KR20150139724A - Metalizing crucible device with improved sealing sutructure - Google Patents

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KR20150139724A
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Abstract

The present invention provides a deposition crucible device having an improved sealing structure. The deposition crucible device comprises: a crucible (10) having a heating spatial part in which a deposition material is fed; and a nozzle (20) coupled to cover an upper end opening of the crucible (10), and having a nozzle hole (20h) for discharging steam organic material generated by being heated in the crucible (10). The nozzle (20) and crucible (10) are made of different materials, so a contact surface between the crucible (10) and the nozzle (20) is steadily sealed due to a difference in a heat expansion coefficient between the crucible (10) and the nozzle (20).

Description

밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치{Metalizing crucible device with improved sealing sutructure}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a crucible-

본 발명은 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 증착 재료가 충전되는 열탕인 도가니와 노즐의 결합 부분 사이에서 증착 재료(증착 유기물)가 누수되는 것을 방지할 수 있도록 도가니와 노즐의 재질을 열팽창 계수가 다른 이종 금속을 활용하여 구성된 새로운 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치에 관한 것이다.
[0001] The present invention relates to a crucible-containing crucible having improved sealing structure, and more particularly, to a crucible for crucible which is capable of preventing evaporation of evaporated material (deposited organic material) And a novel sealing structure in which the material of the nozzle is made of a dissimilar metal having a different thermal expansion coefficient.

유기발광다이오드를 이용하여 이동통신단말기용 디스플레이나 텔레비전을 만들 때, 또는 조명기구를 생산할 때 필요한 것이 박막 증착장비인데, 이는 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 형성하는 것이며 유기발광 다이오드 생산을 위한 중요 장비 중 하나이다. 또한, 유기발광 다이오드 이외에 피디피 케이스, 휴대폰 케이스 등과 같은 피증착물의 표면에 유기물질과 같은 증착 재료를 증발시켜서 증착(evaporation)시키는 장비로서 박막 증착장치가 많이 이용되고 있다. 현재까지 개발된 유기박막형성 방법에는 진공증착법(Vacuum Deposition Method), 스퍼터링(sputtering)법, 이온빔 증착(Ion-beam Deposition)법, Pulsed-laser 증착법, 분자선 증착법, 화학기상증착법, 스핀코터(spin coater) 등이 있다. 이 중에서 현재 상용화되어 있는 기술은 진공증착법이다. 여기서, 진공증착법이란 유기물이 수용된 도가니 장치 주위를 가열하여 기화 또는 승화시켜 증기(기체)상태의 유기물을 도가니 장치 상부에 위치한 기판에 증착하는 것이다.Thin film deposition equipment is needed to make a display or a television for a mobile communication terminal or to produce a lighting device using an organic light emitting diode. This is to form a thin film by depositing an organic material on a substrate, and is important for producing an organic light emitting diode Equipment. In addition, a thin film deposition apparatus is widely used as an apparatus for evaporating an evaporation material such as an organic material on the surface of an evaporation material such as a PDP case, a mobile phone case, etc. in addition to an organic light emitting diode. The organic thin film formation methods developed so far include a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion beam deposition method, a pulsed-laser deposition method, a molecular beam deposition method, a chemical vapor deposition method, a spin coater ). Of these, vacuum evaporation is the currently commercialized technique. Here, the vacuum deposition method is a method of vaporizing or sublimating the surroundings of a crucible containing an organic material and depositing a vapor (organic) organic material on a substrate located above the crucible.

일반적인 박막증착장비는 챔버(chamber)를 포함하는데, 이 챔버의 상부공간에는 기판 등의 피증착물이 위치되고, 하부공간에는 도가니 장치가 설치된다. 도가니 장치는 유기물질 등의 증착 재료가 담기는 도가니 장치와, 이 도가니 장치를 가열하는 히터 등의 가열수단으로 구성된다.Typical thin film deposition equipment includes a chamber in which an evaporated material such as a substrate is placed in an upper space and a crucible is installed in a lower space. The crucible device is composed of a crucible device containing an evaporation material such as an organic substance and a heating means such as a heater for heating the crucible device.

따라서, 도가니 장치에 담긴 유기물질은 도가니가 가열수단에 의하여 가열됨에 따라 증발된다. 도가니는 상부가 개방되고, 도가니의 상부 개방부는 노즐에 의해 닫혀있고, 노즐에는 노즐홀이 구비되어 있어서, 도가니의 가열에 증발하는 유기물질은 도가니 장치에 구비된 노즐의 노즐홀을 통하여 방출됨으로써 챔버의 상부공간에 위치하는 기판 등의 피증착물에 도달 증착되므로, 피증착물 표면에 증착 박막을 형성하게 된다.Therefore, the organic material contained in the crucible is evaporated as the crucible is heated by the heating means. The organic substance evaporating in the heating of the crucible is discharged through the nozzle hole of the nozzle provided in the crucible, so that the chamber is opened, Such as a substrate positioned in the upper space of the substrate, thereby forming a deposited thin film on the surface of the deposited material.

그런데, 기존에는 도가니와 이를 덮는 노즐 사이의 밀봉이 제대로 이루어지지 못하여 노즐과 도가니 사이로 증발하는 증착 물질이 세어 나가게 되는 경우가 많으며, 이로 인하여 재료 손실이 많아지는 문제가 있다. 도가니를 가열하면 증착 재료가 증발되면서 도가니 내의 압력과 온도가 높아지는데, 이러한 도가니 내의 높은 압력과 온도로 인하여 도가니와 노즐 사이의 틈새가 생기게 되며, 이러한 틈새로 증착 재료가 세어 나가면서 증착 재료 손실이 되는 문제가 생기는 것이며, 나아가 피증착물 표면의 증착 박막의 균일도에도 영향을 미치는 문제가 있다. 또한, 도가니가 장치가 내장된 챔버에 세어 나온 증착 유기물이 붙게 되어서 추후 챔버의 클리닝 작업과 같은 유지 보수 작업이 많이 초래되는 문제도 생긴다.
However, since the sealing between the crucible and the nozzle covering the crucible is not properly performed, evaporation materials evaporating between the nozzle and the crucible are frequently counted, which causes a problem of increased material loss. When the crucible is heated, the evaporation material evaporates and the pressure and temperature in the crucible become high. Due to the high pressure and temperature in the crucible, a gap is created between the crucible and the nozzle. There is a problem that the uniformity of the deposited thin film on the surface of the deposited material is also affected. In addition, the crucible is adhered to the deposition organic material which is collected in the chamber in which the apparatus is built, so that the maintenance work such as the cleaning of the chamber is caused in the future.

국내공개특허 제10-2012-0090650호(2012.08.17 공개)Korean Patent Laid-Open No. 10-2012-0090650 (published on August 17, 2012) 국내공개특허 제10-2006-0031965호(2006.04.14 공개)Korean Patent Publication No. 10-2006-0031965 (published April 14, 2006) 국내공개특허 제10-2007-0095616호(2007.10.01 공개)Korean Patent Laid-Open No. 10-2007-0095616 (published on Oct. 1, 2007)

본 발명의 목적은 증착 재료가 충전되는 열탕인 도가니와 증착 유기물가 나오는 노즐의 결합 부분 사이에서 증착 재료가 누수되는 것을 방지할 수 있도록 도가니와 노즐의 재질을 열팽창 계수가 다른 이종 금속으로 채용한 새로운 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치를 제공하고자 하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a novel sealing material employing a material of a crucible and a nozzle as a dissimilar metal having a different thermal expansion coefficient so as to prevent leakage of an evaporation material between a crucible as a hot water to be filled with an evaporation material and a nozzle- So as to improve the structure of the crucible.

