KR100861187B1 - One transistor type dram - Google Patents

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강희복
안진홍
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Abstract

A one-transistor type DRAM is provided to increase efficiency of a sense amplifier by generating a reference voltage and a clamp voltage reflecting the characteristics of a main cell. According to a one-transistor type DRAM using a floating body storage device controlled by a word line as being connected between a bit line and a source line, a plurality of source lines and word lines are arranged in a row direction. A plurality of bit lines are arranged in a column direction. A plurality of clamp bit lines and reference bit lines are arranged in a column direction. A cell array(30) includes the floating body storage device, and is formed on a region where the source line, the word line and the bit line intersect with each other. A clamp cell array(20) includes the floating body storage device, and is formed on a region where the source line, the word line and the reference bit line intersect with each other. A reference cell array includes the floating body storage device, and is formed on a region where the source line, the word line and the reference bit line intersect with each other. A sense amplifier(S/A) and a write driving part(W/D) are connected to the bit line, and are applied with a clamp voltage and a reference voltage.

Description

1-트랜지스터형 디램{One transistor type DRAM}One-transistor DRAM

본 발명은 1-트랜지스터형 디램에 관한 것으로서, 플로팅 바디(Floating Body) 저장 소자를 이용한 1-트랜지스터형 디램에 있어서 클램프(Clamp) 전압과 레퍼런스(Reference) 전압을 발생시켜 센스앰프의 센싱 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 기술이다. The present invention relates to a 1-transistor type DRAM, which generates a clamp voltage and a reference voltage in a 1-transistor type DRAM using a floating body storage device to improve sensing efficiency of a sense amplifier. It's a technology that makes it possible.

일반적으로 디램(DRAM)과 같은 반도체 소자는 실리콘 웨이퍼 상에 집적된다. 그러나, 반도체 소자에서 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼는 전체 실리콘이 소자의 동작에 이용되는 것이 아니라 단지 표면으로부터 수 ㎛의 제한된 두께만 소자 동작에 이용된다. 결국, 소자의 동작에 필요한 일부를 제외한 나머지 실리콘 웨이퍼는 전력 소비를 증가시키고, 구동속도(Driving Speed)를 떨어뜨리는 요인이 된다. In general, semiconductor devices such as DRAM are integrated on a silicon wafer. However, silicon wafers used in semiconductor devices are not used for the operation of the device but only a limited thickness of several micrometers from the surface for device operation. As a result, the remaining silicon wafers, except for those required for the operation of the device, increase power consumption and reduce driving speeds.

이에, 실리콘 기판에 절연층을 개재해서 수 ㎛ 두께의 실리콘 단결정층을 형성하여 구성한 SOI(Silicon On Insulator) 웨이퍼의 필요성이 대두되었다. SOI 웨이퍼에 집적된 반도체 소자는 통상의 실리콘 웨이퍼에 집적된 반도체 소자와 비교해서 작은 접합 용량에 의한 고속화가 가능하고, 낮은 문턱전압에 의한 저전압화로 인해 고속화 및 저전압화를 충족시킬 있는 장점이 있다. Accordingly, there is a need for a silicon on insulator (SOI) wafer formed by forming a silicon single crystal layer having a thickness of several μm through an insulating layer on a silicon substrate. The semiconductor device integrated on the SOI wafer can be speeded up by the small junction capacity compared to the semiconductor device integrated on the conventional silicon wafer, and has the advantages of speeding up and voltage reduction due to the low voltage due to the low threshold voltage.

하지만, 이러한 SOI 웨이퍼에 집적된 반도체 소자에서 레퍼런스 전압을 효과적으로 제어하지 못할 경우 센스앰프의 센싱 효율이 저하된다. 이에 따라, 칩 전체의 데이터 센싱 마진 및 수율이 저하되는 문제점이 있다. However, if the reference voltage is not effectively controlled in the semiconductor device integrated in the SOI wafer, the sensing efficiency of the sense amplifier is reduced. Accordingly, there is a problem that the data sensing margin and yield of the entire chip is reduced.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 플로팅 바디(Floating Body) 저장 소자를 이용한 1-트랜지스터형 디램에 있어서 메인 셀의 특성을 반영하는 클램프 전압과 레퍼런스 전압을 발생하여 센스앰프의 효율을 증가시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems. In the 1-transistor type DRAM using a floating body storage device, a clamp voltage and a reference voltage are generated to reflect the characteristics of the main cell. The purpose is to increase the efficiency.

또한, 본 발명은 1-트랜지스터형 디램에 NDRO(Non Destructive Read Out) 방식을 적용하여 리드 동작시 셀의 데이터가 파괴되지 않도록 함으로써 셀의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. In addition, an object of the present invention is to improve the reliability of the cell by applying a non-destructive read out (NDRO) method to the 1-transistor DRAM so that the data of the cell is not destroyed during the read operation.

또한, 본 발명은 1-트랜지스터형 디램을 구현하여 셀 사이즈를 획기적으로 줄일 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. In addition, an object of the present invention is to implement a 1-transistor type DRAM to significantly reduce the cell size.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 1-트랜지스터형 디램은, 비트라인과 소스 라인 사이에 연결되어 워드라인에 의해 제어되는 플로팅 바디(Floating Body) 저장 소자를 이용한 1-트랜지스터형 디램에 있어서, 로오 방향으로 복수개 배열된 소스라인 및 워드라인; 컬럼 방향으로 복수개 배열된 비트라인; 컬럼 방향으로 복수개 배열된 클램프 비트라인 및 레퍼런스 비트라인; 플로팅 바디 저장 소자를 포 함하며, 소스라인, 워드라인, 및 비트라인이 교차하는 영역에 각각 형성된 셀 어레이; 플로팅 바디 저장 소자를 포함하며, 소스라인, 워드라인, 및 클램프 비트라인이 교차하는 영역에 형성된 클램프 셀 어레이; 플로팅 바디 저장 소자를 포함하며, 소스라인, 워드라인, 및 레퍼런스 비트라인이 교차하는 영역에 형성된 레퍼런스 셀 어레이; 및 비트라인에 각각 연결되어 클램프 전압과 레퍼런스 전압이 인가되는 센스앰프 및 라이트 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. In the 1-transistor type DRAM of the present invention for achieving the above object, in the 1-transistor type DRAM using a floating body storage element connected between the bit line and the source line controlled by the word line, A plurality of source lines and word lines arranged in a row direction; A plurality of bit lines arranged in a column direction; A plurality of clamp bit lines and reference bit lines arranged in a column direction; A cell array including a floating body storage element, each cell array formed in an area where a source line, a word line, and a bit line cross each other; A clamp cell array including a floating body storage element, said clamp cell array formed in an area where a source line, a word line, and a clamp bit line cross each other; A reference cell array including a floating body storage element, the reference cell array formed in an area where a source line, a word line, and a reference bit line cross each other; And a sense amplifier and a write driver connected to the bit lines, respectively, to which the clamp voltage and the reference voltage are applied.

본 발명은 다음과 같은 효과를 제공한다. The present invention provides the following effects.

첫째, 플로팅 바디(Floating Body) 저장 소자를 이용한 1-트랜지스터형 디램에 있어서 메인 셀의 특성을 반영하는 클램프 전압과 레퍼런스 전압을 발생하여 센스앰프의 효율을 증가시킬 수 있도록 한다. First, in a 1-transistor type DRAM using a floating body storage element, a clamp voltage and a reference voltage reflecting characteristics of a main cell may be generated to increase the efficiency of a sense amplifier.

둘째, 본 발명은 1-트랜지스터형 디램에 NDRO(Non Destructive Read Out) 방식을 적용하여 리드 동작시 셀의 데이터가 파괴되지 않도록 함으로써 셀의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 한다. Second, the present invention applies a non-destructive read out (NDRO) method to a 1-transistor DRAM to prevent cell data from being destroyed during a read operation, thereby improving cell reliability.

셋째, 본 발명은 1-트랜지스터형 디램을 구현하여 셀 사이즈를 획기적으로 줄일 수 있도록 한다. Third, the present invention implements a 1-transistor type DRAM to significantly reduce the cell size.

아울러 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위한 것으로, 당업자라면 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상과 범위를 통해 다양한 수정, 변경, 대체 및 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다. In addition, a preferred embodiment of the present invention is for the purpose of illustration, those skilled in the art will be able to various modifications, changes, substitutions and additions through the spirit and scope of the appended claims, such modifications and changes are the following claims It should be seen as belonging to a range.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 단위 셀을 도시한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view illustrating a unit cell of a 1-transistor DRAM according to the present invention.

SOI(Silicon On Insulator) 웨이퍼(10)는 실리콘 기판(1)과 매몰 산화막(Buried Oxide Layer;2) 및 실리콘층(3)의 적층 구조로 이루어진다. 이러한 SOI 웨이퍼(10)의 실리콘층(3)에 활성영역을 한정하는 소자분리막(11)이 매몰산화막(2)과 접하도록 형성된다. The silicon on insulator (SOI) wafer 10 has a stacked structure of a silicon substrate 1, a buried oxide layer 2, and a silicon layer 3. An isolation layer 11 defining an active region in the silicon layer 3 of the SOI wafer 10 is formed in contact with the buried oxide film 2.

그리고, 실리콘층(3)의 활성영역 상부에는 게이트(12)가 형성된다. 또한, 게이트(12) 양측의 실리콘층(3) 내에 매몰산화막(2)과 접하도록 소스/드레인 영역(13a,13b)이 형성된다. The gate 12 is formed on the active region of the silicon layer 3. In addition, source / drain regions 13a and 13b are formed in the silicon layer 3 on both sides of the gate 12 to contact the buried oxide film 2.

SOI 웨이퍼(10)에 구현된 디램 셀은, 게이트(12) 아래의 채널영역에 해당하는 플로팅 바디(Floating Body;15)에 정공(Hole)과 전자(Electron)가 포획되는 것에 의해 데이터 저장이 이루어진다. In the DRAM cell implemented in the SOI wafer 10, data is stored by trapping holes and electrons in a floating body 15 corresponding to a channel region under the gate 12. .

예컨대, 도 2a에 도시된 바와 같이, 데이터 "1" 저장(Store) 상태는 플로팅 바디(15)에 정공이 많은 상태로 이해될 수 있다. 그리고, 도 2b에 도시된 바와 같이, 데이터 "0" 저장 상태는 플로팅 바디(15)에 정공이 적은 상태 또는 전자가 많은 상태로 이해될 수 있다. For example, as shown in FIG. 2A, the data “1” store state may be understood as a state where there are many holes in the floating body 15. As shown in FIG. 2B, the data “0” storage state may be understood as a state in which the floating body 15 has few holes or a lot of electrons.

