KR102107288B1 - Framed large size plane type evaporation source apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 초고해상 AMOLED 박막의 대량생산 제조용 면증발 증착기에 사용되는 면증발원 장치의 구조에 관한 것으로서, 금속면 상에 유기박막이 증착된 면증발원(100); 상기 면증발원(100)을 지지하는 프레임(20); 상기 면증발원(100)의 금속면 하부에 배치되어, 상기 면증발원(100)의 유기박막을 재증발되도록 가열하는 가열장치(30); 및 상기 면증발원(100)을 상하방향으로 이동시키는 면증발원 상하이송장치(40);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치를 사용함으로써, 대면적 면증발원의 처짐이 방지되고 그로 인한 세도우 현상이 발생하지 않으며, 프레임으로 인해 가려지는 면증발원의 부위에도 가열선을 배치하여 면증발원에 증착된 유기박막이 균일하게 증발하는 것이 가능하며, 면증발원을 가열선에 최대한 근접시킴으로써 면증발원 상의 유기물질 사용률을 극대화시켜서, 유기소자의 생산성을 극대화하는 효과가 있다.The present invention relates to a structure of a surface evaporation apparatus used in a surface evaporation apparatus for mass production of ultra-high resolution AMOLED thin films, a surface evaporation source (100) in which an organic thin film is deposited on a metal surface; A frame 20 supporting the cotton evaporation source 100; A heating device 30 disposed under a metal surface of the surface evaporation source 100 to heat the organic thin film of the surface evaporation source 100 to re-evaporate; And a surface evaporation source transfer device 40 for moving the surface evaporation source 100 in the vertical direction. By using the framed large area evaporation device according to the present invention, a large area The sagging of the evaporation source is prevented and the resulting shadow phenomenon does not occur, and it is possible to uniformly evaporate the organic thin film deposited on the surface evaporation source by arranging a heating wire in the area of the surface evaporation source covered by the frame. By maximizing the utilization rate of the organic material on the surface evaporation source as close as possible to the heating wire, it is possible to maximize the productivity of the organic device.

Figure 112018000595945-pat00010
Figure 112018000595945-pat00010

Description

프레임드 대면적 면증발원 장치{Framed large size plane type evaporation source apparatus}Framed large size plane type evaporation source apparatus

본 발명은 유기소자 생산용 프레임드 대면적 면증발원 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 초고해상도 AMOLED 박막의 대량생산 제조용 면증발 증착기에 사용되는 면증발원에 증착된 유기박막의 균일한 수직 증발이 가능하여 유기물이 기판에 미세 패턴되어 증착함으로써 세도우 현상을 현저히 줄이고, 대면적 면증발원의 처짐현상을 방지하고 균일한 가열이 가능하도록 구성한 프레임과 가열장치를 구비하여 초고해상도의 AMOLED 박막을 효과적으로 대량생산하도록 구성된 프레임드 대면적 면증발원 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a framed large-area area evaporation device for the production of organic devices, and more specifically, to allow uniform vertical evaporation of organic thin films deposited on a surface evaporation source used in a surface evaporation device for mass production of ultra-high resolution AMOLED thin films. By effectively depositing the organic material on the substrate and depositing it, it significantly reduces the shadowing phenomenon, prevents sagging of large-area evaporation sources, and is equipped with a frame and heating device configured to enable uniform heating to effectively mass produce ultra-high-resolution AMOLED thin films. It relates to a framed large area area evaporation device configured to.

AMOLED 디스플레이는 포스트 LCD 디스플레이로서뿐만 아니라 고해상도 디스플레이용 자체 면발광 장치로서 그 에너지성 및 시장성이 입증되어 세계적으로 각광받고 있다. AMOLED display has been spotlighted worldwide as its energy and marketability have been proven not only as a post LCD display, but also as a self-luminous device for high-resolution displays.

특히 최근 들어서, VR(virtual reality) 또는 AR 제품에 사용할 목적으로 마이크로 OLED 제품의 해상도를 향상하기 위하여, 유기박막의 패턴을 더욱 미세하게 제조하는 기술이 필요하게 되었다. 예를 들면, 현재 갤럭시7에 사용되는 유기박막소자의 고해상도는 577ppi(pixel per inch)로서 장래에는 2000ppi 이상의 고해상도를 제조 목표로 하고 있으며, 초초고해상도 마이크로 디스플레이에는 3300ppi 까지의 해상도를 목표로 하고 있다. 그러나, 현재 유기물 증착 장비에 사용하는 포인트 소스나 선형소스는 분사하는 유기물 기체의 형태가 방사형으로서 퍼짐각도 때문에 세도우 현상을 제어할 수 없는 한계가 존재하므로 600ppi 이상의 고해상도를 구현 하기가 어렵고, 이에 신개념의 면증발원 장치의 개발이 필요한 실정이다. In particular, in recent years, in order to improve the resolution of a micro OLED product for use in a virtual reality (VR) or AR product, a technique for manufacturing a pattern of an organic thin film more finely is required. For example, the current high resolution of the organic thin film device used in the Galaxy 7 is 577 ppi (pixel per inch), and aims to manufacture a high resolution of 2000 ppi or higher in the future, and a resolution of up to 3300 ppi in an ultra-high resolution micro display. However, the point source or the linear source used in the current organic material deposition equipment has a limitation that it is impossible to control the shadow phenomenon due to the spread angle of the type of the organic gas to be injected, so it is difficult to implement a high resolution of 600 ppi or higher, and this is a new concept. It is a situation that needs to develop a surface evaporation device.

더욱이, 이와 같은 고해상도 AMOLED 발광 장치 관련해서는 유기물 증착 공정기술이 핵심 공정기술인데, 유기물 증착 공정기술로는 유기물 발광 재료를 기체 증발하여 플렉서블 기판상에 고진공 상태에서 증착하여 유기물 박막을 제조하는 열증발 증착공정(Thermal evaporation deposition)이 주로 사용되고 있다.Moreover, in relation to such a high-resolution AMOLED light emitting device, the organic material deposition process technology is a core process technology. As the organic material deposition process technology, thermal evaporation to produce an organic thin film by vapor-evaporating an organic material emitting material and depositing it on a flexible substrate in a high vacuum state The process (thermal evaporation deposition) is mainly used.

그러나, 종래의 열증발 증착공정은 유기물 분사구가 점형 또는 선형으로 제작되어 대면적 OLED소자를 제작하는 데에 많은 시간이 소모되었고, 무엇보다도 분사구로부터 배출되는 유기물 기체의 방사 각도에 의해 세도우(Shadow)가 발생하여 고해상도의 OLED의 제작에 한계가 있었다.However, in the conventional thermal evaporation deposition process, an organic material injection hole is manufactured in a point shape or in a linear manner, so a large amount of time is spent in manufacturing a large-area OLED device, and above all, it is shadowed by the emission angle of the organic gas discharged from the injection hole. ), And there was a limit to the production of high-resolution OLED.

이를 극복하고자 최근에 개발된 면형으로 유기물을 증발시키는 면증발 증착기에 대한 특허등록번호 제10-1206162호의 하향식 열적 유도 증착에 의한 선형의 대면적 유기소자양산장비에 따르면, 유기물 파우더 증발원으로부터 증발된 유기물을 평면형의 금속면에 1차 증착시키고, 평면형의 금속면이 다른 챔버로 이동하여 증착된 유기물을 면증발시켜 기판에 증착하는 방법이 소개되고 있다.To overcome this, according to the linear large-area organic device mass production equipment by the top-down thermal induction deposition of patent registration No. 10-1206162 for a surface evaporator evaporating an organic material into a recently developed surface type, organic material evaporated from an organic material evaporation source A method of first depositing is deposited on a planar metal surface, and the planar metal surface is moved to another chamber to evaporate the deposited organic material and deposit it on a substrate.

또한, 면증발원을 이용한 기존에 알려진 증착개념은 도 1에 도시된 바와 같다. 즉, 도1에는 기존에 알려진 유기물 증발원(12)으로부터 증발된 유기물 기체가 금속면(10)에 증착되어 유기박막(11)이 형성되고, 유기박막이 코팅된 금속면(이를 면증발원 또는 면소스라고 한다)을 상하방향을 뒤집어 정렬된 마스크(14)와 기판(13)을 향하도록 배치하고, 금속면(10)의 후면을 가열선(15)으로 가열하면 유기박막(11)이 재증발되어, 기판에 패턴된 유기박막(16)이 최종적으로 증착되는 것이다.In addition, the conventionally known deposition concept using evaporation is as shown in FIG. 1. That is, in FIG. 1, an organic thin film 11 is formed by depositing an organic substance vaporized from a known organic substance evaporation source 12 on a metal surface 10, and a metal surface coated with an organic thin film (such as a surface evaporation source or a surface source) ), The organic thin film 11 is re-evaporated by placing the mask 14 and the substrate 13 in an upside down direction and heating the rear surface of the metal surface 10 with a heating wire 15. , The patterned organic thin film 16 is finally deposited.