또한, 본 발명은 도가니와 증착 입자(증착 유기물)가 나가는 노즐 사이에 도가니와 노즐와는 다른 열팽창 특성을 가지는 이종 금속을 채워넣어서 도가니와 노즐의 결합 지지부 사이의 열팽창 계수의 차이에 따른 밀봉 구조가 확실하게 이루어지도록 하는 새로운 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치를 제공하고자 하는 것을 다른 목적으로 한다.
In addition, the present invention is characterized in that a dissimilar metal having a thermal expansion characteristic different from that of the crucible and the nozzle is filled between the crucible and the nozzle through which the deposition particles (deposited organic substances) exit, and the sealing structure corresponding to the difference in thermal expansion coefficient between the crucible- Another object of the present invention is to provide a steam-burning crucible having a novel sealing structure that is improved in sealing performance.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 내부에 증착용 재료가 투입되는 가열 공간부를 구비한 도가니; 상기 도가니의 상단 개구부를 덮어주도록 결합되며 상기 도가니에서 가열에 의해 생성되는 증기 상태의 유기물이 토출되어 나오는 노즐홀을 구비한 노즐을 포함하여 구성되며, 상기 노즐과 상기 도가니는 이종 재질로 구성되어, 상기 도가니와 상기 노즐 사이의 열팽창 계수의 차이에 의해 상기 도가니와 상기 노즐 사이의 접촉면 사이에 밀봉 상태가 유지되는 것을 특징으로 하는 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a crucible comprising: a crucible having a heating space portion into which a vapor deposition material is introduced; And a nozzle having a nozzle hole coupled to cover an upper opening of the crucible and discharging vapor organic matter generated by heating in the crucible, wherein the nozzle and the crucible are made of different materials, A sealing state is maintained between the crucible and the contact surface between the crucible and the nozzle due to a difference in thermal expansion coefficient between the crucible and the nozzle.

상기 도가니와 상기 노즐의 서로 마주하는 면에 이종 재질 재료가 개재된 것을 특징으로 한다.Wherein the crucible and the nozzle face each other with mutually different materials being interposed therebetween.

상기 도가니와 상기 노즐의 서로 맞닿는 면에 홀이 형성되고, 상기 홀에 상기 이종 재질 재료가 채워지며, 상기 홀은 상기 도가니와 상기 노즐의 서로 맞닿는 면에 폐회로 형태로 연장된 폐루프 홀 형상으로 구성되고, 상기 이종 재질 재료가 상기 홀에 채워지도록 구성되어, 상기 도가니와 상기 노즐의 서로 맞닿는 면에 폐루프 형태의 밀봉 밴드 섹터(밀봉 띠 영역)가 형성된 것을 특징으로 한다.Wherein a hole is formed in a surface of the crucible and the nozzle which are in contact with each other, the hole is filled with the dissimilar material, and the hole is formed in a shape of a closed loop hole extending in the form of a closed circuit on the contact surface of the crucible and the nozzle And a sealing band sector (sealing band zone) in the form of a closed loop is formed on the surface where the crucible and the nozzle are in contact with each other, so that the dissimilar material is filled in the hole.

상기 노즐의 저면에는 단차부가 생기도록 아래로 더 돌출된 돌기부가 구비되고, 상기 도가니는 내부에 지지턱이 구비되고, 상기 노즐이 상기 도가니의 상부측 개방부를 덮어주도록 결합될 때에 상기 노즐의 상기 단차부는 상기 도가니의 상단부에 접촉되고 상기 돌기부의 하단부는 상기 도가니의 상기 지지턱에 접촉되며, 상기 단차부와 상기 도가니의 상단부 및 상기 돌기부와 상기 지지턱의 서로 마주하는 면 사이에 상기 이종 재질 재료가 개재된 것을 특징으로 한다.Wherein the crucible is provided with a support tuck in the crucible and when the nozzle is coupled so as to cover the upper side opening of the crucible, And the lower end of the protruding portion is in contact with the supporting jaw of the crucible and between the upper end of the crucible and the upper surface of the crucible and between the facing surfaces of the protruding portion and the supporting jaw, .

상기 도가니의 상단부와 상기 노즐의 상기 단차부의 서로 맞닿는 면에 홀이 형성되고, 상기 돌기부와 상기 지지턱의 서로 마주하는 면에 홀이 형성되어, 상기 홀에 상기 이종 재질 재료가 각각 채워지도록 구성되며, 상기 홀은 폐회로 형태로 연장된 폐루프 홀 형상으로 구성되고, 상기 이종 재질 재료가 상기 홀에 채워지도록 구성되어, 상기 도가니의 상단부와 상기 노즐의 상기 단차부의 서로 맞닿는 면과 상기 돌기부와 상기 지지턱의 서로 마주하는 면에 폐루프 형태의 밀봉 밴드 섹터(밀봉 띠 영역)가 형성된 것을 특징으로 한다.A hole is formed in a surface of the crucible which abuts on an upper end of the crucible and the stepped portion of the nozzle, and a hole is formed in a surface of the protruding portion and the supporting jaw facing each other, and the hole is filled with the dissimilar material Wherein the hole is formed in a closed loop hole shape extending in the form of a closed loop and the dissimilar material is filled in the hole so that the upper end of the crucible and the stepped portion of the nozzle abut against each other, And a sealing band sector (sealing band zone) in the form of a closed loop is formed on the mutually facing surfaces of the jaws.

상기 노즐은, 저면에 상기 단차부와 상기 돌기부가 구비된 노즐판; 상기 노즐판에 구비되며 내부에는 노즐홀이 구비된 노즐관;을 포함하여 구성되고, 상기 도가니는 내부에 상기 지지턱 아래에 배치되도록 지지턱이 구비되고, 상기 지지턱에는 복수개의 구멍이 형성된 패널이 걸쳐져서 상기 노즐과 상기 노즐 사이에 상기 패널이 배치되도록 구성되며, 상기 도가니의 내부 공간부는 복수개의 격벽(12)에 의해 복수개의 가열 공간부로 구획된 것을 특징으로 한다.Wherein the nozzle comprises: a nozzle plate having the stepped portion and the protruding portion formed on a bottom surface thereof; And a nozzle tube provided in the nozzle plate and having a nozzle hole therein, wherein the crucible is provided with a support jaw to be disposed inside the support jaw, and the support jaw is provided with a plurality of holes And the panel is disposed between the nozzle and the nozzle. The inner space of the crucible is partitioned into a plurality of heating spaces by a plurality of partitions.

상기 노즐관은 상기 노즐의 양단부 사이의 중심선을 기준으로 부채꼴 형태로 경사지게 배치된 것이 바람직하다.
And the nozzle tube is disposed in an oblique manner in a fan shape with respect to a center line between both ends of the nozzle.

본 발명은 주요부인 도가니와 노즐이 각각 열팽창 계수가 다른 이종 재질로 구성함으로써, 도가니의 가열에 의해 피증착물의 표면에 증착을 시킬 때에 도가니와 노즐이 팽창하는 정도가 다르게 되면서 도가니와 노즐의 접촉면 사이의 밀봉 상태가 견고하게 조성되므로, 증착 도중에 증착 재료가 세는 현상을 방지할 수 있으며, 증착 재료가 세는 현상을 방지함으로써 증착 재료 손실, 피증착물 표면의 증착 박막의 균일도 저하 등의 여러 가지 문제를 해결하는 효과가 있다.The crucible and the nozzle are made of different materials having different coefficients of thermal expansion, so that when the crucible is deposited on the surface of the material to be deposited by the heating of the crucible, the degree of expansion of the crucible and the nozzle becomes different, It is possible to prevent the evaporation of the evaporation material during evaporation and to prevent the evaporation of the evaporation material, thereby solving various problems such as the loss of the evaporation material and the uniformity of the deposited thin film on the surface of the evaporation material. .

또한, 본 발명에서는 도가니를 가열할 때에 도가니와 노즐과는 재질이 다른 이종 재질 재료가 도가니와 노즐 사이의 밀착력을 높여주기 때문에, 상기와 같이 증착 도중에 도가니와 노즐 사이의 틈새로 증착 유기물이 세어 나가는 것과 같은 여러 가지 문제를 해결하는 효과가 있다. 특히, 본 발명의 다른 실시예에서는 이종 재질 재료가 팽창하면서 그 부분에서의 밀착력을 더욱 높여주기 때문에 도가니와 노즐 사이의 틈새 밀봉 구조가 더욱 커지고, 이로 인하여 증착 재료의 세는 현상을 더욱 확실하게 방지한다.In addition, in the present invention, when heating the crucible, the dissimilar material having a material different from that of the crucible improves the adhesion between the crucible and the nozzle. As described above, deposition organic matter is counted as a gap between the crucible and the nozzle during deposition And the like. Particularly, in another embodiment of the present invention, since the dissimilar material material expands to further increase the adhesion force at the portion, the gap sealing structure between the crucible and the nozzle is further increased, thereby preventing the phenomenon of the deposition material from being more reliably prevented .