도 3은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 셀 리드 전류의 특성을 나타 낸 파형도이다. Figure 3 is a waveform diagram showing the characteristics of the cell lead current of the 1-transistor DRAM according to the present invention.

도 3은 SOI 웨이퍼(10)에 구현된 디램 셀에 대하여 셀 드레인 전압(Vd)을 0.2V로 하고, 셀 소스 전압을 그라운드(GND)로 하면서 셀 게이트 전압을 스윕(Sweep) 했을 때의 셀 읽기 전류를 나타낸 그래프이다. 3 shows a cell read when the cell gate voltage is set to 0.2V for the DRAM cell implemented in the SOI wafer 10, and the cell gate voltage is sweeped while the cell source voltage is set to ground GND. A graph showing the current.

즉, 워드라인(WL)에 워드라인 리드전압이 인가되면 리드전류가 비트라인(BL)에서 소스라인(SL) 쪽으로 흐른다. 이때, 흐르는 센싱 전류의 양이 기준전류보다 크면 데이터 "1"이 리드되고, 기준전류보다 낮으면 데이터 "0"이 리드된다. That is, when the word line read voltage is applied to the word line WL, the read current flows from the bit line BL toward the source line SL. At this time, if the amount of sensing current flowing is larger than the reference current, data "1" is read, and if it is lower than the reference current, data "0" is read.

도시된 바와 같이, 리드 상태에서 1-트랜지스터형 셀은 데이터 "1" 저장 상태일 때 데이터 "0" 저장 상태일 때보다 많은 양의 센싱 전류가 흐른다. 즉, 데이터 "1" 저장 상태일 때 리드 전류가 가장 크고, 데이터 "0" 상태일 때 리드 전류가 가장 작다. 그리고, 기준(Reference) 전류 REF는 데이터 "1" 저장 상태와 데이터 "0" 저장 상태의 중간값에 해당하는 리드 전류 값을 갖는다. As shown, the 1-transistor cell in the read state flows a larger amount of sensing current when in the data "1" storage state than in the data "0" storage state. That is, the read current is largest when the data "1" is stored, and the read current is smallest when the data "0". The reference current REF has a read current value corresponding to an intermediate value between the data "1" storage state and the data "0" storage state.

도 4a는 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 데이터 리드 방법을 설명하기 위한 회로도이다. 4A is a circuit diagram illustrating a data read method of a 1-transistor DRAM according to the present invention.

본 발명의 1-트랜지스터형 디램은 플로팅 바디 트랜지스터 FBT의 소스(13a)와 드레인(13b)에 각각 소스 라인 SL과 비트라인 BL이 연결되고, 게이트(12)에 워드라인 WL이 연결된다. In the 1-transistor DRAM of the present invention, the source line SL and the bit line BL are connected to the source 13a and the drain 13b of the floating body transistor FBT, respectively, and the word line WL is connected to the gate 12.

도 4b는 도 4a의 동작을 설명하기 위한 타이밍도이다. 4B is a timing diagram for describing the operation of FIG. 4A.

본 발명의 1-트랜지스터형 디램 셀은 데이터를 리드 하기 위한 타이밍이 t0 내지 t2 구간으로 구분된다. 여기서, t0,t2 구간은 데이터를 유지하는 홀드(Hold) 구간이다. 그리고, t1 구간은 데이터 리드를 수행하는 구간이다. In the 1-transistor type DRAM cell of the present invention, the timing for reading data is divided into t0 to t2 sections. Here, the t0 and t2 sections are hold sections that hold data. The t1 section is a section for performing data read.

먼저, t0 구간 즉, 제 1홀드 구간에서는 워드라인 WL이 그라운드 GND 레벨을 유지한다. 그리고, 소스 라인 SL과, 비트라인 BL이 프리차지 전압 Vpre 레벨을 유지한다. 이에 따라, t0 구간에서는 플로팅 바디(15)에 데이터가 유지되는 동작을 수행한다. First, the word line WL maintains the ground GND level in the t0 period, that is, the first hold period. The source line SL and the bit line BL maintain the precharge voltage Vpre level. Accordingly, the data is maintained in the floating body 15 in the t0 section.

그 후, t1 구간에서는 셀에 저장된 데이터를 리드하기 위해 워드라인 WL의 전압이 워드라인 센싱 전압 Vwlsense 레벨로 천이한다. 이때, 소스 라인 SL이 소스라인 센싱 전압 Vslsense 레벨로 천이하고, 비트라인 BL이 프리차지 전압 Vpre 레벨을 유지한다. 이에 따라, 비트라인 BL에서 소스 라인 SL 쪽으로 센싱 전류를 감지하기 위한 센싱 전류 Icellse가 흐르게 된다. Thereafter, in the period t1, the voltage of the word line WL transitions to the word line sensing voltage Vwlsense level to read data stored in the cell. At this time, the source line SL transitions to the source line sensing voltage Vslsense level, and the bit line BL maintains the precharge voltage Vpre level. Accordingly, the sensing current Icellse for sensing the sensing current flows from the bit line BL toward the source line SL.

즉, 비트라인 BL과 소스 라인 SL 사이에 센싱전류 Icellse를 감지하기 위한 드레인 소스 전압 Vds이 걸리도록 하여 셀 데이터를 리드하게 된다. That is, the cell data is read by applying the drain source voltage Vds for sensing the sensing current Icellse between the bit line BL and the source line SL.

이어서, t2 구간, 즉 제 2홀드 구간에서는 워드라인 WL이 그라운드 전압 GND 레벨로 천이한다. 그리고, 소스 라인 SL이 프리차지 전압 Vpre 레벨로 천이하고, 비트라인 BL이 프리차지 전압 Vpre 레벨을 유지한다. Subsequently, in the t2 period, that is, the second hold period, the word line WL transitions to the ground voltage GND level. The source line SL transitions to the precharge voltage Vpre level, and the bit line BL maintains the precharge voltage Vpre level.

본 발명의 실시예에서 워드라인 센싱 전압 Vwlsense은 그라운드 전압 GND 보다 높은 레벨을 가지며, 소스라인 센싱 전압 Vslsense은 프리차지 전압 Vpre 보다 낮고 그라운드 전압 GND 보다 높은 레벨을 갖는 것이 바람직하다. In an embodiment of the present invention, the word line sensing voltage Vwlsense has a level higher than the ground voltage GND, and the source line sensing voltage Vslsense preferably has a level lower than the precharge voltage Vpre and higher than the ground voltage GND.

도 5는 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 제 1실시예이다. 5 is a first embodiment of a one-transistor DRAM according to the present invention.

본 발명은 클램프(Clamp) 및 레퍼런스(Reference) 셀 어레이(20)와, 셀 어레 이(30)와, 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40)와, 클램프 전압 발생부(50)와, 레퍼런스 전압 발생부(60)와, 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D를 포함한다. The present invention provides a clamp and reference cell array 20, a cell array 30, a reference offset current adjuster 40, a clamp voltage generator 50, a reference voltage generator ( 60) and sense amplifier S / A and write driver W / D.

여기서, 클램프 및 레퍼런스 셀 어레이(20)는 복수개의 소스라인 SL0~SL2과 복수개의 워드라인 WL0~WL3이 로오 방향으로 배치된다. 그리고, 클램프 비트라인 CBL0,CBL1 및 레퍼런스 비트라인 RBL이 컬럼 방향으로 배치된다. 이러한 클램프 및 레퍼런스 셀 어레이(20)는 메인 셀의 특성을 반영하는 클램프 셀 CC 및 레퍼런스 셀 RC을 구현하여 클램프 전압과 레퍼런스 전압을 발생시킴으로써 센스앰프의 효율을 증가시킬 수 있도록 한다. In the clamp and reference cell array 20, a plurality of source lines SL0 to SL2 and a plurality of word lines WL0 to WL3 are arranged in a row direction. Then, the clamp bit lines CBL0, CBL1 and the reference bit line RBL are arranged in the column direction. The clamp and reference cell array 20 may implement the clamp cell CC and the reference cell RC reflecting the characteristics of the main cell to generate the clamp voltage and the reference voltage, thereby increasing the efficiency of the sense amplifier.

클램프 및 레퍼런스 셀 어레이(20)에서 각각의 클램프 셀 CC1,CC2은 소스라인 SL0과 소스라인 SL1 사이에 연결되어 공통 드레인 단자가 클램프 비트라인 CBL0을 공유한다. 그리고, 클램프 셀 CC1,CC2은 게이트 단자가 워드라인 WL0,WL1과 각각 연결된다. 상하로 배치된 클램프 셀 CC1,CC2은 소스 단자가 서로 다른 소스라인 SL0,SL1과 연결된다. In the clamp and reference cell array 20, each clamp cell CC1, CC2 is connected between the source line SL0 and the source line SL1 so that the common drain terminal shares the clamp bit line CBL0. In addition, the gate terminals of the clamp cells CC1 and CC2 are connected to the word lines WL0 and WL1, respectively. Clamp cells CC1 and CC2 disposed up and down are connected to source lines SL0 and SL1 having different source terminals.

이러한 클램프 및 레퍼런스 셀 어레이(20)에 포함된 셀 들은 모두 데이터 "0"을 저장하게 된다. 이에 따라, 클램프 비트라인 CBL0,CBL1과 레퍼런스 비트라인 RBL을 통해 셀 데이터 "0"과 동일한 전류가 흐르게 된다. The cells included in the clamp and the reference cell array 20 all store data "0". Accordingly, the same current as the cell data "0" flows through the clamp bit lines CBL0 and CBL1 and the reference bit line RBL.

그리고, 각각의 레퍼런스 셀 RC1,RC2은 소스라인 SL0과 소스라인 SL1 사이에 연결되어 공통 드레인 단자가 레퍼런스 비트라인 RBL을 공유한다. 그리고, 레퍼런스 셀 RC1,RC2은 게이트 단자가 워드라인 WL0,WL1과 각각 연결된다. 상하로 배치된 레퍼런스 셀 RC1,RC2은 소스 단자가 서로 다른 소스라인 SL0,SL1과 연결된다. Each of the reference cells RC1 and RC2 is connected between the source line SL0 and the source line SL1 so that the common drain terminal shares the reference bit line RBL. The gate terminals of the reference cells RC1 and RC2 are connected to the word lines WL0 and WL1, respectively. The reference cells RC1 and RC2 disposed up and down are connected to source lines SL0 and SL1 having different source terminals.