하지만 대면적 유기박막을 대량생산하기 위해서는 대면적의 면증발원이 필요한데, 대면적 면증발원의 가장자리만을 지탱하였을 경우 면증발원의 중심부가 처지는 현상이 발생하게 되어 면증발원의 가열이 균일하지 못하게 되고, 그럼으로써 균일한 유기박막의 면증발이 불가능할 뿐만 아니라, 이로 인하여 세도우 현상이 발생한다는 문제점이 있다.However, in order to mass-produce large-area organic thin film, a large-area surface evaporation source is required. If only the edge of the large-area evaporation source is supported, the phenomenon that the central portion of the surface evaporation source sags occurs and heating of the surface evaporation source is not uniform. As a result, it is not only possible to evaporate the surface of the uniform organic thin film, but there is a problem that a shadow phenomenon occurs.

특허등록번호 제10-1206162호Patent registration number 10-1206162

상기 문제를 해결하기 위해서, 본 발명에서는 대면적 면증발원의 처짐으로 인한 세도우 현상을 방지하며, 면증발원의 후면이 고르게 가열이 가능하도록 가열선을 배치하고, 면증발원을 가열선으로 이동시키는 장치를 통하여 면증발원을 가열선에 최대한 근접시켜서 유기물질의 사용률을 향상시켜, 대형 기판에 균일한 유기박막을 증착코팅함으로써 유기소자의 생산성을 극대화할 수 있는 유기소자 생산용 프레임드 대면적 면증발원 장치 및 이에 사용되는 가열장치와 프레임을 제공하는 것이다.In order to solve the above problem, in the present invention, the device prevents the shadowing phenomenon caused by the sagging of the large-area area evaporation source, and arranges a heating wire so that the rear surface of the evaporation area can be heated evenly, and moves the surface evaporation source to the heating line. A framed large-area area evaporation device for organic device production that can maximize the productivity of organic devices by evaporating and coating a uniform organic thin film on a large substrate by improving the use rate of organic materials by bringing the surface evaporation source as close as possible to the heating wire. And a heating device and a frame used therefor.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 프레임드 대면적 면증발원 장치는,In order to achieve the above object, the framed large area area evaporation apparatus of the present invention,

금속면 상에 유기박막이 증착된 면증발원(100); A surface evaporation source 100 on which an organic thin film is deposited on a metal surface;

상기 면증발원(100)을 지지하는 프레임(20); A frame 20 supporting the cotton evaporation source 100;

상기 면증발원(100)의 금속면 하부에 배치되어, 상기 면증발원(100)의 유기박막을 재증발되도록 가열하는 가열장치(30); 및 A heating device 30 disposed under a metal surface of the surface evaporation source 100 to heat the organic thin film of the surface evaporation source 100 to re-evaporate; And

상기 면증발원(100)을 상하방향으로 이동시키는 면증발원 상하이송장치(40);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.It characterized in that it is configured to include; a surface evaporation source Shanghai transport device 40 for moving the surface evaporation source 100 in the vertical direction.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 프레임(20)은 테두리 프레임(21)과 안착 프레임(22)으로 구성되거나, 또는 테두리 프레임(21)과 안착 프레임(22) 및 중앙 프레임(25)으로 구성되는 것을 특징으로 한다.The frame 20 is characterized by being composed of a border frame 21 and a seating frame 22, or a border frame 21, a seating frame 22 and a center frame 25.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 테두리 프레임(21)은 상기 상하이송장치(40)의 거치대에 걸쳐지고, The border frame 21 spans the cradle of the shanghai transport device 40,

상기 안착 프레임(22)은 상기 면증발원(100)의 테두리를 받쳐 면증발원이 안착되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.The seating frame 22 is characterized in that it is configured to support the rim of the surface evaporation source 100 so that the surface evaporation source is seated.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 안착 프레임(22)의 하단에는 돌기(22a)가 더 형성되어, 상기 가열장치(30)에 형성된 대응되는 홈에 결합되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.The lower end of the seating frame 22 is further formed with a projection (22a), it characterized in that it is configured to be coupled to the corresponding groove formed in the heating device (30).

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 중앙 프레임(25)은 상기 면증발원(100)을 지지하여 상기 면증발원(100)이 하방향으로 처지는 것을 방지하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.The central frame 25 is characterized in that it is configured to support the surface evaporation source 100 to prevent the surface evaporation source 100 from sagging downward.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 중앙 프레임(25)은 상기 안착 프레임(22)의 서로 다른 두 점을 내측으로 연결하는 소정 폭을 갖는 적어도 하나의 연결대로 구성되거나, 또는 The central frame 25 is composed of at least one connecting rod having a predetermined width that connects two different points of the seating frame 22 inward, or

2개의 연결대가 서로 교차하도록 구성되거나, 또는 Two connecting rods are configured to intersect each other, or

다수개의 연결대가 평행하거나 평행하지 않은 상태로 이격되게 배치되거나 교차되게 배치되는 것을 특징으로 한다.It characterized in that the plurality of connecting rods are arranged to be spaced apart from each other in parallel or non-parallel state.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 중앙 프레임(25)의 연결대의 단면구조는 증발방향과 반대방향으로 뚫린 'ㄷ'자 형태인 것을 특징으로 한다.The cross-sectional structure of the connecting rod of the central frame 25 is characterized in that it has a 'c' shape drilled in the opposite direction to the evaporation direction.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 가열장치(30)는 면상으로 분포된 가열선(31) 및 상기 가열선(31)이 내측에 배열된 히터하우징(33)으로 구성되는 것을 특징으로 한다.The heating device 30 is characterized in that it consists of a heating line 31 distributed in a plane and a heater housing 33 in which the heating line 31 is arranged inside.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 가열선(31)은 상기 면증발원(100)의 형태 또는 상기 면증발원(100)을 지지하는 프레임 구조에 따라 다수개의 가열선의 조합으로 구성되는 것을 특징으로 한다.The heating wire 31 is characterized by being composed of a combination of a plurality of heating wires according to the shape of the surface evaporation source 100 or the frame structure supporting the surface evaporation source 100.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 면증발원 상하이송장치(40)는, The cotton evaporation Shanghai transport device 40,

프레임 거치대(41); Frame holder 41;

상기 프레임 거치대(41)를 업다운하며 지지하는 업다운축(42); 및 An up-down shaft 42 for supporting the frame holder 41 up and down; And

상기 업다운축(42)에 연결된 상하이동구동부;로 구성되어, 상기 면증발원(100)이 상기 히터하우징(33)과 결합 및 분리되도록 하는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that it is configured to be coupled to, and separated from the heater housing 33, the shandong east driving unit connected to the up-down shaft 42.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 프레임 거치대(41)는,The frame holder 41,

상기 프레임(20)의 테두리 프레임(21)이 안착되도록 계단형 단차가 형성된 형상인 것을 특징으로 한다.It is characterized by having a stepped stepped shape so that the frame 21 of the frame 20 is seated.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 프레임 거치대(41)는,The frame holder 41,

어느 하나의 테두리 외측으로 돌출되는 플렌지 형상의 축날개(41a)를 더 구비하거나, 또는 각 테두리를 받치고 있는 지지축(46)과 하부프레임판(47)을 더 구비하여, Further provided with a flange-shaped shaft blade (41a) protruding out of any one of the rim, or further provided with a support shaft 46 and the lower frame plate 47 supporting each rim,

상기 업다운축(41)이 상기 축날개(41a)에 고정되도록 구성되거나 상기 하부프레임판(47)의 중앙부위에 고정되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.It characterized in that the up-down shaft 41 is configured to be fixed to the shaft blade (41a) or is fixed to the central portion of the lower frame plate (47).

