KR101150388B1 - Heater fixing device of evaporating source - Google Patents

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KR101150388B1
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fixing
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crucible
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이문용
김민석
김숙한
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지제이엠 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A heater fixing device of an evaporation source for an OLED deposition process is provided to install a heater holding part on a heater fixing ring plate, thereby preventing damage of a heater. CONSTITUTION: A heater fixing ring plate(50) is respectively fixed on the upper and lower outer parts of a crucible. The heater fixing ring plate is formed into two layers. A heater holding part(60) is combined with the heater fixing ring plate. The heater is fixed with the upper and lower sides of a holding groove(61) of the heater holding part. A fixing protrusion and a fixing groove are inserted into an insertion groove and an insertion protrusion formed on the heater fixing ring plate.

Description

ＯＬＥＤ 증착공정용 증발원의 히터 고정장치{Heater fixing device of evaporating source}Heater fixing device of evaporating source for OLD deposition process

본 발명은 증발원을 이용하여 넓은 면적을 갖는 차세대 디스플레이인 OLED(Organic Light Emitting Diode)소자에 균일하게 유기박막을 증착시킬 수 있도록 함에 있어서, 증발원의 도가니에 채워진 유기재료를 가열시키는 히터를 간단히 고정 설치할 수 있도록 하는 OLED 증착공정용 증발원의 히터 고정장치에 관한 것이다.In the present invention, it is possible to uniformly deposit an organic thin film on an OLED (Organic Light Emitting Diode) device, which is a next-generation display having a large area by using an evaporation source, and simply installs a heater for heating the organic material filled in the crucible of the evaporation source. The present invention relates to a heater fixing device for an evaporation source for an OLED deposition process.

OLED(Organic Light Emitting Diode) 소자는 자발 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시소자로써 주목받고 있으며, 일반적인 OLED(Organic Light Emitting Diode) 소자는 기판 상부에 소정패턴의 양극층이 형성되어 있고 이 양극층 상부에는 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층이 순차적으로 형성되고, 상기 전자 수송층의 상면에는 상기 양극층과 직교하는 방향으로 소정 패턴의 음극층이 형성되어 있게 되고, 상기 홀 수송층, 발광층 및 전자 수송층은 유기 화합물로 이루어진 유기박막들이다.OLED (Organic Light Emitting Diode) device is a spontaneous light emitting display device and has attracted attention as a next generation display device because of its advantages of wide viewing angle, excellent contrast and fast response speed. An anode layer having a predetermined pattern is formed on the substrate, and a hole transporting layer, a light emitting layer, and an electron transporting layer are sequentially formed on the anode layer, and a cathode layer having a predetermined pattern in a direction orthogonal to the anode layer on the upper surface of the electron transporting layer. And the hole transporting layer, the light emitting layer, and the electron transporting layer are organic thin films made of an organic compound.

기존의 증발원은 도 1에 도시된 바와 같이 반사체(11)의 내측으로 베이스 플레이트(12)에 도가니(10)가 고정되고, 상기 도가니(10)의 외측으로 가열을 위한 히터(20)가 설치되게 되나 상기 히터(20)는 도가니(10)의 상부와 하측에 고정된 히터 고정원판(30)에 끼워져 고정되게 된다.In the conventional evaporation source, as shown in FIG. 1, the crucible 10 is fixed to the base plate 12 inside the reflector 11, and a heater 20 for heating to the outside of the crucible 10 is installed. However, the heater 20 is fitted to the heater fixing disc 30 fixed to the upper and lower sides of the crucible 10 to be fixed.

히터 고정원판(30)은 도 2와 같이 내부에 도가니(10)가 끼워지기 위한 구멍(31)이 형성되는 한편 외측으로 히터(20)가 끼워지기 위한 홈(32)이 형성되는 것으로, 상기 고정원판(30)의 홈(32)에는 도 3 및 도 4와 같이 히터(20)가 끼워져 고정되게 된다.As shown in FIG. 2, the heater fixing disc 30 has a hole 31 for fitting the crucible 10 therein and a groove 32 for fitting the heater 20 to the outside. The heater 20 is fitted into and fixed to the groove 32 of the disc 30 as shown in FIGS. 3 and 4.