그리고, 셀 어레이(30)는 복수개의 소스 라인 SL0~SL2과 복수개의 워드라인 WL0~WL3이 로오 방향으로 배치된다. 그리고, 복수개의 비트라인 BL0,BL1이 컬럼 방향으로 배치된다. In the cell array 30, a plurality of source lines SL0 to SL2 and a plurality of word lines WL0 to WL3 are arranged in the row direction. A plurality of bit lines BL0 and BL1 are arranged in the column direction.

셀 어레이(30)에서 각각의 셀 C1,C2은 소스라인 SL0과 소스라인 SL1 사이에 연결되어 공통 드레인 단자가 비트라인 BL0을 공유한다. 그리고, 셀 C1,C2은 게이트 단자가 워드라인 WL0,WL1과 각각 연결된다. 상하로 배치된 셀 C1,C2은 소스단자가 서로 다른 소스라인 SL0,SL1과 연결된다. Each cell C1, C2 in the cell array 30 is connected between the source line SL0 and the source line SL1 so that the common drain terminal shares the bit line BL0. The gate terminals of the cells C1 and C2 are connected to the word lines WL0 and WL1, respectively. The cells C1 and C2 disposed up and down are connected to source lines SL0 and SL1 having different source terminals.

여기서, 비트라인 BL과 소스라인 SL 사이에는 셀의 센싱 전류를 감지하기 위한 센싱 바이어스 전압인, 소스라인 센싱 전압 Vslsense이 인가된다. 이에 따라, 셀 데이터의 저장 상태에 따라 셀 센싱 전류 Icell가 흐르게 된다. Here, a source line sensing voltage Vslsense, which is a sensing bias voltage for sensing a sensing current of a cell, is applied between the bit line BL and the source line SL. Accordingly, the cell sensing current Icell flows according to the storage state of the cell data.

그리고, 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40)는 레퍼런스 비트라인 RBL과 연결되어, 레퍼런스 비트라인 RBL에 흐르는 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset를 조정한다. The reference offset current adjuster 40 is connected to the reference bit line RBL to adjust the reference offset current Iref_offset flowing through the reference bit line RBL.

그리고, 클램프 전압 발생부(50)는 클램프 비트라인 CBL0,CBL1에 의해 공유되어 클램프 비트라인 CBL0,CBL1에 흐르는 클램프 전류 Iclmp를 제어하여 클램프 전압 Vclmp 전압을 발생시킨다. The clamp voltage generation unit 50 generates the clamp voltage Vclmp voltage by controlling the clamp current Iclmp shared by the clamp bit lines CBL0 and CBL1 and flowing through the clamp bit lines CBL0 and CBL1.

레퍼런스 전압 발생부(60)는 레퍼런스 비트라인 RBL과 연결되어 클램프 전압 Vclmp이 인가되며, 레퍼런스 비트라인 RBL에 흐르는 레퍼런스 전류 Iref를 제어하여 레퍼런스 전압 Nref을 발생시킨다. The reference voltage generator 60 is connected to the reference bit line RBL to apply the clamp voltage Vclmp, and generates a reference voltage Nref by controlling the reference current Iref flowing through the reference bit line RBL.

각각의 비트라인 BL0,BL1에는 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D가 연결된 다. 비트라인 BL0,BL1에는 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D가 각각 일대일 대응하여 연결된다. 여기서, 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D에는 센싱 전압을 판별하기 위한 레퍼런스 전압 Nref과 클램프 전압 Vclmp이 인가되어 셀 전류 Icell를 제어한다. Each of the bit lines BL0 and BL1 is connected to the sense amplifier S / A and the write driver W / D. The sense amplifiers S / A and the write driver W / D are respectively connected to the bit lines BL0 and BL1 in a one-to-one correspondence. Here, the reference voltage Nref and the clamp voltage Vclmp for determining the sensing voltage are applied to the sense amplifier S / A and the write driver W / D to control the cell current Icell.

센스앰프 S/A는 셀 데이터를 감지하여 데이터 "1"과 데이터 "0"을 구별한다. 그리고, 라이트 구동부 W/D는 셀에 데이터를 라이트할 때 비트라인 BL에 라이트 데이터에 대응하는 구동 전압을 공급한다. The sense amplifier S / A senses cell data to distinguish data "1" from data "0". The write driver W / D supplies a driving voltage corresponding to the write data to the bit line BL when writing data to the cell.

도 6은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 제 2실시예이다. 6 is a second embodiment of a one-transistor DRAM according to the present invention.

본 발명은 클램프(Clamp) 및 레퍼런스(Reference) 셀 어레이(60)와, 셀 어레이(70)와, 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(80)와, 클램프 전압 발생부(90)와, 레퍼런스 전압 발생부(100)와, 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D를 포함한다. The present invention provides a clamp and reference cell array 60, a cell array 70, a reference offset current adjuster 80, a clamp voltage generator 90, a reference voltage generator 100 ) And sense amplifier S / A and write driver W / D.

여기서, 클램프 및 레퍼런스 셀 어레이(60)는 복수개의 소스라인 SL0~SL3과 복수개의 워드라인 WL0~WL5이 로오 방향으로 배치된다. 그리고, 클램프 비트라인 CBL0,CBL1 및 레퍼런스 비트라인 RBL이 컬럼 방향으로 배치된다. In the clamp and reference cell array 60, a plurality of source lines SL0 to SL3 and a plurality of word lines WL0 to WL5 are arranged in a row direction. Then, the clamp bit lines CBL0, CBL1 and the reference bit line RBL are arranged in the column direction.

클램프 및 레퍼런스 셀 어레이(60)에서 각각의 클램프 셀 CC1,CC2은 소스라인 SL0과 소스라인 SL1 사이에 연결되어 공통 드레인 단자가 클램프 비트라인 CBL0을 공유한다. 그리고, 클램프 셀 CC1,CC2은 게이트 단자가 워드라인 WL0,WL1과 각각 연결된다. 상하로 배치된 클램프 셀 CC1,CC2은 소스 단자가 서로 다른 소스라인 SL0,SL1과 연결된다. In the clamp and reference cell array 60, each clamp cell CC1, CC2 is connected between the source line SL0 and the source line SL1 so that the common drain terminal shares the clamp bit line CBL0. In addition, the gate terminals of the clamp cells CC1 and CC2 are connected to the word lines WL0 and WL1, respectively. Clamp cells CC1 and CC2 disposed up and down are connected to source lines SL0 and SL1 having different source terminals.

그리고, 각각의 레퍼런스 셀 RC1,RC2은 소스라인 SL0과 소스라인 SL1 사이에 연결되어 공통 드레인 단자가 레퍼런스 비트라인 RBL을 공유한다. 그리고, 레퍼런스 셀 RC1,RC2은 게이트 단자가 워드라인 WL0,WL1과 각각 연결된다. 상하로 배치된 레퍼런스 셀 RC1,RC2은 소스 단자가 서로 다른 소스라인 SL0,SL1과 연결된다. Each of the reference cells RC1 and RC2 is connected between the source line SL0 and the source line SL1 so that the common drain terminal shares the reference bit line RBL. The gate terminals of the reference cells RC1 and RC2 are connected to the word lines WL0 and WL1, respectively. The reference cells RC1 and RC2 disposed up and down are connected to source lines SL0 and SL1 having different source terminals.

이러한 클램프 및 레퍼런스 셀 어레이(60)에 포함된 셀 들은 모두 데이터 "0"을 저장하게 된다. 이에 따라, 클램프 비트라인 CBL0,CBL1과 레퍼런스 비트라인 RBL을 통해 셀 데이터 "0"과 동일한 전류가 흐르게 된다. The cells included in the clamp and the reference cell array 60 all store data "0". Accordingly, the same current as the cell data "0" flows through the clamp bit lines CBL0 and CBL1 and the reference bit line RBL.

그리고, 셀 어레이(70)는 복수개의 소스 라인 SL0~SL3과 복수개의 워드라인 WL0~WL5이 로오 방향으로 배치된다. 그리고, 복수개의 비트라인 BL0,BL1이 컬럼 방향으로 배치된다. In the cell array 70, a plurality of source lines SL0 to SL3 and a plurality of word lines WL0 to WL5 are arranged in the row direction. A plurality of bit lines BL0 and BL1 are arranged in the column direction.

셀 어레이(70)에서 각각의 셀 C1,C2은 소스라인 SL0과 소스라인 SL1 사이에 연결되어 공통 드레인 단자가 비트라인 BL0을 공유한다. 그리고, 셀 C1,C2은 게이트 단자가 워드라인 WL0,WL1과 각각 연결된다. 상하로 배치된 셀 C1,C2은 소스단자가 서로 다른 소스라인 SL0,SL1과 연결된다. Each cell C1, C2 in the cell array 70 is connected between the source line SL0 and the source line SL1 so that the common drain terminal shares the bit line BL0. The gate terminals of the cells C1 and C2 are connected to the word lines WL0 and WL1, respectively. The cells C1 and C2 disposed up and down are connected to source lines SL0 and SL1 having different source terminals.

여기서, 비트라인 BL과 소스라인 SL 사이에는 셀의 센싱 전류를 감지하기 위한 센싱 바이어스 전압인, 소스라인 센싱 전압 Vslsense이 인가된다. 이에 따라, 셀 데이터의 저장 상태에 따라 셀 센싱 전류 Icell가 흐르게 된다. Here, a source line sensing voltage Vslsense, which is a sensing bias voltage for sensing a sensing current of a cell, is applied between the bit line BL and the source line SL. Accordingly, the cell sensing current Icell flows according to the storage state of the cell data.

그리고, 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(80)는 레퍼런스 비트라인 RBL과 연결되어, 레퍼런스 비트라인 RBL에 흐르는 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset를 조정한다. The reference offset current adjuster 80 is connected to the reference bit line RBL to adjust the reference offset current Iref_offset flowing through the reference bit line RBL.

그리고, 클램프 전압 발생부(90)는 클램프 비트라인 CBL0,CBL1에 의해 공유 되어 클램프 비트라인 CBL0,CBL1에 흐르는 클램프 전류 Iclmp를 제어하여 클램프 전압 Vclmp을 발생시킨다. The clamp voltage generation unit 90 generates the clamp voltage Vclmp by controlling the clamp current Iclmp flowing through the clamp bit lines CBL0 and CBL1 and shared by the clamp bit lines CBL0 and CBL1.