또한, 본 발명에서는 노즐 저면의 돌기부와 도가니의 지지턱 사이에 개재된 제1지점 이종 재질 재료와 노즐 저면의 단차부와 도가니의 상단부 사이에 개재된 제2지점 이종 재질 재료가 구비된 이중의 이종 재질 재료가 구비되어 있어서, 증착 재료의 누설을 방지하는 기능에 있어서 보다 탁월한 효과를 발휘한다.
Further, in the present invention, it is preferable that the first point of interposition between the projecting portion of the bottom surface of the nozzle and the supporting jaw of the crucible is a double heterogeneous material having the second point of different material material interposed between the step portion of the nozzle bottom surface and the upper end portion of the crucible A material material is provided so that it exerts a more excellent effect in the function of preventing leakage of the evaporation material.

도 1은 본 발명에 의한 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치의 주요부인 도가니 노즐의 분해된 상태를 보여주는 사시도
도 2는 본 발명에 의한 도가니 장치의 사시도
도 3은 본 발명에 의한 증착용 도가니 장치의 종단면도
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 의한 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치의 주요부인 도가니와 노즐의 분해된 상태를 보여주는 사시도
도 5는 도 4에 도시된 본 발명의 다른 실시예에 의한 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치의 구조를 보여주는 종단면도
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치의 주요부인 도가니와 커버 및 노즐의 분해된 상태를 보여주는 사시도
도 7은 도 6에 도시된 증착용 도가니의 종단면도
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치의 주요부인 도가니와 노즐의 분해된 상태를 보여주는 사시도
도 9는 도 8에 도시된 본 발명의 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치의 종단면도BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view showing a disassembled state of a crucible nozzle, which is a main part of a crucible-
2 is a perspective view of a crucible according to the present invention;
3 is a vertical cross-sectional view of the crucible for vapor deposition according to the present invention
FIG. 4 is a perspective view showing a decomposed state of a crucible and a nozzle, which are main parts of a crucible-supporting crucible for improving the sealing structure according to another embodiment of the present invention;
5 is a longitudinal sectional view showing a structure of a crucible-supporting crucible for improving the sealing structure according to another embodiment of the present invention shown in Fig. 4
FIG. 6 is a perspective view showing a crucible, a main part of a crucible-supporting crucible for improving the sealing structure according to another embodiment of the present invention, a cover,
Fig. 7 is a longitudinal sectional view of the evaporation crucible shown in Fig. 6
FIG. 8 is a perspective view showing a decomposed state of a crucible and a nozzle, which are main parts of a crucible-supporting crucible for improving the sealing structure according to another embodiment of the present invention;
Fig. 9 is a longitudinal sectional view of a steam-burning crucible apparatus in which the sealing structure of the present invention shown in Fig. 8 is improved

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 상기 본 발명의 목적과 특징 및 장점은 첨부도면 및 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 더욱 쉽게 이해될 수 있을 것이다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The objects, features and advantages of the present invention will be more readily understood by reference to the accompanying drawings and the following detailed description. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
In describing the components of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are intended to distinguish the constituent elements from other constituent elements, and the terms do not limit the nature, order or order of the constituent elements. When a component is described as being "connected", "coupled", or "connected" to another component, the component may be directly connected or connected to the other component, Quot; may be "connected,""coupled," or "connected. &Quot;

도면을 참조하면, 본 발명은 내부에 증착용 재료가 투입되는 공간부를 구비한 도가니(10)와, 이 도가니(10)의 상단 개구부를 덮어주도록 결합되며 도가니(10)에서 가열에 의해 생성되는 증기 상태의 유기물이 토출되어 나오는 노즐홀(20h)을 구비한 노즐(20)을 포함한다. 이때, 도가니(10)와 노즐(20)은 이종 재질로 구성되어, 상기 도가니(10)와 노즐(20) 사이의 열팽창 계수의 차이에 의해 도가니(10)와 노즐(20) 사이의 접촉면 사이에 밀봉 상태가 유지되는 것이 특징이다. 도가니(10)를 가열하여 도가니(10) 내부의 증착 재료를 기화 또는 승화시켜 증기(기체)상태의 유기물을 만들 때에 이종 재질의 도가니(10)와 노즐(20) 사이의 열팽창 계수가 차이가 생기고, 이러한 열팽창 계수의 차이를 활용하여 도가니(10)와 노즐(20) 사이의 접촉면에 밀봉 상태가 견고하게 유지되는 것에 특징이 있는 발명이다.The present invention relates to a crucible comprising a crucible (10) having a space portion into which a vapor deposition material is charged, a vapor (10) which is combined to cover an upper opening of the crucible (10) And a nozzle 20h having a nozzle hole 20h through which organic matter is discharged. At this time, the crucible 10 and the nozzle 20 are made of different materials, and the difference in thermal expansion coefficient between the crucible 10 and the nozzle 20 causes a difference between the contact surface between the crucible 10 and the nozzle 20 And the sealed state is maintained. The thermal expansion coefficient between the crucible 10 of the different material and the nozzle 20 is different when the crucible 10 is heated to vaporize or sublimate the evaporation material in the crucible 10 to make the organic material in the vapor state And the sealed state is firmly maintained at the contact surface between the crucible 10 and the nozzle 20 by utilizing the difference in the thermal expansion coefficient.

상기 도가니(10)는 내부에 단면 원형의 가열 공간부가 구비되도록 원통형 박스 형상으로 구성된다. 즉, 도가니(10)가 원통형 용기 형태로 구성된다. 도가니(10) 내부의 공간부는 상부쪽으로 개방되어 있다. 도가니(10)의 상단부에는 플랜지부가 구비된다. 플랜지부에는 볼트 등의 체결구가 결합되기 위한 체결구홀이 구비된다. 또한, 도가니(10)는 내부에 지지턱(14)이 구비된다. 지지턱(14)은 도가니(10)의 상단부에서 좀더 아래로 내려온 위치에 구비된다. 상기 지지턱(14)의 상면과 도가니(10)의 상단부 사이에는 후술할 노즐(20) 저면의 돌기부(26)가 끼워져 안착된다. 또한, 상기 도가니(10)는 내부에 지지턱(14) 아래에 배치되도록 지지턱(14)이 구비된다. 지지턱(14)의 상면과 도가니(10)의 상단부 사이에는 후술할 패널(42)이 걸쳐져 지지된다. 그리고, 상기 도가니(10)의 내부 공간부는 복수개의 격벽(12)에 의해 복수개의 가열 공간부로 구획된다. 이때, 격벽(12)의 상단부 높이는 지지턱(14)의 상면보다 높이가 더 낮도록 구성된다.The crucible 10 is formed in a cylindrical box shape so that a circular space having a circular section is formed therein. That is, the crucible 10 is formed in the form of a cylindrical container. The space inside the crucible 10 is open toward the upper side. A flange portion is provided at the upper end of the crucible 10. The flange portion is provided with a fastening hole for fastening a bolt or the like. In addition, the crucible 10 is provided with a support step 14 therein. The supporting jaw 14 is provided at a position lowered further from the upper end of the crucible 10. A projecting portion 26 of the bottom surface of the nozzle 20 to be described later is inserted and seated between the upper surface of the support jaw 14 and the upper end of the crucible 10. Further, the crucible 10 is provided with a supporting step 14 so as to be disposed inside the supporting step 14. A panel 42 to be described later is supported between the upper surface of the support jaw 14 and the upper end of the crucible 10. The inner space of the crucible 10 is partitioned into a plurality of heating spaces by a plurality of partitions 12. At this time, the height of the upper end of the partition wall 12 is set to be lower than the height of the upper surface of the support jaw 14.

