KR100863590B1 - 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템 및 방법 - Google Patents

레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템 및 방법 Download PDF

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한재봉
엄태현
이정현
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Abstract

본 발명은 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템은 작업대와, 상기 작업대에 90°씩 단속적으로 회전 가능하게 설치되는 회전테이블과, 상기 회전테이블의 제 1 사분면 상에서 유리기판의 로딩 및 언로딩을 수행하는 로딩/언로딩부, 제 2 사분면 상에서 액정표시장치의 전극이 가공될 유리기판의 배치를 확인하는 정렬유닛부, 제 3 사분면 상에서 상기 유리기판상에 전극을 레이저 트리밍 가공하는 레이저 트리밍 가공유닛부, 및 제 4 사분면 상에서 레이저 트리밍 가공된 전극의 불량 여부를 검사하는 검사유닛부를 포함한다.이러한 구성에 의하면, 액정표시장치의 전극을 레이저 트리밍하는 공정과 동시에 얼라인공정과 검사공정을 동시에 실시하여 가공 지연 시간(Tact Time)을 감소시킬 있고, 작업능률을 대폭 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 로딩된 유리기판의 위치정보에 따라 최적의 위치에서 액정표시장치 전극을 트리밍 가공할 수 있기 때문에 생산성을 대폭 향상시킬 수 있다.
회전테이블, 레이저 트리밍 시스템, 가공지연시간(Tact Time), LCD

Description

레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템 및 방법{LCD LASER TRIMMING SYSTEM}
본 발명은 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 회전테이블을 이용하여 레이저 트리밍 공정, 얼라인 공정, 검사공정을 동시에 실시하여 가공 지연 시간(Tact Time)을 감소시킬 수 있고, 액정표시장치의 전극의 위치를 정밀하게 파악하여 가공할 수 있으므로 생산성을 대폭 향상시킬 수 있는 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 박막형 액정표시장치는 자연스러운 동화상을 표시할 수 있으며, 브라운관에 비하여 소형화가 가능하여, 퍼스널 컴퓨터와 노트북 컴퓨터는 물론, 복사기 등의 사무 자동화 기기, 이동통신전화기나 PDA 등의 휴대기기까지 광범위하게 이용되고 있다.
이러한 박막형 액정표시장치는 각각의 화소가 칼라가 입혀진 투명전극(공통전극)이 형성된 상부패널, 스위치 역할을 하는 박막형 트랜지스터와 이 박막형 트랜지스터에 연결된 투명전극이 형성된 하부패널, 및 이들 사이에 배치된 액정 분자 층으로 구성된다.
이러한 박막형 액정표시장치는 상기 상하부 패널 사이의 전압을 변화시켜 이들 패널 사이에 배치된 액정 분자층의 광투과 특성을 변화시켜 화상을 표시하게 된다.
도 1은 일반적인 박막형 액정표시장치의 일 실시예를 보인 것으로, 상부 패널(1)에 차광층(3)과 공통 투명전극(4)이 형성되고, 상기 하부 패널(2)에 박막 트랜지스터(5), 게이트 전극(6), 데이터 전극(7)이 형성된다.
또한, 이러한 액정표시장치는 제조 공정 중 내부의 트랜지스터(5)가 정전기에 의해서 손상되는 것을 방지하기 위해서, 상기 게이트 전극(6)과 데이터 전극(7)들을 각각 단락선(8)에 의해서 연결하고 있다.
상기 액정표시장치의 제조 공정 중 최종 단계에서 상기 게이트 전극(6) 또는 데이터 전극(7)들을 서로 명확하게 분리되도록 트리밍하여야 할 뿐만 아니라, 상기 단락선(8)도 제거되어야 하는데, 보통 그라인딩 장치(사포나 연마제 사용)로 연마하여 제거하는 것으로, 정전기나 진동이 발생하여 이로 인하여 액정표시장치에 손상을 입히게 되는 문제점이 있었다.
이러한 종래의 문제점을 해소하기 위하여 정전기나 진동을 발생시키지 않도록 레이저를 이용하여 액정표시장치용 전극을 트리밍하는 시스템이 개발되었다.
