KR100867109B1 - Method for Revising Sectional Area Measuring Position in Paste Dispenser - Google Patents

Method for Revising Sectional Area Measuring Position in Paste Dispenser Download PDF

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Abstract

본 발명은 페이스트 도포장치의 단면적 측정 위치 보정방법에 관한 것으로, 본 발명의 단면적 측정 위치 보정방법은, 측정하고자 하는 페이스트 패턴에 대한 단면적 센서의 측정 위치를 입력하는 단계와, 단면적 센서를 페이스트 패턴의 단면적 측정 위치로 상대 이동시키는 단계와, 단면적 센서를 이용하여 미리 설정된 측정 영역을 스캔하여 n개의 측정 데이터 프로파일(profile)을 취득하는 단계와, 상기 단면적 센서에 의해 얻어진 n개의 데이터 중 가장 높은 값을 갖는 데이터의 순번을 추출하는 단계와, 취득한 데이터 프로파일로부터 상기 최고값의 데이터가 위치한 지점에서 측정 영역의 중심 지점까지의 거리를 산출하는 단계와, 상기 산출된 거리에 의하여 단면적 센서의 측정 위치 보정값을 연산하는 단계를 포함하여 구성된다.The present invention relates to a method for correcting a cross-sectional area measurement position of a paste coating apparatus, and the method for correcting a cross-sectional area measurement position according to the present invention comprises the steps of: inputting a measurement position of a cross-sectional area sensor with respect to a paste pattern to be measured; Relative movement to the cross-sectional area measurement position, scanning a predetermined measurement area using a cross-sectional area sensor to obtain n measurement data profiles, and obtaining the highest value of the n data obtained by the cross-sectional area sensor. Extracting the sequence number of the data, calculating the distance from the acquired data profile to the center point of the measurement area from the point where the highest data is located, and measuring the position correction value of the cross-sectional sensor based on the calculated distance. It is configured to include the operation.

이와 같은 본 발명에 따르면, 단면적 센서에 의해 얻어진 데이터 프로파일에 의해 자동으로 단면적 센서의 측정 위치가 보정되므로, 단면적 측정 위치 보정작업이 매우 신속하고 정확하게 이루어질 수 있게 된다.According to the present invention, since the measurement position of the cross-sectional area sensor is automatically corrected by the data profile obtained by the cross-sectional area sensor, the cross-sectional area measurement position correction operation can be made very quickly and accurately.

Description

페이스트 도포장치의 단면적 측정 위치 보정방법{Method for Revising Sectional Area Measuring Position in Paste Dispenser}Method for Correcting the Sectional Area Measurement Position of Paste Coating Apparatus {Method for Revising Sectional Area Measuring Position in Paste Dispenser}

본 발명은 평판표시장치의 기판에 도포된 페이스트의 단면적 측정 위치를 보정하는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판표시장치의 기판 상에 소정의 패턴으로 도포된 페이스트의 단면적을 측정하는 단면적 측정센서가 정확한 측정 위치에서 단면적을 측정하도록 그 위치를 자동으로 보정하는 단면적 측정 위치 보정방법방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for calibrating the cross-sectional area measurement position of a paste applied to a substrate of a flat panel display device, and more particularly, a cross-sectional area measurement sensor for measuring the cross-sectional area of a paste applied in a predetermined pattern on a substrate of a flat panel display device. The present invention relates to a method for correcting a cross-sectional area measurement position which automatically corrects the position so that the cross-sectional area is measured at an accurate measurement position.

주지하는 바와 같이, 평판표시장치의 하나인 액정표시장치(LCD)는 음극선관(CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 CRT에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마 표시장치(PDP: Plasma Display 패널)나 전계방출 표시장치(FED:Field Emission Display)와 함께 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼 등의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.As is well known, a liquid crystal display (LCD), which is one of the flat panel display devices, has a better visibility than the cathode ray tube (CRT) and has a smaller average heat dissipation than a CRT having the same screen size. Along with (PDP: Plasma Display Panel) and FED (Field Emission Display), it has recently been in the spotlight as a next generation display device such as a monitor of a mobile phone, a computer, or a television.

