(10)의 주입구(13)를 폐쇄한 상태에서 가스통(10)을 분리하기 이전에, 배출밸브(70)를 개방하고 가스공급장치(20)를 통해 질소나 헬륨 등과 같은 세척용 가스를 공급하여, 가스공급장치(20)와 연결용 파이프(25)의 내부공간, 제1유로(210) 및 제2유로(220)를 포함하는 가스배관용 3-포트형 연결관(100)의 내부공간, 가스통(10)의 주입구(13) 주변영역 등 혼합가스제조과정에서 혼합될 순수가스와 접촉하게 되는 모든 부분을 세척하여 배출가스 회수수단(50)으로 배출시키는 과정을 수행한 다음, 가스통(10)을 혼합가스제조시스템으로부터 분리하면 된다.
이상과 같은 본 발명에 따른 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템을 제공함으로써, 본 발명은 충전되는 순수가스의 종류를 변경하는 과정에서 가스공급장치와 가스통을 연결하는 파이프 내부공간에 잔류하는 직전에 충전되던 순수가스를 완벽하게 제거할 수 있도록 하며, 따라서 더욱 정밀한 성분비의 혼합가스를 제조할 수 있도록 한다. 나아가, 배출가스 회수수단을 포함하는 경우, 혼합가스를 제조하는 과정에서 부식을 유발하거나 인체에 해로울 수 있는 흡착성가스나 독성가스를 취급한 경우에도, 이와 같은 가스들이 내부공간에 잔류하지 않도록 효과적으로 세척할 수 있을 뿐만 아니라 대기중으로 누출되는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있도록 한다.
본 발명은 특정의 실시 예와 관련하여 도시 및 설명하였지만, 첨부 특허청구범위에 의해 나타난 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변경 및 변화가 가능하다는 것을 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.

Claims (4)

  1. 여러 종류의 순수가스를 가스통에 순차적으로 충전하여 혼합가스를 제조하는 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템에 있어서,
    가스통의 중량을 측정하는 저울;
    두 종류 이상의 순수가스를 공급할 수 있는 가스공급장치;
    상기 가스통의 주입구에 결합되는 제1포트, 파이프에 의해 상기 가스공급장치와 연결되는 제2포트, 및 제3포트를 구비하고,
    일단이 제1포트에 위치하며 타단이 제2포트에 위치하는 제1유로, 및 일단이 제1포트에 위치하며 타단이 제3포트에 위치하는 제2유로를 포함하는 서로 격리된 두 개의 유로가 내부에 형성되는 가스배관용 3-포트형 연결관; 및
    상기 제3포트에 결합되어 상기 제2유로를 개폐하는 배출밸브;를 포함하여,
    상기 제1유로는 상기 가스공급장치로부터 상기 가스통으로 순수가스를 전달하는 통로로 이용되며, 상기 제2유로는 상기 가스통에 구비되는 개폐밸브 폐쇄시에 상기 제1유로를 통해 상기 가스통으로 공급되는 가스를 외부로 배출시키는 통로로 이용되는 것을 특징으로 하는 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 배출밸브에 연결되는 배출가스 회수수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제2유로의 일단은 상기 제1유로의 일단을 둘러싸도록 형성되어, 상기 제1포트에서 상기 제1유로의 일단은 상기 제2유로의 일단의 내부에 위치하게 되는 것을 특징으로 하는 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제1포트는 가스통의 주입구 내에 부분적으로 삽입된 상태로 연결되고, 그 외주면에 방사형으로 돌출하는 밀폐플랜지를 구비하며,
    상기 가스통의 주입구 외주면에 형성되는 수나사와 맞물리는 암나사가 내주면에 형성되고, 체결시 상기 밀폐플랜지를 가스통 방향으로 압박하도록 내주면 일측에서 중심을 향해 돌출하는 걸림턱을 구비하며, 상기 제1포트의 외주면을 부분적으로 둘러싸도록 배치되는 밀폐형 체결너트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템.
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