그러나, 종래의 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템은 금속막(예컨대, 단락선)을 제외한 상하부 유리패널 및 ITO 등의 투명도전막의 투과율이 좋기 때문에 가공효율이 좋지 못한 문제점이 있었다.
또한, 가공시간이 많이 걸릴 뿐만 아니라 다른 부위까지 열 영향을 미쳐서 액정표시장치를 손상시키기는 문제점이 있었다.
또한, 이러한 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템은 레이저 트리밍 가공 전에 상기 상하부 유리패널(1, 2)을 X,Y 방향으로 이동가능한 작업대상에 배치하고, 상기 작업대를 X, Y 방향으로 이동시키면서 미세조정하고, 상기 상하부 패널(1, 2)상의 전극의 위치를 확인하고, 레이저 비임의 위치와 초점을 미세 조정하여야 하기 때문에, 가공 지연 시간(Tact Time)이 크게 발생하여 작업능률이 떨어지는 문제점이 있었다.
또한, 이러한 작업대 또는 레이저를 이용한 전극 트리밍 시스템의 미세조정 에는 많은 오류를 발생시켜 액정표시장치의 생산성을 떨어뜨리는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 액정표시장치용 전극을 트리밍 가공하기 전에 유리기판의 정렬을 확인하고 레이저 비임의 촛점을 제어하는 데 걸리는 가공 지연 시간(Tact Time)을 감소시킬 수 있는 레이저를 이용한 액정표지장치용 전극 트리밍 시스템 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 진동이나 정전기, 열영향없이 액정표시장치의 전극을 트리밍 가공할 수 있는 레이저를 이용한 액정표지장치용 전극 트리밍 시스템 및 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 작업대상의 유리기판의 정렬이 어긋난 경우에도 작업을 중단하고 유리기판을 재정렬할 필요 없이 로딩된 유리기판의 위치정보에 따라 전극을 최적의 위치에 가공할 수 있는 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템은 작업대와, 상기 작업대에 90°씩 단차적으로 회전 가능하게 설치되는 회전테이블과, 상기 회전테이블의 제 1 사분면 상에서 유리기판의 로딩 및 언로딩을 수행하는 로딩/언로딩부, 제 2 사분면 상에서 액정표시장치의 전극이 가공될 유리기판의 배치를 확인하는 정렬 유닛부, 제 3 사분면 상에서 상기 유리기판상에 전극을 레이저 트리밍 가공하는 레이저 트리밍 가공유닛부, 및 제 4 사분면 상에서 레이저 트리밍 가공된 전극의 불량 여부를 검사하는 검사 유닛부와, 상기 회전테이블을 90°씩 회전시킨 후 상기 로딩/언로딩부, 정렬 유닛부, 레이저 가공유닛부, 및 검사 유닛부의 각각의 로딩/언로딩공정, 정렬공정, 레이저 가공공정, 검사 공정을 동기시키도록 제어하는 제어부를 포함하며,
상기 정렬 유닛부는 상기 회전테이블의 제 2 사분면에는 배치된 재치대의 정렬 마크와 상기 패널의 정렬마크 사이의 거리 차이를 감지하는 영상감지부와, 이를 좌표로 처리하는 영상처리부를 포함하며, 상기 영상감지부와 상기 영상처리부는 상기 제어부에 연결되어 상기 재치대상에 상기 패널이 정렬배치되지 않더라도 상기 레이저 가공유닛부를 제어하여 가공을 수행한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 작업대에 대해 90°씩 단차적으로 선회가능한 상기 회전테이블을 이용하여 소정시간 동안 레이저 가공공정, 얼라인공정, 검사공정을 동시에 실시하여 가공 지연 시간(Tact Time)을 감소시킬 수 있으며, 작업능률을 대폭 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 로딩된 유리기판의 위치정보에 따라 최적의 위치에서 전극을 트리밍 가공할 수 있으므로 액정표시장치의 생산성을 대폭 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 전극의 단락선을 제어된 레이저 비임을 이용하여 제거함으로써 정전기나 진동, 열영향부의 발생을 방지할 수 있고 이에 따라 액정표시장치의 손상을 방지할 수 있다.