이러한 액정표시장치(LCD)는 하나의 유리기판에 페이스트상의 실런트(sealant)를 소정의 패턴으로 형성하고, 상기 실런트에 의해 형성된 영역 내에 액정을 적하한 후, 이 유리기판 위에 다른 하나의 유리기판을 합착하는 방식으로 제조된다.In such a liquid crystal display (LCD), a paste-shaped sealant is formed on a glass substrate in a predetermined pattern, a liquid crystal is dropped in an area formed by the sealant, and then another glass substrate is placed on the glass substrate. It is produced by bonding.

상술한 액정표시장치의 제조과정에서 유리기판에 소정의 패턴으로 페이스트를 도포하는 작업은 페이스트 도포장치에 의해 이루어진다.In the manufacturing process of the above-described liquid crystal display device, the paste is applied to the glass substrate in a predetermined pattern by the paste coating device.

일반적인 페이스트 도포장치는 기판이 장착되는 스테이지와, 상기 기판에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착된 디스펜스 헤드와, 상기 디스펜스 헤드가 장착되는 헤드지지대, 그리고 상기 헤드지지대와 디스펜스 헤드의 움직임을 제어하는 제어부를 포함하여 구성된다. 그리고, 디스펜스 헤드에는 페이스트를 담고 있는 시린지(syringe)가 설치되고, 상기 시린지는 노즐과 연결된다. A general paste coating apparatus includes a stage on which a substrate is mounted, a dispensing head on which a nozzle for discharging paste is mounted, a head support on which the dispensing head is mounted, and a control unit controlling movement of the head support and the dispensing head. It is configured to include. In addition, a syringe containing a paste is installed in the dispensing head, and the syringe is connected to the nozzle.

이러한 페이스트 도포장치는 기판과 노즐의 상대위치 관계를 변화시켜 가면서 기판에 소정 형상의 페이스트 패턴을 형성하게 된다. 즉, 페이스트가 토출될 때, 기판은 일정 방향으로 이동되고, 상기 디스펜스 헤드는 상기 헤드지지대에 장착된 상태에서 상기 기판의 이동방향과 직각을 이루면서 이동된다. Such a paste coating device forms a paste pattern having a predetermined shape on the substrate while changing the relative positional relationship between the substrate and the nozzle. That is, when the paste is ejected, the substrate is moved in a predetermined direction, and the dispensing head is moved at right angles to the moving direction of the substrate while being mounted on the head support.

기판 위에 페이스트가 소정의 패턴으로 도포되면, 디스펜서 헤드가 도포된 패턴의 상측으로 이동하고, 디스펜서 헤드에 장착된 단면적센서를 이용하여 페이스트 패턴의 단면적을 검사함으로써 페이스트 패턴의 불량을 검사한다. When the paste is applied on the substrate in a predetermined pattern, the dispenser head is moved to the upper side of the applied pattern, and the defect of the paste pattern is inspected by inspecting the cross-sectional area of the paste pattern using the cross-sectional sensor mounted on the dispenser head.

첨부된 도면의 도 1은 디스펜서 헤드의 단면적 센서를 이용하여 단면적을 검사하는 방법을 나타낸다. 1 of the accompanying drawings shows a method of inspecting a cross-sectional area using a cross-sectional sensor of the dispenser head.

통상적으로, 페이스트의 단면적을 측정하는 단면적 센서(1)는 페이스트를 토출하는 디스펜서 헤드(미도시)에 장착된다. 상기 단면적 센서(1)는 레이저빔의 방출 및 입사에 의해 거리를 측정하는 변위센서인 레이저센서로서, 단면적 센서(1)의 내부에는 레이저빔을 방사하는 렌즈(2)가 일정 각도씩 일방향으로 왕복 회전하도록 설치되어 있다. Typically, the cross-sectional area sensor 1 for measuring the cross-sectional area of the paste is mounted in a dispenser head (not shown) for discharging the paste. The cross-sectional area sensor (1) is a laser sensor that is a displacement sensor for measuring the distance by the emission and incidence of the laser beam, inside the cross-sectional area sensor 1, the lens (2) for emitting a laser beam reciprocates in one direction by a predetermined angle It is installed to rotate.