상기 도가니(10)는 후술하는 노즐(20)과 이종 재질이 된다. 본 발명에서 도가니(10)의 재질은 히터 등의 가열원의 열에 강한 티타늄으로 구성될 수 있다. 물론, 도가니(10)가 티타늄 이외에 다른 금속으로 구성될 수도 있다. 도가니(10)의 재질이 노즐(20)과 열팽창 계수가 다른 재질이면 된다.The crucible 10 is made of a different material from the nozzle 20 described later. In the present invention, the material of the crucible 10 may be made of titanium which is resistant to the heat of a heating source such as a heater. Of course, the crucible 10 may be made of a metal other than titanium. The material of the crucible 10 may be a material having a thermal expansion coefficient different from that of the nozzle 20.

상기 노즐(20)은 도가니(10)의 상단부측 개방부를 막아주도록 도가니(10) 상단부에 결합되는 것이다. 노즐(20)은 노즐판(22)과, 이 노즐판(22)에 결합된 노즐관(24)을 포함한다.The nozzle 20 is coupled to the upper end of the crucible 10 to block the opening on the upper end side of the crucible 10. The nozzle 20 includes a nozzle plate 22 and a nozzle tube 24 coupled to the nozzle plate 22.

상기 노즐판(22)은 도가니(10)의 상단부측 직원형 개방부를 막아주기 위한 원형 판 구조이다. 노즐판(22)의 내부에는 아래로 개방된 공간부가 구비된다. 노즐판(22)의 저면에는 돌기부(26)가 구비된다. 노즐판(22)은 아래로 개방된 공간부를 형성하도록 하향 연장 둘레벽을 구비한 판 구조인데, 이러한 노즐판(22)의 하향 연장 둘레벽 하단부에 상기 돌기부(26)가 구비된다. 따라서, 노즐(20)의 저면에 아래로 더 돌출된 돌기부(26)가 구비된 구초를 취하게 된다. 이때, 돌기부(26)는 중간이 끊기지 않고 연속적으로 이어진 폐루프 돌기 구조이다. 본 발명에서 돌기부(26)는 직사각 폐루프 돌기 구조를 이룬다. 이러한 돌기부(26)에 의해 노즐판(22)의 저면(즉, 상기 하향 연장 둘레부의 하단부)에 단차부가 형성된다. 따라서, 노즐(20)의 저면에 돌기부(26)에 의한 단차부가 구비된 구조를 취하게 된다.The nozzle plate 22 is a circular plate structure for blocking the upper-end-side staff opening portion of the crucible 10. The nozzle plate 22 is provided with a space portion opened downward. A protrusion 26 is provided on the bottom surface of the nozzle plate 22. The nozzle plate 22 is a plate structure having a downwardly extending circumferential wall to form a downwardly opened space. The protuberance 26 is provided at the lower end of the downwardly extending circumferential wall of the nozzle plate 22. Accordingly, the nozzle 20 is provided with a protrusion 26 protruding downward on the bottom surface thereof. At this time, the protruding portion 26 is a closed loop projection structure in which the middle portion is continuously cut without breaking. In the present invention, the protrusion 26 has a rectangular closed loop projection structure. A stepped portion is formed on the bottom surface of the nozzle plate 22 (that is, the lower end portion of the downwardly extending peripheral portion) by the projecting portion 26. Accordingly, the nozzle 20 has a stepped portion formed by the projection 26 on the bottom surface thereof.

상기 노즐관(24)은 하단부가 노즐판(22)의 상면에 고정된 구조를 취한다. 노즐관(24) 내부의 노즐홀(20h)은 노즐판(22)의 저면으로 연통된다. 노즐판(22)의 내부에 공간부가 구비되는데, 노즐관(24) 내부의 노즐홀(20h) 하단부가 노즐판(22) 내부의 공간부를 구성하는 천정면으로 연통된다. 이때, 노즐판(22)은 중심부를 기준으로 복수개의 노즐관(24)이 방사 방향으로 배치되도록 구성될 수도 있다. 또한, 각각의 노즐관(24)은 노즐판(22)의 중심부를 기준으로 바깥 방향으로 경사지게 배치(벌어지게 배치)되는 것이 바람직하다. 상기 노즐판(22)의 정면에서 볼 때에 수직 방향 중심선과 나란한 방향으로 상하 방향 중심부가 일치하도록 센터 노즐관(24)이 구비되고, 상기 센터 노즐관(24)을 기준으로 방사 방향으로 복수개의 노즐관 그룹이 배치됨과 동시에 각각의 노즐관(24)이 노즐판(22)의 수직 방향 중심선에서 벌어지도록 경사지게 배치된다. 또한, 각각의 노즐관(24) 중에서 수직 방향 중심선에서 더 멀리 떨어진 노즐관(24)이 수직 방향 중심선에서 더 많이 바깥으로 경사지도록 배치된다. 예를 들어, 센터 노즐관(24)이 수직 방향 중심선과 나란하도록 수직 방향으로 세워져 배치되고, 센터 노즐관(24) 바로 옆의 노즐관 그룹을 제1노즐관 그룹이라 하고, 제1노즐관 바로 옆의 노즐관 그룹을 제2노즐관 그룹이라 하면, 제1노즐관 그룹의 각 노즐관(24)이 수직 방향 중심선에서 바깥 방향으로 경사진 각도보다 제2노즐관 그롭의 각 노즐관(24)이 수직 방향 중심선에서 바깥 방향으로 경사진 각도가 더 크게 구성된다. 이러한 방식으로 복수개의 노즐관(24)들이 노즐(20)의 수직 방향 중심선을 기준으로 방사 방향으로 경사지게 배치된 구조를 가진다. 그리고, 상기 노즐관(24)들의 내부에는 노즐홀(20h)이 구비되어 있으므로, 각각의 노즐홀(20h) 역시 노즐(20)의 수직 방향 중심선을 기준으로 방사 방향으로 경사지게 배치된 구조를 가지게 된다. 노즐(20)의 정면에서 볼 때에 복수개의 노즐관(24)들이 노즐(20)의 수직 방향 중심선을 기준으로 방사 방향으로 경사지게 배치되므로, 각 노즐관(24)들에 구비된 노즐홀(20h) 역시 노즐(20)의 수직 방향 중심선을 기준으로 바깥 방향으로 경사지게 배치된 구조를 가진 것이다.The nozzle tube 24 has a structure in which the lower end portion is fixed to the upper surface of the nozzle plate 22. The nozzle hole 20h in the nozzle tube 24 communicates with the bottom surface of the nozzle plate 22. The lower end of the nozzle hole 20h in the nozzle tube 24 communicates with the ceiling surface constituting the space portion inside the nozzle plate 22. [ At this time, the nozzle plate 22 may be configured such that a plurality of nozzle tubes 24 are arranged in the radial direction with respect to the center portion. Further, it is preferable that each of the nozzle tubes 24 is arranged to be inclined outward (spread apart) with respect to the center portion of the nozzle plate 22. A center nozzle tube 24 is provided so that the central portion of the nozzle plate 22 coincides with the vertical center line when viewed from the front side of the nozzle plate 22, At the same time as the tube groups are arranged, each nozzle tube 24 is arranged obliquely so as to spread out in the vertical center line of the nozzle plate 22. [ In addition, the nozzle tube 24, which is further away from the vertical center line of each nozzle tube 24, is arranged to be more inclined outwardly in the vertical direction centerline. For example, the center nozzle tube 24 is vertically arranged so as to be parallel to the vertical center line, and the nozzle tube group immediately adjacent to the center nozzle tube 24 is referred to as a first nozzle tube group, When the adjacent nozzle tube group is referred to as a second nozzle tube group, each nozzle tube 24 of the first nozzle tube group is connected to each nozzle tube 24 of the second nozzle tube groove, And the inclined angle from the vertical center line to the outward direction is made larger. In this way, the plurality of nozzle tubes 24 are arranged to be inclined radially with respect to the vertical center line of the nozzle 20. Since the nozzle holes 20h are provided in the nozzle tubes 24, the nozzle holes 20h are also inclined radially with respect to the vertical center line of the nozzles 20 . A plurality of nozzle tubes 24 are arranged to be inclined radially with respect to the vertical center line of the nozzle 20 so that the nozzle holes 20h provided in the respective nozzle tubes 24, The nozzle 20 has a structure in which it is inclined outward with respect to the vertical center line of the nozzle 20.