이와 같이 유기재료를 가열하기 위한 히터(20)는 도가니(10)의 외측 상하측으로 설치된 히터 고정원판(30)의 홈(32)에 끼워져 설치되는 것으로, 히터(20)가 마치 바늘구멍에 실을 꿰듯이 히터 고정원판(30)의 홈(32)에 끼워지게 되어 히터(20)의 고정이 쉽지 않으며, 특히 히터 고정원판(30)의 하측에서 홈(32)을 향하여 상측으로 끼워진 후 다시 홈(32)을 통하여 하측으로 히터(20)를 끼우게 되면, 히터(20)가 거의 직각으로 꺾이는 형태가 되므로, 히터(20)를 끼워 고정시키기가 어려움은 물론 히터(20)가 손상되는 원인이 되고 있다.In this way, the heater 20 for heating the organic material is inserted into the groove 32 of the heater fixing disc 30 provided above and below the crucible 10. Since it is fitted into the groove 32 of the heater fixing disc 30, the fixing of the heater 20 is not easy, and in particular, the groove 20 is inserted upward from the lower side of the heater fixing disc 30 toward the groove 32 and then the groove ( When the heater 20 is inserted downward through the 32, the heater 20 is almost bent at a right angle, so that it is difficult to fix the heater 20 and the heater 20 may be damaged. have.

즉, 기존의 증발원에서 히터(20)는 원반형의 히터 고정원판(30)에 형성된 홈(32)을 이용하여 고정시키게 되는 것으로, 홈(32)에 히터(20)를 끼워주는 작업이 쉽지 않음은 물론 히터(20)가 꺾이는 현상이 발생하여 히터(20)가 바로 끊어지거나 균일한 온도로 가열시키지 못하는 원인이 되는 것이었다.That is, in the conventional evaporation source, the heater 20 is fixed by using the groove 32 formed in the disc-shaped heater fixing disk 30, and it is not easy to fit the heater 20 into the groove 32. Of course, the phenomenon in which the heater 20 is bent occurs, which causes the heater 20 to be immediately disconnected or not heated to a uniform temperature.

본 발명은 증발원의 도가니에 채워진 유기재료를 가열하기 위하여 도가니의 외측으로 히터를 고정시킴에 있어서, 도가니의 상하측에 끼워져 고정되게 히터 고정원판을 설치한 후 상기 히터 고정원판에 형성된 홈을 이용하여 히터를 고정시키는 경우 히터를 홈에 끼워주어야 하는 불편을 없애도록 하는 것으로, 히터를 홈에 끼우지 않고 고리를 이용하여 걸어주도록 하는 것이다.The present invention in fixing the heater to the outside of the crucible to heat the organic material filled in the crucible of the evaporation source, by using a groove formed in the heater fixing disc after installing the heater fixing disc to be fixed to the upper and lower sides of the crucible When fixing the heater to eliminate the inconvenience that the heater must be inserted into the groove, the heater is to be hooked using a loop without inserting the groove.

본 발명은 도가니의 외측 상하측으로 원반형의 히터 고정원판을 고정시키되 상기 히터 고정원판에는 히터를 끼우지 않고 걸어주게 되는 히터 걸음구를 끼워서 형성하거나 일체로 형성함으로써 이루어지는 것으로, 히터를 설치할 때 히터 걸음구에 히터를 걸어주는 형태로 간단히 설치할 수 있도록 하는 한편 히터가 꺾이지 않고 설치될 수 있도록 하는 것이다.The present invention is formed by fixing the disk-shaped heater fixing disk to the outer side of the crucible to the heater fixing disk is formed by inserting or integrally formed in the heater fixing hole to be walked without inserting the heater, the heater mounting hole when installing the heater The heater can be installed simply by hanging, while the heater can be installed without bending.