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 프레임 거치대(41)는,The frame holder 41,

어느 하나의 테두리가 오픈된 “ㄷ”자 형태인 것을 특징으로 한다.It is characterized in that one of the rims is in the form of an open “U”.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 업다운축(42)은,The up-down shaft 42,

상단은 상기 프레임 거치대(41)에 고정되고, 하단은 챔버 바닥벽에 고정되되 상기 상하이동구동부에 연결되어 상단이 업다운되며 상기 프레임 거치대(41)를 상하왕복 이동시키는 것을 특징으로 한다.The upper end is fixed to the frame holder 41, the lower end is fixed to the chamber bottom wall, and is connected to the shandong east driving unit, the upper end is up and down, and the frame holder 41 is moved up and down.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치에서,In addition, in the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention,

상기 상하이동구동부는,Said Shanghai East Driving Department,

벨로우즈와 상기 벨로우즈 하부에 연결설치되는 모터(M), 공압장치, 또는 유압장치인 것을 특징으로 한다.It is characterized in that it is a motor (M), a pneumatic device, or a hydraulic device that is connected to the bellows and the lower part of the bellows.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치는,In addition, the framed large area area evaporation device according to the present invention,

금속면 상에 유기박막이 증착된 면증발원; A surface evaporation source with an organic thin film deposited on a metal surface;

테두리 프레임과 안착 프레임으로 구성되어 상기 면증발원을 지지하는 프레임; A frame configured of an edge frame and a seating frame to support the evaporation source;

상기 면증발원의 금속면 하부에 배치되어, 상기 면증발원의 유기박막을 재증발되도록 가열하는 가열장치; 및 A heating device disposed under the metal surface of the surface evaporation source and heating the organic thin film of the surface evaporation source to re-evaporate; And

상기 면증발원을 상기 가열장치와 결합 및 분리하도록 상하방향으로 이동시키는 면증발원 상하이송장치; 를 포함하여 구성되며,A surface evaporation shanghai transport device for moving the surface evaporation source in the vertical direction so as to be coupled to and separated from the heating device; It consists of,

상기 면증발원 상하이송장치는 상기 프레임 거치대의 어느 하나의 테두리 또는 어느 하나의 테두리 외측으로 돌출되는 플렌지 형상의 축날개에 업다운축이 고정되어 상기 프레임 거치대에 안착되어 있는 있는 면증발원의 상하이동이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 한다.The surface evaporation shanghai transport device is configured such that the up and down axis is fixed to a shaft wing of a flange shape protruding outward from either one of the frame holders or one of the frame holders to enable the movement of the surface evaporation unit seated on the frame holder. It is characterized by.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치는,In addition, the framed large area area evaporation device according to the present invention,

금속면 상에 유기박막이 증착된 면증발원; A surface evaporation source with an organic thin film deposited on a metal surface;

테두리 프레임과 안착 프레임 및 중앙 프레임으로 구성되어 상기 면증발원을 지지하는 프레임; A frame that is composed of an edge frame, a seating frame, and a central frame to support the evaporation source;

상기 면증발원의 금속면 하부에 배치되어, 상기 면증발원의 유기박막을 재증발되도록 가열하는 가열장치; 및 A heating device disposed under the metal surface of the surface evaporation source and heating the organic thin film of the surface evaporation source to re-evaporate; And

상기 면증발원을 상기 가열장치와 결합 및 분리하도록 상하방향으로 이동시키는 면증발원 상하이송장치; 를 포함하여 구성되며,A surface evaporation shanghai transport device for moving the surface evaporation source in the vertical direction so as to be coupled to and separated from the heating device; It consists of,

상기 면증발원 상하이송장치는 프레임 거치대, 상기 프레임 거치대의 각 테두리의 모서리를 받치고 있는 4개의 지지축과 상기 4개의 지지축과 연결된 하부프레임판, 상단이 상기 하부프레임판의 중앙부위에 고정되고 하단이 챔버바닥에 고정된 업다운축, 상기 업다운축에 연결된 상하이동구동부로 구성된 것을 특징으로 한다.The surface evaporation shanghai transport device includes a frame holder, four support shafts supporting the edges of each edge of the frame holder, a lower frame plate connected to the four support shafts, and an upper end fixed to a central portion of the lower frame plate and a lower end. It characterized in that it consists of an up-down shaft fixed to the chamber floor, the shandong east driving unit connected to the up-down shaft.

또한, 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치는,In addition, the framed large area area evaporation device according to the present invention,

금속면 상에 유기박막이 증착된 커브드 면증발원; A curved surface evaporation source with an organic thin film deposited on a metal surface;

테두리 프레임과 안착 프레임 및 중앙 프레임으로 구성되어 상기 커브드 면증발원을 지지하는 커브드 프레임; A curved frame composed of an edge frame, a seating frame, and a central frame to support the curved face evaporation source;

상기 커브드 면증발원의 금속면 하부에 배치되어, 상기 면증발원의 유기박막을 재증발되도록 가열하는 가열장치; 및 A heating device disposed under the metal surface of the curved surface evaporation source and heating the organic thin film of the surface evaporation to re-evaporate; And

상기 커브드 면증발원을 상기 가열장치와 결합 및 분리하도록 상하방향으로 이동시키는 면증발원 상하이송장치; 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.A surface evaporation shanghai transportation device for moving the curved surface evaporation source in the vertical direction so as to be coupled to and separated from the heating device; Characterized in that it comprises a.

본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치를 사용함으로써, 구비된 프레임에 의하여 대면적 면증발원의 처짐이 방지되고 그로 인한 세도우 현상이 발생하지 않으며, 프레임으로 인해 가려지는 면증발원의 부위에도 가열선을 배치하여 면증발원에 증착된 유기박막이 균일하게 증발하는 것이 가능하도록 하고, 면증발원을 가열선에 최대한 근접시킴으로써 면증발원 상의 유기물질 사용률을 극대화시켜서, 유기소자의 생산성을 극대화하는 효과가 있다.By using the framed large-area area evaporation device according to the present invention, the sagging of the large-area area evaporation is prevented by the provided frame and the resulting shadow phenomenon does not occur, and the area of the area evaporation source covered by the frame is heated It is possible to uniformly evaporate the organic thin film deposited on the surface evaporation source by arranging the line, and maximize the utilization rate of the organic material on the surface evaporation source by bringing the surface evaporation source as close as possible to the heating wire, thereby maximizing the productivity of the organic device. .

도1은 종래 유기물 증발원으로부터 증발된 유기물이 면증발원에 증착되고, 면증발원에 증착된 유기박막이 재증발되어 기판에 증착되는 과정을 도시한 도면.
도2는 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 프레임에 면증발원이 장착된 것을 도시한 도면.
도3은 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 대면적 면증발원의 처짐 방지를 위해 설치된 프레임 및 중앙 프레임의 구조를 도시한 도면.
도4는 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 제1가열선의 구조를 도시한 사시도.
도5는 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 제2가열선의 구조를 도시한 사시도.
도6은 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 제1가열선 및 제2가열선의 결합을 도시한 사시도.
도7은 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 프레임 거치대와 면증발원 상하이송장치의 일 예의 구조를 도시한 사시도.
도8은 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 프레임 거치대와 면증발원 상하이송장치의 다른 예의 구조를 도시한 사시도.
도9는 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 면증발원이 적용된일 실시예 구조를 도시한 도면.
도10은 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 대면적 면증발원이 적용된 다른 실시예의 구조를 도시한 도면.
도11은 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 커브드 면증발원을 적용한 구조를 도시한 도면.1 is a view showing a process in which the organic material evaporated from the conventional organic material evaporation source is deposited on the surface evaporation source, and the organic thin film deposited on the surface evaporation source is re-evaporated and deposited on the substrate.
Figure 2 is a view showing that the surface evaporation source is mounted to the frame of the framed large area evaporation apparatus according to the present invention.
3 is a view showing the structure of a frame and a central frame installed to prevent sagging of a large area evaporation source of a framed large area evaporation apparatus according to the present invention.
Figure 4 is a perspective view showing the structure of the first heating wire of the framed large area evaporation apparatus according to the present invention.
Figure 5 is a perspective view showing the structure of the second heating wire of the framed large-area evaporation apparatus according to the present invention.
Figure 6 is a perspective view showing the combination of the first heating wire and the second heating wire of the framed large area area evaporation apparatus according to the present invention.
Figure 7 is a perspective view showing the structure of an example of a frame holder and a surface evaporation Shanghai transport device of the framed large area area evaporation device according to the present invention.
Figure 8 is a perspective view showing the structure of another example of the frame holder and the surface evaporation Shanghai transport device of the framed large area area evaporation device according to the present invention.
9 is a view showing the structure of an embodiment in which the surface evaporation source of the framed large area evaporation apparatus according to the present invention is applied.
10 is a view showing the structure of another embodiment to which the large-area evaporation source of the framed large-area evaporation apparatus according to the present invention is applied.
11 is a view showing a structure to which a curved surface evaporation source of a framed large area evaporation apparatus according to the present invention is applied.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the examples described below. This embodiment is provided to explain the present invention in more detail to those of ordinary skill in the art. Therefore, the shape of each element shown in the drawings may be exaggerated to emphasize a clearer description.

