KR20150072828A - Deposition source unit for manufacturing organic light emitting device - Google Patents

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KR20150072828A
KR20150072828A KR1020130160408A KR20130160408A KR20150072828A KR 20150072828 A KR20150072828 A KR 20150072828A KR 1020130160408 A KR1020130160408 A KR 1020130160408A KR 20130160408 A KR20130160408 A KR 20130160408A KR 20150072828 A KR20150072828 A KR 20150072828A
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유명재
장철영
홍석민
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a filament for applying heat to a crucible to evaporate organic materials accepted in the crucible during a deposition process in the manufacture of an organic thin film for an organic light emitting device. The filament is made of a linear metal plate. The top and the bottom of the linear filament are connected by a bent part shaped into ㄷ. The filament has a double structure of upper and lower filament parts. Therefore, the present invention prevents the filaments from coming in contact with each other due to disconnection and thermal deformation.

Description

유기발광표시장치 제조용 증착 소스 유닛 {Deposition source unit for manufacturing organic light emitting device}[0001] Deposition source unit for manufacturing organic light emitting display [0002]

본 발명은 유기발광표시장치 제조용 고온 증발원에 관한 것으로, 고온에 의한 단선 및 열변형에 의한 쇼트를 방지할 수 있는 필라멘트에 관한 것이다.
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a high temperature evaporation source for manufacturing an organic light emitting display, and more particularly, to a filament capable of preventing short circuit due to high temperature and short circuit due to thermal deformation.

유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Diode display, 이하 OLED 라 함)는 자발광 특성을 갖고, 별도의 광원을 필요로 하지 않아, 경량화 및 박형으로 제작이 가능한 평판 표시 장치이다. 또한, 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 높은 반응 속도 등의 고품위 특성을 나타내므로, 차세대 표시 장치로서 주목받고 있다.An organic light emitting display (OLED) is a flat panel display device having self-emission characteristics, which does not require a separate light source, and can be made light and thin. In addition, it exhibits high-quality characteristics such as low power consumption, high luminance, and high reaction speed, and is attracting attention as a next-generation display device.

일반적으로 유기 발광 표시 장치는 애노드, 유기 발광층 및 캐소드를 포함하는 유기 발광 소자를 포함한다. 유기 발광 소자는 애노드와 캐소드로부터 각각 정공 및 전자가 주입되어 여기자를 형성하고, 여기자가 바닥 상태로 전이하면서 발광하게 된다.Generally, an organic light emitting display includes an organic light emitting device including an anode, an organic light emitting layer, and a cathode. In the organic light emitting device, holes and electrons are injected from the anode and cathode, respectively, to form excitons, and the excitons emit light while transitioning to the ground state.

유기 발광층은 유기 박막으로 형성되는데, 유기 발광 표시 장치의 기판 상에 이러한 유기 박막을 형성하는 방법으로는 진공 증착법, 전자빔 증착법(electron beam evaporation), 이온 플레이팅법(ion plation), 스퍼터링법(sputtering) 등의 물리 증착법(PVD)과, 가스 반응에 의한 화학기상증착법(CVD) 등이 있다. The organic light emitting layer is formed of an organic thin film. Examples of the method of forming the organic thin film on the substrate of the organic light emitting display include vacuum evaporation, electron beam evaporation, ion plating, sputtering, , Physical vapor deposition (PVD), etc., and chemical vapor deposition (CVD) by gas reaction.

이 중, 진공 증착법은 금속 전극 및 유기 박막을 형성하는 일반적인 방법으로, 챔버내에 위치한 유기물 증발원의 도가니에 증착 물질을 넣고, 도가니를 둘러싸고 있는 필라멘트를 가열하여, 도가니에 담긴 증착 물질을 증착시킨다.Among them, a vacuum deposition method is a general method of forming a metal electrode and an organic thin film, depositing a deposition material in a crucible of an organic material evaporation source located in a chamber, and heating a filament surrounding the crucible to deposit a deposition material contained in the crucible.

도1과 같이 기존의 증착 소스 유닛은 도가니(1), 도가니를 둘러싸고 있는 필라멘트(2)와 이 필라멘트를 고정하는 필라멘트 고정장치(3)로 구성된다. 기존의 필라멘트는 금속 열선을 사용하여 도가니를 가열하였다.1, the conventional evaporation source unit comprises a crucible 1, a filament 2 surrounding a crucible, and a filament fixing device 3 for fixing the filament. The existing filaments heated the crucible using metal hot wire.