본 발명은 증발원의 히터를 히터 고정원판에 설치함에 있어서, 히터 고정원판에 히터 걸음구를 설치하여 히터를 히터 걸음구에 걸어줌으로써 히터의 설치가 완성되는 것으로, 히터의 설치 시간과 노력이 크게 줄어들고, 특히 히터를 걸어주는 곳에서 히터가 꺾이지 않은 채로 걸리게 되므로, 히터가 손상되거나 열이 집중되어 발생되는 경우를 없애게 된다.According to the present invention, in installing the heater of the evaporation source on the heater fixing disc, the heater is installed on the heater fixing disc and the heater is hooked to the heater pacer to complete the installation of the heater, thereby greatly reducing the installation time and effort of the heater. In particular, since the heater is caught without being bent at the place where the heater is placed, the heater is damaged or the heat is concentrated.

도 1은 기존 증발원의 단면도
도 2는 기존 증발원의 히터 고정원판 사시도
도 3은 기존 증발원의 히터 고정 상태를 보인 사시도
도 4는 기존 증발원의 히터 고정 상태를 보인 단면도
도 5는 본 발명의 히터 고정원판을 보인 사시도
도 6은 본 발명의 히터 고정원판의 요부 확대 단면도
도 7은 본 발명의 히터 걸음구 분리상태 단면도
도 8은 본 발명의 히터 걸음구 결합상태 단면도
도 9는 본 발명의 히터 걸음구에 히터가 걸린 상태를 보인 측단면도
도 10은 본 발명 히터 걸음구 사용상태 사시도
도 11은 본 발명 히터 걸음구 사용상태 요부 확대도
도 12는 본 발명의 히터 걸음구 실시예 사시도
도 13은 본 발명의 히터 걸음구 실시예 요부 확대 사시도
도 14는 본 발명의 히터 걸음구 다른 실시예 사시도
도 15는 본 발명의 히터 걸음구 다른 실시예 요부 확대도
도 16은 본 발명의 히터 걸음구 다른 실시예 사시도
도 17은 본 발명의 히터 고정 상태의 설명도1 is a cross-sectional view of an existing evaporation source
2 is a perspective view of the heater fixing disc of the existing evaporation source
3 is a perspective view showing a fixed state of the heater of the existing evaporation source
4 is a cross-sectional view showing a fixed state of the heater of the existing evaporation source
5 is a perspective view showing a heater fixing disc of the present invention;
Figure 6 is an enlarged cross-sectional view of the main portion of the heater fixing disk of the present invention.
7 is a cross-sectional view of the heater step opening state of the present invention
8 is a cross-sectional view of the heater step opening state of the present invention
Figure 9 is a side cross-sectional view showing a state in which the heater is caught in the heater step opening of the present invention.
10 is a perspective view of the use of the heater stepping device of the present invention
11 is an enlarged view of the main portion of the heater step of the present invention use state
12 is a perspective view of a heater step embodiment of the present invention
Figure 13 is an enlarged perspective view of the heater step example embodiment of the present invention
14 is a perspective view of another embodiment of the heater step of the present invention
15 is an enlarged view of another embodiment of the heater step of the present invention
16 is a perspective view of another embodiment of the heater step of the present invention
17 is an explanatory diagram of a heater fixing state of the present invention.

본 발명은 진공챔버에서 유기재료를 증발시키는 증발원에서 도가니에 채워진 유기재료를 가열시키는 히터를 간단하면서도 히터가 손상되지 않도록 설치하는 것으로, 히터를 고정시키기 위한 히터 고정원판에 걸음구를 형성하여 히터를 간단히 걸어줄 수 있도록 하는 것이다.The present invention is to install a heater for heating the organic material filled in the crucible from the evaporation source for evaporating the organic material in the vacuum chamber so as not to damage the heater, to form a foot opening in the heater fixing plate for fixing the heater It's just a walk away.