상기 노즐(20)은 도가니(10)의 체결구홀에 대응하는 체결구 삽입홀이 구비된다. 노즐(20)을 구성하는 노즐판(22)에 상면에서 저면으로 관통된 체결구 삽입홀이 구비된다. 따라서, 상기 노즐(20)을 도가니(10)의 상부측 개방부를 닫아주도록 결합한 상태에서 노즐(20)의 체결구 삽입홀에 결합된 볼트 등의 체결구를 도가니(10)에 형성된 체결구홀에 결합하여 고정시키면, 상기 도가니(10)에 노즐(20)이 결합되도록 할 수 있다.The nozzle 20 is provided with a fastener insertion hole corresponding to a fastener hole of the crucible 10. The nozzle plate 22 constituting the nozzle 20 is provided with a fastener insertion hole penetrating from the upper surface to the lower surface. Therefore, in the state where the nozzle 20 is coupled to close the upper side opening of the crucible 10, a fastener such as a bolt coupled to the fastener insertion hole of the nozzle 20 is coupled to the fastener hole formed in the crucible 10 So that the nozzle 20 can be coupled to the crucible 10.

이때, 상기 노즐(20)은 도가니(10)와는 재질이 다른 이종 재질로 구성된 것이 중요하다. 본 발명에서 노즐(20)은 구리 합금으로 구성될 수 있다. 물론, 노즐(20)이 구리 합금 이외에 다른 금속 재질로 구성될 수 있다. 본 발명에서 도가니(10)가 티타늄 재질로 구성될 수 있고 노즐(20)은 구리 합금을 구성될 수 있는데, 도가니(10)와 노즐(20)이 각각 티타늄과 구리 합금 이외에 다른 금속으로 구성될 수 있음은 물론이다. 본 발명에서는 도가니(10)와 노즐(20)을 재질이 열팽창 계수가 다른 이종 금속 재질로 구성한 것이 중요하다.
In this case, it is important that the nozzle 20 is made of a different material from the crucible 10. In the present invention, the nozzle 20 may be made of a copper alloy. Of course, the nozzle 20 may be made of a metal other than copper alloy. The crucible 10 and the nozzle 20 may be made of titanium and the nozzle 20 may be made of a copper alloy. Of course it is. In the present invention, it is important that the crucible 10 and the nozzle 20 are made of a dissimilar metal material having a different thermal expansion coefficient.

상기한 구성의 본 발명에 의하면, 도가니(10)의 각 가열 공간부에 증착 재료를 채워넣고 도가니(10)의 상부측 개방부를 노즐(20)에 의해 막아주도록 결합한 상태에서 히터 등의 가열 장치(미도시)에 의해 도가니(10)를 가열하면, 도가니(10)에 채워져 있는 증착 재료가 기화 또는 승화되어 증기(기체)상태의 유기물로 되어 상기 노즐(20)의 각 노즐홀(20h)을 통하여 나오면서 도가니(10) 상부에 위치한 기판 등의 피증착물에 박막 증착이 이루어지게 된다. 물론, 상기 도가니(10)는 미도시된 증착 챔버 내에 투입되고 피증착물도 증착 챔버 내에 투입되어 증착 작업이 증착 챔버 내에서 이루어지도록 할 수 있다.The heating space of the crucible 10 is filled with the evaporation material and the upper side opening of the crucible 10 is closed by the nozzle 20 so as to be connected to a heating device such as a heater The evaporation material filled in the crucible 10 is vaporized or sublimated into an organic matter in the form of a vapor so as to be supplied to the crucible 10 through the nozzle holes 20h of the nozzle 20 The thin film is deposited on the deposition material such as a substrate placed on the crucible 10. Of course, the crucible 10 may be charged into a deposition chamber (not shown), and the material to be deposited may be charged into the deposition chamber so that deposition may be performed in the deposition chamber.

따라서, 본 발명에서는 도가니(10)와 노즐(20)이 각각 티타늄과 구리 합금으로 이루어지는 것과 같이 각각 열팽창 계수가 다른 이종 재질로 구성함으로써, 도가니(10)의 가열에 의해 피증착물의 표면에 증착을 시킬 때에 도가니(10)와 노즐(20)이 팽창하는 정도가 다르게 되면서 도가니(10)와 노즐(20)의 접촉면 사이의 밀봉 상태가 견고하게 조성되므로, 증착 도중에 증착 재료가 세는 현상을 방지할 수 있다. 증착 도중에 도가니(10)와 노즐(20)의 접촉면 사이로 기화 또는 승화된 증착 유기물이 세어 나가는 현상을 방지함으로써 증착 재료의 손실이 많아지는 문제를 해결한 효과가 있다. 도가니 장치를 가열(즉, 도가니(10)를 가열)하면 증착 재료가 증발되면서 도가니(10) 내의 압력과 온도가 높아지는데, 본 발명에서는 도가니(10)와 노즐(20)이 각각 열팽창 정도가 다른 이종 재질로 형성함으로써 도가니(10) 내부의 높은 압력과 온도로 도가니(10)와 노즐(20) 사이의 틈새가 생기는 일이 없게 되고, 이러한 도가니(10)와 노즐(20) 사이의 틈새로 증착 재료가 세어 나가면서 재료 손실이 되는 문제가 해결되는 것이며, 나아가 증착 재료의 세는 현상이 방지됨으로 인하여 피증착물 표면의 증착 박막의 균일도에 있어서도 품질이 좋아진다. 또한, 본 발명의 도가니 장치가 내장된 챔버에 세어 나온 증착 유물질이 붙게 되는 일이 없어서 추후 챔버의 클리닝 작업과 같은 유지 보수 작업이 많이 초래되는 문제도 해결한다.
Therefore, in the present invention, since the crucible 10 and the nozzle 20 are made of different materials each having a different thermal expansion coefficient, such as titanium and copper alloy, the deposition is performed on the surface of the deposit by heating the crucible 10 The sealing state between the crucible 10 and the contact surface of the nozzle 20 is firmly established so that the evaporation of the evaporation material during deposition can be prevented have. It is possible to prevent the evaporation organic matter from evaporating or sublimating between the contact surfaces of the crucible 10 and the nozzle 20 during the deposition, thereby solving the problem of increasing the loss of the evaporation material. In the present invention, the crucible 10 and the nozzle 20 are heated to a different degree of thermal expansion, and the temperature of the crucible 10 is increased by heating the crucible (i.e., heating the crucible 10) A gap between the crucible 10 and the nozzle 20 does not occur at a high pressure and a high temperature inside the crucible 10 and a gap between the crucible 10 and the nozzle 20 is formed by vapor deposition The problem of material loss as the material is counted is solved. Further, since the phenomenon of deposition of the evaporation material is prevented, the uniformity of the deposited thin film on the surface of the evaporation material is also improved. In addition, since the evaporation material deposited on the chamber containing the crucible of the present invention is not attached, maintenance work such as cleaning of the chamber can be performed later.

한편, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 의한 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치의 주요부인 도가니와 노즐의 분해된 상태를 보여주는 사시도, 도 5는 도 4에 도시된 본 발명의 다른 실시예에 의한 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치의 구조를 보여주는 종단면도이다. 도 4와 도 5에 의한 본 발명의 다른 실시예는 도가니(10)와 노즐(20)의 서로 마주하는 면에 홈(GV)을 형성하여, 이러한 홈(GV)에 도가니(10)와 노즐(20)의 재질과는 다른 이종 재질 재료(30)를 채워놓은 것에 특징이 있다.FIG. 4 is a perspective view showing a decomposed state of a crucible and a nozzle, which are major parts of a crucible for crucible improvement of a sealing structure according to another embodiment of the present invention, FIG. 5 is a perspective view of another embodiment Fig. 3 is a vertical cross-sectional view showing the structure of the crucible for vapor deposition in which the sealing structure is improved. 4 and 5, a groove GV is formed on the surfaces of the crucible 10 and the nozzle 20 facing each other, and the crucible 10 and the nozzle 20 20 is filled with a different kind of material 30.

