KR100862637B1 - 광학식 검사 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 입체 형상이 형성된 검사 대상에 격자무늬를 투영시키고 그 측정물 형상에 따라 변형된 광을 기준 패턴과 비교하여 검사 대상의 결함 유무를 검사하는 광학식 검사 방법에 있어서,상기 검사 대상의 입체면의 정반사도를 낮춰 포화 영역이 감소하도록 조명 값을 조절하여 제 1 영상을 획득하는 단계와(S100),상기 검사 대상의 입체면 주변 영역에 격자무늬가 뚜렷하게 나타나도록 조명 값을 조절하여 제 2 영상을 획득하는 단계와(S200),상기 제 1 영상과 제 2 영상을 합성하는 단계(S300), 및상기 합성 영상 분석을 통해 검사 대상의 불량 유무를 판단하는 단계(S400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학식 검사 방법.
- 제 3항에 있어서,상기 제 1 영상과 제 2 영상을 획득하기 위한 조명 값 조절은 광량 조절을 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학식 검사 방법.
- 제 4항에 있어서,상기 제 1 영상은 상기 제 2 영상 획득에 조사되는 광량보다 적은 광량을 조사하여 획득하는 것을 특징으로 하는 광학식 검사 방법.
- 제 3항에 있어서,상기 제 1 영상과 제 2 영상을 획득하기 위한 조명 값 조절은 밴드 패스 필터를 이용하여 포화 영역을 감소시키는 것을 특징으로 하는 광학식 검사 방법.
- 제 6항에 있어서,상기 밴드 패스 필터는 컬러 필터 또는 편광 필터를 이용하는 것을 특징으로 하는 광학식 검사 방법.
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