이하 첨부도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 레이저 트리밍 시스템에 관해서 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 레이저 트리밍 시스템의 내부 구성을 자세히 보이기 위한 확대 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 레이저 트리밍 시스템의 회전테이블의 개략도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템(10)은 석반 등으로 구성되어 평행하게 유지되며, 외부 충격에 대하여 진동이 적은 작업대(11)와, 상기 작업대(11)에 대해 90°씩 단속적으로 회전 가능하게 설치되는 회전테이블(13)과, 상기 회전테이블(13)을 구동하는 회전테이블 구동부(15)를 구비한다.
상기 회전테이블 구동부(15)는 서보 모터로 구성되며, 메인제어부(500)에 의해서 상기 회전테이블(13)을 90°씩 단속적으로 회전시키고, 소정 기간 동안 회전 구동을 정지시키도록 제어된다.
따라서, 상기 소정의 정지기간 동안 레이저 트리밍 가공, 유리기판의 얼라인공정, 및 검사 공정이 동기 되도록 수행되어 가공 지연 시간을 감소시킬 수 있다.
상기 회전테이블 구동부(15)는 상기 회전테이블(13)의 반지름이 약 500mm일 경우에 약 1um 정도의 오차만을 갖도록 제어되며, 최대 약 500rpm의 회전속도로 구동되며, 바람직하게는 200rpm으로 구동되는 것이 15sec 정도의 위치정확도를 낼 수 있어서 바람직하다.
상기 회전테이블(13) 상에 가상원을 가정할 때 제 1 사분면에는 유리기판의 로딩 및 언로딩을 수행하는 로딩/언로딩부(100)가 배치되고, 제 2 사분면에는 레이저 비임에 의해서 트리밍 가공될 유리기판의 정렬을 확인하는 정렬유닛부(200)가 배치되고, 제 3 사분면에는 상기 유리기판상에 게이트 전극(6)과 데이터 전극(7)을 연결하는 단락선(8)을 제거하기 위한 전극 트리밍 가공유닛부(300)가 배치되며, 제 4 사분면에는 트리밍 가공된 전극의 불량 여부를 검사하는 검사 유닛부(400)가 배치된다.
상기 제 1 사분면은 상기 로딩/언로딩부(100)의 가이드부재(110)를 기준으로 정의된다.
상기 로딩/언로딩부(100)는 상기 가이트부재(110)를 지나 X, Y 좌표가 표시된 정렬케이스(120)를 갖는다. 상기 정렬케이스(120)는 최대 7인치의 액정표시장치가 설치될 수 있도록 서로 수직하게 연결되어 있으며, 수평방향으로 배치되는 제 1 정렬바아(121)와 수직방향으로 배치되는 제 2 정렬바아(123)을 구비한다.
상기 제 2 정렬바아(123)가 수평방향으로 이동하여 3.5인치 이하의 자재는 2개를 동시에 로딩할 수 있다.
이와 같이 제 1 정렬바아(121)와 제 2 정렬바아(123)를 이용하여 상기 유리기판의 1차적인 정렬을 용이하게 할 수 있다. 상기 로딩/언로딩부(100)는 상기 가이드부재(110)를 지나 상기 제 1 사분면의 정렬케이스(120)에 유리기판을 자동으로 로딩 및 언로딩하는 로딩/언로딩 지그부재(130)를 더 구비한다.
상기 로딩/언로딩 지그부재(130)의 아암(131)은 X축, Y축, 및 Z축 방향으로 자동으로 구동될 수 있으며, 상기 가이드부재(110)에 배치된 위치센서(111)를 확인하고, 상기 정렬케이스(120)에 유리기판을 배치할 수 있다. 상기 아암(131)은 공압식으로 구성되며, 상기 아암(131)은 적어도 2 이상의 핑거를 구비하여 동시에 로딩 및 언로딩을 수행할 수 있다.