본 발명은 히터 고정원판에 걸음구를 끼워서 고정시키거나 환형으로 걸음구를 고정원판과 일체로 형성시킴으로써 히터를 고정시킬 때 걸음구에 히터를 걸어줄 수 있도록 하여 간편하게 히터의 설치가 이루어지는 한편 히터의 교체 작업도 간편하게 이루어지도록 하는 것이다.According to the present invention, the heater is fixed by inserting the stepping hole into the fixing plate or the annular stepping plate is formed integrally with the fixing disc so that the heater can be hung on the stepping hole when fixing the heater. The replacement is also easy.

본 발명의 히터 고정원판은 내측으로 도가니가 끼워지기 위한 구멍이 형성되고, 외측으로 걸음구가 환형으로 끼워져 형성되거나 걸음구가 일체로 형성되는 것으로, 히터를 걸음구에 걸어주어 기존과 같이 홈에 끼워주는 형태로 히터를 고정시키는 방식에 비하여 히터 고정이 간편하고 히터가 꺾이지 않은 채로 설치가 가능한 것이다.The heater fixing disc of the present invention is formed with a hole into which the crucible is fitted inward, and a stepping hole is formed in an annular shape to the outside, or a stepping hole is integrally formed. The fixing of the heater is simpler than the method of fixing the heater in the form of fitting, and the heater can be installed without bending.

이하 본 발명을 첨부된 실시예 도면에 의거 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 도가니(10)의 외측으로 상하측에 설치되는 히터 고정원판(50)에 관한 것으로, 상기 히터 고정원판(50)의 외측으로 히터 걸음구(60)를 끼워 고정시키게 되고, 상기 히터 걸음구(50)는 환형으로 설치되게 된다.The present invention relates to a heater fixing disc 50 which is installed on the outside of the crucible 10 up and down, the heater step (60) is fixed to the outside of the heater fixing plate 50, the heater step The sphere 50 is to be installed in an annular shape.

여기서 히터 고정원판(50)은 두 겹으로 형성하여 상하로 겹쳐서 고정할 수 있도록 하되 상기 히터 고정원판(50)의 외측으로 걸음구 끼움홈(51)과 끼움돌기(52)를 환형으로 형성하여 걸음구 끼움홈(51)과 끼움돌기(52)에 걸음구(60)의 고정돌기(63)와 고정홈(62)이 끼워지도록 하고, 두 겹의 히터 고정원판(50)은 걸음구 끼움홈(51)과 끼움돌기(52)에 걸음구(60)의 고정돌기(63)와 고정홈(62)이 끼워진 상태에서 서로 분리되지 않게 고정되며, 이때 두 겹의 히터 고정원판(50)을 고정시키는 것은 결합구멍에 결합핀이 끼워져 고정되는 형태를 갖도록 하거나 암수 방식의 결합 또는 볼트 방식으로 결합이 이루어지도록 한다.Here, the heater fixing disc 50 may be formed in two layers so as to be fixed by overlapping it up and down, but the step opening fitting groove 51 and the fitting protrusion 52 are formed in an annular shape to the outside of the heater fixing disc 50, and the steps The fitting projections 63 and the fixing grooves 62 of the fitting holes 60 are fitted into the fitting fitting grooves 51 and the fitting protrusions 52, and the heater fixing disc 50 of the two-layer heater fitting grooves ( 51) and the fixing protrusion 63 and the fixing groove 62 of the fitting hole 60 are fixed to the fitting protrusion 52 so as not to be separated from each other, and in this case, fixing the heater fixing disc 50 of two layers. The coupling pin is inserted into the coupling hole to have a shape to be fixed, or the coupling is made by a male or female coupling or bolt.