이러한 단면적 센서(1)는 상기 렌즈(2)를 통해 기판(G) 상의 페이스트 쪽으로 레이저빔(laser beam)을 연속적으로 방출하여 페이스트(P)가 도포된 영역(이하 측정 영역)(S)을 스캔함으로써 단면적을 측정한다.The cross-sectional sensor 1 continuously emits a laser beam toward the paste on the substrate G through the lens 2 to scan a region (hereinafter referred to as a measurement region) S on which the paste P is applied. By measuring the cross-sectional area.

도 2는 상기 단면적 센서(1)로 미리 설정된 측정 영역(A)(도 1참조)을 스캔했을 때 페이스트 도포장치의 모니터(미도시)에 디스플레이되는 페이스트 패턴에 대한 측정 데이터 프로파일(profile)이다. 이 데이터 프로파일에서 알 수 있듯이 페이스트가 도포되지 않은 부분은 직선형으로 나타나고, 페이스트가 도포된 영역은 대체로 중앙에서 정점이 형성되는 아치(arch) 형태를 나타내게 된다. FIG. 2 is a measurement data profile for a paste pattern displayed on a monitor (not shown) of the paste application device when the measurement area A (see FIG. 1) preset by the cross-sectional sensor 1 is scanned. As can be seen from this data profile, the unapplied portion appears straight, and the paste-applied area generally shows an arch shape in which a vertex is formed at the center.

페이스트 도포장치의 제어장치는 상기 데이터 프로파일 중 페이스트가 도포된 부분, 즉 아치형태로 그려진 부분의 데이터를 적산하는 방식으로 페이스트의 단면적을 측정한다. The control device of the paste coating device measures the cross-sectional area of the paste in such a manner that the data of the paste-coated portion of the data profile, that is, the portion drawn in the shape of an arch, is accumulated.

그런데, 상기와 같이 단면적센서를 이용하여 페이스트의 단면적을 측정할 때, 어떤 요인에 의하여 페이스트 패턴이 단면적 측정 영역의 중심에 위치하지 않는 현상이 발생한다. 이러한 경우 단면적 측정값이 부정확할 수 있기 때문에 측정값의 신뢰성이 크게 저하되는 문제가 발생한다.However, when measuring the cross-sectional area of the paste using the cross-sectional area sensor as described above, a phenomenon occurs in which the paste pattern is not located at the center of the cross-sectional area measurement area due to some factor. In this case, since the cross sectional area measurement value may be inaccurate, the reliability of the measurement value is greatly degraded.

따라서, 종래에는 작업자가 직접 눈으로 확인하면서 디스펜서 헤드의 위치값을 새로 입력하는 방식으로 단면적 센서의 위치를 보정하고, 다시 페이스트 패턴이 단면적 센서의 측정 영역 내에 정확하게 위치되는지를 확인하였다.Therefore, conventionally, the operator corrects the position of the cross-sectional area sensor by directly inputting the position value of the dispenser head while visually confirming with the eyes, and again confirms whether the paste pattern is accurately positioned within the measurement area of the cross-sectional area sensor.