도2는 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 프레임에 면증발원이 장착된 것을 도시한 도면, 도3은 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 대면적 면증발원의 처짐 방지를 위해 설치된 프레임 및 중앙 프레임의 구조를 도시한 도면, 도4는 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 제1가열선의 구조를 도시한 사시도, 도5는 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 제2가열선의 구조를 도시한 사시도, 도6은 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 제1가열선 및 제2가열선의 결합을 도시한 사시도, 도7은 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 프레임 거치대와 면증발원 상하이송장치의 일 예의 구조를 도시한 사시도, 도8은 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 프레임 거치대와 면증발원 상하이송장치의 다른 예의 구조를 도시한 사시도, 도9는 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 면증발원이 적용된일 실시예 구조를 도시한 도면, 도10은 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 대면적 면증발원이 적용된 다른 실시예의 구조를 도시한 도면, 도11은 본 발명에 따른 프레임드 대면적 면증발원 장치의 커브드 면증발원을 적용한 구조를 도시한 도면이다.
2 is a view showing that the surface evaporation source is mounted on the frame of the framed large-area area evaporation device according to the present invention, and FIG. 3 prevents sagging of the large area area evaporation source of the framed large area area evaporation device according to the present invention. 4 is a perspective view showing the structure of a frame and a central frame installed therein, and FIG. 4 is a perspective view showing the structure of a first heating wire of a framed large-area evaporation apparatus according to the present invention, and FIG. 5 is a framed large-area surface according to the present invention 6 is a perspective view showing the structure of the second heating wire of the evaporation source device, FIG. 6 is a perspective view showing the combination of the first heating line and the second heating line of the framed large area evaporation device according to the present invention, and FIG. 7 is according to the present invention 8 is a perspective view showing the structure of an example of a frame holder of a framed large-area evaporation apparatus and a shanghai transport apparatus of a surface evaporation apparatus, and FIG. 8 is a frame holder and a surface of a framed large-area evaporation apparatus according to the present invention. 9 is a perspective view showing the structure of another example of an originating and sending device, and FIG. 9 is a view showing the structure of an embodiment in which the surface evaporation source of the framed large area area evaporation device according to the present invention is applied, and FIG. 10 is framed according to the present invention FIG. 11 is a view showing the structure of another embodiment in which the large-area evaporation source is applied, and FIG. 11 is a view showing the structure in which the curved area evaporation source of the framed large-area evaporation device according to the present invention is applied.

도 2 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 초고해상 AMOLED 박막의 대량생산 제조용 면증발 증착기에 사용되는 프레임드 대면적 면증발원장치는, 금속면 상에 유기박막이 증착된 면증발원(100); 면증발원(100)을 지지하는 프레임(20); 면증발원(100)의 금속면 하부에 배치되어 면증발원(100)의 유기박막을 재증발되도록 가열하는 가열장치(30); 및 면증발원(100)을 상하방향으로 이동시키는 면증발원 상하이송장치(40);를 포함하여 구성된다.
2 to 10, a framed large-area area evaporation apparatus used in a surface evaporator for mass production production of ultra-high resolution AMOLED thin films according to the present invention is a surface evaporation source in which an organic thin film is deposited on a metal surface ( 100); Frame 20 for supporting the surface evaporation source 100; A heating device 30 disposed under the metal surface of the surface evaporation source 100 and heating the organic thin film of the surface evaporation source 100 to re-evaporate; And a surface evaporation source Shanghai transport device 40 for moving the surface evaporation source 100 in the vertical direction.

면증발원(100)은 금속면의 상부나 후부 중 어느 일면에 유기물질이 증착되어 AMOLED와 같은 유기박막이 형성된 것을 나타낸다.
The surface evaporation source 100 indicates that an organic thin film such as an AMOLED is formed by depositing an organic material on one of the upper and rear surfaces of the metal surface.

프레임(20)은 대면적의 면증발원(100)을 지지하기 위한 것으로, 도 2에 도시된 바와 같이 소정폭을 갖는 테두리 프레임(21)과 안착 프레임(22)이 단차를 갖는 계단형으로 구성될 수 있다. 테두리 프레임(21)은 날개형태로 형성되어 추후 로봇이나 상하이송장치(40)의 거치대에 걸쳐져서 면증발원의 이송이 원할하게 되도록 한다. 또한, 안착 프레임(22)은 면증발원(100)의 테두리를 받쳐 면증발원이 프레임에 안착되도록 하는 것으로, 면증발원(100)의 유기박막이 형성되어 있지 않은 금속면 쪽의 테두리를 안착 프레임(22)에 웰딩하거나 볼트를 이용해 고정시킨다. The frame 20 is for supporting the large-area evaporation source 100, and as shown in FIG. 2, the frame 21 having a predetermined width and the seating frame 22 may be configured in a stepped shape having a step. You can. The frame 21 is formed in the form of a wing so that it can later be spread over the cradle of the robot or the shanghai transport device 40 so that the transfer of the surface evaporation source is smooth. In addition, the seating frame 22 is to support the border of the surface evaporation source 100 so that the surface evaporation source is seated on the frame. ), Or fix with bolts.

또한, 안착 프레임(22)의 하단에는 돌기(22a)가 더 형성되어, 가열장치(30)의 하우징에 형성된 대응되는 홈(34)에 결합되도록 함으로써, 프레임과 가열장치의 결합 및 분리가 안정적이면서 용이하게 되고, 결과적으로 가열장치 대비 면증발원의 위치변동을 방지하게 된다.In addition, a projection 22a is further formed at the bottom of the seating frame 22 so as to be coupled to a corresponding groove 34 formed in the housing of the heating device 30, so that the coupling and separation of the frame and the heating device are stable. It becomes easy, and as a result, it prevents the position change of the surface evaporation source compared to the heating device.

또한, 프레임(20)은 도 3에 도시된 바와 같이, 테두리 프레임(21)과 안착 프레임(22) 이외에도 대면적의 면증발원(100)을 지지하여 면증발원(100)의 중심부가 중력으로 인하여 처짐현상이 일어나게 되는 것을 방지하도록 중앙 프레임(25)을 더 구비할 수 있다. 중앙 프레임(25)은 면증발원(100)의 중심부분을 지지할 수 있도록 구성되어, 대면적의 면증발원이 하방향으로 처지는 것을 방지하고 안정적으로 지지하게 된다. In addition, as shown in FIG. 3, the frame 20 supports the large area surface evaporation source 100 in addition to the frame 21 and the seating frame 22 so that the center portion of the area evaporation source 100 sags due to gravity A central frame 25 may be further provided to prevent the phenomenon from occurring. The central frame 25 is configured to support the central portion of the surface evaporation source 100, and prevents the large area surface evaporation source from sagging downward and stably supports it.

이때, 중앙 프레임(25)은 안착 프레임(22)의 서로 다른 두 점을 내측으로 연결하는 소정 폭을 갖는 적어도 하나의 연결대로 구성된다. 또한, 중앙 프레임(25)의 연결대의 단면구조는 증발방향과 반대방향으로 뚫린 'ㄷ'자 형태로 구성된다. At this time, the center frame 25 is composed of at least one connecting rod having a predetermined width that connects two different points of the seating frame 22 inward. In addition, the cross-sectional structure of the connecting frame of the central frame 25 is formed in a 'c' shape drilled in the opposite direction to the evaporation direction.

여기서, 중앙 프레임(25)의 연결대가 장방형의 얇은 판형일 경우, 중앙 프레임(25) 역시 휨 현상이 일어날 수 있으므로, 그 단면을 증발방향과 반대방향으로 뚫린 “ㄷ”자 형태로 제작한 것이다. “ㄷ”자 형태의 단면은 하방향으로의 휨을 방지하면서도 면증발원(100)의 하중을 충분히 지지하도록 하고, 면증발원(100)과의 접촉면적을 더 넓게 함으로써 면증발원(100) 가열시 중앙 프레임(25)에 의해 가열이 불균일하게 일어나는 것을 방지한다.Here, when the connecting frame of the central frame 25 is a rectangular thin plate shape, the central frame 25 may also be warped, so that the cross section is manufactured in a “c” shape with a cross section in the opposite direction to the evaporation direction. The cross section of the “c” shape prevents bending in the downward direction, while sufficiently supporting the load of the surface evaporation source 100, and widening the contact area with the surface evaporation source 100, thereby increasing the center frame when heating the surface evaporation source 100 (25) prevents heating from occurring unevenly.

본 발명에서는 중앙 프레임(25)의 구조가 도 3과 같이 단면이 증발방향과 반대방향으로 뚫린 'ㄷ'자 형태이고 2개의 연결대가 서로 교차하도록 구성되었으나 이에 한정되는 것이 아님은 명백하며, 다양한 단면 형태도 가능함은 물론이고, 1개의 연결대만으로 구성되거나 또는 다수개의 연결대가 평행하거나 평행하지 않은 상태로 이격되게 배치되거나 교차되게 배치될 수 있다.In the present invention, the structure of the central frame 25 is 'c' shaped with a cross section drilled in the opposite direction to the evaporation direction as shown in FIG. 3, and two connecting rods are configured to cross each other, but it is obvious that the structure is not limited thereto. Of course, the shape is also possible, and may consist of only one connecting rod, or a plurality of connecting rods may be arranged to be spaced apart or to be crossed in a parallel or non-parallel state.