레퍼런스 전압 발생부(100)는 레퍼런스 비트라인 RBL과 연결되어 클램프 전압 Vclmp이 인가되고, 레퍼런스 비트라인 RBL에 흐르는 레퍼런스 전류 Iref를 제어하여 레퍼런스 전압 Nref을 발생시킨다. The reference voltage generator 100 is connected to the reference bit line RBL to apply the clamp voltage Vclmp, and generates a reference voltage Nref by controlling the reference current Iref flowing through the reference bit line RBL.

각각의 비트라인 BL0,BL1에는 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D가 연결된다. 비트라인 BL0,BL1에는 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D가 각각 일대일 대응하여 연결된다. 여기서, 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D에는 센싱 전압을 판별하기 위한 레퍼런스 전압 Nref과 클램프 전압 Vclmp이 인가되어 셀 전류 Icell를 제어한다. A sense amplifier S / A and a write driver W / D are connected to each of the bit lines BL0 and BL1. The sense amplifiers S / A and the write driver W / D are respectively connected to the bit lines BL0 and BL1 in a one-to-one correspondence. Here, the reference voltage Nref and the clamp voltage Vclmp for determining the sensing voltage are applied to the sense amplifier S / A and the write driver W / D to control the cell current Icell.

센스앰프 S/A는 셀 데이터를 감지하여 데이터 "1"과 데이터 "0"을 구별한다. 그리고, 라이트 구동부 W/D는 셀에 데이터를 라이트할 때 비트라인 BL에 라이트 데이터에 대응하는 구동 전압을 공급한다. The sense amplifier S / A senses cell data to distinguish data "1" from data "0". The write driver W / D supplies a driving voltage corresponding to the write data to the bit line BL when writing data to the cell.

이러한 구성을 갖는 본 발명의 클램프 레퍼런스 셀 어레이(60)는 클램프 비트라인 CBL0과 연결된 복수개의 클램프 셀 그룹 CCG1,CCG2과, 클램프 비트라인 CBL1과 연결된 복수개의 클램프 셀 그룹 CCG3,CCG4을 포함한다. 그리고, 클램프 레퍼런스 셀 어레이(60)는 레퍼런스 비트라인 RBL에 연결된 레퍼런스 셀 그룹 RCG1,RCG2을 포함한다. 그리고, 셀 어레이(70)는 비트라인 BL에 연결된 복수개의 셀 그룹 CG1,CG2을 포함한다. The clamp reference cell array 60 of the present invention having such a configuration includes a plurality of clamp cell groups CCG1 and CCG2 connected to the clamp bit line CBL0, and a plurality of clamp cell groups CCG3 and CCG4 connected to the clamp bit line CBL1. The clamp reference cell array 60 includes reference cell groups RCG1 and RCG2 connected to the reference bit line RBL. The cell array 70 includes a plurality of cell groups CG1 and CG2 connected to the bit line BL.

여기서, 클램프 비트라인 CBL0과 연결된 복수개의 클램프 셀 그룹 CCG1,CCG2 은 로오 및 컬럼 방향으로 하나 건너 하나씩 배치된다. 즉, 클램프 비트라인 CBL0을 기준으로 하여 좌/우 지그재그 패턴으로 배치된다. Here, the plurality of clamp cell groups CCG1 and CCG2 connected to the clamp bit line CBL0 are arranged one by one in the row and column directions. That is, the left and right zigzag patterns are arranged based on the clamp bit line CBL0.

그리고, 클램프 비트라인 CBL1과 연결된 복수개의 클램프 셀 그룹 CCG3,CCG4은 로오 및 컬럼 방향으로 하나 건너 하나씩 배치된다. 즉, 클램프 비트라인 CBL1을 기준으로 하여 좌/우 지그재그 패턴으로 배치된다. The plurality of clamp cell groups CCG3 and CCG4 connected to the clamp bit line CBL1 are arranged one by one in the row and column directions. That is, the left and right zigzag patterns are arranged based on the clamp bit line CBL1.

또한, 레퍼런스 비트라인 RBL과 연결된 레퍼런스 셀 그룹 RCG1,RCG2은 로오 및 컬럼 방향으로 하나 건너 하나씩 배치된다. 즉, 레퍼런스 비트라인 RBL을 기준으로 하여 좌/우 지그재그 패턴으로 배치된다. 또한, 비트라인 BL과 연결된 복수개의 셀 그룹 CG1,CG2은 로오 및 컬럼 방향으로 하나 건너 하나씩 배열된다. In addition, the reference cell groups RCG1 and RCG2 connected to the reference bit line RBL are arranged one by one in the row and column directions. That is, the left and right zigzag patterns are arranged based on the reference bit line RBL. In addition, the plurality of cell groups CG1 and CG2 connected to the bit line BL are arranged one by one in the row and column directions.

또한, 상하로 배치된 두 개의 클램프 셀 그룹 CCG1,CCG2은 하나의 소스 라인 SL1을 공유한다. 그리고, 동일한 로오 라인에 배열된 복수개의 클램프 셀 그룹 CCG1,CCG3, 레퍼런스 셀 그룹 RCG1 및 셀 그룹 CG1은 하나의 소스 라인 SL1을 공유하게 된다. In addition, two clamp cell groups CCG1 and CCG2 disposed up and down share one source line SL1. The plurality of clamp cell groups CCG1 and CCG3, the reference cell group RCG1 and the cell group CG1 arranged in the same row line share one source line SL1.

동일한 컬럼 라인에 배열된 복수개의 클램프 셀 그룹 CCG2,CCG3들 중, 소스 라인 SL1을 기준으로 상하로 인접하여 배치된 클램프 셀 그룹 CCG2,CCG3은 각각 다른 클램프 비트라인 CBL0 또는 클램프 비트라인 CBL1에 연결된다. 즉, 소스 라인 SL1의 위쪽에 배치된 클램프 셀 그룹 CCG3은 클램프 비트라인 CBL1에 연결되고, 소스 라인 SL1의 아래쪽에 배치된 클램프 셀 그룹 CCG2은 비트라인 CBL0에 연결된다. Of the plurality of clamp cell groups CCG2 and CCG3 arranged in the same column line, the clamp cell groups CCG2 and CCG3 arranged up and down adjacent to the source line SL1 are connected to different clamp bit lines CBL0 or clamp bit lines CBL1, respectively. . That is, the clamp cell group CCG3 disposed above the source line SL1 is connected to the clamp bit line CBL1, and the clamp cell group CCG2 disposed below the source line SL1 is connected to the bit line CBL0.

상하에 배치된 여러 개의 셀이 동일한 비트라인을 공유하는 경우 라이트 동작 모드시 소스 라인 SL1을 공유하는 상태에서 비트라인 BL에 바이어스 전압을 인 가하게 되면, 상하에 배치된 플로팅 바디 셀 들에 공통으로 같은 전압이 인가된다. 이에 따라, 선택된 셀과 선택되지 않은 셀에서 모두 동일한 바이어스 전압이 인가되어 비 선택된 셀에 동작 오류가 발생하게 된다. When a plurality of cells arranged above and below share the same bit line If a bias voltage is applied to the bit line BL while sharing the source line SL1 in the write operation mode, the same applies to the floating body cells arranged above and below. Voltage is applied. Accordingly, the same bias voltage is applied to both the selected cell and the unselected cell, thereby causing an operation error in the unselected cell.

이에 따라, 본 발명은 상하에 배치된 셀 그룹 CG3,CG2이 각각 서로 다른 클램프 비트라인 CBL1,CBL0과 연결되도록 한다. 따라서, 선택된 셀에만 바이어스 전압이 인가되고, 선택되지 않은 셀에는 비트라인으로부터의 바이어스 전압이 인가되지 않도록 하여 셀의 동작 오류를 방지할 수 있게 된다. Accordingly, the present invention allows the cell groups CG3 and CG2 disposed above and below to be connected to different clamp bit lines CBL1 and CBL0, respectively. Therefore, the bias voltage is applied only to the selected cell, and the bias voltage from the bit line is not applied to the unselected cell, thereby preventing an operation error of the cell.

여기서, 클램프 셀 그룹 CCG5은 실질적으로 클램프 비트라인 CBL과 연결되지는 않지만, 프로세스(Process) 상에서의 셀 연속성을 유지하기 위해 셀 어레이에 구현된다. 이에 따라, 셀 그룹의 배치를 도 6과 같이 변경함으로써 각 셀에 인가되는 바이어스 조건을 달리할 수 있게 된다. Here, clamp cell group CCG5 is not substantially connected to clamp bitline CBL, but is implemented in a cell array to maintain cell continuity on a process. Accordingly, the bias condition applied to each cell can be changed by changing the arrangement of the cell groups as shown in FIG. 6.

도 7은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 레퍼런스 전류를 설명하기 위한 파형도이다. 7 is a waveform diagram illustrating a reference current of the 1-transistor DRAM according to the present invention.

도 4b의 센싱 구간 t1에서 워드라인 WL의 전압이 워드라인 센싱 전압 Vwlsense 레벨로 천이하면, 클램프 레퍼런스 셀 어레이(20)의 레퍼런스 셀 RC에서 셀 데이터 "0"과 동일한 레퍼런스 전류 Iref_cell가 흐르게 된다. When the voltage of the word line WL transitions to the word line sensing voltage Vwlsense level in the sensing period t1 of FIG. 4B, the reference current Iref_cell equal to the cell data “0” flows in the reference cell RC of the clamp reference cell array 20.

그리고, 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40)에서는 셀 데이터 "1"과 셀 데이터 "0"의 중간값에 해당하는 레퍼런스 전류 Iref를 발생시키기 위한 추가 전류 성분을 발생시키게 된다. In addition, the reference offset current adjuster 40 generates an additional current component for generating a reference current Iref corresponding to an intermediate value between the cell data “1” and the cell data “0”.

이 추가 전류 성분을 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset로 정의한다. 따라 서, 전체 레퍼런스 전류 Iref는 레퍼런스 전류 Iref_cell와 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset를 합한 값이 된다. This additional current component is defined as the reference offset current Iref_offset. Therefore, the total reference current Iref is the sum of the reference current Iref_cell and the reference offset current Iref_offset.

도 8은 도 5 및 도 6의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40,80)에 관한 상세 회로도이다. 본 발명에서는 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40)의 구성을 그 실시예로 설명한다. FIG. 8 is a detailed circuit diagram of the reference offset current adjusters 40 and 80 of FIGS. 5 and 6. In the present invention, the configuration of the reference offset current adjuster 40 will be described in the embodiment.

