KR100862340B1 - Linear evaporator for manufacturing thin film of organic light emitting diodes(oled) - Google Patents

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Abstract

A linear evaporator for manufacturing a thin film of OLED(Organic Light Emitting Diodes) is provided to form a uniform deposition layer by differentiating height of depositions of a deposition material from the center to an edge of a substrate. A linear evaporator for manufacturing a thin film of OLED includes a crucible(110), caps(140a,140b,140c), and a heating unit. The crucible has a rectangular shape, contains a deposition material, and includes openings for passing and evaporating the deposition material. Length of gaps between openings is controlled. The caps have cylindrical shapes, are inserted in and coupled to the opening respectively, and have through holes for passing the evaporated deposition material. The heating unit heats the crucible for evaporating the deposition material.

Description

유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원 {Linear evaporator for manufacturing thin film of Organic Light Emitting Diodes(OLED)}Linear evaporator for manufacturing thin film of organic light emitting diodes (OLED)}

본 발명은 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적 기판에 대하여 균일한 증착이 이루어지도록 함과 동시에 유기물의 사용 효율을 높이는 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원에 관한 것이다.The present invention relates to a linear evaporation source for fabricating an organic light emitting device thin film, and more particularly, to a linear evaporation source for fabricating an organic light emitting device thin film to improve the use efficiency of organic materials and to achieve uniform deposition on a large area substrate. It is about.

인터넷이 광범위하게 사용되면서, 이에 관련된 데이터 처리, 애플리케이션, 데이터 전송 등의 기술이 급속도로 발전하고 있다. 이에 따라, 디지털 데이터 전송 속도는 빠르게 증가하고 있으며, 자연히 그에 상응하는 응답 속도로 동화상 등을 구현할 수 있는 디스플레이 소자의 개발이 필수적으로 요구되고 있다.With the widespread use of the Internet, technologies related to data processing, applications and data transfer are rapidly developing. Accordingly, the digital data transmission speed is rapidly increasing, and the development of a display device capable of naturally realizing a moving image or the like at a corresponding response speed is indispensable.

유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes, OLED)는 유기 다이오드, 유기 EL이라고도 하며, 현재 빠른 응답속도 이외에도 기존의 액정보다 소비 전력이 작고, 가벼우며 초박형으로 만들 수 있고, 휘도가 매우 좋은 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이로 각광 받고 있다.Organic Light Emitting Diodes (OLEDs) are also called organic diodes and organic ELs.In addition to the fast response speed, they also have the advantages of smaller power consumption, lighter and thinner than conventional liquid crystals, and very good brightness. It is in the spotlight as the next generation display.

일반적으로, 유기 발광 소자를 제조하는 방법은 저분자 물질을 진공 중에 증 발시켜 제조하는 방법과, 고분자 물질을 용제에 녹여서 스핀 코팅(spin coating)하는 방법이 알려져 있다.Generally, a method of manufacturing an organic light emitting device is known by evaporating a low molecular material in a vacuum, and a method of spin coating by dissolving a high molecular material in a solvent.

이 같은 방법 중에서, 고진공에서 박막을 제작하는 저분자 유기 발광 소자 제조 방법은, 고진공의 챔버 내 상부에는 기판이 설치되고 하부에는 증발원이 설치되어 증발원에 담긴 증착 물질을 가열하여 증착 물질이 증발되도록 하여 기체가 고진공에서 상승하여 기판에 닿게 되면 응고되면서 기판 상에 박막을 형성한다.Among these methods, a low molecular weight organic light emitting device manufacturing method for manufacturing a thin film in high vacuum, the substrate is installed in the upper chamber and the evaporation source is installed in the lower chamber to heat the deposition material contained in the evaporation source to vaporize the vapor deposition material Rises in high vacuum and contacts the substrate to solidify to form a thin film on the substrate.

