KR100864897B1 - 반도체 집적 회로에서 형성되는 전송선 변압기 - Google Patents

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박창근
이유미
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Abstract

반도체 집적회로에서 형성되는 전송선 변압기에 관한 것으로서, 한바퀴 감긴 형태를 하는 내측 1차측 전송선(401a)의 바깥쪽을 둘러싸도록 외측 1차측 전송선(401b)이 설치되며, 2차측 전송선(402)은 2차측 제1전송선(402a)과 2차측 제2전송선(402b)으로 분기되며, 2차측 제1전송선(402a)은 내측 1차측 전송선(401a)의 안쪽으로 한바퀴 감기며, 2차측 제2전송선(402b)은 외측 1차측 전송선(401b)의 바깥쪽으로 한바퀴 감긴 후 2차측 제1전송선(402a)과 연결되며, 2차측 제1전송선(402a)과 2차측 제2전송선(402b)의 연결부위에서는 2차측 제3전송선(402c)이 연장되며, 2차측 제3전송선(402c)은 내측 1차측 전송선(401a)과 외측 1차측 전송선(401b) 사이에서 한바퀴 감기도록 설치된다. 본 발명에 의하면, 트랜지스터의 숫자를 증가시키지 않고서도 금속선 간의 자기결합을 용이하게 함으로써 변압기의 자기 결합 계수를 높일 수 있다.
반도체 집적회로, 고주파, 변압기, 결합계수, 전송선,

Description

반도체 집적 회로에서 형성되는 전송선 변압기 {Transmission line transformer formed in semiconductor integrated circuit}
도 1 및 도 2는 종래의 전송선 변압기를 설명하기 위한 도면들;
도 3은 본 발명에 따른 전송선 변압기의 제1실시예를 설명하기 위한 도면;
도 4는 본 발명에 따른 전송선 변압기의 제2실시예를 설명하기 위한 도면;
도 5는 본 발명에 따른 전송선 변압기의 제3실시예를 설명하기 위한 도면;
도 6은 본 발명에 따른 전송선 변압기의 제4실시예를 설명하기 위한 도면;
도 7은 도 6의 변형예를 설명하기 위한 도면;
도 8은 도 6의 다른 변형예를 설명하기 위한 도면;
도 9는 본 발명에 따른 전송선 변압기의 제5실시예를 설명하기 위한 도면;
도 10은 본 발명에 따른 전송선 변압기의 제6실시예를 설명하기 위한 도면;
도 11은 도 10의 변형예를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 변압기에 관한 것으로, 특히 고주파 집적회로에서 전송선 변압기를 형성하는 금속선(metal line)을 두 갈래로 나누어 감아 줌으로써 변압기의 결합계수를 향상시키는 전송선 변압기에 관한 것이다.
무선통신 시스템용 고주파 집적 회로에서 흔히 사용되는 소자 중의 하나가 변압기이다. 이러한 변압기는 임피던스의 변환이나 전력의 결합을 위하여 사용된다. 최근 [Aoki, S. Kee, D. Rutledge, A. Hajimiri, "A fully-integrated 1.8-V, 2.8-W, 1.9-GHz, CMOS power amplifier", IEEE RFIC Symp., pp. 199-202, June 2003]의 보고서에서는 전송선 변압기를 이용하여 전력 증폭기를 구현하는 기법이 소개 되었다.
도 1은 상기 보고서의 내용을 간략화하여 나타낸 것이다. 도 1을 참조하면, 전송선 변압기(100)는 1차측 전송선(101)과 2차측 전송선(102)으로 구성된다. CMOS, HBT 및 pHEMT 등과 같은 트랜지스터(103)를 통하여 전력이 인가된다. 도 1의 증폭기는 차동구조로 된 것으로서, 인접한 트랜지스터들(103)을 통해서는 서로 위상이 반대인 차동 입력 신호가 인가된다. 이때, 각 트랜지스터(103)의 출력신호를 도 1에 나타낸 바와 같이 -V 및 +V로 나타낼 수 있다.