레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40)는 레퍼런스 비트라인 RBL과 그라운드(GND) 전압단 사이에 연결된 오프셋 전류 제어 소자를 포함한다. 오프셋 전류 제어 소자는 레퍼런스 전압 발생부(60)에서 레퍼런스 비트라인 RBL을 통해 그라운드(GND)로 흐르는 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset의 흐름을 조정한다. The reference offset current adjuster 40 includes an offset current control element connected between the reference bit line RBL and the ground (GND) voltage terminal. The offset current control element adjusts the flow of the reference offset current Iref_offset flowing from the reference voltage generator 60 to the ground GND through the reference bit line RBL.

본 발명에서는 오프셋 전류 제어 소자가 저항 R으로 구성된 것을 그 실시예로 설명한다. 이러한 오프셋 전류 제어 소자의 구성은 이에 한정되는 것이 아니라, 저항 R 뿐만 아니라, 모스(MOS) 소자 또는 저항값이 조절되는 그 어떤 소자로 이루어질 수도 있다. In the present invention, the offset current control element is constituted by the resistor R in the embodiment. The configuration of the offset current control element is not limited to this, but may be made of not only the resistor R but also a MOS element or any element whose resistance value is adjusted.

도 9는 도 5 및 도 6의 클램프 전압 발생부(50,90)에 관한 상세 회로도이다. 본 발명에서는 클램프 전압 발생부(50)의 구성을 그 실시예로 설명한다.9 is a detailed circuit diagram of the clamp voltage generators 50 and 90 of FIGS. 5 and 6. In the present invention, the configuration of the clamp voltage generator 50 will be described in the embodiment.

클램프 전압 발생부(50)는 레퍼런스 바이어스부(51)와, 클램프 전압 조정부(52) 및 클램프 전압 출력부(53)를 포함한다. The clamp voltage generator 50 includes a reference bias unit 51, a clamp voltage adjuster 52, and a clamp voltage output unit 53.

여기서, 레퍼런스 바이어스부(51)는 PMOS트랜지스터 P1와 NMOS트랜지스터 N1를 포함한다. PMOS트랜지스터 P1는 전원전압 VDD 인가단과 NMOS트랜지스터 N1 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 클램프 인에이블 신호 Clmp_en가 인가된다. 그 리고, NMOS트랜지스터 N1는 PMOS트랜지스터 P1와 클램프 비트라인 CBL0 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 전원전압 VDD이 인가된다. Here, the reference bias unit 51 includes a PMOS transistor P1 and an NMOS transistor N1. The PMOS transistor P1 is connected between the supply voltage VDD terminal and the NMOS transistor N1 to receive the clamp enable signal Clmp_en through the gate terminal. In addition, the NMOS transistor N1 is connected between the PMOS transistor P1 and the clamp bit line CBL0 so that the power supply voltage VDD is applied through the gate terminal.

클램프 전압 조정부(52)는 증폭기 A를 포함하여 클램프 전압 제어신호 Vclmp_con를 출력한다. 증폭기 A는 네가티브(-) 단자가 클램프 비트라인 CBL0과 연결되어 클램프 레퍼런스 신호 Cref1가 인가된다. 그리고, 증폭기 A는 포지티브(+) 단자가 클램프 비트라인 CBL1과 연결되어 클램프 레퍼런스 신호 Cref2가 인가된다. The clamp voltage adjusting unit 52 includes the amplifier A and outputs the clamp voltage control signal Vclmp_con. The amplifier A has a negative terminal connected to the clamp bit line CBL0 to which the clamp reference signal Cref1 is applied. In the amplifier A, a positive (+) terminal is connected to the clamp bit line CBL1 to apply the clamp reference signal Cref2.

클램프 전압 출력부(53)는 PMOS트랜지스터 P2~P4와, NMOS트랜지스터 N2,N3를 포함한다. PMOS트랜지스터 P2는 전원전압단과 PMOS트랜지스터 P3 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 클램프 인에이블 신호 Clmp_en가 인가된다. PMOS트랜지스터 P3는 PMOS트랜지스터 P2와 NMOS트랜지스터 N2의 게이트 단자 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 클램프 전압 제어신호 Vclmp_con가 인가된다. The clamp voltage output unit 53 includes PMOS transistors P2 to P4 and NMOS transistors N2 and N3. The PMOS transistor P2 is connected between the power supply voltage terminal and the PMOS transistor P3 so that the clamp enable signal Clmp_en is applied through the gate terminal. The PMOS transistor P3 is connected between the PMOS transistor P2 and the gate terminal of the NMOS transistor N2 so that the clamp voltage control signal Vclmp_con is applied through the gate terminal.

PMOS트랜지스터 P4는 전원전압 VDD 인가단과 NMOS트랜지스터 N2 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 클램프 인에이블 신호 Clmp_en가 인가된다. NMOS트랜지스터 N2는 PMOS트랜지스터 P4와 클램프 비트라인 CBL1 사이에 연결되어 게이트 단자가 클램프 전압 Vclmp 단과 연결된다. NMOS트랜지스터 N3는 클램프 전압 Vclmp 단과 접지전압단 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 클램프 인에이블 신호 Clmp_en가 인가된다. The PMOS transistor P4 is connected between the supply voltage VDD terminal and the NMOS transistor N2 to receive the clamp enable signal Clmp_en through the gate terminal. The NMOS transistor N2 is connected between the PMOS transistor P4 and the clamp bit line CBL1 so that the gate terminal is connected to the clamp voltage Vclmp terminal. The NMOS transistor N3 is connected between the clamp voltage Vclmp terminal and the ground voltage terminal, and the clamp enable signal Clmp_en is applied through the gate terminal.

이러한 구성을 갖는 클램프 전압 발생부(50)의 동작을 살펴보면 다음과 같다. Looking at the operation of the clamp voltage generation unit 50 having such a configuration as follows.

레퍼런스 바이어스부(51)는 클램프 전압 Vclmp의 발생을 위한 레퍼런스 전압을 발생시키기 위한 회로 구성이다. 이러한 레퍼런스 바이어스부(51)는 클램프 비트라인 CBL0에 흐르는 클램프 레퍼런스 신호 Cref1의 전류 값이 일정하게 되도록 로드 값을 설정하게 된다. The reference bias section 51 is a circuit configuration for generating a reference voltage for generating the clamp voltage Vclmp. The reference bias unit 51 sets the load value such that the current value of the clamp reference signal Cref1 flowing through the clamp bit line CBL0 is constant.

여기서, 글램프 바이어스부(51)의 활성화 조건은 클램프 인에이블 신호 Clmp_en에 의해 조정된다. 그리고, 일정한 목표 전류 값은 NMOS트랜지스터 N1에 의해 결정된다. Here, the activation condition of the clamp bias section 51 is adjusted by the clamp enable signal Clmp_en. The constant target current value is determined by the NMOS transistor N1.

클램프 전압 조정부(52)는 클램프 레퍼런스 신호 Cref1를 입력받아 클램프 레퍼런스 신호 Cref2가 결정되도록 조정하는 증폭회로이다. 즉, 증폭기 A는 클램프 레퍼런스 신호 Cref1에 따라 클램프 레퍼런스 신호 Cref2를 조정하여 클램프 전압 제어신호 Vclmp_con를 출력한다. The clamp voltage adjusting unit 52 is an amplifier circuit that receives the clamp reference signal Cref1 and adjusts the clamp reference signal Cref2 to be determined. That is, the amplifier A adjusts the clamp reference signal Cref2 according to the clamp reference signal Cref1 and outputs the clamp voltage control signal Vclmp_con.

클램프 전압 출력부(53)는 클램프 전압 Vclmp의 출력을 제어하는 회로 구성이다. 클램프 전압 출력부(53)의 활성화 조건은 클램프 인에이블 신호 Clmp_en에 의해 조정된다. The clamp voltage output section 53 is a circuit configuration for controlling the output of the clamp voltage Vclmp. The activation condition of the clamp voltage output section 53 is adjusted by the clamp enable signal Clmp_en.

클램프 인에이블 신호 Clmp_en가 하이 레벨로 비활성화되면 NMOS트랜지스터 N3가 턴온되어 클램프 전압 Vclmp이 그라운드 전압 레벨을 유지하도록 한다. 반면에, 클램프 인에이블 신호 Clmp_en가 로우 레벨로 활성화되면 PMOS트랜지스터 P1,P2,P4가 활성화된다. When the clamp enable signal Clmp_en is deactivated to a high level, the NMOS transistor N3 is turned on, causing the clamp voltage Vclmp to maintain the ground voltage level. On the other hand, when the clamp enable signal Clmp_en is activated at a low level, the PMOS transistors P1, P2, and P4 are activated.

이에 따라, 클램프 전압 제어신호 Vclmp_con에 따라 PMOS트랜지스터 P3가 조정되어 클램프 전압 Vclmp가 제어된다. 그리고, 클램프 전압 Vclmp에 따라 NMOS트 랜지스터 N2가 제어되어 클램프 레퍼런스 신호 Cref2의 전압을 결정하게 된다. Accordingly, the PMOS transistor P3 is adjusted according to the clamp voltage control signal Vclmp_con to control the clamp voltage Vclmp. The NMOS transistor N2 is controlled according to the clamp voltage Vclmp to determine the voltage of the clamp reference signal Cref2.

또한, 클램프 레퍼런스 신호 Cref2는 증폭기 A의 포티티브(+) 단자로 입력되어 클램프 전압 Vclmp을 조정하게 된다. 이에 따라, 클램프 레퍼런스 신호 Cref1,Cref2는 일정한 오프셋 전압을 항상 유지하도록 한다. In addition, the clamp reference signal Cref2 is input to the positive (+) terminal of the amplifier A to adjust the clamp voltage Vclmp. Accordingly, the clamp reference signals Cref1 and Cref2 always maintain a constant offset voltage.

이러한 구성을 갖는 클램프 전압 발생부(50)의 동작 과정을 도면 제 10도의 타이밍도를 참조하여 설명하면 다음과 같다. An operation process of the clamp voltage generator 50 having such a configuration will be described below with reference to the timing diagram of FIG. 10.