히터 걸음구(60)는 한 쪽으로 히터(20)가 걸리는 걸음홈(61)이 형성되고 그 반대쪽으로 히터 고정원판(50)의 끼움홈(51)에 끼워지는 고정돌기(63)가 형성되는 한편 히터 고정원판(50)의 끼움돌기(52)가 끼워지는 고정홈(62)이 형성되는 것으로, 고정홈(62)과 고정돌기(63)는 히터 고정원판(50) 사이에 끼워지는 경우 이탈되지 않고 고정되며, 걸음홈(61)은 히터(20)가 걸쳐진 채로 외부로 빠지지 않게 된다.The heater step opening 60 has a stepping groove 61 in which the heater 20 is caught on one side thereof, and a fixing protrusion 63 fitted to the fitting groove 51 of the heater fixing disc 50 on the opposite side thereof is formed. The fixing groove 62 in which the fitting protrusion 52 of the heater fixing plate 50 is fitted is formed, and the fixing groove 62 and the fixing protrusion 63 are not separated when the fixing protrusion 62 is inserted between the heater fixing plate 50. It is fixed without, and the step groove 61 is not to fall to the outside while the heater 20 is over.

즉 히터 걸음구(60)의 걸음홈(61)은 함몰되어 있는 형태를 갖게 되므로, 히터(20)를 걸어서 설치할 수 있고, 히터(20)를 당겨서 설치한 후에는 걸음구(60)에서 히터(20)가 이탈되지 않음은 물론 단면이 둥그런 걸음구(60)에 히터(20)가 걸쳐지게 되므로, 히터(20)가 꺾이지 않고 설치되게 된다.That is, since the step groove 61 of the heater step hole 60 has a recessed shape, the heater 20 can be installed by hanging the heater 20, and after the heater 20 is pulled out and installed, the heater ( Of course, since the heater 20 is spread over the stepping hole 60 having a round cross section, the heater 20 is installed without bending.

본 발명의 히터 걸음구(60)는 도 7에 도시된 바와 같이 일측으로 걸음홈(61)이 형성되는 한편 반대쪽으로 고정홈(62)과 고정돌기(63)가 형성되고, 상기 히터 걸음구(60)가 외측으로 환상의 형태를 갖고 끼워지는 히터 고정원판(50)은 두 겹으로 이루어지되 히터 고정원판(50)의 외측으로 형성된 끼움홈(51)과 끼움돌기(52)에 히터 걸음구(60)의 고정돌기(63)와 고정홈(62)이 끼워진 상태에서 두 겹의 히터 고정원판(50)을 맞닿게 하여 고정시킴으로써 도가니(10)의 외측에 설치되어 히터(20)를 걸어주는 히터 고정원판(50)이 완성된다.As shown in FIG. 7, the heater step opening 60 of the present invention has a step groove 61 formed on one side thereof, and a fixing groove 62 and a fixing protrusion 63 formed on the opposite side thereof, and the heater step hole ( The heater fixing disc 50 to which the 60 has an annular shape to the outside is made of two layers, but the heater stepping holes (50) in the fitting groove 51 and the fitting protrusion 52 formed on the outside of the heater fixing disc 50 are provided. Heater which is installed on the outside of the crucible 10 and hangs the heater 20 by abutting and fixing two layers of the heater fixing disc 50 while the fixing protrusion 63 and the fixing groove 62 of the 60 are fitted. The stationary disk 50 is completed.

본 발명의 히터 고정원판(50)을 도가니(10)의 외측 상하부에 각각 고정시키되 히터 걸음구(60)에는 가열을 위한 히터(20)를 지그재그 형태로 걸어주어 도가니(10)에 채워진 유기재료를 증발시키는 열을 가하도록 한다.The heater fixing disc 50 of the present invention is fixed to the upper and lower outer sides of the crucible 10, respectively, but the heater step opening 60 is hung with a heater 20 for heating in a zigzag form to form an organic material filled in the crucible 10. Apply heat to evaporate.