그러나, 이와 같이 작업자가 수동으로 단면적 센서의 위치값을 보정하는 방식은 시간이 많이 소요되어 생산성을 저하시키고, 정확도를 보장할 수 없는 문제가 있다. However, the method of manually calibrating the position value of the cross-sectional sensor by the operator takes a long time, there is a problem that the productivity is lowered, and the accuracy can not be guaranteed.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은, 측정하고자하는 페이스트 패턴이 단면적 센서의 측정 영역 내에 정확하게 위치할 수 있도록 단면적 센서의 측정 위치를 자동으로 신속하고 정확하게 보정하고, 이로써 단면적 측정값의 신뢰성을 향상시키고, 생산성 및 작업성을 향상시킬 수 있는 페이스트 도포장치의 단면적 측정 위치 보정방법을 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to automatically and quickly correct the measurement position of the cross-sectional sensor so that the paste pattern to be measured is accurately located within the measurement area of the cross-sectional sensor In addition, the present invention provides a method for correcting the cross-sectional area measurement position of a paste coating apparatus which can improve the reliability of the cross-sectional area measurement value and improve productivity and workability.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 측정하고자 하는 페이스트 패턴에 대한 단면적 센서의 측정 위치를 입력하는 단계와, 단면적 센서를 페이스트 패턴의 단면적 측정 위치로 상대 이동시키는 단계와, 단면적 센서를 이용하여 미리 설정된 측정 영역을 스캔하여 n개의 측정 데이터 프로파일(profile)을 취득하는 단계와, 상기 단면적 센서에 의해 얻어진 n개의 데이터 중 가장 높은 값을 갖는 데이터의 순번을 추출하는 단계와, 취득한 데이터 프로파일로부터 상기 최고값의 데이터가 위치한 지점에서 측정 영역의 중심 지점까지의 거리를 산출하는 단계와, 상기 산출된 거리에 의하여 단면적 센서의 측정 위치 보정값을 연산하는 단계를 포함하여 구성된 페이스트 도포장치의 단면적 측정 위치 보정방법을 제공한다.The present invention for achieving the above object, the step of inputting the measurement position of the cross-sectional sensor for the paste pattern to be measured, the step of moving the cross-sectional sensor relative to the cross-sectional area measurement position of the paste pattern, using the cross-sectional sensor Scanning the predetermined measurement area to obtain n measurement data profiles, extracting the sequence number of the data having the highest value among the n data obtained by the cross-sectional area sensor, and Calculating a distance from the point where the highest value data is located to a center point of the measurement area, and calculating a measurement position correction value of the cross-sectional area sensor based on the calculated distance; Provides a position correction method.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 단면적 센서에 의해 얻어진 데이터 프로파일에 의해 자동으로 단면적 센서의 측정 위치가 보정되므로, 단면적 측정 위치 보정작업이 매우 신속하고 정확하게 이루어질 수 있게 된다.According to the present invention as described above, since the measurement position of the cross-sectional area sensor is automatically corrected by the data profile obtained by the cross-sectional area sensor, the cross-sectional area measurement position correction operation can be made very quickly and accurately.

따라서, 생산성과 작업성을 대폭 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 측정 데이터에 대한 신뢰도도 대폭 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Therefore, not only can the productivity and workability be greatly improved, but also the reliability of the measured data can be significantly improved.

이하, 본 발명에 따른 페이스트 도포장치의 단면적 측정 위치 보정방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the cross-sectional area measurement position correction method of the paste coating apparatus according to the present invention will be described in detail.