또한, 중앙 프레임(25)은 면증발원(100)의 크기가 클수록 더 많은 개수의 연결대를 구비한 중앙 프레임(25)이 설치될 수 있다.
In addition, as the size of the surface evaporation source 100 increases, the center frame 25 may be provided with a center frame 25 having a larger number of connecting rods.

가열장치(30)는 면증발원(100)의 금속면 하부에 배치되어 면증발원의 후면을 가열하여 면증발원의 상부면에 증착된 유기박막을 재증발시키는 것으로, 가열선(31) 및 가열선(31)이 내측에 배열된 히터하우징(33)으로 구성될 수 있다. The heating device 30 is disposed below the metal surface of the surface evaporation source 100 to heat the rear surface of the surface evaporation source to re-evaporate the organic thin film deposited on the top surface of the surface evaporation source, the heating wire 31 and the heating wire ( 31) may be composed of a heater housing 33 arranged inside.

여기서, 가열선(31)은 면증발원(100)의 후면을 가열할 수 있도록 면상으로 분포되되 다양한 형태로 배열될 수 있다.Here, the heating wire 31 is distributed in a plane so as to heat the rear surface of the surface evaporation source 100, but may be arranged in various forms.

또한, 가열선(31)은 면증발원(100)의 형태 또는 면증발원(100)을 지지하는 프레임구조에 따라 다수개의 가열선의 조합으로 구비될 수 있다. 즉, 가열선은 제1가열선과 제2가열선의 조합, 또는 제1가열선, 제2가열선 및 제3가열선의 조합으로 구성될 수 있다, 도 4 내지 도 6에는 가열선의 일예로서, 제1 가열선(31a)과 제2 가열선(31b) 및 이들의 결합배치된 형태가 각각 도시되어 있다.In addition, the heating wire 31 may be provided in a combination of a plurality of heating wires depending on the shape of the surface evaporation source 100 or the frame structure supporting the surface evaporation source 100. That is, the heating wire may be composed of a combination of the first heating wire and the second heating wire, or a combination of the first heating wire, the second heating wire and the third heating wire. In FIGS. 4 to 6, as an example of the heating wire, the first The heating wire 31a and the second heating wire 31b and their combined arrangement are shown.

여기서, 제1가열선(31a)은 도 4에 도시된 바와 같이, 면증발원(100)의 후면을 가열할 수 있도록 면상으로 분포되되 중앙 프레임(25)의 형태에 맞춰서 가열선들이 “ㄷ”자 형상으로 절곡되어 있고, 해당 “ㄷ”자 형상의 가열선 내측 공간에 제2가열선(31b)이 위치되게 되는 것이다. 이때, 제2가열선(31b)은 중앙 프레임(25)의 “ㄷ”자 형상 내측에 위치하여 중앙 프레임을 가열하여 그 가열온도가 면증발원(100)에 전달되도록 중앙 프레임(25)의 형태에 맞도록 구비된다.Here, as shown in FIG. 4, the first heating wire 31a is distributed in a plane so as to heat the rear surface of the surface evaporation source 100, but the heating wires are “c” shaped according to the shape of the central frame 25. It is bent into a shape, and the second heating wire 31b is positioned in the space inside the heating wire of the corresponding “c” shape. At this time, the second heating wire 31b is located inside the “c” shape of the central frame 25 to heat the central frame so that the heating temperature is transmitted to the surface evaporation source 100 in the form of the central frame 25. It is provided to fit.

또한, 도 11에 도시된 바와 같이, 커브드 면증발원(16)의 형태에 맞추어 곡면 또는 경사면에 사용되도록 제3가열선(31c)이 더 구비될 수 있으며, 제3가열선(31c)은 제1가열선(31a)과 제2가열선(31b)으로 커버되지 않는 부분을 보완하는 역할을 한다.In addition, as shown in FIG. 11, a third heating wire 31c may be further provided to be used on a curved or inclined surface according to the shape of the curved surface evaporation source 16, and the third heating wire 31c is It serves to complement the parts not covered by the first heating wire 31a and the second heating wire 31b.

이와 같이, 프레임으로 인해 가려지는 면증발원의 부위에도 가열선을 배치하여 면증발원에 증착된 유기박막이 균일하게 재증발하는 것이 가능하게 된다. As described above, it is possible to uniformly re-evaporate the organic thin film deposited on the surface evaporation source by arranging a heating wire at a portion of the surface evaporation source that is obscured by the frame.

또한, 가열선(31)의 양끝은 전원공급장치와 연결되어 전류에 의한 발열을 이용하는 것이 바람직하다.In addition, both ends of the heating wire 31 is preferably connected to the power supply to use heat generated by current.

또한, 히터하우징(33)은 챔버내의 다른 공간으로 열이 이동하는 것을 방지하고, 가열선을 고정되게 안착하는 것으로, 히터하우징(33)의 테두리 상부에는 홈(34)이 형성되어, 안착 프레임(22)의 하부에 형성된 돌기(22a)가 착탈식으로 결합되도록 한다.In addition, the heater housing 33 prevents heat from moving to other spaces in the chamber, and securely seats the heating wire. A groove 34 is formed on the upper edge of the heater housing 33 to form a seating frame ( The protrusion 22a formed on the lower portion of the 22) is detachably coupled.

또한, 히터하우징(33)의 하부에는 챔버내측 바닥벽(C)으로부터 히터하우징(33)을 소정 높이로 안정적으로 지지하는 지지대(35)가 더 구비될 수 있다.
In addition, a support 35 for stably supporting the heater housing 33 to a predetermined height from the bottom wall C inside the chamber may be further provided below the heater housing 33.

면증발원 상하이송장치(40)는 면증발원(100)을 히터하우징(33)의 적정위치에 오도록 하방향으로 이동시켜 면증발원에 증착된 유기박막을 재증발시키고 재증발이 완료된 면증발원을 히터하우징(33)과 분리되도록 상방향으로 이동시키는, 상하방향으로 왕복이송이 가능한 장치로서, 프레임 거치대(41), 프레임 거치대(41)를 지지하는 업다운축(42), 및 업다운축(42)에 연결된 상하이동구동부로 구성된다.The surface evaporation shanghai transport device 40 moves the surface evaporation source 100 downward to reach the proper position of the heater housing 33 to re-evaporate the organic thin film deposited on the surface evaporation source and to heat the surface evaporation completed re-evaporation. A device capable of reciprocating in the vertical direction to move upward in order to be separated from (33), connected to the frame holder (41), the up-down shaft (42) supporting the frame holder (41), and the up-down shaft (42) It is composed of Shanghai East-East.

이와 같은 구성의 면증발원 상하이송장치를 통해 면증발원을 가열장치의 가열선에 안정적으로 최대한 근접시키는 것이 가능하게 되므로, 면증발원 상의 유기물질 사용률을 극대화시켜서 유기소자의 생산성을 극대화하는 효과가 있게 된다.
Since it is possible to stably close the surface evaporation source to the heating line of the heating device through the surface evaporation / transmission device having such a configuration, it is possible to maximize the use of organic materials on the surface evaporation, thereby maximizing the productivity of the organic device. .

프레임 거치대(41)는 프레임(20)의 테두리 프레임(21)이 안착되도록 테두리의 한쪽이 오픈된 'ㄷ'자형 테두리에 내외측으로 구분되도록 계단형 단차가 형성된 형상으로, 내측 거치대에 프레임(20)의 테두리 프레임(21)이 안착된다.The frame holder 41 is a shape in which a stepped step is formed so as to be divided into inside and outside on a 'c' shaped border with one side of the frame opened so that the frame 21 of the frame 20 is seated, and the frame 20 on the inside holder The frame 21 of the seat is seated.

이때, 프레임 거치대(41)에는 도 7과 같이 어느 하나의 테두리 외측으로 돌출되는 플렌지 형상의 축날개(41a)를 더 구비하거나 또는 도 8과 같이 각 테두리의 모서리를 받치고 있는 4개의 지지축(46)과 4개의 지지축과 연결된 하부프레임판(47)을 더 구비하여, 후술하는 업다운축(41)이 축날개(41a)에 고정되도록 구성되거나 하부프레임판(47)의 중앙부위에 고정되도록 구성되어, 프레임 거치대에 안착되어 있는 있는 면증발원(100)의 상하이동을 안정적이고 원활하게 할 수 있음은 물론이다.
At this time, the frame holder 41 is further provided with a flange-shaped shaft blade 41a protruding out of any one rim as shown in FIG. 7 or four support shafts 46 supporting the edges of each rim as shown in FIG. ) And further provided with a lower frame plate 47 connected to four support shafts, the up-down shaft 41 to be described later is configured to be fixed to the shaft blade 41a or to be fixed to the central portion of the lower frame plate 47 It is, of course, that it is possible to stably and smoothly move the shandong of the cotton evaporation source 100 that is seated on the frame holder.