즉, 스탠바이 상태에서는 클램프 인에이블 신호 Clmp_en가 하이 레벨로 비활성화 상태를 유지한다. 이에 따라, 클램프 레퍼런스 신호 Cref1,Cref2와, 클램프 전압 제어신호 Vclmp_con 및 클램프 전압 Vclmp이 로우 레벨 상태를 유지한다. That is, in the standby state, the clamp enable signal Clmp_en remains in an inactive state at a high level. Accordingly, the clamp reference signals Cref1 and Cref2, the clamp voltage control signal Vclmp_con and the clamp voltage Vclmp maintain the low level.

반면에, 클램프 인에이블 신호 Clmp_en가 로우 레벨로 활성화되면 PMOS트랜지스터 P1가 턴온된다. 이에 따라, 클램프 레퍼런스 신호 Cref1의 전압이 일정 바이어스 전압 레벨로 상승한다. On the other hand, when the clamp enable signal Clmp_en is activated to a low level, the PMOS transistor P1 is turned on. As a result, the voltage of the clamp reference signal Cref1 rises to a constant bias voltage level.

그리고, 클램프 레퍼런스 신호 Cref2의 전압은 일정시간 지연된 이후에 상승하게 되어 클램프 전압 제어신호 Vclmp_con가 로우 레벨이 된다. 이러한 클램프 전압 제어신호 Vclmp_con에 따라 PMOS트랜지스터 P3가 턴온되어 클램프 전압 Vclmp의 레벨이 상승하게 된다. Then, the voltage of the clamp reference signal Cref2 rises after a predetermined time delay, so that the clamp voltage control signal Vclmp_con becomes a low level. According to the clamp voltage control signal Vclmp_con, the PMOS transistor P3 is turned on to raise the level of the clamp voltage Vclmp.

이어서, 클램프 전압 Vclmp이 상승하게 되면 클램프 레퍼런스 신호 Cref2가 상승하기 시작한다. 그리고, 클램프 레퍼런스 신호 Cref1,Cref2의 전압 차가 목표 오프셋 전압이 도달하게 되면, 클램프 전압 제어신호 Vclmp_con의 전압이 하이 레벨로 상승하게 된다. 이에 따라, 클램프 전압 Vclmp의 레벨은 더 이상 상승하지 않게 된다. Then, when the clamp voltage Vclmp rises, the clamp reference signal Cref2 starts to rise. When the target offset voltage reaches the voltage difference between the clamp reference signals Cref1 and Cref2, the voltage of the clamp voltage control signal Vclmp_con rises to a high level. As a result, the level of the clamp voltage Vclmp no longer rises.

도 11은 도 5 및 도 6의 전류 센스앰프 S/A에 관한 상세 회로도이다. FIG. 11 is a detailed circuit diagram of the current sense amplifier S / A of FIGS. 5 and 6.

센스앰프 S/A는 이퀄라이징부(110)와, 증폭부(120)와, 풀업부(130)와, 증폭부(140)와, 증폭 활성화 제어부(150)와, 전류 감지 로드부(160) 및 비트라인 전압 바이어스 제어부(170)를 포함한다. The sense amplifier S / A includes an equalizing unit 110, an amplifier 120, a pull-up unit 130, an amplifier 140, an amplification activation controller 150, a current sensing rod unit 160, and the like. And a bit line voltage bias controller 170.

여기서, 이퀄라이징부(110)는 PMOS트랜지스터 P5~P7를 포함한다. PMOS트랜지스터 P5는 전원전압 VDD 인가단과 출력단 OUT 사이에 연결된다. PMOS트랜지스터 P6는 전원전압 VDD 인가단과 출력단 /OUT 사이에 연결된다. PMOS트랜지스터 P7는 출력단 OUT,/OUT 사이에 연결된다. 그리고, PMOS트랜지스터 P5~P7는 공통 게이트 단자를 통해 센스앰프 인에이블 신호 SEN가 인가된다. Here, the equalizing unit 110 includes PMOS transistors P5 to P7. The PMOS transistor P5 is connected between the supply voltage VDD supply stage and the output terminal OUT. The PMOS transistor P6 is connected between the supply voltage VDD terminal and the output terminal / OUT. PMOS transistor P7 is connected between outputs OUT and / OUT. The sense amplifier enable signal SEN is applied to the PMOS transistors P5 to P7 through the common gate terminal.

증폭부(120)는 PMOS트랜지스터 P8,P9와, NMOS트랜지스터 N4,N5를 포함한다. PMOS트랜지스터 P8,P9와, NMOS트랜지스터 N4,N5는 크로스 커플드 연결된다. The amplifier 120 includes PMOS transistors P8 and P9 and NMOS transistors N4 and N5. PMOS transistors P8 and P9 and NMOS transistors N4 and N5 are cross coupled.

풀업부(130)는 PMOS트랜지스터 P10~P12를 포함한다. 여기서, PMOS트랜지스터 P10는 전원전압 VDD 인가단과 노드 Nsabl 사이에 연결된다. PMOS트랜지스터 P11는 노드 Nsabl와 노드 Nsaref 사이에 연결된다. PMOS트랜지스터 P12는 전원전압 VDD 인가단과 노드 Nsaref 사이에 연결된다. PMOS트랜지스터 P10~P12는 공통 게이트 단자를 통해 센스앰프 인에이블 신호 SEN가 인가된다. The pull-up unit 130 includes PMOS transistors P10 to P12. Here, the PMOS transistor P10 is connected between the supply voltage VDD terminal and the node Nsabl. The PMOS transistor P11 is connected between the node Nsabl and the node Nsaref. The PMOS transistor P12 is connected between the supply voltage VDD terminal and the node Nsaref. The PMOS transistors P10 to P12 receive a sense amplifier enable signal SEN through a common gate terminal.

증폭부(140)는 NMOS트랜지스터 N6,N7를 포함한다. NMOS트랜지스터 N6는 노드 Nsabl와 NMOS트랜지스터 N8 사이에 연결되어 게이트 단자가 노드 Nbl에 연결된다. 그리고, NMOS트랜지스터 N7는 노드 Nsaref와 NMOS트랜지스터 N8 사이에 연결 되어 게이트 단자를 통해 레퍼런스 전압 Nref이 인가된다. The amplifier 140 includes NMOS transistors N6 and N7. NMOS transistor N6 is connected between node Nsabl and NMOS transistor N8 so that the gate terminal is connected to node Nbl. The NMOS transistor N7 is connected between the node Nsaref and the NMOS transistor N8 so that the reference voltage Nref is applied through the gate terminal.

증폭 활성화 제어부(150)는 증폭부(140)와 그라운드 전압 GND 인가단 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 센스앰프 인에이블 신호 SEN가 인가된다. The amplification activation control unit 150 is connected between the amplifying unit 140 and the ground voltage GND applying terminal to receive the sense amplifier enable signal SEN through the gate terminal.

전류 감지 로드부(160)는 PMOS트랜지스터 P13를 포함한다. 여기서, PMOS트랜지스터 P13는 전원전압 VDD 인가단과 노드 Nbl 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 로드전압 Vload이 인가된다. The current sensing rod unit 160 includes a PMOS transistor P13. Here, the PMOS transistor P13 is connected between the power supply voltage VDD applying terminal and the node Nbl so that the load voltage Vload is applied through the gate terminal.

비트라인 전압 바이어스 제어부(170)는 NMOS트랜지스터 N9를 포함한다. 여기서, NMOS트랜지스터 N9는 노드 Nbl와 비트라인 BL 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 클램프 전압 Vclmp이 인가된다. The bit line voltage bias controller 170 includes an NMOS transistor N9. Here, the NMOS transistor N9 is connected between the node Nbl and the bit line BL so that the clamp voltage Vclmp is applied through the gate terminal.

이러한 구성을 갖는 센스앰프 S/A의 동작 과정을 도 12의 파형도를 참조하여 설명하면 다음과 같다. An operation process of the sense amplifier S / A having such a configuration will be described below with reference to the waveform diagram of FIG. 12.

클램프 전압 Vclmp이 상승하게 되면 NMOS트랜지스터 N9가 턴온되어 메인 셀의 비트라인 전류가 노드 Nbl에 전달된다. 여기서, NMOS트랜지스터 N9의 게이트 전압은 클램프 전압 Vclmp에 의해 제어된다. When the clamp voltage Vclmp rises, the NMOS transistor N9 is turned on to transfer the bit line current of the main cell to the node Nbl. Here, the gate voltage of the NMOS transistor N9 is controlled by the clamp voltage Vclmp.

전류 감지 로드부(160)는 로드전압 Vload에 의해 제어되는 PMOS트랜지스터 P13를 포함한다. PMOS트랜지스터 P13의 로드 값에 의해 비트라인 BL의 전류가 노드 Nbl에서 센싱 전압 값으로 변환된다. The current sensing load unit 160 includes a PMOS transistor P13 controlled by the load voltage Vload. The current of the bit line BL is converted into the sensing voltage value at the node Nbl by the load value of the PMOS transistor P13.

증폭 활성화 제어부(150)는 센스앰프 인에이블 신호 SEN에 의해 제어된다. 증폭 활성화 제어부(150)의 상태에 따라 증폭부(120,140)가 활성화된다. 여기서, 증폭부(140)는 NMOS트랜지스터 N6,N7의 이득(Gain)을 이용하여 노드 Nbl와 레퍼런 스 전압 Nref 단의 전압을 증폭한다. The amplification activation control unit 150 is controlled by the sense amplifier enable signal SEN. The amplifiers 120 and 140 are activated according to the state of the amplification activation controller 150. Here, the amplifier 140 amplifies the voltage of the node Nbl and the reference voltage Nref stage by using gains of the NMOS transistors N6 and N7.

양 노드 Nsabl,Nsaref 단은 풀업부(130)의 동작에 따라 프리차지 기간 동안 하이 레벨로 프리차지된다. 이에 따라, 센스앰프 S/A의 1차 증폭 특성을 개선하게 된다. 즉, t1 구간 동안 양 노드 Nsabl,Nsaref 단은 풀다운 하면서 증폭된 전압 값을 갖게 된다. 증폭부(140)에서 증폭된 전압은 증폭부(120)에 전달되어 2차 증폭부의 증폭 특성을 개선하게 된다. Both nodes Nsabl and Nsaref are precharged to a high level during the precharge period according to the operation of the pull-up unit 130. This improves the primary amplification characteristics of the sense amplifier S / A. That is, during the t1 period, both nodes Nsabl and Nsaref have pulled-down voltage values. The voltage amplified by the amplifier 140 is transmitted to the amplifier 120 to improve the amplification characteristics of the secondary amplifier.