도 4와 도 5을 참조하면, 도가니(10)의 상단부에 홈(GV)이 형성되어 있다. 물론, 노즐(20)의 저면 중에서 도가니(10)의 상단부와 접촉하는 저면에 홈(GV)이 형성될 수도 있는데, 도 4와 도 5에서는 도가니(10)의 상단부에 홈(GV)이 형성된 것이 도시되어 있다. 구체적으로, 도가니(10)의 좀더 아래로 내려온 위치에 구비된 지지턱(14)의 상면에 홈(GV)이 구비되어 있으며, 이러한 홈(GV)에 도가니(10)와 노즐(20)과는 다른 이종 재질 재료(30)가 채워질 수 있다. 도가니(10)와 노즐(20) 바디가 각각 티타늄과 구리 합금으로 이루어지고 이종 재질 재료(30)는 티타늄과 구리 합금과는 다른 재질의 금속으로 구성될 수 있다. 이종 재질 재료(30)는 내열성 금속으로 구성될 수 있다. 한편, 도가니(10)와 노즐(20) 바디가 같은 재질로 이루어지고 이종 재질 재료(30)가 도가니(10)와 노즐(20) 바디와는 다른 재질로 구성될 수도 있다. 예를 들어, 도가니(10)와 노즐(20) 바디가 동일한 티타늄으로 이루어진 경우 이종 재질 재료(30)는 구리 합금으로 이루어지고, 도가니(10)와 노즐(20) 바디가 동일한 구리 합금으로 이루어진 경우 이종 재질 재료(30)는 티타늄으로 이루어질 수 있다.Referring to FIGS. 4 and 5, a groove GV is formed at the upper end of the crucible 10. Of course, grooves GV may be formed on the bottom surface of the bottom surface of the nozzle 20 in contact with the upper end of the crucible 10. In FIGS. 4 and 5, grooves GV are formed on the upper end of the crucible 10 Respectively. Specifically, a groove GV is provided on the upper surface of the support step 14 provided at a lower position of the crucible 10, and the crucible 10 and the nozzle 20 are connected to the groove GV Another heterogeneous material 30 may be filled. The crucible 10 and the nozzle body 20 may be made of titanium and a copper alloy respectively and the different material 30 may be made of a metal different from titanium and copper alloy. The heterogeneous material 30 may be composed of a refractory metal. The crucible 10 and the nozzle 20 may be made of the same material and the different material 30 may be made of a material different from the crucible 10 and the nozzle 20 body. For example, when the crucible 10 and the nozzle 20 are made of the same titanium, the different material 30 is made of a copper alloy. When the crucible 10 and the nozzle 20 are made of the same copper alloy The heterogeneous material 30 may be made of titanium.

상기 도가니(10)의 지지턱(14) 상면에는 노즐(20)의 저면이 접촉된다. 본 발명의 다른 실시예에서 노즐(20)은 상기한 본 발명의 일시예의 노즐(20)과 구성이 동일하다. 즉, 노즐(20)은 저면에 아래로 더 돌출된 돌기부(26)가 구비된 구조를 취하게 되고, 돌기부(26)는 중간이 끊기지 않고 연속적으로 이어진 직사각 폐루프 돌기 구조를 이루며. 이러한 돌기부(26)에 의해 노즐판(22)의 저면(즉, 상기 하향 연장 둘레부의 하단부)에 단차부가 형성된다. 따라서, 노즐(20)의 저면에 돌기부(26)에 의한 단차부가 구비된 구조를 취하게 된다.The bottom surface of the nozzle 20 is brought into contact with the upper surface of the supporting step 14 of the crucible 10. In another embodiment of the present invention, the nozzle 20 has the same configuration as the nozzle 20 of the temporary example of the present invention described above. That is, the nozzle 20 has a protruding portion 26 protruding downwardly on the bottom surface, and the protruding portion 26 forms a rectangular closed loop protruding structure continuously continuous without interruption. A stepped portion is formed on the bottom surface of the nozzle plate 22 (that is, the lower end portion of the downwardly extending peripheral portion) by the projecting portion 26. Accordingly, the nozzle 20 has a stepped portion formed by the projection 26 on the bottom surface thereof.

상기 노즐(20)이 도가니(10)의 상부측 개방부를 막아주도록 결합되면, 노즐(20)의 저면에 돌출된 돌기부(26)가 도가니(10)에 구비된 지지턱(14)의 상면에 접촉된다. 따라서, 상기 노즐(20)의 저면 돌기부(26) 하단부와 도가니(10)의 지지턱(14) 상면 사이에 상기 이종 재질 재료(30)가 개재된 구조를 가지게 된다.When the nozzle 20 is coupled to close the upper side opening of the crucible 10, the protrusion 26 protruding from the bottom surface of the nozzle 20 contacts the upper surface of the supporting jaw 14 provided on the crucible 10 do. Therefore, a structure in which the dissimilar material 30 is interposed between the lower end of the bottom surface protrusion 26 of the nozzle 20 and the upper surface of the supporting step 14 of the crucible 10 is provided.

결국, 본 발명의 다른 실시예에서는 이종 재질 재료(30)가 도가니(10)와 노즐(20)의 열팽창 계수와 다른 열팽창 계수를 가지는 재료로 구성되어 도가니(10)와 노즐(20)의 서로 마주하는 면 사이에 개재된 것이 본 발명의 다른 실시예의 주요 특징이며, 이에 더하여 도가니(10)와 노즐(20)의 서로 마주하는 면에 홈(GV)을 형성하여, 이러한 홈(GV)에 상기 이종 재질 재료(30)가 충전되어 있는 것이 다른 특징이다.As a result, in another embodiment of the present invention, the dissimilar material 30 is made of a material having a thermal expansion coefficient different from that of the crucible 10 and the nozzle 20 so that the crucible 10 and the nozzle 20 face each other The grooves GV are formed on the surfaces of the crucible 10 and the nozzle 20 facing each other and the grooves GV are formed in the grooves GV, Another characteristic is that the material material 30 is filled.

이에 더하여, 본 발명의 다른 실시예에서는 노즐(20)의 저면에 돌출부로 인하여 생긴 단차부와 도가니(10)의 상단부(즉, 상기 지지턱(14)의 상면보다 더 위에 있는 면)가 서로 접촉되는데, 이처럼 서로 접촉되는 노즐(20) 저면의 단차부와 도가니(10)의 상단부에 홈(GV)을 형성하고, 이러한 홈(GV)에 다른 이종 재질 재료(30)가 채워진다. 본 발명에서는 도가니(10)의 상단부에 폐루프 형상의 홈(GV)을 형성하고, 상기 홈(GV)에 이종 재질 재료(30)를 채워넣는다. 즉, 본 발명의 다른 실시예에서는 노즐(20) 저면의 돌기부(26)와 도가니(10)의 지지턱(14) 사이에 개재된 제1지점 이종 재질 재료(30)와 노즐(20) 저면의 단차부와 도가니(10)의 상단부 사이에 개재된 제2지점 이종 재질 재료(30)가 구비된 구조를 가진다. 결국, 본 발명의 다른 실시예의 경우, 두 개의 이종 재질 재료(30)가 노즐(20)과 도가니(10)의 접촉면 사이에 이중으로 구비된 것이라 할 수 있다. 상기 도가니(10)와 노즐(20)의 서로 맞닿는 면에 폐루프 형태의 밀봉 밴드 섹터(밀봉 띠 영역)가 형성되는데, 이러한 밀봉 밴드 섹터가 이중으로 형성된 것이다.In addition, according to another embodiment of the present invention, the stepped portion formed by the projecting portion on the bottom surface of the nozzle 20 and the upper end portion of the crucible 10 (that is, the surface that is higher than the upper surface of the support step 14) A groove GV is formed in the stepped portion of the bottom surface of the nozzle 20 and the upper end of the crucible 10 which are in contact with each other as described above and the different kinds of materials 30 are filled in the groove GV. In the present invention, a closed loop groove (GV) is formed at the upper end of the crucible (10), and the groove (GV) is filled with a different material material (30). That is, in another embodiment of the present invention, the first point of different material material 30 interposed between the protrusion 26 on the bottom of the nozzle 20 and the support jaw 14 of the crucible 10, And a second point different material material 30 interposed between the step portion and the upper end of the crucible 10. As a result, in the case of another embodiment of the present invention, it can be said that two different kinds of material 30 are provided double between the contact surface of the nozzle 20 and the crucible 10. A sealing band sector (sealing band zone) in the form of a closed loop is formed on the surfaces of the crucible 10 and the nozzle 20 which are in contact with each other.