또한, 프레임 거치대(41)는 모든 테두리가 닫힌 “ㅁ”자 형태 또는 한쪽 테두리가 열린 “ㄷ”자 형태 중 하나를 선택할 수 있으나, “ㅁ”자 형태의 프레임 거치대(41)는 공정을 진행함에 있어서 로봇팔이 프레임 거치대(41)에 거치된 면증발원(100)이 안착되어 있는 프레임(20)을 홀딩하는 것이 쉽지 않을 뿐만 아니라, 만약 흡착판을 이용한다 할지라도 면증발원(100) 상의 유기박막(11)을 훼손할 우려가 있으므로, “ㄷ”자 형태의 프레임 거치대(41)를 사용하여 오픈된 테두리 방향에서 로봇팔이 홀딩하여 면증발원(100)이 안착되어 있는 프레임(20)을 거치대에 거치시키거나 거치대로부터 제거하는 것이 더 바람직하다.
In addition, the frame holder 41 may select either a “ㅁ” shape with all edges closed or a “C” shape with one edge open, but the frame holder 41 in the shape of “ㅁ” goes through the process. In addition, it is not only easy for the robot arm to hold the frame 20 on which the surface evaporation source 100 mounted on the frame holder 41 is seated, but even if an adsorption plate is used, the organic thin film 11 on the surface evaporation source 100 ), The robot arm is held in the open rim direction using the “c” shaped frame holder 41 to mount the frame 20 on which the surface evaporation source 100 is seated on the holder. Or it is more preferable to remove it from the cradle.

업다운축(42)은 프레임 거치대(41)를 지지하며 상하왕복 이동이 가능하도록 구비되는 것으로, 상단은 프레임 거치대(41)의 테두리 하단에 고정되고, 하단은 챔버내측 바닥벽(W)에 고정플랜지(44)로 고정되되 상하이동구동부에 연결되어 상단이 업다운되며 프레임거치대를 상하 이동시킨다.The up-down shaft 42 supports the frame holder 41 and is provided to move up and down, and the upper end is fixed to the lower edge of the frame holder 41 and the lower end is a fixed flange to the bottom wall W inside the chamber. It is fixed at (44), but is connected to the shandong east driving section, the top is up and down, and the frame holder is moved up and down.

여기서, 상하이동구동부는, 벨로우즈(43)와, 벨로우즈 하부에 연결설치되는 모터(M), 공압장치, 또는 유압장치가 될 수 있으나, 이에 국한되는 것은 아니다.Here, the shandong east driving unit may be a bellows 43 and a motor M installed under the bellows, a pneumatic device, or a hydraulic device, but is not limited thereto.

이때, 벨로우즈(43)는 모터(M)와 업다운축(41)을 연결하며, 모터(M)의 회전운동을 상하운동으로 전환하는 역할을 수행한다. 여기서, 모터(M)를 유압장치 또는 공압장치로 대체하여 업다운축(42)의 상하운동을 수행하여도 무방하다.
At this time, the bellows 43 connects the motor M and the up-down shaft 41, and serves to convert the rotational motion of the motor M into up and down motion. Here, the motor M may be replaced with a hydraulic device or a pneumatic device to perform up and down motion of the up-down shaft 42.

도 9에는 본 발명에 따른 초고해상 AMOLED 박막의 대량생산 제조용 면증발 증착기에 사용되는 프레임드 대면적 면증발원장치의 일 실시예로서, 금속면 상에 유기박막이 증착된 면증발원(100); 테두리 프레임과 안착 프레임만으로 구성되어 면증발원(100)을 지지하는 프레임(20); 면증발원(100)의 금속면 하부에 배치되어, 면증발원의 유기박막을 재증발되도록 가열하는 가열장치(30); 및 면증발원(100)을 가열장치(30)와 결합 및 분리하도록 상하방향으로 이동시키는 면증발원 상하이송장치(40);가 예시되어 있다.9 is an embodiment of a framed large-area evaporation apparatus used in a surface evaporation apparatus for mass production of ultra-high resolution AMOLED thin film according to the present invention, the surface evaporation source 100 with an organic thin film deposited on a metal surface; A frame 20 composed of only a border frame and a seating frame to support the surface evaporation source 100; A heating device 30 disposed under the metal surface of the surface evaporation source 100 and heating the organic thin film of the surface evaporation to be re-evaporated; And a surface evaporation source transfer device 40 for moving the surface evaporation source 100 in the vertical direction so as to be coupled to and separated from the heating device 30.

여기서, 면증발원 상하이송장치(40)는 프레임 거치대(41)의 어느 하나의 테두리 또는 어느 하나의 테두리 외측으로 돌출되는 플렌지 형상의 축날개(41a)에 업다운축(42)이 고정되도록 하여 프레임 거치대에 안착되어 있는 있는 면증발원(100)의 상하이동을 가능하도록 한다.
Here, the surface evaporation shanghai transport device 40 is fixed to the frame holder by fixing the up-down shaft 42 to either a frame of the frame holder 41 or a flange-shaped shaft blade 41a protruding out of either frame. It is possible to enable the Shanghaidong of the cotton evaporation source (100) seated in the.

또한, 도 10에는 본 발명에 따른 초고해상 AMOLED 박막의 대량생산 제조용 면증발 증착기에 사용되는 프레임드 대면적 면증발원장치의 다른 실시예로서, 금속면 상에 유기박막이 증착된 면증발원(100); 테두리 프레임과 안착 프레임 및 중앙 프레임으로 구성되어 면증발원(100)을 지지하는 프레임(20); 면증발원(100)의 금속면 하부에 배치되어, 면증발원의 유기박막을 재증발되도록 가열하는 가열장치(30); 및 면증발원(100)을 가열장치와 결합 및 분리하도록 상하방향으로 이동시키는 면증발원 상하이송장치(40);가 예시되어 있다.In addition, FIG. 10 is another embodiment of a framed large-area evaporator used in a surface evaporator for mass-production manufacturing of ultra-high resolution AMOLED thin films according to the present invention, a surface evaporation source 100 in which an organic thin film is deposited on a metal surface. ; A frame 20 composed of a border frame, a seating frame, and a central frame to support the surface evaporation source 100; A heating device 30 disposed under the metal surface of the surface evaporation source 100 and heating the organic thin film of the surface evaporation to be re-evaporated; And a surface evaporation source transfer device 40 for moving the surface evaporation source 100 in the vertical direction so as to be coupled and separated from the heating device.

여기서, 면증발원 상하이송장치(40)는 프레임 거치대(41)의 각 테두리의 모서리를 받치고 있는 4개의 지지축(46)과 4개의 지지축과 연결된 하부프레임판(47)을 구비하고, 업다운축(42)의 상단이 하부프레임판(47)의 중앙부위 하단에 고정되고 하단이 챔버내측 바닥에 고정되되 상하이동구동부와 연결되도록 하여 프레임 거치대에 안착되어 있는 있는 면증발원(100)의 상하이동을 가능하도록 한다.
Here, the surface evaporation Shanghai transport device 40 is provided with four support shafts 46 supporting the edges of each frame of the frame holder 41 and a lower frame plate 47 connected to four support shafts, and the up-down shaft. The upper end of (42) is fixed to the bottom of the center of the lower frame plate (47) and the lower end is fixed to the floor inside the chamber, so that it is connected to the shanghai east driving unit, so that the shangdong of the surface evaporator (100) seated on the frame holder is mounted. Make it possible.

또한, 도 11의 커브드 면증발원(100')은 유기박막이 증착된 금속면 시트의 가장자리와 중앙부가 계단형을 형성하되 중앙부와 가장자리는 비스듬한 경사면을 이루도록 구성된 것으로, 커브드 프레임(20')은 테두리 프레임(21)과 안착 프레임(22) 및 안착 프레임과 경사진 연결대에 의해 연결된 중앙 프레임(25')으로 구성된다. 또한, 가열장치는 커브드 면증발원의 금속면 하부에 배치되어, 면증발원의 유기박막을 재증발되도록 가열하기 위하여, 가열선은 커브드 면증발원(100') 및 커브드 프레임(20')의 구조에 맞추어 제1가열선(31a), 제2가열선(31b), 제3가열선(31c)의 조합으로 구성된다.In addition, the curved surface evaporation source 100 'of FIG. 11 is configured to form a stepped edge and a central portion of the metal surface sheet on which the organic thin film is deposited, but the central portion and the edge form an oblique inclined surface, and the curved frame 20' Is composed of a border frame 21 and a seating frame 22 and a center frame 25 'connected by a seating frame and an inclined connecting rod. In addition, the heating device is disposed under the metal surface of the curved surface evaporation source, in order to heat the organic thin film of the surface evaporation source so that the heating wires of the curved surface evaporation source 100 'and the curved frame 20' According to the structure, it is composed of a combination of the first heating wire 31a, the second heating wire 31b, and the third heating wire 31c.