증폭부(120)는 증폭부(140)의 이득을 다시 한번 증폭하는 역할을 수행하여 센스앰프 S/A의 오프셋 특성을 개선할 수 있도록 한다. 이퀄라이징부(110)는 프치차지 구간 동안 증폭부(120)의 출력을 하이 레벨로 프리차지하게 된다. The amplifier 120 serves to amplify the gain of the amplifier 140 once again, thereby improving the offset characteristics of the sense amplifier S / A. The equalizing unit 110 precharges the output of the amplifying unit 120 to a high level during the patch charging period.

도 13은 도 5 및 도 6의 레퍼런스 전압 발생부(60,100)에 관한 상세 회로도이다. 본 발명에서는 레퍼런스 전압 발생부(60)의 구성을 그 실시예로 설명한다.FIG. 13 is a detailed circuit diagram of the reference voltage generators 60 and 100 of FIGS. 5 and 6. In the present invention, the configuration of the reference voltage generator 60 will be described in the embodiment.

레퍼런스 전압 발생부(60)는 전류 감지 로드부(61)와, 비트라인 전압 바이어스 제어부(62)를 포함한다. The reference voltage generator 60 includes a current sensing rod 61 and a bit line voltage bias controller 62.

여기서, 전류 감지 로드부(61)는 전원전압 VDD 인가단과 레퍼런스 전압 Nref 단 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 로드전압 Vload이 인가되는 PMOS트랜지스터 P14를 포함한다. Here, the current sensing load unit 61 includes a PMOS transistor P14 connected between the power supply voltage VDD terminal and the reference voltage Nref terminal to which the load voltage Vload is applied through the gate terminal.

그리고, 비트라인 전압 바이어스 제어부(62)는 레퍼런스 전압 Nref 단과 레퍼런스 비트라인 RBL 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 클램프 전압 Vclmp이 인가되는 NMOS트랜지스터 N10를 포함한다. The bit line voltage bias control unit 62 includes an NMOS transistor N10 connected between the reference voltage Nref terminal and the reference bit line RBL to which the clamp voltage Vclmp is applied through the gate terminal.

이러한 구성을 갖는 레퍼런스 전압 발생부(60)는 NMOS트랜지스터 N10의 게이 트 전압이 클램프 전압 Vclmp에 의해 제어된다. 그리고, PMOS트랜지스터 P14의 로드 값에 의해 레퍼런스 전류 Iref가 레퍼런스 전압 Nref 단에서 레퍼런스 전압 값으로 변환된다. In the reference voltage generator 60 having such a configuration, the gate voltage of the NMOS transistor N10 is controlled by the clamp voltage Vclmp. The reference current Iref is converted into the reference voltage value at the reference voltage Nref stage by the load value of the PMOS transistor P14.

도 14는 도 11의 전류 센스앰프 S/A에서 동작 전압을 설명하기 위한 타이밍도이다. FIG. 14 is a timing diagram illustrating an operating voltage in the current sense amplifier S / A of FIG. 11.

도 14는 두 개의 리드 사이클에서의 데이터 "1"과 데이터 "0"의 전류 센싱 동작에 관한 타이밍도이다. FIG. 14 is a timing diagram of a current sensing operation of data "1" and data "0" in two read cycles.

리드 사이클 n에서 컬럼 선택 스위치(CS) 및 레퍼런스 컬럼 선택 스위치(REFCS)가 활성화되면 셀(Cell)과 레퍼런스(REF) 전류가 흐르기 시작한다. 일정 시간 이후에 센스앰프 인에이블 신호 SEN가 활성화되면, 출력단 OUT,/OUT의 전압이 증폭된다. 이때, 셀의 전류 Icell가 레퍼런스 전류 Iref 보다 크므로 출력단 OUT이 하이로, 출력단 /OUT이 로우 전압 레벨로 출력된다. When the column select switch CS and the reference column select switch REFCS are activated in the read cycle n, the cell and the reference REF currents start to flow. When the sense amplifier enable signal SEN is activated after a certain time, the voltage at the output terminals OUT and / OUT is amplified. At this time, since the current Icell of the cell is greater than the reference current Iref, the output terminal OUT is high and the output terminal / OUT is output at a low voltage level.

이후에, 리드 사이클 n+1에서 컬럼 선택 스위치(CS) 및 레퍼런스 컬럼 선택 스위치(REFCS)가 활성화되면 셀(Cell)과 레퍼런스(REF) 전류가 흐르기 시작한다. 일정 시간 이후에 센스앰프 인에이블 신호 SEN가 활성화되면, 출력단 OUT,/OUT의 전압이 증폭된다. 이때, 셀의 전류 Icell가 레퍼런스 전류 Iref 보다 작으므로 출력단 OUT이 로우로, 출력단 /OUT이 하이 전압 레벨로 출력된다. Thereafter, when the column select switch CS and the reference column select switch REFCS are activated in the read cycle n + 1, the cell and the reference REF currents start to flow. When the sense amplifier enable signal SEN is activated after a certain time, the voltage at the output terminals OUT and / OUT is amplified. At this time, since the current Icell of the cell is smaller than the reference current Iref, the output terminal OUT is low and the output terminal / OUT is output at a high voltage level.

도 1은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 단위 셀을 도시한 단면도. 1 is a cross-sectional view showing a unit cell of a 1-transistor type DRAM according to the present invention.

도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 셀 데이터 저장 상태를 보여주는 도면. 2A and 2B show cell data storage states of a 1-transistor DRAM according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 셀 리드 전류의 특성을 나타낸 파형도. Figure 3 is a waveform diagram showing the characteristics of the cell lead current of the 1-transistor DRAM according to the present invention.

도 4a는 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 리드 방법을 설명하기 위한 회로도. 4A is a circuit diagram for explaining a method of reading a 1-transistor type DRAM according to the present invention.

도 4b는 도 4a의 동작을 설명하기 위한 타이밍도. 4B is a timing diagram for explaining the operation of FIG. 4A.

도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 회로도. 5 and 6 are circuit diagrams of a 1-transistor type DRAM according to the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 레퍼런스 전류를 설명하기 위한 파형도. 7 is a waveform diagram illustrating a reference current of a 1-transistor DRAM according to the present invention.

도 8은 도 5 및 도 6의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부에 관한 상세 회로도. FIG. 8 is a detailed circuit diagram of the reference offset current adjuster of FIGS. 5 and 6.

도 9는 도 5 및 도 6의 클램프 전압 발생부에 관한 상세 회로도. 9 is a detailed circuit diagram of the clamp voltage generator of FIGS. 5 and 6.

도 10은 도 9의 클램프 전압 발생부에 관한 동작 타이밍도. 10 is an operation timing diagram relating to the clamp voltage generator of FIG. 9;

도 11은 도 5 및 도 6의 전류 센스앰프에 관한 상세 회로도. FIG. 11 is a detailed circuit diagram of the current sense amplifier of FIGS. 5 and 6.

도 12는 도 11의 전류 센스앰프에서 1차 및 2차 증폭단의 동작 파형도. 12 is an operational waveform diagram of a primary and secondary amplifier stage in the current sense amplifier of FIG.

도 13은 도 5 및 도 6의 레퍼런스 전압 발생부에 관한 상세 회로도. FIG. 13 is a detailed circuit diagram of the reference voltage generator of FIGS. 5 and 6.

도 14는 도 11의 전류 센스앰프에서 동작 전압을 설명하기 위한 타이밍도. FIG. 14 is a timing diagram for describing an operating voltage in the current sense amplifier of FIG. 11.

Claims (23)