이와 같은 박막 제작에는 유기 물질 증발원이 이용된다. 특히, 생산성 향상을 위해 대면적 기판을 사용할 경우, 대면적 박막의 균일도가 확보되도록 선형 증발원이 필요하게 된다. 이때, 대면적 기판이 챔버 내에서 움직이거나, 선형 증발원이 움직이면서 기판의 전면적에 대해서 증착이 이루어진다.Organic material evaporation source is used for such a thin film manufacture. In particular, when a large area substrate is used to improve productivity, a linear evaporation source is required to ensure uniformity of the large area thin film. At this time, the large-area substrate is moved in the chamber, or the linear evaporation source is moved to deposit the entire area of the substrate.

증착 공정에서 가장 중요하게 고려되어야 할 사항은 증착 물질의 균일도와 더불어 증착 물질의 사용 효율이다. 그러나, 이러한 선형 증발원을 사용할 때에는 증착시킬 유기 물질의 사용 효율이 떨어진다는 문제점이 있다. 유기 물질이 고가임을 감안할 때 그 사용 효율을 높이는 것이 중요하다.The most important consideration in the deposition process is the uniformity of the deposition material and the efficiency of use of the deposition material. However, when using such a linear evaporation source there is a problem that the use efficiency of the organic material to be deposited is low. Given that organic materials are expensive, it is important to increase their use efficiency.

도 1은 종래의 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원을 나타낸 사시도이고, 도 2는 종래의 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원을 나타낸 종단면도이다.1 is a perspective view showing a linear evaporation source for manufacturing a conventional organic light emitting device thin film, Figure 2 is a longitudinal cross-sectional view showing a linear evaporation source for manufacturing a conventional organic light emitting device thin film.

공정이 이루어지는 챔버의 하부에 선형 증발원(20)이 놓여져 도가니(21)에서 증착 물질(23)이 증발되며 상부에 있는 기판(10)의 전면적에 대하여 증착이 이루어진다. 종래의 선형 증착원(20)의 경우, 증착 물질(23)이 증발될 때 기판(10)의 가 장자리 부분은 중앙부에 비해서 증발된 기체의 중첩되는 부분이 적기 때문에 박막의 균일도가 기판(10)의 중앙부보다 가장자리 부분에서 현저하게 작아지는 문제를 해결하기 위해 각 개구부(22a~22c)의 높이를 다르게 하였다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 도가니(21)의 중앙부에 형성된 개구부(22a)의 경우 가장 낮게, 가장자리로 갈수록 점점 높게 개구부(22b, 22c)를 형성하였다.The linear evaporation source 20 is placed at the bottom of the chamber where the process is performed, and the deposition material 23 is evaporated from the crucible 21 and the deposition is performed on the entire surface of the substrate 10 thereon. In the case of the conventional linear deposition source 20, when the deposition material 23 is evaporated, since the edge portion of the substrate 10 has fewer overlapping portions of the evaporated gas than the central portion, the uniformity of the thin film is reduced to the substrate 10. The heights of the openings 22a to 22c were varied in order to solve the problem of being significantly smaller at the edge portion than at the center portion of the back plate). That is, as illustrated in FIG. 1, the openings 22a formed at the center of the crucible 21 are the lowest, and the openings 22b and 22c are gradually formed toward the edges.

그러나, 종래의 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원(20)은 다음과 같은 문제점이 있다.However, the conventional linear evaporation source 20 for manufacturing the organic light emitting device thin film has the following problems.

도가니(21)에 개구부(22)의 높이를 다르게 조절하고자 단차를 두었는데, 높이가 높은 가장자리 부분의 개구부(22c)로 갈수록 열전달이 저하되어 개구부(22c)의 온도가 증착 물질(23)이 증발되는 도가니(21)에 비해 낮으므로 증착 물질(23)이 개구부(22c) 주변에 굳는 형상이 발생하여 개구부(22c)가 막히는 문제점이 있었다.A step was placed in the crucible 21 to adjust the height of the opening 22 differently, but the heat transfer was lowered toward the opening 22c of the high edge portion, so that the temperature of the opening 22c evaporated. Since it is lower than the crucible 21 to be formed, there is a problem in that the deposition material 23 is hardened around the opening 22c and the opening 22c is blocked.