따라서, 본 발명의 다른 실시예서는 도가니(10)를 가열할 때에 도가니(10)와 노즐(20)과는 재질이 다른 이종 재질 재료(30)가 도가니(10)와 노즐(20) 사이의 밀착력을 높여주기 때문에, 상기와 같이 증착 도중에 도가니(10)와 노즐(20) 사이의 틈새로 증착 유기물이 세어 나가는 여러 가지 문제를 해결하는 효과가 있다. 특히, 본 발명의 다른 실시예에서는 이종 재질 재료(30)가 팽창하면서 그 부분에서의 밀착력을 더욱 높여주기 때문에 도가니(10)와 노즐(20) 사이의 틈새 밀봉 구조가 더욱 커지고, 이로 인하여 증착 재료의 세는 현상을 더욱 확실하게 방지한다. 본 발명의 다른 실시예에서 도가니(10)와 노즐(20)을 서로 다른 이종 재질로 형성하고, 한편으로 이종 재질 재료(30)는 도가니(10)와 노즐(20)과는 또 다른 이종 재질로 형성할 수 있는데, 이러한 경우에는 도가니(10)와 노즐(20) 및 이종 재질 재료(30)의 열팽창 정도가 각각 차별화되어서 도가니(10)와 노즐(20) 사이의 밀봉 상태 향상을 통한 증착 재료의 누설 현상을 방지하는데 더욱 효과적이다.Therefore, in another embodiment of the present invention, when the crucible 10 is heated, a different material 30 having different materials from the crucible 10 and the nozzle 20 is adhered to the crucible 10 and the nozzle 20 There is an effect of solving various problems that deposition organic matter is counted as a gap between the crucible 10 and the nozzle 20 during deposition as described above. Particularly, in another embodiment of the present invention, since the dissimilar material 30 expands to further increase the adhesion at the portion, the gap sealing structure between the crucible 10 and the nozzle 20 becomes larger, Is more reliably prevented. In another embodiment of the present invention, the crucible 10 and the nozzle 20 are made of different kinds of materials, while the different material 30 is made of a different material from the crucible 10 and the nozzle 20 The degree of thermal expansion between the crucible 10 and the nozzle 20 and the different material 30 may be differentiated to improve the sealing state between the crucible 10 and the nozzle 20, It is more effective in preventing the leakage phenomenon.

또한, 본 발명의 다른 실시예에서는 상기한 바와 같이 노즐(20) 저면의 돌기부(26)와 도가니(10)의 지지턱(14) 사이에 개재된 제1지점 이종 재질 재료(30)와 노즐(20) 저면의 단차부와 도가니(10)의 상단부 사이에 개재된 제2지점 이종 재질 재료(30)가 구비된 이중의 이종 재질 재료(30)가 구비되어 있어서, 증착 재료의 누설을 방지하는 기능에 있어서 탁월하다.In another embodiment of the present invention, the first point of different material 30 and the nozzle (not shown) interposed between the projection 26 of the bottom surface of the nozzle 20 and the support jaw 14 of the crucible 10 (20), and a second point different material material (30) interposed between the step portion of the bottom surface and the upper end of the crucible (10), so as to prevent leakage of the evaporation material .

그리고, 본 발명에서는 이종 재질 재료(30)가 도가니(10) 바디와 노즐(20)의 서로 마주하는 면 사이의 홈(GV)에 채워져 있으므로, 이종 재질 재료(30)가 원래 위치에서 이탈되는 현상을 방지하는 것과 같이 안정성을 보다 높이는 효과가 있다. 도가니(10) 바디와 노즐(20)의 접촉면 사이의 밀봉 상태 유지 안정성을 더욱 높이는 것이다.In the present invention, since the dissimilar material 30 is filled in the groove GV between the body of the crucible 10 and the opposing surfaces of the nozzle 20, the phenomenon that the dissimilar material 30 is separated from its original position And it has an effect of further improving stability. Thereby further enhancing the stability of maintaining the sealing state between the contact surface of the crucible 10 and the nozzle 20.

또한, 본 발명에서는 증착 유기물이 방사되어 나오는 복수개의 노즐관(24)이 노즐(20)의 수직 방향 중심선을 기준으로 바깥으로 경사지게 배치되어, 각각의 노즐관(24)에서 증착 유기물이 직상부로만 방사되지 않고 햇살처럼 퍼져서 방사되므로, 피증착물에 대한 증착 균일도와 증착 범위를 넓히는 기능 등에 있어서 보다 높은 효율성을 기할 수 있다.Also, in the present invention, the plurality of nozzle tubes 24 from which the deposited organic substances are radiated are arranged obliquely outward with respect to the vertical center line of the nozzles 20, so that the deposited organic substances in the respective nozzle tubes 24 It is possible to achieve higher efficiency in the uniformity of the deposition on the deposited material and the function of widening the deposition range.

한편, 도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치의 주요부인 도가니와 커버 및 노즐의 분해된 상태를 보여주는 사시도, 도 7은 도 6에 도시된 증착용 도가니의 종단면도이다. 도 6과 도 7에 의한 본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 패널(42)이 도가니(10) 내부에 형성된 지지턱(14)에 패널(42)이 얹혀진 상태에서 패널(42) 위로 노즐(20)이 결합된 구조로서, 도가니(10)를 가열할 때의 증착 유기물이 패널(42)에 구비된 구멍(H)을 통해 위로 올라와서 노즐(20)의 노즐관(24)에 구비된 노즐홀(20h)을 통해 방사되면서 피증착물에 증착이 이루어지도록 한다.FIG. 6 is a perspective view showing a crucible, a main part of the crucible for crucible improvement of the sealing structure according to still another embodiment of the present invention, a cover and a decomposed state of the nozzle, FIG. 7 is a cross- Fig. 6 and 7, when the panel 42 is mounted on the panel 42 in a state in which the panel 42 is placed on the support tab 14 formed in the crucible 10, The organic matter evaporated at the time of heating the crucible 10 rises through the hole H provided in the panel 42 and the nozzle 20 provided in the nozzle tube 24 of the nozzle 20 And is radiated through the hole 20h so that deposition is performed on the deposited material.

도 6과 도 7에 도시된 본 발명의 또 다른 실시예에서는 전술한 실시예들의 기능과 효과는 그대로 발휘된다. 다만, 도 6과 도 7의 실시예에서는 패널(42)에 의해서도 증착 재료가 세어 나가는 현상을 방지하는 기능이 있어서 보다 바람직하며, 이러한 점에서 전술한 실시예들과 차이점이 있다.
In another embodiment of the present invention shown in Figs. 6 and 7, the functions and effects of the above-described embodiments are directly exhibited. However, the embodiment of FIGS. 6 and 7 has a function of preventing the deposition material from being counted by the panel 42, which is different from the above-described embodiments.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치의 주요부인 도가니와 노즐의 분해된 상태를 보여주는 사시도, 도 9는 도 8에 도시된 본 발명의 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치의 종단면도이다. 도 8과 도 9에 도시된 실시예에서는 도가니(10)의 내부가 격벽(12)에 의해 복수개의 가열 공간부로 구획된다.FIG. 8 is a perspective view showing a decomposed state of a crucible and a nozzle, which are main parts of a crucible-supporting crucible for improving the sealing structure according to another embodiment of the present invention, FIG. 9 is a cross- 1 is a longitudinal sectional view of a crucible-wearing crucible. 8 and 9, the inside of the crucible 10 is partitioned into a plurality of heating space portions by the partition walls 12. In the embodiment shown in Figs.