도 3에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 단면적 측정 위치 보정방법은, 측정하고자 하는 페이스트 패턴에 대한 단면적 센서의 측정 위치를 입력하는 단계(S1)와; 단면적 센서를 페이스트 패턴의 단면적 측정 위치로 이동시키는 단계(S2)와; 단면적 센서를 이용하여 미리 설정된 측정 영역을 스캔하여(S3) n개의 측정 데이터 및 이 데이터 프로파일(profile)을 취득하는 단계(S4)와; 상기 단면적 센서에 의해 얻어진 n개의 데이터 중 가장 높은 값을 갖는 데이터의 순번을 추출하는 단계(S5)와; 상기 단계에서 상기 n이 짝수인 경우에는 추출된 가장 높은 값의 데이터의 순번이 n/2 번째인지 확인하고, 상기 n이 홀수인 경우에는 (n±1)/2 번째인지 확인하는 단계(s6); 상기 단계에서 n이 짝수이면 가장 높은 값의 데이터의 순번이 n/2 번째가 아닐 경우 또는 n이 홀수이면 (n±1)/2 번째가 아닐 경우, 상기 획득된 데이터 프로파일을 이용하여 단면적 센서의 측정 위치를 보정하고, 단면적 센서를 보정된 위치로 이동하여 단면적을 재측정하는 단계(S7)로 이루어진다.As shown in FIG. 3, the method for correcting a cross-sectional area measurement position according to the present invention includes: inputting a measurement position of a cross-sectional area sensor with respect to a paste pattern to be measured (S1); Moving the cross-sectional area sensor to a cross-sectional area measurement position of the paste pattern (S2); Scanning (S3) a preset measurement area using a cross-sectional sensor to acquire n pieces of measurement data and this data profile (S4); Extracting a sequence number of data having the highest value among the n pieces of data obtained by the cross-sectional area sensor (S5); In the above step, if n is an even number, checking whether the extracted highest value data is n / 2th, and if n is odd, checking whether (n ± 1) / 2th is n (s6). ; In this step, when n is an even number, when the order of the highest value data is not n / 2th, or when n is odd (n ± 1) / 2th, the cross-sectional area sensor is obtained using the obtained data profile. Step S7 is performed to correct the measurement position and move the cross-sectional area sensor to the corrected position to re-measure the cross-sectional area.

각 단계에 대해 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다. Each step is described in more detail as follows.

작업자는 페이스트 도포작업 전에 페이스트 도포장치의 제어장치(미도시)에 복수개의 디스펜서 헤드(미도시)의 페이스트 도포 작업 위치 좌표와, 단면적 센 서(1)(도 1참조)의 단면적 측정 위치에 대한 좌표들을 입력한다.(단계 S1)Before the paste coating operation, the operator may check the paste coating operation position coordinates of the plurality of dispenser heads (not shown) and the cross-sectional area measuring position of the cross-sectional sensor 1 (see Fig. 1) in a control device (not shown) of the paste coating apparatus. Enter the coordinates (step S1).

디스펜서 헤드에 의해 기판(G)(도 1참조) 위에 페이스트(P)가 소정의 패턴으로 도포되면, 디스펜서 헤드가 상기 S1단계에서 입력된 단면적 측정 위치 좌표로 이동하게 된다. 이에 따라, 디스펜서 헤드에 장착된 단면적 센서(1)가 단면적 측정을 위한 위치에 정렬된다. (단계 S2)When the paste P is applied in a predetermined pattern on the substrate G (see Fig. 1) by the dispenser head, the dispenser head is moved to the cross-sectional area measurement position coordinates input in step S1. Thus, the cross-sectional area sensor 1 mounted on the dispenser head is aligned at the position for the cross-sectional area measurement. (Step S2)

상기와 같이 단면적 센서(1)가 단면적 측정을 위한 위치에 정렬되면, 단면적 센서(1)를 통해 레이저빔이 연속적으로 방출되면서 미리 설정된 측정 영역(A)을 스캔한다.(단계 S3)When the cross-sectional area sensor 1 is aligned at the position for the cross-sectional area measurement as described above, the laser beam is continuously emitted through the cross-sectional area sensor 1 to scan the preset measurement area A (step S3).