전송선 변압기의 기본 원리에 의하여, 2차측 전송선(102)에는 1차측 전송선(101)의 전압이 더 해져서 나타나게 되는데, 접지(Ground)가 0V 라고 한다면 RFOUT 에는 4V의 전압이 나타나게 된다. 또한 1차측 전송선(101)과 2차측 전송선(102)에 흐르는 전류는 크기는 서로 같지만 방향은 서로 반대이다. 따라서 만약 ROUT 에 50Ω이 연결되어 있다면 아래의 수학식 1을 이용하여 각 트랜지스터(103)의 출력 단자에서 보이는 부하 임피던스 RLOAD 값을 구할 수 있다.
[수학식 1]
Figure 112007041349440-pat00001
만약 도 1의 전력 증폭기가 E-급 출력단으로 동작할 경우, 각 트랜지스터에서 발생하는 전력은 아래의 수학식 2로 표현된다.
[수학식 2]
Figure 112007041349440-pat00002
여기서 POUTTR는 트랜지스터 각각에서 발생되는 전력을 나타내고, VDD는 전력 증폭기의 전원 전압을 나타내고, T는 부하임피던스 변환비를 나타낸다. 수학식 1에 의하면 T값은 4가 된다. 또한 트랜지스터의 갯수를 N이라고 한다면 도 1의 전력 증폭기에서 N은 4가 된다. 따라서, 전력 증폭기의 최종 출력은 수학식 3으로 나타낼 수 있다.
[수학식 3]
Figure 112007041349440-pat00003
여기서 N과 T의 곱은 16이 된다. 수학식 3에서 알 수 있는 바와 같이 전력 증폭기의 출력전력을 더 높이기 위해서는 N값을 증가시키면 된다. 도 1과 같은 전력 증폭기 구조에서 N값을 증가시킨다면 T값 역시 함께 증가한다. 이의 한 예를 도 2에 보였다. 여기서는 트랜지스터가 총 8개이므로 N값은 8이라고 할 수 있다. 이때, 각 트랜지스터의 출력에서의 전압을 도 2에 나타낸 바와 같이 -V 혹은 +V라고 한다면 RFOUT에서는 8V가 되고, 전송선 변압기의 1차측과 2차측에 흐르는 전류는 앞선 경우와 마찬가지로 방향은 서로 반대이고 크기는 동일하다. 따라서, 수학식 1과 같은 방식으로 T를 계산한다면 T는 8이 되어 N과 T의 곱은 64가 되어, 도 1의 경우에 비하여 4배가 큰 출력 전력을 도 2의 전력 증폭기를 통하여 얻을 수 있다.
하지만, N값을 증가시킨다는 것은 트랜지스터의 개수를 늘리는 것인데, 이렇게 될 경우, 트랜지스터의 입력단자를 연결하기 위한 집적회로에서의 금속선의 복잡도가 증가한다. 금속선의 복잡도가 증가하면, 집적회로 내부에서 반도체 기판에 의한 원하지 않는 신호와 서로 결합(Coupling)되어 회로의 동작에 심각한 문제를 일으킬 수 있다. 특히 전력 증폭기를 선형 전력 증폭기로 형성했을 경우, 입력을 위한 금속선과 출력 전송선 변압기간의 신호 결합(Coupling)에 의하여 발진의 위험성이 매우 높아지게 된다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 트랜지스터의 개수를 늘리지 않고도 즉, 금속선의 복잡도를 최소화하면서 변압기의 결합계수를 향상시킬 수 있는 전송선 변압기를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제들을 달성하기 위한 본 발명의 일 예는, 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 관한 것으로서, 두 번 감기는 2차측 전송선과, 상기 2차측 전송선의 감긴 사이에 설치되는 1차측 전송선을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제들을 달성하기 위한 본 발명의 다른 예는, 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 관한 것으로서, 한바퀴 감긴 형태를 하는 내측 1차측 전송선과, 상기 내측 1차측 전송선과는 절연되며 상기 내측 1차측 전송선을 바깥쪽으로 둘러싸도록 설치되는 외측 1차측 전송선과, 상기 내측 1차측 전송선과 외측 1차측 전송선 사이에 위치하도록 한바퀴 감긴 형태로 설치되는 2차측 전송선을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제들을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 예는, 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 관한 것으로서, 한바퀴 감긴 