비트라인과 소스 라인 사이에 연결되어 워드라인에 의해 제어되는 플로팅 바디(Floating Body) 저장 소자를 이용한 1-트랜지스터형 디램에 있어서,A 1-transistor type DRAM using a floating body storage element connected between a bit line and a source line and controlled by a word line, 로오 방향으로 복수개 배열된 소스라인 및 워드라인; A plurality of source lines and word lines arranged in a row direction; 컬럼 방향으로 복수개 배열된 비트라인; A plurality of bit lines arranged in a column direction; 컬럼 방향으로 복수개 배열된 클램프 비트라인 및 레퍼런스 비트라인; A plurality of clamp bit lines and reference bit lines arranged in a column direction; 상기 플로팅 바디 저장 소자를 포함하며, 상기 소스라인, 상기 워드라인, 및 상기 비트라인이 교차하는 영역에 각각 형성된 셀 어레이; A cell array including the floating body storage element and formed in regions where the source line, the word line, and the bit line cross each other; 상기 플로팅 바디 저장 소자를 포함하며, 상기 소스라인, 상기 워드라인, 및 상기 클램프 비트라인이 교차하는 영역에 형성된 클램프 셀 어레이; A clamp cell array including the floating body storage element and formed in an area where the source line, the word line, and the clamp bit line cross each other; 상기 플로팅 바디 저장 소자를 포함하며, 상기 소스라인, 상기 워드라인, 및상기 레퍼런스 비트라인이 교차하는 영역에 형성된 레퍼런스 셀 어레이; 및 A reference cell array including the floating body storage element and formed in an area where the source line, the word line, and the reference bit line cross each other; And 상기 비트라인에 각각 연결되어 클램프 전압과 레퍼런스 전압이 인가되는 센스앰프 및 라이트 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a sense amplifier and a light driver connected to the bit lines, respectively, to which a clamp voltage and a reference voltage are applied. 제 1항에 있어서, 상기 클램프 및 레퍼런스 셀 어레이는 데이터 "0"을 저장하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. The 1-transistor DRAM according to claim 1, wherein said clamp and reference cell array stores data " 0 ". 제 1항에 있어서, 상기 셀 어레이는 제 1소스라인과 제 2소스라인 사이에 연 결되어 공통 드레인 단자가 상기 비트라인과 연결되고, 각각의 게이트 단자가 서로 다른 워드라인에 연결된 제 1 및 제 2셀을 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. The first and second cell arrays of claim 1, wherein the cell array is connected between a first source line and a second source line, and a common drain terminal is connected to the bit line, and each gate terminal is connected to a different word line. 1-transistor type DRAM comprising two cells. 제 3항에 있어서, 상기 클램프 및 레퍼런스 셀 어레이는 The method of claim 3, wherein the clamp and the reference cell array is 상기 제 1소스라인과 상기 제 2소스라인 사이에 연결되어 공통 드레인 단자가 상기 클램프 비트라인과 연결되고, 각각의 게이트 단자가 서로 다른 워드라인에 연결된 제 1 및 제 2클램프 셀; 및 First and second clamp cells connected between the first source line and the second source line, a common drain terminal is connected to the clamp bit line, and respective gate terminals are connected to different word lines; And 상기 제 1소스라인과 상기 제 2소스라인 사이에 연결되어 공통 드레인 단자가 상기 레퍼런스 비트라인과 연결되고, 각각의 게이트 단자가 서로 다른 워드라인에 연결된 제 1 및 제 2레퍼런스 셀을 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. A first and a second reference cell connected between the first source line and the second source line, a common drain terminal connected to the reference bit line, and each gate terminal connected to a different word line; 1-transistor DRAM. 제 1항에 있어서, 상기 셀 어레이는 The method of claim 1, wherein the cell array 상기 비트라인에 연결된 복수개의 셀 그룹을 포함하고, A plurality of cell groups connected to the bit line; 상기 복수개의 셀 그룹 중 제 1그룹은 제 1비트라인과 연결되고, 상기 복수개의 셀 그룹 중 제 2그룹은 제 2비트라인과 연결되는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a first group of the plurality of cell groups is connected to a first bit line, and a second group of the plurality of cell groups is connected to a second bit line. 제 5항에 있어서, 상기 제 1그룹 및 상기 제 2그룹은 로오 및 컬럼 방향으로 번갈아가며 배치되는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. 6. The 1-transistor DRAM according to claim 5, wherein the first group and the second group are alternately arranged in the row and column directions. 제 5항에 있어서, 상기 클램프 및 레퍼런스 셀 어레이는 The method of claim 5, wherein the clamp and the reference cell array 상기 클램프 비트라인에 연결된 복수개의 클램프 셀 그룹을 포함하고, A plurality of clamp cell groups connected to the clamp bit lines; 상기 복수개의 클램프 셀 그룹 중 제 1그룹은 제 1클램프 비트라인과 연결되고, 상기 복수개의 클램프 셀 그룹 중 제 2그룹은 제 2클램프 비트라인과 연결되는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a first group of the plurality of clamp cell groups is connected to a first clamp bit line, and a second group of the plurality of clamp cell groups is connected to a second clamp bit line. 제 5항에 있어서, 상기 클램프 및 레퍼런스 셀 어레이는 The method of claim 5, wherein the clamp and the reference cell array 상기 레퍼런스 비트라인에 연결된 복수개의 레퍼런스 셀 그룹을 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a plurality of reference cell groups connected to the reference bit line. 제 1항에 있어서, 상기 센스앰프와 상기 라이트 구동부는 상기 비트라인과 일대일 대응하여 연결되는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. The 1-transistor DRAM according to claim 1, wherein the sense amplifier and the write driver are connected in one-to-one correspondence with the bit line. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 레퍼런스 비트라인의 오프셋 전류를 조정하는 레퍼런스 오프셋 전류 조정부; A reference offset current adjuster configured to adjust the offset current of the reference bit line; 상기 클램프 비트라인에 연결되어 상기 클램프 전압을 발생시키는 클램프 전압 발생부; 및 A clamp voltage generator connected to the clamp bit line to generate the clamp voltage; And 상기 레퍼런스 비트라인에 연결되어 상기 레퍼런스 전압을 발생시키는 레퍼런스 전압 발생부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a reference voltage generator connected to the reference bit line to generate the reference voltage. 제 10항에 있어서, 상기 레퍼런스 비트라인에 흐르는 전류는 셀의 레퍼런스 전류와 상기 오프셋 전류를 합한 값인 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. 12. The DRAM of claim 10, wherein the current flowing through the reference bit line is a sum of a reference current of the cell and the offset current. 제 10항에 있어서, 상기 레퍼런스 오프셋 전류 조정부는 상기 레퍼런스 비트라인과 그라운드 전압단 사이에 연결되어 오프셋 전류를 조정하는 오프셋 전류 제어 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. 12. The DRAM of claim 10, wherein the reference offset current adjuster includes an offset current control element connected between the reference bit line and the ground voltage terminal to adjust an offset current. 제 12항에 있어서, 상기 오프셋 전류 제어 소자는 저항 소자인 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. The 1-transistor DRAM according to claim 12, wherein the offset current control element is a resistance element. 제 10항에 있어서, 상기 클램프 전압 발생부는 The method of claim 10, wherein the clamp voltage generation unit 상기 클램프 비트라인에 바이어스 전압을 공급하는 레퍼런스 바이어스부; A reference bias unit for supplying a bias voltage to the clamp bit line; 상기 클램프 비트라인의 전압 값에 대응하여 상기 클램프 전압을 조정하기 위한 클램프 전압 제어신호를 출력하는 클램프 전압 조정부; 및 A clamp voltage adjusting unit configured to output a clamp voltage control signal for adjusting the clamp voltage in response to a voltage value of the clamp bit line; And 상기 클램프 전압 제어신호에 따라 상기 클램프 전압을 출력하는 클램프 전압 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a clamp voltage output unit configured to output the clamp voltage according to the clamp voltage control signal. 제 14항에 있어서, 상기 레퍼런스 바이어스부는 The method of claim 14, wherein the reference bias unit 클램프 인에이블 신호에 따라 전원전압을 선택적으로 공급하는 제 1PMOS트랜지스터; 및 A first PMOS transistor for selectively supplying a power supply voltage according to the clamp enable signal; And 상기 제 1PMOS트랜지스터와 제 1클램프 비트라인 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 전원전압이 인가되는 제 1NMOS트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a first NMOS transistor connected between the first PMOS transistor and the first clamp bit line to receive a power supply voltage through a gate terminal. 제 14항에 있어서, 상기 클램프 전압 조정부는 The method of claim 14, wherein the clamp voltage adjustment unit 제 1클램프 비트라인의 출력과 제 2클램프 비트라인의 출력을 비교 및 증폭하여 상기 클램프 전압 제어신호를 출력하는 증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And an amplifier for comparing and amplifying the output of the first clamp bit line and the output of the second clamp bit line to output the clamp voltage control signal. 제 14항에 있어서, 상기 클램프 전압 출력부는 The method of claim 14, wherein the clamp voltage output unit 클램프 인에이블 신호의 활성화시 상기 클램프 전압 제어신호에 따라 상기 클램프 전압의 레벨을 제어하고, 상기 클램프 인에이블 신호의 비활성화시 상기 클램프 전압을 풀다운시켜 출력하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And controlling the level of the clamp voltage according to the clamp voltage control signal when the clamp enable signal is activated, and pulling down and outputting the clamp voltage when the clamp enable signal is inactivated. 제 17항에 있어서, 상기 클램프 전압 출력부는 The method of claim 17, wherein the clamp voltage output unit 상기 클램프 인에이블 신호에 따라 활성화 상태가 제어되는 제 1,2트랜지스터; First and second transistors whose activation states are controlled according to the clamp enable signal; 상기 클램프 전압 제어신호에 따라 상기 클램프 전압의 레벨을 제어하는 제 3트랜지스터; A third transistor for controlling the level of the clamp voltage according to the clamp voltage control signal; 상기 클램프 전압에 따라 제 2클램프 비트라인의 전압을 제어하는 제 4트랜지스터; 및A fourth transistor for controlling the voltage of the second clamp bit line according to the clamp voltage; And 상기 클램프 전압 제어신호의 비활성화시 상기 클램프 전압을 풀다운 시키는 제 5트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a fifth transistor configured to pull down the clamp voltage when the clamp voltage control signal is inactivated. 제 10항에 있어서, 상기 레퍼런스 전압 발생부는 The method of claim 10, wherein the reference voltage generator 로드전압에 따라 상기 레퍼런스 전압의 로드를 제어하는 전류 감지 로드부; 및 A current sensing rod unit controlling the load of the reference voltage according to a load voltage; And 상기 클램프 전압에 따라 상기 레퍼런스 비트라인에 흐르는 레퍼런스 전류를 제어하여 상기 레퍼런스 전압을 발생시키는 비트라인 전압 바이어스 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a bit line voltage bias controller configured to generate a reference voltage by controlling a reference current flowing through the reference bit line according to the clamp voltage. 제 19항에 있어서, 전류 감지 로드부는 20. The method of claim 19, wherein the current sensing rod portion 전원전압 인가단과 상기 레퍼런스 전압의 출력단 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 상기 로드전압이 인가되는 제 2PMOS트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a second PMOS transistor connected between a power supply voltage supply terminal and an output terminal of the reference voltage, to which the load voltage is applied through a gate terminal. 제 19항에 있어서, 상기 비트라인 전압 바이어스 제어부는 20. The method of claim 19, wherein the bit line voltage bias controller 상기 레퍼런스 전압의 출력단과 상기 레퍼런스 비트라인 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 상기 클램프 전압이 인가되는 제 2NMOS트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a second NMOS transistor connected between an output terminal of the reference voltage and the reference bit line to which the clamp voltage is applied through a gate terminal. 제 1항에 있어서, 상기 센스앰프는 The method of claim 1, wherein the sense amplifier 상기 비트라인의 전압과 상기 레퍼런스 전압에 따라 출력단의 전압을 증폭하는 증폭수단; Amplifying means for amplifying a voltage at an output terminal according to the voltage of the bit line and the reference voltage; 프리차지 구간 동안 상기 출력단을 프리차지시키는 이퀄라이징부; An equalizer for precharging the output stage during the precharge period; 상기 프리차지 구간 동안 상기 증폭수단의 양단 노드를 풀업시키는 풀업부; A pull-up unit which pulls up both nodes of the amplifying means during the precharge period; 센스앰프 인에이블 신호에 따라 상기 증폭수단의 활성화를 제어하는 증폭 활성화 제어부; An amplification activation controller for controlling activation of the amplifying means according to a sense amplifier enable signal; 로드전압에 따라 상기 비트라인의 전압을 제어하는 전류 감지 로드부; 및 A current sensing rod unit controlling the voltage of the bit line according to a load voltage; And 상기 클램프 전압에 따라 상기 비트라인의 전류를 제어하는 비트라인 전압 바이어스 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a bit line voltage bias controller configured to control the current of the bit line according to the clamp voltage. 제 22항에 있어서, 상기 증폭수단은 The method of claim 22, wherein the amplifying means 상기 비트라인의 전압과 상기 레퍼런스 전압 단의 전압을 증폭하는 제 1증폭부; 및 A first amplifier configured to amplify the voltage of the bit line and the voltage of the reference voltage terminal; And 상기 제 1증폭부의 전압을 증폭하는 제 2증폭부를 포함하는 것을 특징으로 하는 1-트랜지스터형 디램. And a second amplifier configured to amplify the voltage of the first amplifier.
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