이러한 금속열선은 표면적이 작아 열효율이 떨어지므로, 도가니를 가열하기 위한 고온을 얻기 위해서는 많은 전류를 흘려야 한다. 이로 인해 금속열선은 열적 손상을 입게되고, 금속열선인 필라멘트는 수명 감소와 단선의 위험을 가져오게 된다. Since such a metallic hot wire has a small surface area and low thermal efficiency, a large amount of current must be flowed to obtain a high temperature for heating the crucible. This causes thermal damage to the metal hot wire, and the filament, which is a metallic hot wire, has a risk of life span and disconnection.

또한 기존의 금속열선은 필라멘트 고정장치(3)의 구멍들 사이로 넣어져 고정하게 되는데, 금속열선을 느슨하게 고정하는 경우 조금만 흔들려도 금속열선끼리 닿거나 금속열선과 도가니 혹은 금속열선을 둘러싸고 있는 반사판과 닿는 문제가 발생할 수 있다
In addition, the existing metal hot wire is inserted and fixed between the holes of the filament fixing device (3). When the metal hot wire is loosely fixed, the metal hot wire touches each other or touches the metal hot wire, the crucible, The problem may occur.

본 발명의 목적은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 고온에서 단선되는 금속열선 필라멘트의 문제점 및 필라멘트의 열변형에 의해 필라멘트끼리 접촉되는 문제점을 방지할수 있는 신규 필라멘트를 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a new filament which is capable of preventing filament contact between filaments due to thermal deformation of filaments and problems of hot wire filaments broken at high temperatures.

본 발명의 다른 목적으로는 신규 필라멘트를 안정적으로 고정하기 위한 고정부를 제공하고자 한다.
Another object of the present invention is to provide a fixing part for stably fixing a new filament.

본 발명의 실시 예에 따른 증착 소스 유닛은, 직선형 금속판 형태를 가지고, 상.하단부에서 꺽임을 반복하여 일정간격을 두고 연속적으로 이어지며, 상.하부의 2중으로 형성된 발열용 필라멘트와; 필라멘트를 원통형으로 고정하는 환형의 필라멘트 고정장치와; 필라멘트 내부에 안착하는 도가니; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
The deposition source unit according to an embodiment of the present invention includes a heating filament having a shape of a straight metal plate and continuously formed at upper and lower ends repeatedly bent at regular intervals and formed of upper and lower two layers; An annular filament fixing device for fixing the filament in a cylindrical shape; A crucible that seats inside the filament; And a control unit.

본 발명의 실시 예들에 따른 증착 공정용 유기물 증발원은, 고온에서 발생되는 필라멘트의 단선을 방지할수 있다. 그리고, 필라멘트의 열변형에 의해 필라멘트끼리 접촉되는 문제점을 방지할수 있다.
The organic material evaporation source for the deposition process according to the embodiments of the present invention can prevent disconnection of the filament generated at a high temperature. It is also possible to prevent the filaments from coming into contact with each other due to thermal deformation of the filament.

도 1은 종래의 증착 소스 유닛을 나타내는 도면
도 2는 본 발명에 따른 유기물 증발원과 유기물 증착 공정을 나타내는 도면
도 3(a) 및 도3(b)는 본 발명에 따른 필라멘트 구조를 나타내는 도면
도 4는 도 3의 필라멘트를 평면상에 펼쳤을때의 구조를 나타내는 도면
도 5(a)는 본 발명의 필라멘트 고정장치가 필라멘트를 고정하는 구조를 나타내는 도면
도 5(b), 5(c), 5(d)는 상부.중간부.하부 필라멘트 고정장치를 나타내는 도면
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 필라멘트 구조를 나타내는 도면
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 필라멘트를 평면상에 펼쳤을때의 구조를 나타내는 도면1 is a view showing a conventional evaporation source unit
2 is a view showing a process of depositing an organic material evaporation source and an organic material according to the present invention;
3 (a) and 3 (b) are views showing a filament structure according to the present invention
Fig. 4 is a view showing a structure when the filament of Fig. 3 is spread on a plane
5 (a) is a view showing a structure in which the filament fixing device of the present invention fixes the filament
5 (b), 5 (c) and 5 (d) are views showing upper, middle and lower filament fixing devices
6 is a view showing a filament structure according to another embodiment of the present invention
7 is a view showing a structure when a filament according to another embodiment of the present invention is spread on a plane

본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참고하여 상세히 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 필라멘트가 적용된 증착 소스 유닛(10)과 증착 소스 유닛이 유기물을 기판에 증착시켜 유기 박막을 형성하는 방법을 나타내는 개략도이다.2 is a schematic view showing a deposition source unit 10 to which the filament of the present invention is applied and a deposition source unit to deposit an organic material on a substrate to form an organic thin film.