형태를 하는 내측 1차측 전송선과, 상기 내측 1차측 전송선과는 절연되며 상기 내측 1차측 전송선을 바깥쪽으로 둘러싸도록 설치되는 외측 1차측 전송선과, 상기 내측 1차측 전송선의 안쪽에서 한바퀴 감긴 다음에 상기 내측 1차측 전송선과 외측 1차측 전송선의 사이로 한바퀴 더 감긴 형태를 하는 2차측 전송선 을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제들을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 예는, 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 관한 것으로서, 한바퀴 감긴 형태를 하는 내측 1차측 전송선과, 상기 내측 1차측 전송선과는 절연되며 상기 내측 1차측 전송선을 바깥쪽으로 둘러싸도록 설치되는 외측 1차측 전송선과, 상기 내측 1차측 전송선과 외측 1차측 전송선 사이에서 한바퀴 감긴 다음에 상기 외측 1차측 전송선의 바깥쪽에서 한바퀴 더 감긴 형태를 하는 2차측 전송선을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제들을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 예는, 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 관한 것으로서, 한바퀴 감긴 형태를 하는 내측 1차측 전송선과; 상기 내측 1차측 전송선을 바깥쪽으로 둘러싸도록 설치되는 외측 1차측 전송선과; 2차측 제1전송선과 2차측 제2전송선으로 분기되며, 상기 2차측 제1전송선은 상기 내측 1차측 전송선의 안쪽으로 한바퀴 이상 감기며, 상기 2차측 제2전송선은 상기 외측 1차측 전송선의 바깥쪽으로 상기 2차측 제1전송선이 감긴 횟수만큼 감긴 후 상기 2차측 제1전송선과 연결되며, 상기 2차측 제1전송선과 2차측 제2전송선의 연결부위에서는 2차측 제3전송선이 연장되며 상기 2차측 제3전송선은 상기 내측 1차측 전송선과 외측 2차측 전송선 사이에서 한바퀴 감기도록 설치되는 2차측 전송선; 을 구비하는 것을 특징으로 한다. 이 때, 상기 내측 1차측 전송선 및 외측 1차측 전송선은 복수군데로 마디가 잘리도록 설치될 수도 있다.
상기 기술적 과제들을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 예는, 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 관한 것으로서, 두 바퀴 감긴 형태를 하는 1차측 전송선; 상기 두바퀴로 감긴 1차측 전송선 사이로 2차측 제1전송선이 한 바퀴 감긴 후 2차측 제2전송선과 제2차측 제3전송선으로 분기되며, 상기 2차측 제2전송선은 상기 1차측 전송선의 맨 안쪽으로 감기며, 상기 2차측 제3전송선은 상기 1차측 전송선의 맨 바깥쪽으로 감긴 후 상기 2차측 제2전송선과 연결되어 출력단자로 인출되는 2차측 전송선; 을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제들을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 예는, 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 관한 것으로서, 한바퀴 감긴 형태를 하는 내측 1차측 전송선; 상기 내측 1차측 전송선을 둘러싸도록 바깥쪽에 위치하며 상기 내측 1차측 전송선과 양끝단이 병렬적으로 연결되는 외측 1차측 전송선; 상기 내측 1차측 전송선과 외측 1차측 전송선 사이로 2차측 제1전송선이 한 바퀴 감긴 후 2차측 제2전송선과 제2차측 제3전송선으로 분기되며, 상기 2차측 제2전송선은 상기 내측 1차측 전송선의 안쪽으로 감기며, 상기 2차측 제3전송선은 상기 외측 1차측 전송선의 바깥쪽으로 감긴 후 상기 2차측 제1전송선과 연결되어 출력단자로 인출되는 2차측 전송선; 을 구비하는 것을 특징으로 한다. 이 때, 상기 내측 1차측 전송선 및 외측 1차측 전송선은 복수군데로 마디가 잘리도록 설치될 수 있다.
이하, 첨부 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명한다. 본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이다.