본 발명은 히터 걸음구(60)에 걸어주듯이 히터(20)를 설치하게 되므로, 기존과 같이 홈(32)에 히터(20)를 끼워주는 방식에 비하여 측면으로 개방된 곳을 통하여 걸음구(60)에 걸어주게 되어 히터(20)를 걸어주는 작업을 간편하게 할 수 있다.Since the present invention installs the heater 20 as if it is hooked on the heater locator 60, the locator 60 is opened through a side that is open to the side as compared to the method of fitting the heater 20 to the groove 32 as before. ) To be able to walk the heater (20) can be easily done.

그리고, 본 발명에서는 히터(20)가 단면이 원형인 히터 걸음구(60)에 걸쳐지게 되므로, 기존과 같이 홈(32)에 끼워진 히터(20)가 꺾이게 되는 경우가 없이 히터(20)가 꺾이지 않게 설치 가능하다.In addition, in the present invention, since the heater 20 spans the heater guide hole 60 having a circular cross section, the heater 20 is not bent without causing the heater 20 inserted into the groove 32 to be bent as before. It can be installed without.

따라서, 본 발명은 히터(20)의 설치가 간편하게 이루어지는 한편 히터(20)가 꺾이지 않고 설치하게 되므로, 히터(20) 설치 작업이 쉽고, 히터(20)가 부분적으로 가열되는 현상을 없앨 수 있다.Therefore, since the heater 20 is easily installed while the heater 20 is installed without being bent, the heater 20 is easily installed, and the heater 20 is partially heated.

이러한 본 발명의 히터(20)가 히터 걸음구(60)에 걸려져 설치되는 상태를 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같다.10 and 11 show a state in which the heater 20 of the present invention is installed by being caught by the heater locator 60.

본 발명은 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이 히터 고정원판(70)의 외측으로 히터(20)를 걸어주는 히터 걸음구(71)를 일체로 형성시키는 것으로, 히터 고정원판(70)의 제작시 외측으로 히터(20)를 걸어주기 위한 걸음구(71)를 일체로 형성하여 간편하게 히터(20)를 걸어주는 한편 걸음구(71)에 걸린 히터(20)가 꺾이지 않은 채로 설치하도록 한다.The present invention is to integrally form the heater step opening 71 for hanging the heater 20 to the outside of the heater fixing disk 70 as shown in Figure 12 and 13, the production of the heater fixing disk 70 When the walker (71) is formed integrally to walk the heater 20 to the outside when the heater 20 is simply walked while the heater (20) caught on the walker (71) is installed without bending.

본 발명에서 히터 고정원판(70)을 제작할 때 외측으로 일정 홈을 두고 히터 걸음구(71)을 연속적으로 형성시킴으로써 히터 고정원판(70)을 도가니(10)의 상하측에 설치한 후 히터(20)를 히터 걸음구(71)에 걸어주되 지그재그 형태가 되게 히터(20)를 간단히 걸어줄 수 있다.When the heater fixing disc 70 is manufactured in the present invention, the heater fixing disc 70 is continuously installed on the upper and lower sides of the crucible 10 by continuously forming the heater stepping holes 71 with a predetermined groove to the outside and then heating the heater 20. ) To the heater walker 71 can be easily walked to the heater 20 in a zigzag form.

본 발명에서 히터 걸음구(71)는 히터 고정원판(70)의 외측에 일체로 형성되는 것으로, 도가니(10)의 외측에 상하로 히터 고정원판(70)을 설치하고, 상기 히터 걸음구(71)를 이용하여 히터(20)를 지그재그 형태로 걸어주게 되는 것으로, 히터(20)를 기존과 같이 홈(32)에 끼워 고정하지 않고 걸음구(71)에 걸어주되 외측에서 개방된 홈을 통하여 간편하게 걸어줄 수 있어 히터(20)의 설치가 간편한 이점이 있고, 또한 히터(20)가 걸음구(71)에 걸려질 때 꺾이지 않고 걸리게 되므로, 부분적으로 과열이 발생할 우려를 없애게 된다.In the present invention, the heater step opening 71 is formed integrally with the outside of the heater fixing disc 70, the heater fixing disc 70 is installed up and down on the outside of the crucible 10, the heater step opening 71 By using) to walk the heater 20 in a zigzag form, the heater 20 is not inserted into the grooves 32 as in the past, but is fixed to the foot opening 71 without being fixed, but through the grooves opened from the outside. There is an advantage that the installation of the heater 20 can be easily walked, and also because the heater 20 is caught without being bent when the heater 20 is caught by the foot opening 71, partly eliminates the risk of overheating.