증착 소스 유닛의 구성요소는 증착 물질을 담고 있는 도가니(12), 도가니의 외곽부를 감싸고 도가니를 가열시키는 필라멘트(20), 필라멘트를 원통형으로 유지, 고정시켜 주는 필라멘트 고정장치(30)로 구성되어 있다. 필라멘트의 끝단부에는 전원과 연결되는 전원연결부(21)가 형성되어 있어, 전원이 필라멘트로 공급되고, 필라멘트는 가열되게 된다.The constituent elements of the deposition source unit are constituted of a crucible 12 containing an evaporation material, a filament 20 surrounding the outer periphery of the crucible and heating the crucible, and a filament fixing device 30 for holding and fixing the filament in a cylindrical form . At the end of the filament, a power connection part 21 connected to a power source is formed, so that the power source is supplied as a filament, and the filament is heated.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 필라멘트이다. 본 발명 필라멘트(20)는 직선형의 금속판 형태를 가지고 있어, 기존 열선 대비 가열되는 면적이 증가하게 되고, 전.후 평면방향으로 방사하게 되어, 열전달 효율이 증가하게 된다. 또한, 넓어진 면적에 비례하여 필라멘트의 열변형도 감소 하게되므로, 필라멘트끼리 접촉 되는 현상도 적어지게 된다.6 is a filament according to an embodiment of the present invention. Since the filament 20 of the present invention has a straight metal plate shape, the area to be heated is increased compared with the existing hot wire, and the heat is radiated in the plane direction before and after the heat wire, thereby increasing the heat transfer efficiency. Further, thermal deformation of the filament is also reduced in proportion to the enlarged area, so that the phenomenon of contact between the filaments is also reduced.

도 6의 필라멘트를 세부적으로 보면, 직사각형 금속판 형태를 가지고 있는, 직선형 필라멘트(24)가 일정간격을 두고 배열되어 있고, 직선형 필라멘트의 상부와 하부에는 'ㄷ'자로 꺾인 금속판이 직선형 필라멘트를 연결하고 있다. 'ㄷ'자로 꺾인 금속판은 'ㄷ'자 꺽임부(25)로 명칭한다. 'ㄷ'자 꺽임부는 직선형 필라멘트의 상부와 하부에서 엇갈리게 직선형 필라멘트(24)를 연결시켜 필라멘트(20)는 연속적인 'ㄹ'자 형태를 이루게 된다. 6, the linear filaments 24 having a rectangular metal plate shape are arranged at regular intervals, and a metal plate bent in a " C " shape connects linear filaments to the upper and lower portions of the linear filaments . The metal plate broken into 'c' is called the 'c' folding part (25). The 'C' folding portion connects the linear filaments 24 staggered from the upper and lower portions of the linear filaments so that the filaments 20 form a continuous 'd' shape.

직선형 필라멘트의 마지막단에는 직선형 필라멘트에서 연장되어 전원과 연결되는 전원연결부(21)가 형성된다. 전원연결부는 직선형 필라멘트보다 약 1.5 ~ 2배 정도 길게 형성된다. 전원연결부가 형성된 직선형 필라멘트는 다른 직선형 필라멘트 보다 길기 때문에 열변형에 의해 필라멘트끼리 쉽게 접촉되게 된다.At the last end of the linear filament, a power connection part 21 extending from the linear filament and connected to the power source is formed. The power connection part is about 1.5 to 2 times longer than the linear filament. Since the linear filament formed with the power connection part is longer than the other linear filaments, the filaments can be easily contacted by thermal deformation.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 필라멘트로, 도 3의 필라멘트는 직선형 금속판 형태를 가진 직사각형의 직선형 필라멘트(24) 부분이 일정간격을 두고 배열되어 있고, 직선형 필라멘트의 상부와 하부에는 'ㄷ'자 꺽임부(25)가 연결되어 있다. 'ㄷ'자 꺽임부는 직선형 필라멘트의 상부와 하부에서 엇갈리게 연결되어 필라멘트(20)는 전체적으로 'ㄹ'자 형태를 이루게 된다. 'ㄷ'자 꺽임부는 고정방식에 따라 도 3(a)와 같이 직각으로 형성될수도 있고, 도 3(b)와 같이 둥글게 형성될수도 있다.FIG. 3 is a filament according to an embodiment of the present invention. The filament of FIG. 3 has rectangle-shaped linear filaments 24 having a straight metal plate shape arranged at regular intervals, and the upper and lower portions of the linear filament are ' And the folded-back portion 25 is connected. The 'C' folds are staggered from the upper and lower portions of the linear filaments, so that the filaments 20 are formed in an overall 'd' shape. The 'C' folding portion may be formed at a right angle as shown in FIG. 3 (a) or may be rounded as shown in FIG. 3 (b) according to a fixing method.