[실시예 1]
도 3은 본 발명에 따른 전송선 변압기의 제1실시예를 설명하기 위한 도면이 다. 본 발명에 따른 전송선 변압기는 도 1과 달리, 2차측 전송선(302)으로 1차측 전송선(301) 주위를 두 번 감아 형성한다. 이 경우 만약 1차측 전송선(301)으로 전류 I가 흐른다면 1차측 전송선(301) 주위에는 2차측 전송선(302)이 두 번 지나가므로 2차측 전송선(302)에 흐르는 전류의 양은 I/2가 되고, 2차측 전송선(302)에 흐르는 전류의 방향은 1차측 전송선(301)에 흐르는 전류의 방향과 반대가 된다.
또한 전송선 변압기의 기본 원리에 의하여, 1차측 전송선(301)에 연결된 트랜지스터의 출력전압이 도 3과 같이 -V 및 +V로 형성 된다면 RFOUT 에서의 전압은 8V가 된다. 이를 수학식 1과 같이 계산을 해 본다면, T는 16이 되고, N은 4가 되어, T와 N의 곱은 도 2의 경우와 마찬가지로 64가 된다. 따라서 도 2와 같이 N값을 증가시키지 않고도 도 2와 같은 출력 전력을 얻을 수 있다.
[실시예 2]
도 4는 본 발명에 따른 전송선 변압기의 제2실시예를 설명하기 위한 도면이다. 전송선 변압기는 한 바퀴 감긴 형태를 하는 내측 1차측 전송선(401a)과, 내측 1차측 전송선(401a)을 바깥쪽으로 둘러싸도록 설치되는 외측 1차측 전송선(401b)과, 내측 1차측 전송선(401a)과 외측 1차측 전송선(401b) 사이에 위치하도록 한 바퀴 감긴 형태로 설치되는 2차측 전송선(402)으로 구성된다. 따라서 두 개의 1차측 전송선(401a, 401b)이 2차측 전송선(402)의 양쪽에 배치되는 구조를 갖는다. 1차측 전송선(401a, 401b)과 2차측 전송선(402)은 반도체 소자 제조법에 의해서 제조되며 층간 절연막에 의해서 구분되어 서로 다른 층상에 형성된다. 또한, 내측 1차측 전송선(401a)과 외측 1차측 전송선(401b) 역시 층간 절연막에 의해서 구분되어 서로 다른 층상에 형성된다. 이렇게 다른 층상에 형성된 금속선은 선의 형태를 달리하여 표시하였다.
도 4의 경우, N값 및 T값을 수학식 1과 같이 해석하여 구해보면, N은 4가 되고, T는 1이 된다. 이때, N값은 유지시킨 상태로 T값을 증가시키기 위한 일반적인 방법을 도 5에 보였다.
[실시예 3]
도 5는 본 발명에 따른 전송선 변압기의 제3실시예를 설명하기 위한 도면으로서, 2차측 전송선(402)이 두 바퀴로 감긴 형태이다. 도 5의 (A)는 2차측 전송선(402)이 내측 1차측 전송선(401a)의 안쪽에서 한바퀴 감긴 다음에 내측 1차측 전송선(401a)과 외측 1차측 전송선(401b)의 사이로 한바퀴 더 감긴 형태이다. 도 5의 (B)는 2차측 전송선(402)이 내측 1차측 전송선(401a)과 외측 1차측 전송선(401b) 사이에서 한바퀴 감긴 다음에 외측 1차측 전송선(401b) 바깥쪽에서 한바퀴 더 감긴 형태이다. 이 때 1차측 전송선(401a, 401b)들 및 2차측 전송선(402)은 상술한 실시예 2에서와 같이, 반도체 소자 제조법에 의해서 제조되며 층간 절연막에 의해서 구분되어 서로 다른 층상에 각각 형성됨으로써 각각 전기적으로 연결되지 않게 된다.
그러나, 이러한 도 5의 (A) 및 (B)의 경우 전송선 변압기의 대칭성이 파괴되는 문제점이 있다. 즉, 도5의 (A)의 경우, 외측 1차측 전송선(401b)에는 한쪽에만 2차측 전송선(402)이 위치하는 반면, 내측 1차측 전송선(401a)에는 양쪽으로 2차측 전송선(402)이 위치하게 되어, 내측 1차측 전송선(401a)과 외측 1차측 전송선(401b)의 기생 인덕턴스 값이 서로 달라지게 된다. 따라서 내측 1차측 전송선(401a)과 외측 1차측 전송선(401b)에 연결되는 트랜지스터의 동작이 서로 달라지게 된다. 따라서, 도 5와 같은 전송선 변압기를 이용하여 전력 증폭기를 설계할 경우, 전력 증폭기를 구성하고 있는 트랜지스터의 특성을 충분히 활용하지 못하게 되 는 위험이 있다.