이러한 본 발명은 도 14 및 도 15에 도시된 바와 같이 히터 걸음구(71)에 홈을 형성하여 히터(20)을 끼워줄 수 있는 것으로, 히터(20)는 히터 걸음구(71)의 홈에 지그재그 형태로 걸려져 설치된다.The present invention is to form a groove in the heater step opening 71 as shown in Figure 14 and 15 to fit the heater 20, the heater 20 is in the groove of the heater step opening 71 It is hung in zigzag form and installed.

본 발명은 도 16에 도시된 바와 같이 히터 고정원판(80)에 히터(20)를 걸어주는 갈고리 형태의 히터 걸음구(81)를 끼워서 고정시키는 것으로, 히터 고정원판(80)의 제작시 외측으로 히터(20)를 걸어주기 위한 고리 형태의 걸음구(81)를 일체로 형성하여 간편하게 히터(20)를 걸어주도록 한다.As shown in FIG. 16, the heater fixing hole 81 having a hook shape for hanging the heater 20 is fixed to the heater fixing disc 80 to the outside when the heater fixing disc 80 is manufactured. By hooking the heater (20) is formed integrally with the hook-shaped stepping hole 81 so as to simply hang the heater (20).

본 발명에서 히터 고정원판(80)을 제작할 때 외측으로 히터 걸음구(81)를 끼워서 고정시킴으로써 히터 고정원판(80)을 도가니(10)의 상하측에 설치한 후 히터(20)를 히터 걸음구(81)에 걸어주되 지그재그 형태가 되게 히터(20)를 간단히 걸어줄 수 있다.When the heater fixing disc 80 is manufactured in the present invention, the heater fixing disc 80 is inserted into and fixed to the outside so that the heater fixing disc 80 is installed on the upper and lower sides of the crucible 10, and then the heater 20 is inserted into the heater fitting hole. Walk to (81) but can simply walk the heater 20 in a zigzag form.

본 발명은 도 17에 도시된 바와 같이 히터 고정원판(50)(70)을 도가니(10)의 외측에 일정 간격으로 설치하여 히터(20)를 걸어주도록 하되 상기 히터(20)는 높낮이를 달리하여 도가니(10)의 상측에 많은 열이 가해지도록 설치함으로써 도가니(10)에 가해지는 열을 히터(20)의 배열 상태를 이용하여 조절할 수 있도록 한다.As shown in FIG. 17, the heater fixing discs 50 and 70 are installed at a predetermined interval on the outside of the crucible 10 to hang the heater 20, but the heaters 20 vary in height. By installing so that a large amount of heat is applied to the upper side of the crucible 10, the heat applied to the crucible 10 can be adjusted using the arrangement state of the heater 20.

즉, 기존에는 히터고정원판(50)(70)을 이용하여 도가니(10)의 외측에 동일한 높낮이를 갖도록 히터(20)를 설치함으로써 도가니(10)의 높낮이에 따른 온도 조절이 쉽지 않은 문제를 해결하기 위하여 본 발명은 히터고정원판(50)(70)을 여러 개 일정 간격으로 설치한 후 히터(20)를 다양한 높낮이가 되게 함으로써 도가니(10)의 상층부에서만 유기물질의 증발이 이루어지고, 중간이나 하층부에서는 가열만 이루어져 유기물질 튐 현상이 없어지는 것이다.That is, conventionally, by installing the heater 20 to have the same height on the outside of the crucible 10 using the heater fixing disks 50 and 70, solving the problem of temperature control according to the height of the crucible 10 is not easy. In order to achieve the present invention, the heater fixing discs 50 and 70 are installed at a predetermined interval, and the heaters 20 are various heights, so that the organic material is evaporated only in the upper layer of the crucible 10. The lower layer is heated only to eliminate the organic material 물질 phenomenon.