상기 로딩/언로딩부(100)의 가이드부재(110), 로딩/언로딩 지그부재(130), 및 그의 아암(131)과 핑거(131a, 131b, 131c..)는 메인 제어부(500)에 의해서 제어된다.
상기 정렬확인부(200)는 상기 제 1 사분면에 대응하는 상기 로딩/언로딩부(100)에 인접하여 배치되고, 영상감지부(210)를 포함하여 구성된다.
상기 영상감지부(210)는 감지된 영상을 X, Y, Φ로 처리할 수 있는 영상처리부(230)에 연결된다. 상기 영상처리부(230)로부터 디지털 데이터 처리된 위치 좌표는 상기 메인 컴퓨터(500)를 통해서 후술하는 레이저 트리밍 가공부(300)로 전달된다.
즉, 레이저 트리밍 장치를 이용한 액정표시장치의 전극 레이저 트리밍 방법에 대해서 상세히 설명하면, 상기 레이저 트리밍 장치를 회전테이블 상에 설치하고, 상기 회전테이블 상에 제 1 사분면, 제 2 사분면, 제 3 사분면, 제 4 사분면으로 구성된 가상원을 가정하고, 상기 회전테이블을 90도씩 회전시켜서, 상기 제 1 사분면 상에서 유리기판의 로딩 및 언로딩을 수행하고, 상기 제 2 사분면 상에서 액정표시장치의 전극이 가공될 유리기판의 배치를 확인하고, 상기 제 3 사분면 상에서 상기 유리기판상에 전극을 레이저 트리밍 가공하고, 상기 제 4 사분면 상에서 레이저 트리밍 가공된 전극의 불량 여부를 검사하여 작업효율을 향상시킨다.
상기 레이저 트리밍 가공부(300)는 상기 정렬확인부(200)에 인접하여 배치되고, 상기 정렬확인부(200)로부터 전달된 위치 좌표에 따라서 레이저 비임 조사 위치 및 초점을 제어하도록 구성된다.
즉, 상기 제 2 사분면 상에서 액정표시장치의 전극이 가공될 유리기판의 배치를 상기 정렬확인부(200)가 확인할 때, 상기 액정표시장치의 패널 상의 소정의 마크에 대해서 가상 좌표를 (x y) 값으로 판독하고, (x, y)값의 π/2 위상 변화된 값을 상기 레이저 제어부에 전달하며, 상기 레이저 제어부는 상기 (x, y)값의 π/2 위상 변화된 값을 기준으로 전극 패턴 값을 보정 하여 전극 트리밍 가공하여 전극의 정밀한 트리밍 가공을 수행할 수 있다.
상기 레이저 트리밍 가공부(300)은 적외선 대역의 파장을 조사하는 레이저 발진기(310)를 더 포함한다.
상기 레이저 발진기(310)는 도 4에 도시된 바와 같이, 고속 스위치를 장착하여 시간적으로 짧은 펄스폭의 고출력 펄스 빔을 얻을 수 있도록 하였다.
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템의 레이저 발진기(310)는 적외선 파장대역, 바람직하게는 1060 내지 1070nm의 기본파장에서 1 mj의 고출력 에너지를 Q-스위치를 이용하여 10 내지 50ns의 펄스 폭을 제공함으로써 달성할 수 있었다.
상기 레이저 발진기(310)로부터 조사된 레이저 빔은 집속렌즈(320)에 의해서 한번 더 집속되어 광섬유(330)를 통해서 스캐너 헤드부(340)에 입력된다.
상기 스캐너 헤드부(340)는 회전가능한 제 1 반사경(341)과 제 2 반사경(343)으로 구성되며, 상기 제 1 반사경(341)과 제 2 반사경(343)을 거친 레이저 비임이 집속렌즈(345)에 의해서 집속되어 유리기판상의 단락선(8)을 바람직하게 트리밍 가공할 수 있다.
상기 스캐너 헤드(340)는 내부에 온도 센서(346) 및 냉각기(347)를 더 구비하여 상기 스캐너 헤드(340) 내부 온도를 일정하게 유지하여, 상기 제 1 반사경(341) 및 상기 제 2 반사경(343)의 정확한 구동에 의하여 레이저 빔이 정확한 경로를 따라 이동할 수 있도록 한다.