따라서, 본 발명에서 주요부인 도가니(10)는 단일의 가열 공간부가 아니라 격벽(12)에 의해 적절한 체적으로 구분된 복수개의 가열 공간부로 나뉘어져 있으므로, 각 가열 공간부에 채워진 증착 재료가 너무 지나치게 과열되는 현상이 방지되고, 이로 인하여 증착 재료의 품질 균일성과 피증착물 표면의 증착 박막 품질을 높이는데 보다 좋은 효과가 있다.
Therefore, the crucible 10, which is the main part of the present invention, is divided into a plurality of heating space sections divided into appropriate volumes by the partition 12 instead of a single heating space section, so that the evaporation material filled in each heating space section is excessively overheated Thereby improving the quality uniformity of the evaporation material and the quality of the evaporation film on the surface of the evaporation material.

이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 상술하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.The specific embodiments of the present invention have been described above. It is to be understood, however, that the scope and spirit of the present invention is not limited to these specific embodiments, and that various modifications and changes may be made without departing from the spirit of the present invention. If you have, you will understand.

따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are provided so that those skilled in the art can fully understand the scope of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive, The invention is only defined by the scope of the claims.

10. 도가니 12. 격벽
14. 지지턱 20. 노즐
20h. 노즐홀 22. 노즐판
24. 노즐관 26. 돌기부
30. 이종 재질 재료 42. 패널10. Crucible 12. Bulkhead
14. Support jaw 20. Nozzle
20h. Nozzle hole 22. nozzle plate
24. Nozzle 26. Projection
30. Dissimilar materials 42. Panel

Claims (6)

내부에 증착용 재료가 투입되는 가열 공간부를 구비한 도가니(10);
상기 도가니(10)의 상단 개구부를 덮어주도록 결합되며 상기 도가니(10)에서 가열에 의해 생성되는 증기 상태의 유기물이 토출되어 나오는 노즐홀(20h)을 구비한 노즐(20);을 포함하여 구성되며,
상기 노즐(20)과 상기 도가니(10)는 이종 재질로 구성되어, 상기 도가니(10)와 상기 노즐(20) 사이의 열팽창 계수의 차이에 의해 상기 도가니(10)와 상기 노즐(20) 사이의 접촉면 사이에 밀봉 상태가 유지되는 것을 특징으로 하는 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치.
A crucible (10) having a heating space portion into which a vapor deposition material is charged;
And a nozzle 20 having a nozzle hole 20h coupled to cover the upper opening of the crucible 10 and discharging vapor organic matter generated by heating in the crucible 10, ,
The nozzle 20 and the crucible 10 are made of different materials so that the difference in thermal expansion coefficient between the crucible 10 and the nozzle 20 causes a difference in thermal expansion coefficient between the crucible 10 and the nozzle 20, And a sealing state is maintained between the contact surfaces.
제1항에 있어서,
상기 도가니(10)와 상기 노즐(20)의 서로 마주하는 면에 이종 재질 재료(30)가 개재된 것을 특징으로 하는 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the crucible (10) and the nozzle (20) are made of a different material material (30) on opposite sides of the crucible (10) and the nozzle (20).
제2항에 있어서,
상기 도가니(10)와 상기 노즐(20)의 서로 맞닿는 면에 홈(GV)이 형성되고, 상기 홈(GV)에 상기 이종 재질 재료(30)가 채워지며, 상기 홈(GV)은 상기 도가니(10)와 상기 노즐(20)의 서로 맞닿는 면에 폐루프 홈 형상으로 구성되고, 상기 이종 재질 재료(30)가 상기 홈(GV)에 채워지도록 구성되어, 상기 도가니(10)와 상기 노즐(20)의 서로 맞닿는 면에 폐루프 형태의 밀봉 밴드 섹터가 형성된 것을 특징으로 하는 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치.
3. The method of claim 2,
A groove (GV) is formed on the surface of the crucible (10) and the nozzle (20) which are in contact with each other and the groove (GV) is filled with the dissimilar material (30) 10 and the nozzle 20 are formed in the shape of a closed loop groove and the different material 30 is filled in the groove GV so that the crucible 10 and the nozzle 20 And a sealing band sector in the form of a closed loop is formed on the surfaces of the sealing band sectors facing each other.
제2항에 있어서,
상기 노즐(20)의 저면에는 단차부가 생기도록 아래로 더 돌출된 돌기부(26)가 구비되고, 상기 도가니(10)는 내부에 지지턱(14)이 구비되고, 상기 노즐(20)이 상기 도가니(10)의 상부측 개방부를 덮어주도록 결합될 때에 상기 노즐(20)의 상기 단차부는 상기 도가니(10)의 상단부에 접촉되고 상기 돌기부(26)의 하단부는 상기 도가니(10)의 상기 지지턱(14)에 접촉되며, 상기 단차부와 상기 도가니(10)의 상단부 및 상기 돌기부(26)와 상기 지지턱(14)의 서로 마주하는 면 사이에 상기 이종 재질 재료(30)가 개재된 것을 특징으로 하는 증착용 도가니 장치.
3. The method of claim 2,
The crucible 10 is provided with a support chin 14 therein and the nozzle 20 is provided in the crucible 10. The crucible 10 is provided with a protruding portion 26 projecting downward so that a step is formed on the bottom surface of the nozzle 20, The stepped portion of the nozzle 20 is brought into contact with the upper end of the crucible 10 and the lower end of the protruding portion 26 is brought into contact with the supporting jaw 10 of the crucible 10 And the different material material 30 is interposed between the step portion, the upper end of the crucible 10, and the facing surfaces of the protrusions 26 and the supporting jaws 14, A crucible for wear.
제4항에 있어서,
상기 도가니(10)의 상단부와 상기 노즐(20)의 서로 맞닿는 면에 홈(GV)이 형성되고, 상기 돌기부(26)와 상기 지지턱(14)의 서로 마주하는 면에 홈(GV)이 형성되어, 상기 홈(GV)에 상기 이종 재질 재료(30)가 각각 채워지도록 구성되며, 상기 홈(GV)은 폐회로 형태로 연장된 폐루프 홈 형상으로 구성되고, 상기 이종 재질 재료(30)가 상기 홈(GV)에 채워지도록 구성되어, 상기 도가니(10)의 상단부와 상기 노즐(20)의 서로 맞닿는 면과 상기 돌기부(26)와 상기 지지턱(14)의 서로 마주하는 면에 폐루프 형태의 밀봉 밴드 섹터가 형성된 것을 특징으로 하는 밀봉 구조를 개선한 증착용 도가니 장치.
5. The method of claim 4,
A groove GV is formed on the upper surface of the crucible 10 and the surface of the nozzle 20 abutting on each other and a groove GV is formed on the surfaces of the protrusions 26 and the supporting jaws 14, Wherein the different material material (30) is filled in the groove (GV), the groove (GV) is in the form of a closed loop groove extending in the form of a closed loop, and the different material material (30) And is formed so as to be filled in the grooves GV so that the upper surface of the crucible 10 and the surface of the nozzle 20 abutting against each other and the surfaces of the protrusions 26 and the supporting jaws 14 facing each other, And a sealing band sector is formed on the surface of the sealing frame.
제5항에 있어서,
상기 노즐(20)은,
저면에 상기 단차부와 상기 돌기부(26)가 구비된 노즐판(22);
상기 노즐판(22)에 구비되며 내부에는 노즐홀(20h)이 구비된 노즐관(24);을 포함하여 구성되고,
상기 도가니(10)는 내부에 지지턱(14)이 구비되고, 상기 지지턱(14)에는 복수개의 구멍(H)이 형성된 패널(42)이 걸쳐져서 상기 노즐(20)과 상기 노즐(20) 사이에 상기 패널(42)이 배치되도록 구성되며,
상기 도가니(10)의 내부 공간부는 복수개의 격벽(12)에 의해 복수개의 가열 공간부로 구획된 것을 특징으로 하는 밀봉 구조를 개선한 도가니 장치.6. The method of claim 5,
The nozzle (20)
A nozzle plate (22) provided on the bottom surface with the stepped portion and the protruding portion (26);
And a nozzle tube 24 provided in the nozzle plate 22 and having a nozzle hole 20h therein,
A panel 42 having a plurality of holes H is formed on the support jaw 14 to support the nozzle 20 and the nozzle 20, And the panel (42)
Wherein the inner space of the crucible (10) is partitioned into a plurality of heating space parts by a plurality of partitions (12).
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