10 : 도가니 20 : 히터
30,50,70,80 : 히터 고정원판
60.71,81 : 히터 걸음구10: crucible 20: heater
30,50,70,80: heater fixed disc
60.71,81: heater steps

Claims (5)

도가니(10)의 외측 상하부에 각각 고정되는 히터 고정원판(50)을 구비하되 상기 히터 고정원판(50)은 두 겹으로 이루어져 상하로 서로 겹쳐서 고정되게 하고,
상기 두 겹의 히터 고정원판(50)은 내측으로 끼움홈(51)과 끼움돌기(52)가 형성되게 하되 상기 끼움홈(51)과 끼움돌기(52)는 히터 걸음구(60)에 형성된 고정돌기(63)와 고정홈(62)이 끼워진 상태에서 두 겹의 히터 고정원판(50)을 겹쳐지게 하여 고정되게 하며,
상기 히터 걸음구(60)는 일측으로 히터(20)가 걸리는 단면이 원형인 걸음홈(61)을 형성하는 한편 타측으로 두 겹의 히터 고정원판(50)에 형성된 끼움홈(51)과 끼움돌기(52)에 끼워지는 고정돌기(63)와 고정홈(62)을 형성하고,
상기 히터 고정원판(50)에 결합된 히터 걸음구(60)의 걸음홈(61)에는 상하로 지그재그 형태로 히터(20)를 걸어주는 것을 특징으로 하는 OLED 증착공정용 증발원의 히터 고정장치.The heater fixing disc 50 is fixed to each of the outer upper and lower parts of the crucible 10, but the heater fixing disc 50 is made of two layers to be fixed to overlap each other up and down,
The two-layer heater fixing disc 50 is fitted with the fitting groove 51 and the fitting protrusion 52 inwardly, but the fitting groove 51 and the fitting protrusion 52 are fixed to the heater guide hole 60. In the state where the projection 63 and the fixing groove 62 is fitted, the two layers of the heater fixing disc 50 overlap to be fixed,
The heater step opening (60) forms a step groove 61 having a circular cross section in which the heater 20 is caught on one side, and the fitting groove 51 and the fitting protrusion formed on the heater fixing disc 50 of two layers on the other side. The fixing protrusion 63 and the fixing groove 62 to be fitted to the 52 is formed,
The heater fixing device of the evaporation source for the evaporation process of the OLED deposition process, characterized in that to hang the heater 20 in a zigzag form up and down in the step groove 61 of the heater gait (60) coupled to the heater fixing disk (50). 삭제delete 삭제delete 삭제delete 도가니(10)의 외측으로 일정 간격을 두고 히터 고정원판(50)을 다단으로 설치하고, 다단으로 설치된 히터 고정원판(50)에는 히터(20)를 지그재그 형태로 끼워주되 상기 히터(20)는 도가니(10)의 상측에서 하측으로 갈수록 높낮이를 달리하여 도가니(10)의 내부 온도가 상측이 높게 조절하는 것을 특징으로 하는 OLED 증착공정용 증발원의 히터 고정장치.The heater fixing disc 50 is installed in multiple stages at regular intervals to the outside of the crucible 10, and the heater 20 is fitted in a zigzag form in the heater fixing disc 50 installed in the multi stage, but the heater 20 is a crucible. A heater fixing device for an evaporation source for an evaporation process of an OLED deposition, characterized in that the internal temperature of the crucible 10 is adjusted to be higher by changing the height from the upper side to the lower side of the upper side.
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