상기 제 1 반사경(341) 및 제 2 반사경(343)이 각각 회전구동부(344)에 연결되어 있으며, 상기 각각의 회전구동부(344)는 상기 제어부(500)에 의해서 상기 영상처리부(230)를 통해서 입력된 패턴에 따라 회전하여 소정 패턴을 레이저 가공할 수 있도록 한다.
상기 영상처리부(230)는 상기 영상감지부(210)에서 감지한 위치좌표를 상기 회전테이블(13)이 단속적으로 90 회전한 것을 감안하여 π/2 위상차 만큼 보상하여 상기 제어부(500)에 전달한다.
이와 같이, 상기 영상감지부(210)에 감지된 액정표시장치용 패널이 다소 어 긋난 위치에 배치되어 있더라도, 이를 보정하기 위해서 작업을 중단하거나 하지 않고, 다소 어긋난 위치의 좌표를 레이저 트리밍 가공부(300)에 전달하고, 상기 레이저 트리밍 가공부(300)에서 어긋난 위치의 좌표에 맞게 상기 제 1 및 제 2 반사경(341, 343)의 위치를 조절하여 레이저 비임을 조사하기 때문에 액정표시장치의 생산성을 증대시킬 수 있고, 가공효율을 증가시킬 수 있다.
또한, 상기 레이저 트리밍 가공부(300)에 인접한 제 4 사분면에는 검사부(400)가 더 배치된다.
상기 검사부(400)는 영상감지부(410)가 적어도 하나 구비되어 액정표시장치의 영상을 획득하여 데이터베이스에 저장된 양품 데이터와 비교하여 양품인지 불량품인지를 판별한다.
상기 검사부(400)은 외부 모니터와 연결되어 불량상태를 표시하고 경우에 따라서는 알람을 통해서 불량 발생을 알 릴 수도 있다.
상기 검사부(400)는 메인 구동부(500)와 연결되며, 상기 메인 구동부(500)는 상기 로딩/언로딩 지그부재(130)가 상기 액정표시장치를 언로딩하는 경우에 상기 검사부(400)를 통해서 전달된 정보에 근거하여 불량품을 분류해 놓도록 한다.
이상의 본 발명에 따른 액정표시장치용 레이저 트리밍 시스템을 이용한 레이저 트리밍 방법은 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 형태로 변형, 응용 가능하다.
따라서 상기 실시예와 도면은 발명의 내용을 상세히 설명하기 위한 목적일 뿐, 발명의 기술적 사상의 범위를 한정하고자 하는 것이 아니므로, 본 발명의 권리 범위는 후술하는 청구범위뿐만이 아니라 그와 균등한 범위를 포함하여 판단되어야 한다.
도 1은 일반적인 액정표시장치의 개략적인 사시도이며,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 레이저 트리밍 시스템의 개략적인 사시도이며,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 레이저 트리밍 시스템의 회전테이블의 사시도이며,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 레이저 트리밍 시스템의 레이저 트리밍 가공유닛부의 구성을 설명하기 위한 개략 블록도이며,

Claims (12)

  1. 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템에 있어서,
    액정표시장치용 전극 패턴이 형성될 투명 도전막이 형성된 패널이 배치되는 작업대와,
    상기 작업대에 90°씩 단차적으로 회전 가능하게 설치되는 회전테이블과,
    상기 회전테이블의 제 1 사분면 상에서 유리기판의 로딩 및 언로딩을 수행하는 로딩/언로딩부, 제 2 사분면 상에서 액정표시장치의 전극이 가공될 유리기판의 배치를 확인하는 정렬 유닛부, 제 3 사분면 상에서 상기 유리기판상에 전극을 레이저 트리밍 가공하는 레이저 가공유닛부, 및 제 4 사분면 상에서 레이저 트리밍 가공된 전극의 불량 여부를 검사하는 검사 유닛부와,
    상기 회전테이블을 90°씩 회전시킨 후 상기 로딩/언로딩부, 정렬 유닛부,레이저 가공유닛부, 및 검사 유닛부의 각각의 로딩/언로딩공정, 정렬공정, 레이저 가공공정, 검사 공정을 동기시키도록 제어하는 제어부를 포함하며,