도 3의 필라멘트는 도 6의 필라멘트와 다르게 상부 필라멘트부(22)와 하부 필라멘트부(23)의 2중으로 형성되어 있다. 즉, 도 6의 필라멘트와 전체적인 크기는 동일하나, 직선형 필라멘트(24)의 길이를 반으로 축소시켜 상.하부에 2중으로 형성하게 된다. 또한, 도 3(b)와 같이 발열효율이나 도가니 형상 등을 고려하여 상부 필라멘트부(22)와 하부 필라멘트부(23)의 길이는 다르게 형성할수 있다.The filament of Fig. 3 is formed of two filaments, that is, the upper filament portion 22 and the lower filament portion 23, unlike the filament of Fig. That is, the overall size of the filament is the same as that of the filament shown in Fig. 6, but the length of the linear filament 24 is reduced to half and the filament is doubly formed in the upper and lower portions. 3 (b), the lengths of the upper filament portion 22 and the lower filament portion 23 may be different from each other in consideration of the heating efficiency and the crucible shape.

도 4는 도 3의 필라멘트를 평면상에 펼쳤을때의 구조를 나타낸 도면으로, 상부 필라멘트부(22)와 하부 필라멘트부(23)의 끝단부에는 상.하부 필라멘트를 연결시키는 상.하부 필라멘트 연결부(26)가 형성되어 있으며, 하부 필라멘트의 시작단에는 전원연결부(21)가 형성되어 있다.3, the upper and lower filament portions 22 and 23 have upper and lower filament connecting portions (upper and lower filament connecting portions) connecting upper and lower filaments 26, and a power connection part 21 is formed at the starting end of the lower filament.

상술한 바와 같이 상부 필라멘트부(22)와 하부 필라멘트부(23)의 2부분으로 나누어 형성하게 되면 상.하부 필라멘트를 구성하고 있는 직선형 필라멘트(24)의 길이가 반으로 줄어들게 되고, 이에 따라 전원연결부(21)의 길이도 짧게 형성 된다. 필라멘트의 길이가 짧게 형성 되면 필라멘트가 가열되어 열변형이 발생하더라도, 필라멘트의 휘어짐이 적어지게 되고, 필라멘트끼리 접촉 되는 현상이 감소하게 된다.As described above, when the upper filament part 22 and the lower filament part 23 are divided into two parts, the length of the linear filament 24 constituting the upper and lower filaments is reduced by half, (21) is also formed to be short. If the length of the filament is short, even if the filament is heated to cause thermal deformation, the warpage of the filament becomes small, and the phenomenon of contact between the filaments is reduced.