이 때, 상기 단면적 센서(1)가 스캔하는 과정에서 n개, 예를 들어 짝수인 110개의 높이에 대한 데이터가 순차적으로 얻어지고, 이 데이터는 도 3과 도 4에 도시된 것과 같은 데이터 프로파일(data profile)을 그리게 된다. 여기서, 상기 데이터의 개수는 짝수인 110개로 설명하였으나 이에 한정하지는 않으며, 상기 데이터가 짝수 뿐만아니라 홀수가 되는 것은 자명하다. (단계 S4)At this time, the data of n, for example, 110 even heights are sequentially obtained during the scanning of the cross-sectional area sensor 1, and the data is obtained using a data profile (as shown in FIGS. 3 and 4). data profile). Here, the number of the data is described as even number 110, but the present invention is not limited thereto. It is obvious that the data is not only even but also odd. (Step S4)

그리고, 제어장치(미도시)는 상기와 같이 얻어진 데이터 프로파일 중 가장 높은 값을 갖는 데이터를 추출하여, 이 데이터의 순번을 확인하게 된다.(단계 S5, S6)Then, the controller (not shown) extracts the data having the highest value among the data profiles obtained as described above, and confirms the order of the data. (Steps S5, S6)

도 4에 도시된 것과 같이, 페이스트 패턴(P)이 단면적 센서(1)의 측정 영역(A)의 중심에 정확하게 위치될 경우, 페이스트 패턴(P)의 정점은 측정 영역(A)의 중심에 위치하게 되므로, 상기 단계 S5에서 추출된 가장 높은 값의 데이터는 55번째의 순번을 가질 것이다. As shown in FIG. 4, when the paste pattern P is accurately positioned at the center of the measurement area A of the cross-sectional sensor 1, the vertex of the paste pattern P is located at the center of the measurement area A. FIG. Therefore, the highest value data extracted in step S5 will have the 55th order number.

하지만, 도 5에 도시된 것과 같이, 어떤 요인에 의해 페이스트 패턴(P)이 단면적 센서(1)의 측정 영역(A)의 일측으로 치우치게 되면, 가장 높은 값의 데이터는 예를 들어 5번째 순번을 가지게 된다. However, as shown in Fig. 5, if the paste pattern P is biased to one side of the measurement area A of the cross-sectional area sensor 1 due to some factor, the highest value data is for example the fifth order number. Have.

이 경우, 페이스트 패턴(P)을 단면적 센서(1)의 측정 영역(A)의 중심에 정확하게 위치시키기 위해서는 단면적 센서(1)의 위치를 좌측으로 소정 거리만큼 이동해야 한다.In this case, in order to accurately position the paste pattern P in the center of the measurement area A of the cross-sectional area sensor 1, the position of the cross-sectional area sensor 1 must be moved to the left by a predetermined distance.

따라서, 제어장치는 데이터 프로파일로부터 얻어지는 가장 높은 값의 데이터의 순번 위치와 중앙의 순번 위치 간의 거리(d)(이 실시예에서는 50칸)에 따라 단면적 센서(1)의 측정 위치 보정값을 연산하고, 보정된 위치값을 저장한다. (단계 S7)Therefore, the control device calculates the measured position correction value of the cross-sectional area sensor 1 according to the distance d (50 spaces in this embodiment) between the sequence number of the highest value data obtained from the data profile and the center sequence number. Save the corrected position value. (Step S7)

그리고, 제어장치는 상기 보정된 값에 따라 디스펜서 헤드의 위치를 조정하여 단면적 센서(1)의 측정 위치를 정확하게 보정하고, 이 위치에서 단면적을 재측정하여 정확한 측정값을 얻는다.(단계 S8)Then, the controller adjusts the position of the dispenser head according to the corrected value to accurately correct the measurement position of the cross-sectional area sensor 1, and re-measures the cross-sectional area at this position to obtain an accurate measurement value (step S8).

만일, 상기 단면적 센서(1)가 스캔하는 과정에서, 예를 들어 홀수인 111개의 높이에 대한 데이터가 순차적으로 얻어진다면, 추출된 가장 높은 값의 데이터는 55번째 또는 56번째의 순번을 가질 것이다.If the cross-sectional area sensor 1 scans sequentially, for example, 111 odd height data are obtained, the extracted highest value data will have the 55th or 56th order number.

페이스트 패턴(P)이 단면적 센서(1)의 측정 영역(A)의 일측으로 치우치게 되는 경우, 가장 높은 값의 데이터는 예를 들어 55번째 또는 56번째의 순번이 아니게 된다.When the paste pattern P is biased to one side of the measurement area A of the cross-sectional area sensor 1, the highest value data is not the 55th or 56th order, for example.