또한, 이러한 문제를 해결하기 위해 선형 증착원에서 가장자리 부분의 개구부(22c)를 넓게 하고 중앙부의 개구부(22a)는 좁게 하는 등 선형 증착원의 개구부(22)의 면적과 간격에 변화를 주었다. 그러나, 기판(10)의 가장자리 부분의 막 균일도를 향상시키기 위해 개구부(22)의 면적과 간격을 분석하여 조정하기가 쉽지 않은 문제점이 있었다.In addition, in order to solve such a problem, the area and the spacing of the opening 22 of the linear deposition source were changed, such as widening the opening portion 22c of the edge portion and narrowing the opening portion 22a of the center portion of the linear deposition source. However, in order to improve film uniformity of the edge portion of the substrate 10, there is a problem that it is not easy to analyze and adjust the area and the gap of the opening 22.

본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 고안된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 증착막의 균일도를 향상시킴과 동시에 유기 물질의 사용의 효율성을 향상시키기 위한 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원을 제공하는 것이다.The present invention is designed to improve the above problems, the technical problem to be achieved by the present invention provides a linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film for improving the uniformity of the deposited film and at the same time improve the efficiency of the use of organic materials. It is.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Technical problem of the present invention is not limited to those mentioned above, another technical problem that is not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원은, 상방으로 개방되고 일렬로 배치된 복수의 개구부를 상면에 구비하고, 내부에는 증착 물질을 담는 도가니와, 상기 도가니를 가열하는 가열부 및 상기 증착 물질이 통과되도록 하는 관통홀을 가지고, 상기 복수의 개구부 각각에 삽입 고정되는 복수의 캡을 포함한다.In order to achieve the above object, the linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film according to an embodiment of the present invention, the upper surface has a plurality of openings arranged in a row and arranged in a line, and the crucible containing a deposition material therein; And a plurality of caps having a heating unit for heating the crucible and a through hole for allowing the deposition material to pass therethrough and being inserted into and fixed to each of the plurality of openings.

상기한 바와 같은 본 발명의 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.According to the linear evaporation source for manufacturing the organic light emitting device thin film of the present invention as described above has one or more of the following effects.

첫째, 도가니의 각 개구부의 높이는 같게 하는 대신 높이가 다른 캡을 설치함으로써 개구부 주변에 증착 물질이 굳는 현상을 방지하여 증착 물질의 사용 효율 을 높일 수 있다.First, instead of making the height of each opening of the crucible the same, by installing a cap having a different height, it is possible to prevent the deposition material from hardening around the opening, thereby increasing the use efficiency of the deposition material.

둘째, 기판 중앙부로부터 가장자리까지 증착 물질이 증착되는 높이를 다르게 함으로써 대면적 기판에 대하여 균일한 증착막을 형성할 수 있다.Second, by varying the height at which the deposition material is deposited from the center portion of the substrate to the edge, a uniform deposition film can be formed on the large area substrate.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원을 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings for explaining a linear evaporation source for fabricating an organic light emitting device thin film according to embodiments of the present invention.

도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원을 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원을 나타낸 종단면도이다.3 is a perspective view showing a linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a longitudinal sectional view showing a linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film of FIG.

본 발명의 일실시예에 따른 유기 발광 소자 제작을 위한 선형 증발원(100) 은, 도가니(110)와 캡(140)과 가열부(도시되지 않음)를 포함한다.The linear evaporation source 100 for manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention includes a crucible 110, a cap 140, and a heating unit (not shown).