이러한 필라멘트(20)는 원통형으로 고정되어 도가니(12)를 감싸는 형태로 고정이 되어야 한다. 도 5(a)는 도 3의 상부 필라멘트부와 하부 필라멘트부의 2중으로 형성된 필라멘트를 원통형으로 고정시키는 고정장치(30)를 나타낸 도면으로, 필라멘트 고정장치(30)는 상부 필라멘트 고정장치(31), 중간부 필라멘트 고정장치(32), 하부 필라멘트 고정장치(33)을 포함하여 구성된다. 상부.중간부.하부 필라멘트 고정장치는 모두 환형(ring)으로 형성된다. 도면 5(b) 는 상부 필라멘트 고정장치(31)이다. 상부 필라멘트 고정장치(31)는 상부 필라멘트부(22)의 'ㄷ'자 꺽임부(25)가 삽입되어 고정될수 있도록, 'ㄷ'자 꺽임부와 대응되는 위치에 홀(311)이 형성되어 있다. 도 3(b)와 같이 'ㄷ'자 꺽임부가 둥글게 형성이 되면, 'ㄷ'자 꺽임부가 넓어지는 일정 지점에서 홀에 끼여 고정되게 된다. 도면 5(c)는 중간부 필라멘트 고정장치(32)이다. 중간부 필라멘트 고정장치(32)는 'ㄷ'자 꺽임부(25)가 안착되어 고정될수 있게 표면에 홈(322)이 형성되어 있고, 상.하부 필라멘트 연결부(26)가 통과되는 홀(323)이 형성되어 있다. 추가로, 중간부 필라멘트 고정장치의 안쪽면에는 돌출부(321)가 형성되어 있어, 하부 필라멘트부(23)의 'ㄷ'자 꺽임부를 돌출부에 걸거나 끼어넣게 되어 고정될수 있다. 도면 5(d)는 하부 필라멘트 고정장치(33)이다. 하부 필라멘트 고정장치(33)는 하부 필라멘트부의 'ㄷ'자 꺽임부(25)가 안착되어 고정될수 있게 표면에 홈(331)이 형성되어 있고, 전원연결부(21)가 삽입되어 고정되는 홀이 형성되어 있다.The filament 20 is fixed in a cylindrical shape so as to be fixed in a form to surround the crucible 12. FIG. 5 (a) is a view showing a fixing device 30 for fixing a filament formed in a double shape of the upper filament part and the lower filament part in FIG. 3 in a cylindrical shape. The filament fixing device 30 includes an upper filament fixing device 31, A middle filament fixing device 32, and a lower filament fixing device 33. [ The upper, middle, and lower filament fixing devices are all formed into a ring. 5 (b) is an upper filament fixing device 31. Fig. The upper filament fixing device 31 is formed with a hole 311 at a position corresponding to the 'C' folding portion so that the 'C' folding portion 25 of the upper filament portion 22 can be inserted and fixed . As shown in FIG. 3 (b), when the 'C' bending portion is rounded, the 'C' bending portion is fixed to the hole at a predetermined position. 5 (c) is an intermediate filament fixing device 32. FIG. The intermediate filament fixing device 32 has a groove 322 formed on the surface thereof so that the 'C' folding portion 25 can be seated and fixed, and the hole 323 through which the upper and lower filament connecting portions 26 pass, Respectively. In addition, a projecting portion 321 is formed on the inner surface of the intermediate filament fixing device, and the 'C' folded portion of the lower filament portion 23 can be fixed to the projecting portion by being hooked or interposed therebetween. 5 (d) is a lower filament fixing device 33. Fig. The lower filament fixing device 33 has grooves 331 formed on the surface thereof so that the 'C' folding portion 25 of the lower filament portion can be seated and fixed, and a hole through which the power connection portion 21 is inserted and fixed is formed .

상술한 바와 같이 본 발명의 실시 예들에 따른 유기발광표시장치 증착용 소스 유닛은, 필라멘트 길이와 형태를 변경하고, 필라멘트를 고정하는 고정장치를 설치하여, 고온에 의한 단선 및 열변형에 의해 필라멘트끼리 접촉하는 문제점을 방지하는 효과를 제공한다.As described above, the source unit for depositing organic light emitting display devices according to the embodiments of the present invention includes a fixing unit for changing the length and shape of the filament and fixing the filament, Thereby providing an effect of preventing contact problems.

본 발명이 속하는 기술분야의 당 업자는 상술한 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

1,12 : 도가니 11 : 기판
2,20 : 필라멘트 21 : 전원 연결부
22: 상부 필라멘트부 23 : 하부 필라멘트부
24 : 직선형 필라멘트 25 : 'ㄷ'자 꺽임부
26 : 상.하부 필라멘트 연결부 3,30 : 필라멘트 고정장치
31 : 상부 필라멘트 고정장치 311 : 상부 필라멘트 고정장치 홀
32 : 중간부 필라멘트 고정장치 321 : 돌출부
322 : 중간부 필라멘트 고정장치 홈 323 : 중간부 필라멘트 고정장치 홀
33 : 하부 필라멘트 고정장치 331 : 하부 필라멘트 고정장치 홈1, 12: crucible 11: substrate
2,20: filament 21: power connection
22: upper filament part 23: lower filament part
24: linear filament 25: 'C'
26: upper and lower filament connecting parts 3, 30: filament fixing device
31: Upper filament fixing device 311: Upper filament fixing device hole
32: intermediate filament fixing device 321: protrusion
322: Middle filament fixing device groove 323: Middle filament fixing device hole
33: Lower filament fixing device 331: Lower filament fixing device groove

Claims (11)