[실시예4]
도 6은 본 발명에 따른 전송선 변압기의 제4실시예를 설명하기 위한 도면으로서, 도5의 문제점을 해결하기 위한 것이다. 도 6을 참조하면, 2차측 전송선(402)은 2차측 제1전송선(402a), 2차측 제2전송선(402b), 2차측 제3전송선(402c)으로 구분된다. 접지(GND)와 연결되는 2차측 전송선은 2차측 제1전송선(402a)과 2차측 제2전송선(402b)으로 분기되며, 2차측 제1전송선(402a)은 내측 1차측 전송선(401a)의 안쪽으로 한바퀴 감기며, 2차측 제2전송선(402b)은 외측 1차측 전송선(401b)의 바깥쪽으로 한바퀴 감겨서, 점 P에서 2차측 제1전송선(402a)과 연결된다.
2차측 제1전송선(402a)과 2차측 제2전송선(402b)의 연결부위(P)에서는 2차측 제3전송선(402c)이 연장되며 2차측 제3전송선(402c)은 내측 1차측 전송선(401a)과 외측 1차측 전송선(401b) 사이에서 한바퀴 감겨서 출력 RFout에 연결된다.
도 6의 경우는 도 5와 달리 내측 1차측 전송선(401a)과 외측 1차측 전송선(401b) 모두의 양쪽으로 2차측 전송선(402)이 위치하게 됨으로 대칭성의 문제점을 해결할 수 있다. 또한, 도 5 및 도 6에 나타낸 전송선 변압기의 N은 4이고, T는 2가 되어, 도 4에서 보인 전송선 변압기에 비하여 T 값이 2배가 됨을 알 수 있다.
이와 같이 2차측 전송선(402)을 한 바퀴 감고, 두 바퀴째부터는 금속선을 두 갈래로 나누어 감아줌으로써 대칭성이 유지되도록 하여, 변압기의 1차측과 2차측 간의 결합을 용이하게 할 수 있다. 즉, 도 5의 경우와는 달리 도 6의 경우는 두 개의 1차측 전송선(401a 401b)의 양쪽에 모두 2차측 전송선이 위치됨으로서, 1차측과 2차측 사이의 자기적 결합이 도 5의 경우에 비하여 더욱 용이하다.
2차측 전송선은 도 6과 같이 두 바퀴에 한정되는 것이 아니라 대칭성을 부여하는 형태라면 그 이상 감을 수 있으며 도 7의 경우는 세 바퀴를 감은 경우를 도시한 것이다.
도8과 같이, 도 6의 경우에서 내측 1차측 전송선(401a)의 마디가 잘려 제1 내측 1차측 전송선(401a-1)과 제2 내측 1차측 전송선(401a-2)로 구분되고, 외측 1차측 전송선(401b)도 마디가 잘려 제1 외측 1차측 전송선(401b-1)과 제2 외측 1차측 전송선(401b-2)로 구분될 수도 있다. 이 때 각각의 1차측 전송선(401a-1, 401a-2, 401b-1, 401b-2)의 양 끝에는 트랜지스터가 연결된다. 따라서, 이 경우는 N값은 8이 되고 T값은 4가 된다. 이와 같은 방법으로, 본 발명에 의한 전송선 변압기는 여러 형태로 변형이 매우 용이하다.
[실시예5]
도 9는 본 발명에 따른 전송선 변압기의 제5실시예를 설명하기 위한 도면이다. 도 9를 참조하면, 1차측 전송선(501)은 두 바퀴 감기며, 감기는 과정에서 서로 접촉되지 않도록 참조부호 A로 표시한 바와 같이 층간절연막의 비아홀을 통하여 서로 연결된다.