도가니(110)는 내부에 증착 물질(130)을 담는 것으로 상면은 개방되어 일렬로 배치된 복수의 개구부(120)가 형성되어 있다. 또한, 도가니(110)의 측면과 하면은 닫혀 있다.The crucible 110 contains the deposition material 130 therein, and the upper surface of the crucible 110 has a plurality of openings 120 arranged in a row. In addition, the side and bottom of the crucible 110 is closed.

일반적으로 도가니(110)는 대략 기다란 직사각형의 형상을 가지게 된다. 도가니(110)의 길이는 기판(10)의 폭을 포함할 수 있을 정도로 약간 크게 형성하는 것이 바람직하다. 복수의 개구부(120)는 가열된 증착 물질(130)이 증발하여 통과하는 곳으로 후술할 복수의 캡(140)을 삽입하게 된다.In general, the crucible 110 has an approximately long rectangular shape. The length of the crucible 110 is preferably formed to be slightly large enough to include the width of the substrate 10. The plurality of openings 120 insert a plurality of caps 140 to be described later where the heated deposition material 130 evaporates and passes.

한편, 개구부(120) 사이의 간격은 조절이 가능하다.On the other hand, the gap between the opening 120 is adjustable.

도 5는 도 3의 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원에서 개구부 사이의 간격을 조절한 상태를 나타낸 종단면도이다.5 is a longitudinal cross-sectional view illustrating a state in which a gap between openings is adjusted in a linear evaporation source for manufacturing the organic light emitting diode thin film of FIG. 3.

바람직하게는, 개구부(120) 사이의 간격은 도가니(110)의 중앙부에서부터 가장자리로 갈수록 점점 더 좁게 형성될 수 있다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 도가니(110)의 중앙부에 형성된 개구부(120a)와 인접한 개구부(120b) 사이의 간격(d1)보다, 도가니(110)의 가장자리에 형성된 개구부(120c)와 인접한 개구부(120b) 사이의 간격(d2)를 더 좁게 형성할 수 있다. 이는 기판(10)의 가장자리로 갈수록 개구부(120)의 간격을 좁게 형성함에 따라 결국은 캡(140)에 형성된 관통홀의 간격이 좁게 형성되므로, 증발된 증착 물질(130)이 중첩되는 부분을 넓게 형성함으로써 기판(10)의 전면적에 대하여 균일한 증착막을 형성할 수 있기 때문이다.Preferably, the interval between the openings 120 may be formed narrower toward the edge from the center of the crucible 110. That is, as shown in FIG. 5, the opening 120c formed at the edge of the crucible 110 is closer to the gap d1 between the opening 120a formed at the center of the crucible 110 and the adjacent opening 120b. The gap d2 between the openings 120b may be further narrowed. As the gap between the openings 120 is narrower toward the edge of the substrate 10, the gap between the through holes formed in the cap 140 is narrower, and thus, the portion where the evaporated deposition material 130 overlaps is formed wider. This is because a uniform vapor deposition film can be formed with respect to the entire surface of the substrate 10.

도가니(110)의 외부에는 도가니(110)를 가열하여 증착 물질(130)을 증발시키 는 가열부(도시되지 않음)가 존재한다. 바람직하게는 가열부로는 커버 히터 또는 열선을 사용할 수 있다.Outside the crucible 110, there is a heating unit (not shown) for heating the crucible 110 to evaporate the deposition material 130. Preferably, a cover heater or a heating wire may be used as the heating unit.

복수의 캡(140)은 도가니(110) 상면에 형성된 각각의 개구부(120)에 삽입 고정된다.The plurality of caps 140 are inserted into and fixed to respective openings 120 formed on the upper surface of the crucible 110.