직선형 금속판 형태를 가지고, 상.하단부에서 꺽임을 반복하여 일정간격을 두고 연속적으로 이어지며, 상부 필라멘트부와 하부 필라멘트부의 2중으로 형성된 것을 특징으로 하는 증착 소스 유닛용 필라멘트.
Wherein the upper and lower filaments have a straight metal plate shape and are repeatedly bent at the upper and lower ends to be continuous at regular intervals and formed of a doublet of an upper filament part and a lower filament part.
제 1 항에 있어서,
상기 필라멘트는 직사각형의 직선형 필라멘트가 일정간격으로 배열되고, 직선형 필라멘트의 상부와 하부에는 'ㄷ'자 꺽임부에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 증착 소스 유닛용 필라멘트.
The method according to claim 1,
Wherein the filaments are rectangular linear filaments arranged at regular intervals and connected to upper and lower portions of the linear filaments by a " C " bend.
제 1 항에 있어서,
상기 필라멘트는 상부 필라멘트부와 하부 필라멘트부로 구성되고, 상.하부 필라멘트부의 끝단에는 상부 필라멘트부와 하부 필라멘트부를 연결하는 상.하부 필라멘트 연결부가 있는 것을 특징으로 하는 증착 소스 유닛용 필라멘트.
The method according to claim 1,
Wherein the filament is composed of an upper filament part and a lower filament part, and upper and lower filament parts connect the upper filament part and the lower filament part at the ends of the upper and lower filament parts.
제 3 항에 있어서,
상기 하부 필라멘트부는 전원연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 소스 유닛용 필라멘트.
The method of claim 3,
Wherein the lower filament portion comprises a power connection. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
제 3 항에 있어서,
상기 상부 필라멘트부와 하부 필라멘트부의 길이는 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 소스 유닛용 필라멘트.
The method of claim 3,
Wherein a length of the upper filament part and a length of the lower filament part are different from each other.
직선형 금속판 형태를 가지고, 상.하단부에서 꺽임을 반복하여 일정간격을 두고 연속적으로 이어지며, 상.하부의 2중으로 형성된 발열용 필라멘트와; 필라멘트를 원통형으로 고정하는 환형의 필라멘트 고정장치와; 필라멘트 내부에 안착되는 도가니; 를 포함하는 증착 소스 유닛.
A heat generating filament which has a shape of a straight metal plate and which is continuously bent at upper and lower ends repeatedly at regular intervals and formed of upper and lower two layers; An annular filament fixing device for fixing the filament in a cylindrical shape; A crucible that is seated inside the filament; And a deposition source unit.
제 6 항에 있어서,
상기 필라멘트 고정장치는, 상부 필라멘트 고정장치, 중간부 필라멘트 고정장치, 하부 필라멘트 고정장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 증착 소스 유닛.
The method according to claim 6,
Wherein the filament fixing device comprises an upper filament fixing device, a middle filament fixing device, and a lower filament fixing device.
제 6 항에 있어서,
상기 필라멘트 고정장치에는, `ㄷ'자 꺽임부, 상.하부 필라멘트 연결부와 전원연결부가 고정될수 있게 홈과 홀이 형성된 것을 특징으로 하는 증착 소스 유닛.
The method according to claim 6,
Wherein the filament fixing device is provided with a groove and a hole so that the " C " bending portion, the upper and lower filament connecting portions, and the power connecting portion can be fixed.
제 7 항에 있어서,
상기 필라멘트 고정장치에는, 필라멘트를 걸어서 고정시킬수있는 핀형상의 돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 증착 소스 유닛.
8. The method of claim 7,
Wherein the filament fixing device is provided with a pin-shaped protrusion capable of fixing a filament.
직선형 금속판 형태를 가지고, 상.하단부에서 꺽임을 반복하여 일정간격을 두고 연속적으로 이어지는 것을 특징으로 하는 증착 소스 유닛용 필라멘트.
Wherein the filament has a straight metal plate shape and is continuously connected at regular intervals to the upper and lower ends of the filament.
제 10 항에 있어서,
상기 필라멘트는 직사각형의 직선형 필라멘트가 일정간격으로 배열되고, 직선형 필라멘트의 상부와 하부에는 'ㄷ'자 꺽임부에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 증착 소스 유닛용 필라멘트.
11. The method of claim 10,
Wherein the filaments are rectangular linear filaments arranged at regular intervals and connected to upper and lower portions of the linear filaments by a " C " bend.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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