마찬가지로, 면증발원 상하이송장치는, 커브드 면증발원을 가열장치와 결합 및 분리하도록 상하방향으로 이동시킨다.
Similarly, the surface evaporation source transfer device moves vertically to couple and separate the curved surface evaporation source with the heating device.

또한, 본 발명의 프레임드 대면적 면증발원 장치는 상향식 면증발 방식 또는 하향식 면증발 방식 또는 수직식 면증발 방식 중 어느 하나를 선택하여 구성할 수 있다.In addition, the framed large-area surface evaporation apparatus of the present invention can be configured by selecting either a bottom-up surface evaporation method or a top-down surface evaporation method or a vertical surface evaporation method.

여기서, 면증발원(100)은 통상적으로 금속이 사용되므로, 하향식 면증발 및 수직식 면증발 방식의 경우에는 면증발원(100)이 중력에 의해 하방향으로 떨어지는 것을 방지하기 위해 테두리 프레임(21)의 가장자리에 면증발원 걸림방지턱을 형성하거나, 안착 프레임(22) 및 중앙 프레임(25)에 자성을 공급하여 면증발원(100)의 후부를 홀딩할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
Here, since the surface evaporation source 100 is usually made of metal, in the case of the top-down surface evaporation and the vertical surface evaporation, the surface evaporation source 100 of the border frame 21 is prevented from falling downward by gravity. It is preferable to form a surface evaporation stopper on the edge or to supply magnetism to the seating frame 22 and the center frame 25 so that the rear portion of the surface evaporation source 100 can be held.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above description of the present invention is for illustration only, and a person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention pertains can understand that it can be easily modified into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may be implemented in a combined form.

10 : 금속면 11 : 유기박막
12 : 유기물 증발원 13 : 기판
14 : 세도우 마스크 16 : 유기박막 패턴
15 : 가열선
100 : 면증발원 100' : 커브드 면증발원
20 : 프레임 20' : 커브드 프레임
21 : 테두리 프레임 22 : 안착 프레임
22a : 돌기 25, 25' : 중앙 프레임
30 : 가열선 31a : 제1가열선
31b : 제2가열선 31c : 제3가열선
33 : 히터하우징 34: 홈
35 : 지지대 40 : 면증발원 왕복이송장치
41 : 프레임 거치대 41a : 축날개
42 : 업다운축 43 : 벨로우즈
44 : 고정플랜지 46 : 지지축
47 : 하부프레임판 M :모터
W : 챔버내 바닥벽10: metal surface 11: organic thin film
12: evaporation source of organic matter 13: substrate
14: shadow mask 16: organic thin film pattern
15: heating wire
100: cotton evaporation source 100 ': curved cotton evaporation source
20: Frame 20 ': Curved Frame
21: border frame 22: seating frame
22a: projection 25, 25 ': center frame
30: heating wire 31a: the first heating wire
31b: 2nd heating wire 31c: 3rd heating wire
33: heater housing 34: home
35: support 40: reciprocating transfer device for cotton evaporation source
41: frame holder 41a: shaft wing
42: up-down axis 43: bellows
44: fixed flange 46: support shaft
47: lower frame plate M: motor
W: Floor wall in the chamber

Claims (19)