    상기 제어부는 상기 회전테이블의 제 2 사분면에는 배치된 재치대의 정렬 마크와 상기 패널의 정렬마크 사이의 거리 차이를 감지하는 영상감지부와, 이를 좌표로 처리하는 영상처리부와 연결되어 상기 재치대상에 상기 패널이 정렬배치되지 않더라도 상기 레이저 가공유닛부를 제어하여 가공을 수행하는 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 로딩/언로딩부에는 상기 패널을 공기압을 이용하여 상기 회전테이블의 정지시간 동안 자동적으로 언로딩 및 로딩을 연속적으로 수행하는 2개의 아암이 달린 회전 자동 지그부가 연결되는 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 레이저 가공 유닛부는 펄스형 레이저 발진기와, 상기 펄스형 레이저 발진기로부터 레이저 빔을 집속하는 집속렌즈와, 상기 집속렌즈로부터 집속된 레이저 빔의 이송시키는 광섬유 케이블과, 상기 광섬유 케이블과 연결되어, 상기 패널상에 레이저 빔을 조사하는 스캐너 헤드를 포함하는 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서.
    상기 스캐너 헤드는 회전가능한 제 1 반사경과 회전가능한 제 2 반사경 및 이로부터 조사된 레이저 비임을 집속하는 집속렌즈를 더 포함하는 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 레이저 발진기의 출력은 20W이며, 펄스 진동수는 20 내지 500kWd인 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 레이저 발진기는 적외선 파장대를 사용하며, 펄스폭은 10 내지 50nm인 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 스캐너 헤드는 내부에 온도 센서 및 냉각기를 더 구비하여 상기 스캐너 헤드 내부 온도를 일정하게 유지하는 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 회전테이블은 200 내지 500 rpm으로 회전가능한 스탭 모터와 연결되는 레이저를 이용한 액정표시장치용 전극 트리밍 시스템.
  10. 레이저를 이용한 액정표시장치의 전극 트리밍 방법에 있어서,
    레이저 트리밍 장치를 회전테이블 상에 배치하는 단계와,
    상기 회전테이블 상에 제 1 사분면, 제 2 사분면, 제 3 사분면, 제 4 사분면으로 구성된 가상원을 가정하는 단계와,
    상기 제 1 사분면 상에서 유리기판의 로딩 및 언로딩을 수행하고, 상기 제 2 사분면 상에서 액정표시장치의 전극이 가공될 유리기판의 배치를 확인하고, 상기 제 3 사분면 상에서 상기 유리기판상에 전극을 레이저 트리밍 가공하고, 상기 제 4 사분면 상에서 레이저 트리밍 가공된 전극의 불량 여부를 검사하는 단계와,
    상기 회전테이블을 90°씩 회전시키는 단계와,
    상기 각각의 로딩/언로딩공정, 정렬공정, 레이저 가공공정, 검사 공정을 동기시키도록 제어하는 단계와,
    상기 재치대상에 상기 패널이 정렬배치되지 않더라도 상기 레이저 가공유닛부의 위치를 제어하여 트리밍 가공을 수행하는 단계를 포함하는 레이저를 이용한 액정표시장치의 전극 트리밍 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 2 사분면 상에서 액정표시장치의 전극이 가공될 유리기판의 배치를 확인하는 단계는 상기 액정표시장치의 패널 상의 소정의 마크에 대해서 가상 좌표를 (x y) 값으로 판독하고, (x, y)값의 π/2 위상 변화된 값을 제어부에 전달하는 레이저를 이용한 액정표시장치의 전극 트리밍 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 레이저 제어부는 상기 (x, y)값의 π/2 위상 변화된 값을 기준으로 전극 패턴 값을 보정 하여 전극 트리밍 가공하는 레이저를 이용한 액정표시장치의 전극 트리밍 방법.
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