2차측 전송선(502)은 2차측 제1전송선(502a), 2차측 제2전송선(502b), 2차측 제3전송선(502c)로 구분된다. 2차측 제1전송선(502a)은 두바퀴로 감긴 1차측 전송선(501) 사이로 한 바퀴 감긴 후, 2차측 제2전송선(502b)과 제2차측 제3전송선(502c)으로 분기된다. 분기된 2차측 제2전송선(502b)은 1차측 전송선(501)의 맨 안쪽으로 감기며, 2차측 제3전송선(502c)은 1차측 전송선(501)의 맨 바깥쪽으로 감긴 후 2차측 제2전송선(502b)과 연결되어 출력단자(RFout)로 인출된다.
결과적으로, 종래 기술에 의한 변압기에 비하여, 1차측 전송선(501)과 2 차측 전송선(502)이 서로 마주 보는 부분이 더 많아 자기적 결합이 더 용이하게 일어난다. 이와 같은 도 9에 의한 변압기 역시 도 7과 같이 2차측 전송선을 좀 더 여러 바퀴를 감아 변압기의 감은 비를 증가시켜 형성할 수도 있다.
[실시예6]
도 10은 본 발명에 따른 전송선 변압기의 제6실시예를 설명하기 위한 도면이다. 도 10을 참조하면, 내측 1차측 전송선(501a)은 한바퀴 감긴 형태를 하고, 외측 1차측 전송선(501b)은 내측 1차측 전송선(501a)을 둘러싸도록 바깥쪽에 위치하며 내측 1차측 전송선(501a)과 양끝단이 병렬적으로 연결된다.
2차측 전송선(502)은 도 9의 경우와 마찬가지로 2차측 제1전송선(502a), 2차측 제2전송선(502b), 2차측 제3전송선(502c)로 구분된다. 2차측 제1전송선(502a)은 내측 1차측 전송선(501a)과 외측 1차측 전송선(501b) 사이로 한 바퀴 감긴 후, 점 P에서 2차측 제2전송선(502b)과 2차측 제3전송선(502c)으로 분기된다. 분기된 2차측 제2전송선(502b)은 내측 1차측 전송선(501a)의 안쪽에서 한번 감기며, 2차측 제3전송선(502c)은 외측 1차측 전송선(501b)의 바깥쪽에서 한바퀴 감긴 후 2차측 제2전송선(502b)과 연결되어 출력단자(RFout)로 인출된다.
도 11은 내측 1차측 전송선(501a) 및 외측 1차측 전송선(501b)이 도 8의 경우와 같이 복수군데로 마디가 잘려 제1 내측 1차측 전송선(501a-1), 제2 내측 1차 측 전송선(501a-2), 제1 외측 1차측 전송선(501b-1), 제2 외측 1차측 전송선(501b-2)로 구분되는 경우를 도시한 것이다. 다만, 도 8과 다른 점은 내측 1차측 전송선(501a)과 외측 1차측 전송선(501b)이 서로 병렬적으로 연결된다는 것이다. 이 경우 역시 종래 기술에 의한 변압기에 비하여 1차측과 2 차측 사이의 자기 결합이 용이하여 높은 결합 계수를 기대할 수 있다.
상기한 바와 같이 본 발명에 의하면, 트랜지스터의 숫자를 증가시키지 않고서도 금속선 간의 자기결합을 용이하게 함으로써 변압기의 자기 결합 계수를 높일 수 있다.

Claims (9)

  1. 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 있어서,
    두 번 감기는 2차측 전송선;
    상기 2차측 전송선의 감긴 사이에 설치되는 1차측 전송선; 을 구비하는 것을 특징으로 하는 전송선 변압기.
  2. 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 있어서,
    한바퀴 감긴 형태를 하는 내측 1차측 전송선;
    상기 내측 1차측 전송선과는 절연되며, 상기 내측 1차측 전송선을 바깥쪽으로 둘러싸도록 설치되는 외측 1차측 전송선;
    상기 내측 1차측 전송선과 외측 1차측 전송선 사이에 위치하도록 한바퀴 감긴 형태로 설치되는 2차측 전송선;을 구비하는 것을 특징으로 하는 전송선 변압기.