금속면 상에 유기박막이 증착된 면증발원(100);
상기 면증발원(100)을 지지하되, 상기 면증발원(100)이 하방향으로 처지는 것을 방지하도록 구성되는 프레임(20);
상기 면증발원(100)의 금속면 하부에 배치되되, 상기 면증발원(100)의 유기박막이 고르게 가열되어 재증발되도록 배치되는 가열장치(30); 및
상기 면증발원(100)을 상하방향으로 이동시키는 면증발원 상하이송장치(40);를 포함하여 구성되며,
상기 면증발원 상하이송장치(40)는,
프레임 거치대(41); 상기 프레임 거치대(41)를 업다운하며 지지하는 업다운축(42); 및 상기 업다운축(42)에 연결된 상하이동구동부;로 구성되어, 상기 면증발원(100)이 상기 가열장치(30)의 히터하우징(33)과 결합 및 분리되도록 하는 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
A surface evaporation source 100 on which an organic thin film is deposited on a metal surface;
A frame 20 that supports the surface evaporation source 100 and is configured to prevent the surface evaporation source 100 from sagging downward;
A heating device 30 disposed under the metal surface of the surface evaporation source 100, and arranged so that the organic thin film of the surface evaporation source 100 is uniformly heated and re-evaporated; And
It comprises a; evaporation of the cotton evaporation source 40 to move the cotton evaporation source 100 in the vertical direction;
The cotton evaporation Shanghai transport device 40,
Frame holder 41; An up-down shaft 42 for supporting the frame holder 41 up and down; And a shandong east driving unit connected to the up-down shaft 42. The framed large area is characterized in that the surface evaporation source 100 is coupled to and separated from the heater housing 33 of the heating device 30. Evaporation source device.
제1항에 있어서,
상기 프레임(20)은 테두리 프레임(21)과 안착 프레임(22)으로 구성되거나, 또는 테두리 프레임(21)과 안착 프레임(22) 및 중앙 프레임(25)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
According to claim 1,
The frame 20 is composed of a border frame 21 and a seating frame 22, or a framed large area characterized in that it consists of a border frame 21 and a seating frame 22 and the center frame 25 Evaporation source device.
제2항에 있어서,
상기 테두리 프레임(21)은 상기 상하이송장치(40)의 거치대에 걸쳐지고,
상기 안착 프레임(22)은 상기 면증발원(100)의 테두리를 받쳐 면증발원이 안착되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
According to claim 2,
The border frame 21 spans the cradle of the shanghai transport device 40,
The seating frame 22 is a framed large area surface evaporation device, characterized in that it is configured to support the frame of the surface evaporation source 100 so that the surface evaporation source is seated.
제2항에 있어서,
상기 안착 프레임(22)의 하단에는 돌기(22a)가 더 형성되어, 상기 가열장치(30)에 형성된 대응되는 홈에 결합되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
According to claim 2,
A framed large-area surface evaporation device, characterized in that a projection 22a is further formed at a lower end of the seating frame 22 to be coupled to a corresponding groove formed in the heating device 30.
제2항에 있어서,
상기 중앙 프레임(25)은 상기 면증발원(100)을 지지하여 상기 면증발원(100)이 하방향으로 처지는 것을 방지하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
According to claim 2,
The central frame 25 supports the surface evaporation source 100 to prevent the surface evaporation source 100 from sagging downward.
제5항에 있어서,
상기 중앙 프레임(25)은 상기 안착 프레임(22)의 서로 다른 두 점을 내측으로 연결하는 소정 폭을 갖는 적어도 하나의 연결대로 구성되거나, 또는
2개의 연결대가 서로 교차하도록 구성되거나, 또는
다수개의 연결대가 평행하거나 평행하지 않은 상태로 이격되게 배치되거나 교차되게 배치되는 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
The method of claim 5,
The central frame 25 is composed of at least one connecting rod having a predetermined width that connects two different points of the seating frame 22 inward, or
Two connecting rods are configured to intersect each other, or
Framed large-area area evaporation device, characterized in that a plurality of connecting rods are arranged to be spaced apart or crossed to be parallel or non-parallel.
제6항에 있어서,
상기 중앙 프레임(25)의 연결대의 단면구조는 증발방향과 반대방향으로 뚫린 'ㄷ'자 형태인 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
The method of claim 6,
The cross-sectional structure of the connecting frame of the central frame (25) is a framed large-area area evaporation device, characterized in that it has a 'c' shape drilled in the opposite direction to the evaporation direction.
제1항에 있어서,
상기 가열장치(30)는 면상으로 분포된 가열선(31) 및 상기 가열선(31)이 내측에 배열된 히터하우징(33)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
According to claim 1,
The heating device 30 is a framed large-area surface evaporation device, characterized in that it consists of a heating line 31 distributed in a plane and a heater housing 33 in which the heating line 31 is arranged inside.
제 8항에 있어서,
상기 가열선(31)은 상기 면증발원(100)의 형태 또는 상기 면증발원(100)을 지지하는 프레임 구조에 따라 다수개의 가열선의 조합으로 구성되는 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
The method of claim 8,
The heating wire 31 is a framed large area surface evaporation device, characterized in that it is composed of a combination of a plurality of heating wires according to the shape of the surface evaporation source 100 or the frame structure supporting the surface evaporation source 100.
삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 프레임 거치대(41)는,
상기 프레임(20)의 테두리 프레임(21)이 안착되도록 계단형 단차가 형성된 형상인 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
According to claim 1, The frame holder (41),
Framed large-area area evaporation device, characterized in that the stepped step is formed so that the frame 21 of the frame 20 is seated.
제 1항에 있어서, 상기 프레임 거치대(41)는,
어느 하나의 테두리 외측으로 돌출되는 플렌지 형상의 축날개(41a)를 더 구비하거나, 또는 각 테두리를 받치고 있는 지지축(46)과 하부프레임판(47)을 더 구비하여,
상기 업다운축(41)이 상기 축날개(41a)에 고정되도록 구성되거나 상기 하부프레임판(47)의 중앙부위에 고정되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
According to claim 1, The frame holder (41),
Further provided with a flange-shaped shaft blade (41a) protruding out of any one of the rim, or further provided with a support shaft 46 and the lower frame plate 47 supporting each rim,
Framed large area surface evaporation device, characterized in that the up-down shaft (41) is configured to be fixed to the shaft blade (41a) or to be fixed to the central portion of the lower frame plate (47).
제 1항에 있어서, 상기 프레임 거치대(41)는,
어느 하나의 테두리가 오픈된 “ㄷ”자 형태인 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
According to claim 1, The frame holder (41),
A framed large-area evaporation device, characterized in that one of the rims has an open “U” shape.
제 1항에 있어서, 상기 업다운축(42)은,
상단은 상기 프레임 거치대(41)에 고정되고, 하단은 챔버 바닥벽에 고정되되 상기 상하이동구동부에 연결되어 상단이 업다운되며 상기 프레임 거치대(41)를 상하왕복 이동시키는 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
The method according to claim 1, wherein the up-down shaft (42),
The upper end is fixed to the frame holder 41, and the lower end is fixed to the chamber bottom wall, but is connected to the shandong east driving part, the top is up and down, and the framed large area is characterized in that the frame holder 41 is moved up and down. Evaporation source device.
제 14항에 있어서, 상기 상하이동구동부는,
벨로우즈와 상기 벨로우즈 하부에 연결설치되는 모터(M), 공압장치, 또는 유압장치인 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
15. The method of claim 14, The Shanghai East Driving Department,
Framed large-area evaporation device, characterized in that the bellows and a motor (M), a pneumatic device, or a hydraulic device that is connected to the lower portion of the bellows.
금속면 상에 유기박막이 증착된 면증발원;
테두리 프레임과 안착 프레임으로 구성되어 상기 면증발원을 지지하되, 상기 면증발원이 하방향으로 처지는 것을 방지하도록 구성되는 프레임;
상기 면증발원의 금속면 하부에 배치되되, 상기 면증발원의 유기박막이 고르게 가열되어 재증발되도록 배치되는 가열장치; 및
상기 면증발원을 상기 가열장치와 결합 및 분리하도록 상하방향으로 이동시키는 면증발원 상하이송장치; 를 포함하여 구성되며,
상기 면증발원 상하이송장치는 상기 프레임이 거치되는 프레임 거치대의 어느 하나의 테두리 또는 어느 하나의 테두리 외측으로 돌출되는 플렌지 형상의 축날개에 업다운축이 고정되어 상기 프레임 거치대에 안착되어 있는 있는 면증발원의 상하이동이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
A surface evaporation source with an organic thin film deposited on a metal surface;
A frame composed of an edge frame and a seating frame to support the surface evaporation source, but configured to prevent the surface evaporation source from sagging downward;
A heating device disposed under the metal surface of the surface evaporation source, the organic thin film of the surface evaporation source being uniformly heated to be re-evaporated; And
A surface evaporation shanghai transport device for moving the surface evaporation source in the vertical direction so as to be coupled to and separated from the heating device; It consists of,
The surface evaporation shanghai transport apparatus is a shank of a surface evaporation center in which an up-down axis is fixed to a frame-shaped shaft wing on which the frame is mounted or a flange-shaped shaft blade protruding out of either frame to be seated on the frame holder. Framed large area area evaporation device, characterized in that configured to enable copper.
금속면 상에 유기박막이 증착된 면증발원;
테두리 프레임과 안착 프레임 및 중앙 프레임으로 구성되어 상기 면증발원을 지지하되, 상기 면증발원이 하방향으로 처지는 것을 방지하도록 구성되는 프레임;
상기 면증발원의 금속면 하부에 배치되되, 상기 면증발원의 유기박막이 고르게 가열되어 재증발되도록 배치되는 가열장치; 및
상기 면증발원을 상기 가열장치와 결합 및 분리하도록 상하방향으로 이동시키는 면증발원 상하이송장치; 를 포함하여 구성되며,
상기 면증발원 상하이송장치는 상기 프레임이 거치되는 프레임 거치대, 상기 프레임 거치대의 각 테두리의 모서리를 받치고 있는 4개의 지지축과 상기 4개의 지지축과 연결된 하부프레임판, 상단이 상기 하부프레임판의 중앙부위에 고정되고 하단이 챔버바닥에 고정된 업다운축, 상기 업다운축에 연결된 공압장치로 구성된 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.
A surface evaporation source with an organic thin film deposited on a metal surface;
A frame composed of an edge frame, a seating frame, and a central frame to support the surface evaporation source, but configured to prevent the surface evaporation source from sagging downward;
A heating device disposed under the metal surface of the surface evaporation source, the organic thin film of the surface evaporation source being uniformly heated to be re-evaporated; And
A surface evaporation shanghai transport device for moving the surface evaporation source in the vertical direction so as to be coupled to and separated from the heating device; It consists of,
The surface evaporation Shanghai transport apparatus includes a frame holder on which the frame is mounted, four support shafts supporting the corners of each frame of the frame holder, a lower frame plate connected to the four support shafts, and a top portion of a center portion of the lower frame plate. Framed large-area area evaporation device, characterized in that consisting of a pneumatic device fixed to the bottom and the bottom is fixed to the chamber bottom, the up-down shaft.
금속면 상에 유기박막이 증착된 커브드 면증발원;
테두리 프레임과 안착 프레임 및 중앙 프레임으로 구성되어 상기 커브드 면증발원을 지지하되, 상기 면증발원이 하방향으로 처지는 것을 방지하도록 구성되는 커브드 프레임;
상기 커브드 면증발원의 금속면 하부에 배치되어, 상기 면증발원의 유기박막이 고르게 가열되어 재증발되도록 배치되되 가열장치; 및
상기 커브드 면증발원을 상기 가열장치와 결합 및 분리하도록 상하방향으로 이동시키는 면증발원 상하이송장치; 를 포함하여 구성되며,
상기 커브드 면증발원은,
유기박막이 증착된 금속면 시트의 가장자리와 중앙부가 계단형을 형성하되 중앙부와 가장자리는 경사면을 이루도록 구성되고,
상기 커브드 프레임은 안착 프레임과 중앙 프레임이 경사진 연결대에 의해 연결되도록 구성되고,
상기 가열장치의 가열선은 상기 커브드 면증발원 및 커브드 프레임의 구조에 맞추어 제1가열선, 제2가열선 또는 제3가열선의 조합으로 구성되고,
상기 면증발원 상하이송장치는 상기 커브드 프레임이 거치되는 프레임 거치대의 어느 하나의 테두리 또는 어느 하나의 테두리 외측으로 돌출되는 플렌지 형상의 축날개에 업다운축이 고정되어 상기 프레임 거치대에 안착되어 있는 있는 커브드 면증발원의 상하이동이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 프레임드 대면적 면증발원 장치.A curved surface evaporation source with an organic thin film deposited on a metal surface;
A curved frame composed of an edge frame, a seating frame, and a central frame to support the curved surface evaporation source, but configured to prevent the surface evaporation source from sagging downward;
A heating device disposed under the metal surface of the curved surface evaporation source, and arranged so that the organic thin film of the surface evaporation source is uniformly heated and re-evaporated; And
A surface evaporation shanghai transportation device for moving the curved surface evaporation source in the vertical direction so as to be coupled to and separated from the heating device; It consists of,
The curved cotton evaporation source,
The edge and the center of the metal sheet sheet on which the organic thin film is deposited form a stepped shape, and the center and the edge are configured to form an inclined surface,
The curved frame is configured such that the seating frame and the center frame are connected by an inclined connecting rod,
The heating wire of the heating device is composed of a combination of a first heating wire, a second heating wire or a third heating wire according to the structure of the curved surface evaporation source and the curved frame,
The surface evaporation shanghai transport device has a curved up-down shaft fixed to an edge of a frame holder on which the curved frame is mounted or a flange-shaped shaft wing protruding out of any one frame, and is seated on the frame holder. A framed large-area area evaporation device, characterized in that it is configured to enable Shanghaidong of the area evaporation. 삭제delete
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