캡(140)은 대략 원통형의 형상을 가지며 내부에는 증발한 증착 물질(130)이 통과할 수 있도록 관통홀이 형성되어 있다. 캡(140)의 하단에는 도가니(110) 상면에 형성된 각각의 개구부(120)에 삽입 고정시킬 수 있도록 고정단이 형성될 수 있다. 캡(140)은 나사 체결 등에 의해서 각각의 개구부(120)에 결합될 수 있다.The cap 140 has a substantially cylindrical shape and a through hole is formed therein so that the evaporated deposition material 130 can pass therethrough. A fixing end may be formed at the lower end of the cap 140 to be inserted into and fixed to each opening 120 formed on the upper surface of the crucible 110. The cap 140 may be coupled to each opening 120 by screwing or the like.

바람직하게는 복수의 캡(140)의 높이는 도가니(110)의 중앙부에서부터 가장자리로 갈수록 점점 더 높게 형성된다. 각각의 캡(140)에 형성된 관통홀로부터 증발된 증착 물질(130)은 방사형으로 퍼져 나가기 때문에, 증착 물질(130)이 증발되어 퍼져나가는 지점으로부터 기판(10)까지 거리가 가까운 경우는 좁은 지역에 증착 물질(130)이 기판(10)에 도달하게 된다. 같은 양의 증착 물질(130)이 증발하여 더 좁은 지역에 증착 물질(130)이 도달하므로 기판(10)의 단위 면적당 도달하는 증착 물질(130)의 양은 거리가 가까운 경우 더 많아지게 된다. 즉, 도가니(110)의 중앙부에서부터 가장자리로 갈수록 캡(140)에 형성된 관통홀로부터 기판(10) 사이의 수직 거리가 짧아지게 되어 증발한 증착 물질(130)이 중첩되는 부분은 적으나, 기판(10)에 도달하는 단위 면적당 증착 물질(130)의 양은 많아지게 된다. 따라서, 기판(10)의 중앙부에서부터 가장자리까지 전 부분에 균일한 증착막을 형성할 수 있게 된다.Preferably, the height of the plurality of caps 140 is formed higher and higher toward the edge from the center of the crucible 110. Since the evaporation material 130 evaporated from the through-holes formed in each cap 140 is radially spread out, when the distance from the point where the evaporation material 130 evaporates and spreads is close to the substrate 10, The deposition material 130 reaches the substrate 10. Since the same amount of deposition material 130 evaporates and the deposition material 130 reaches a narrower area, the amount of the deposition material 130 reaching per unit area of the substrate 10 becomes larger when the distance is close. That is, the vertical distance between the substrate 10 and the through hole formed in the cap 140 becomes shorter from the center portion of the crucible 110 to the edge so that the portion of the evaporated deposition material 130 overlaps, but the substrate ( The amount of deposition material 130 per unit area reaching 10 increases. Accordingly, it is possible to form a uniform deposition film on the entire portion from the center portion to the edge of the substrate 10.

종래에는 도가니(110)에 개구부(120)의 높이를 다르게 조절하고자 단차를 두었는데, 개구부(120)의 높이가 높은 가장자리 부분으로 갈수록 열전달이 저하되어 개구부(120)의 온도가 증착 물질(130)이 증발되는 도가니(110)에 비해 낮으므로 증착 물질(130)이 개구부(120) 주변에 굳는 형상이 발생하여 개구부(120)가 막히는 문제점이 있었다.Conventionally, a step is placed in the crucible 110 to adjust the height of the opening 120 differently, but the heat transfer decreases toward the edge portion of which the height of the opening 120 is high, so that the temperature of the opening 120 is deposited. Since the evaporation crucible 110 is lower than the evaporation crucible 110, a shape in which the evaporation material 130 is hardened occurs around the opening 120, and thus the opening 120 is blocked.