이 경우, 제어장치는 데이터 프로파일로부터 얻어지는 가장 높은 값의 데이터의 순번 위치와 중앙의 순번 위치 간의 거리(d)에 따라 단면적 센서(1)의 측정 위치 보정값을 연산하고, 단면적 센서(1)의 위치를 소정 거리만큼 이동시켜서 페이 스트 패턴(P)을 단면적 센서(1)의 측정 영역(A)의 중심에 정확하게 위치시키게 한다.In this case, the control device calculates the measured position correction value of the cross-sectional area sensor 1 according to the distance d between the ordered position of the highest value data obtained from the data profile and the centered position. The position is moved by a predetermined distance so that the paste pattern P is accurately positioned at the center of the measurement area A of the cross-sectional area sensor 1.

도 1은 일반적인 단면적 센서를 이용하여 단면적을 측정하는 방법을 설명하는 다이어그램.1 is a diagram illustrating a method of measuring a cross-sectional area using a general cross-sectional sensor.

도 2는 도 1의 단면적 센서에 의해 측정되는 데이터의 프로파일을 나타내는 그래프.FIG. 2 is a graph showing a profile of data measured by the cross-sectional sensor of FIG. 1. FIG.

도 3은 본 발명에 따른 단면적 측정 위치 보정방법을 설명하는 순서도.Figure 3 is a flow chart illustrating a method for correcting the cross-sectional area measurement position according to the present invention.

도 4와 도 5는 각각 페이스트 패턴이 단면적 측정 영역 내에 정확하게 위치했을 때와, 페이스트 패턴이 단면적 측정 영역 내에 부정확하게 위치했을 때의 데이터 프로파일을 나타낸 도면.4 and 5 respectively show data profiles when the paste pattern is correctly positioned in the cross-sectional area measurement area and when the paste pattern is incorrectly positioned in the cross-sectional area measurement area.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 단면적 센서 2 : 렌즈1: cross-sectional sensor 2: lens

G : 기판 P : 페이스트 패턴G: Substrate P: Paste Pattern

Claims (1)

측정하고자 하는 페이스트 패턴에 대한 단면적 센서의 측정 위치를 입력하는 단계;Inputting a measurement position of the cross-sectional sensor with respect to the paste pattern to be measured; 단면적 센서를 페이스트 패턴의 단면적 측정 위치로 상대 이동시키는 단계;Relatively moving the cross-sectional area sensor to a cross-sectional area measurement position of the paste pattern; 단면적 센서를 이용하여 미리 설정된 측정 영역을 스캔하여 홀수인 n개의 측정 데이터 프로파일(profile)을 취득하는 단계;Acquiring an odd number of measurement data profiles by scanning a predetermined measurement area using a cross-sectional sensor; 상기 단면적 센서에 의해 얻어진 n개의 데이터 중 가장 높은 값을 갖는 데이터의 순번을 추출하는 단계;Extracting a sequence number of data having the highest value among the n pieces of data obtained by the cross-sectional area sensor; 취득한 데이터 프로파일로부터 상기 가장 높은 값의 데이터가 위치한 지점에서 측정 영역의 중심 지점까지의 거리를 산출하는 단계; 및Calculating a distance from the acquired data profile to the center point of the measurement area at the point where the highest value data is located; And 상기 추출된 가장 높은 값의 데이터의 순번이 (n±1)/2번째가 아닌 경우, 상기 산출된 거리에 의하여 단면적 센서의 측정 위치 보정값을 연산하는 단계;를 포함하여 구성된 페이스트 도포장치의 단면적 측정 위치 보정방법.Calculating the measured position correction value of the cross-sectional area sensor based on the calculated distance when the order of the extracted highest value data is not (n ± 1) / 2th; How to calibrate the measurement position.
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