  3. 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 있어서,
    한바퀴 감긴 형태를 하는 내측 1차측 전송선;
    상기 내측 1차측 전송선과는 절연되며, 상기 내측 1차측 전송선을 바깥쪽으로 둘러싸도록 설치되는 외측 1차측 전송선;
    상기 내측 1차측 전송선의 안쪽에서 한바퀴 감긴 다음에 상기 내측 1차측 전송선과 외측 1차측 전송선의 사이로 한바퀴 더 감긴 형태를 하는 2차측 전송선; 을 구비하는 것을 특징으로 하는 전송선 변압기.
  4. 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 있어서,
    한바퀴 감긴 형태를 하는 내측 1차측 전송선;
    상기 내측 1차측 전송선과는 절연되며, 상기 내측 1차측 전송선을 바깥쪽으로 둘러싸도록 설치되는 외측 1차측 전송선;
    상기 내측 1차측 전송선과 외측 1차측 전송선 사이에서 한바퀴 감긴 다음에 상기 외측 1차측 전송선의 바깥쪽에서 한바퀴 더 감긴 형태를 하는 2차측 전송선; 을 구비하는 것을 특징으로 하는 전송선 변압기.
  5. 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 있어서,
    한바퀴 감긴 형태를 하는 내측 1차측 전송선;
    상기 내측 1차측 전송선을 바깥쪽으로 둘러싸도록 설치되는 외측 1차측 전송선;
    2차측 제1전송선과 2차측 제2전송선으로 분기되며, 상기 2차측 제1전송선은 상기 내측 1차측 전송선의 안쪽으로 한바퀴 이상 감기며, 상기 2차측 제2전송선은 상기 외측 1차측 전송선의 바깥쪽으로 상기 2차측 제1전송선이 감긴 횟수만큼 감긴 후 상기 2차측 제1전송선과 연결되며, 상기 2차측 제1전송선과 2차측 제2전송선의 연결부위에서는 2차측 제3전송선이 연장되며 상기 2차측 제3전송선은 상기 내측 1차측 전송선과 외측 2차측 전송선 사이에서 한바퀴 감기도록 설치되는 2차측 전송 선; 을 구비하는 것을 특징으로 하는 전송선 변압기.
  6. 제5항에 있어서, 상기 내측 1차측 전송선 및 외측 1차측 전송선이 복수군데로 마디가 잘리도록 설치되는 것을 특징으로 하는 전송선 변압기.
  7. 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 있어서,
    두 바퀴 감긴 형태를 하는 1차측 전송선;
    상기 두바퀴로 감긴 1차측 전송선 사이로 2차측 제1전송선이 한 바퀴 감긴 후 2차측 제2전송선과 제2차측 제3전송선으로 분기되며, 상기 2차측 제2전송선은 상기 1차측 전송선의 맨 안쪽으로 감기며, 상기 2차측 제3전송선은 상기 1차측 전송선의 맨 바깥쪽으로 감긴 후 상기 2차측 제2전송선과 연결되어 출력단자로 인출되는 2차측 전송선; 을 구비하는 것을 특징으로 하는 전송선 변압기.
  8. 집적회로 상에 형성되는 전송선 변압기에 있어서,
    한바퀴 감긴 형태를 하는 내측 1차측 전송선;
    상기 내측 1차측 전송선을 둘러싸도록 바깥쪽에 위치하며 상기 내측 1차측 전송선과 양끝단이 병렬적으로 연결되는 외측 1차측 전송선;
    상기 내측 1차측 전송선과 외측 1차측 전송선 사이로 2차측 제1전송선이 한 바퀴 감긴 후 2차측 제2전송선과 제2차측 제3전송선으로 분기되며, 상기 2차측 제2전송선은 상기 내측 1차측 전송선의 안쪽으로 감기며, 상기 2차측 제3전송선은 상 기 외측 1차측 전송선의 바깥쪽으로 감긴 후 상기 2차측 제1전송선과 연결되어 출력단자로 인출되는 2차측 전송선; 을 구비하는 것을 특징으로 하는 전송선 변압기.
  9. 제8항에 있어서, 상기 내측 1차측 전송선 및 외측 1차측 전송선이 복수군데로 마디가 잘리도록 설치되는 것을 특징으로 하는 전송선 변압기.
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