그러나, 본 발명의 일실시예에 따른 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원(100)에 의하면, 도가니(110)의 개구부(120)의 높이는 같게 하는 대신 높이가 다른 캡(140)을 설치함으로써 개구부(120) 주변에 증착 물질(130)이 굳는 현상을 방지하여 증착 물질(130)의 사용 효율을 높일 수 있다. 또한, 종래 기술과 같이, 도가니(110)의 중앙부에서부터 가장자리로 갈수록 도가니(110)로부터 증발된 증착 물질(130)이 퍼져나가는 높이가 높아지므로 대면적 기판(10)에 대하여 균일한 증착막을 형성할 수 있게 된다.However, according to the linear evaporation source 100 for manufacturing the organic light emitting device thin film according to an embodiment of the present invention, the openings 120 by installing the cap 140 having a different height instead of the same height of the opening 120 of the crucible 110 The use of the deposition material 130 may be improved by preventing the deposition material 130 from being hardened around the 120. In addition, as in the related art, since the evaporation material 130 evaporated from the crucible 110 is increased from the center to the edge of the crucible 110, a uniform deposition film may be formed on the large-area substrate 10. It becomes possible.

한편, 각각의 캡(140)에 형성된 관통홀의 직경은 캡(140)의 위치에 따라 조절이 가능하다.On the other hand, the diameter of the through hole formed in each cap 140 can be adjusted according to the position of the cap 140.

도 6은 도 3의 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원에서 관통홀의 직경을 조절한 상태를 나타낸 종단면도이다.6 is a longitudinal cross-sectional view illustrating a state in which a diameter of a through hole is adjusted in a linear evaporation source for manufacturing the organic light emitting diode thin film of FIG. 3.

바람직하게는, 관통홀의 직경은 도가니(110)의 중앙부에서부터 가장자리로 갈수록 점점 더 크게 형성될 수 있다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이, 도가니(110)의 중앙부에 설치된 캡(140a)의 경우 가장 직경을 작게, 도가니(110)의 가장자리에 설치된 캡(140c)의 경우 가장 직경을 크게 형성할 수 있다. 이는 기판(10)의 가장 자리로 갈수록 관통홀의 직경을 크게 형성함으로써 증착 물질(130)을 많이 증발시켜 중첩되는 부분을 넓게 형성함으로써 기판(10)의 전면적에 대하여 균일한 증착막을 형성할 수 있기 때문이다.Preferably, the diameter of the through hole may be formed to be larger toward the edge from the center of the crucible 110. That is, as shown in FIG. 6, the cap 140a installed at the center of the crucible 110 may have the smallest diameter, and the cap 140c installed at the edge of the crucible 110 may have the largest diameter. have. This is because since the diameter of the through hole increases toward the edge of the substrate 10, the deposition material 130 may be evaporated a lot, thereby forming a portion overlapping with each other, thereby forming a uniform deposition film with respect to the entire area of the substrate 10. to be.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the linear evaporation source for producing an organic light emitting device thin film according to the present invention configured as described above are as follows.

공정이 이루어지는 챔버의 하부면에 선형 증발원(100)이 설치된다. 도가니(110)는 가열부에 의해 균일하게 가열되어 증착 물질(130)을 증발시킨다. 공정 챔버(도시되지 않음)의 상부에는 기판(10)이 위치하여 아래 선형 증발원(100)으로부터 증발된 증착 물질(130)이 증발되어 증착이 이루어진다.The linear evaporation source 100 is installed on the lower surface of the chamber in which the process is performed. The crucible 110 is uniformly heated by the heating unit to evaporate the deposition material 130. The substrate 10 is positioned above the process chamber (not shown) so that the deposition material 130 evaporated from the lower linear evaporation source 100 is evaporated to be deposited.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 개구부(120)에 삽입 고정되는 복수의 캡(140)의 높이는 도가니(110)의 중앙부에서부터 가장자리로 갈수록 점점 더 높게 형성되어 있다. 따라서, 도가니(110)의 중앙부로부터 가장자리로 갈수록 도가니(110)로부터 증발된 증착 물질(130)이 퍼져나가는 높이가 높아지므로 기판(10)의 전면적에 대하여 균일한 증착막을 형성할 수 있다.As shown in FIGS. 3 and 4, the heights of the plurality of caps 140 inserted into and fixed to the respective openings 120 are formed higher and higher toward the edges from the center of the crucible 110. Therefore, since the deposition material 130 evaporated from the crucible 110 increases in height from the center portion to the edge of the crucible 110, a uniform deposition film may be formed with respect to the entire surface of the substrate 10.

또한, 도가니(110)에 개구부(120)의 높이를 다르게 조절하고자 단차를 주지 않으므로, 증착 물질(130)이 개구부(120) 주변에 굳는 현상이 발생하지 않아 개구부(120)가 막히는 문제점을 막을 수 있어 증착 물질(130)의 사용 효율을 높일 수 있다.In addition, since the step is not given to adjust the height of the opening 120 to the crucible 110 differently, the deposition material 130 does not harden around the opening 120, thereby preventing the opening 120 from being blocked. Therefore, the use efficiency of the deposition material 130 may be increased.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다 는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and the equivalent concept are included in the scope of the present invention. Should be interpreted.

도 1은 종래의 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a linear evaporation source for manufacturing a conventional organic light emitting device thin film.

도 2는 종래의 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원을 나타낸 종단면도이다.Figure 2 is a longitudinal sectional view showing a linear evaporation source for manufacturing a conventional organic light emitting device thin film.

도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원을 나타낸 사시도이다.3 is a perspective view showing a linear evaporation source for fabricating an organic light emitting device thin film according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원을 나타낸 종단면도이다.4 is a longitudinal cross-sectional view illustrating a linear evaporation source for fabricating the organic light emitting device thin film of FIG. 3.

도 5는 도 3의 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원에서 개구부 사이의 간격을 조절한 상태를 나타낸 종단면도이다.5 is a longitudinal cross-sectional view illustrating a state in which a gap between openings is adjusted in a linear evaporation source for manufacturing the organic light emitting diode thin film of FIG. 3.

도 6은 도 3의 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원에서 관통홀의 직경을 조절한 상태를 나타낸 종단면도이다.6 is a longitudinal cross-sectional view illustrating a state in which a diameter of a through hole is adjusted in a linear evaporation source for manufacturing the organic light emitting diode thin film of FIG. 3.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

10: 기판10: Substrate

100: 선형 증발원 110: 도가니100: linear evaporation source 110: crucible

120: 개구부 130: 증착 물질120: opening 130: deposition material

140: 캡140: cap

Claims (5)

상방으로 개방되고 일렬로 배치된 복수의 개구부를 상면에 구비하고, 내부에는 증착 물질을 담는 도가니;A crucible for holding a vapor deposition material therein, the upper surface having a plurality of openings arranged upwardly and arranged in a line; 상기 도가니를 가열하는 가열부; 및A heating unit for heating the crucible; And 상기 증착 물질이 통과되도록 하는 관통홀을 가지고, 상기 복수의 개구부 각각에 삽입 고정되는 복수의 캡을 포함하는 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원.And a plurality of caps having through holes through which the deposition material passes, and including a plurality of caps inserted into and fixed to each of the plurality of openings. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 캡의 높이는 상기 도가니의 중앙부에서부터 가장자리로 갈수록 점점 더 높게 형성되는 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원.The height of the plurality of caps is a linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film is formed increasingly higher toward the edge from the center of the crucible. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 개구부 사이의 간격은 상기 도가니의 중앙부에서부터 가장자리로 갈수록 점점 더 좁게 형성되는 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원.The interval between the openings is a linear evaporation source for manufacturing an organic light-emitting device thin film is formed narrower gradually from the center to the edge of the crucible. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 관통홀의 직경은 상기 도가니의 중앙부에서부터 가장자리로 갈수록 점점 더 크게 형성되는 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원.The diameter of the through hole is a linear evaporation source for manufacturing an organic light-emitting device thin film is formed to become larger from the central portion of the crucible toward the edge. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가열부는 커버 히터 또는 열선인 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원.The heating unit is a linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film which is a cover heater or a heating wire.
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