KR100860366B1 - 광각감지 보상 가속도계 - Google Patents

광각감지 보상 가속도계 Download PDF

Info

Publication number
KR100860366B1
KR100860366B1 KR1020070027336A KR20070027336A KR100860366B1 KR 100860366 B1 KR100860366 B1 KR 100860366B1 KR 1020070027336 A KR1020070027336 A KR 1020070027336A KR 20070027336 A KR20070027336 A KR 20070027336A KR 100860366 B1 KR100860366 B1 KR 100860366B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
accelerometer
pendulum
fork
coil
housing
Prior art date
Application number
KR1020070027336A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20070095247A (ko
Inventor
쥐. 쉐르냑 미콜라
에이. 스크리프코브스키 겐나디
Original Assignee
이나랩 테크놀로지스, 인크.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이나랩 테크놀로지스, 인크. filed Critical 이나랩 테크놀로지스, 인크.
Publication of KR20070095247A publication Critical patent/KR20070095247A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100860366B1 publication Critical patent/KR100860366B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/093—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by photoelectric pick-up
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/13—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
    • G01P15/132—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position with electromagnetic counterbalancing means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

보상 가속도계(compensating acceloremeter)는 하우징(housing) 및 하우징 안에 설치된 검출 소자(sensing element)를 포함한다. 검출 소자는 베이스 위에 플렉서블하게 설치된 진자(pendulum)를 포함한다. 검출 소자는 가동 플레이트(movable plate) 위에 설치된 코일, 슬릿(slit)을 갖는 칸막이(curtain) 및 상기 칸막이에 고정된 중량체(load mass)를 포함한다. 상기 하우징 내부에 있는 각센서(angle sensor)는 칸막이, 포크(fork), 광원(light source) 및 차광탐지기(differential light detector)를 포함한다. 상기 하우징 내부에 있는 운동량 센서(momentum)는 영구 자석, 내부 자기 컨덕터, 외부 자기 컨덕터 및 코일을 포함한다. 상기 영구 자석은 상기 진자의 축 방향으로 자기를 띤다. 스토퍼(stopper)가 상기 포크의 위치를 조절하는 데 사용된다. 스프링(spring)이 상기 포크에서의 느슨함을 조이기 위해 상기 포크의 반대편에 있다. 고정자(fixator)가 상기 칸막이(curtain)와 광탐지기(light detector) 사이의 갭을 조절하기 위해 편심기(eccentric)를 갖는다.
보상 가속도계

Description

광각감지 보상 가속도계{COMPENSATING ACCELEROMETER WITH OPTICAL ANGLE SENSING}
발명의 더 많은 이해를 제공하기 위해 포함되고 구체화되고 이 명세서의 일부를 구성하는 첨부 도면은 발명의 원리를 설명하기 위해 제공된 서술과 함께 발명의 실시 예를 도시한다. 도면에는:
도 1은 감도축(sensitivity) SA 및 진자축(pendulum) PA를 따라 나타난 본 발명의 일 실시예의 가속도계의 횡단면도를 도시한다.
도 2는 도 1에서 소자(21)가 제거된 상태로 화살표 A 방향으로의 도면을 도시한다.
도 3은 도 1에서 소자(21)가 제거된 상태로 화살표 B 방향으로의 도면을 도시한다.
도 4A 및 4B는 검출 소자(sensing element)를 도시한다.
도 5는 가속도계의 기능적인 전기 회로 다이어그램(diagram)을 도시한다.
도 6A 및 6B는 도 1의 대표적인 가속도계의 검출 소자의 작동 원리를 도시한다.
도 7은 설명된 가속도계와 종래 가속도계 간의 차이점을 도시한다.
본 출원은 여기에 2006년 3월 20일에 광각감지 보상 가속도계(COMPENSATING ACCELEROMETER WITH OPTICAL ANGLE SENSING) 라는 제목으로 출원된 미국 임시 출원 U.S. 60/783,448호의 전체가 인용되어 포함된 본출원(本出願)이다.
본 발명은 측정 장치(measurement equipment)에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 검출 소자(sensing element)의 플렉시블한 서스펜션(suspension)을 가지는 서보-보상 진자식(pendulum-type) 선형 가속도계와 관련된 것이다.
종래기술의 기속도계의 일예는 일본 특허 188924/1981호에서 설명된다. 이러한 가속도계는 시일된 하우징(sealed housing)에 위치한 관성 질량체(inertial mass)(여기서는, 진자(pendulum))를 포함한다. 시일된 하우징 내부에는 전형적으로 진공 또는 헬륨(helium)과 같은 불활성 기체(inert gas)가 있다. 관성 질량체는 일반적으로 가동(可動) 로드(movable rod)의 모양을 하고 있으며, 그것의 하부가 플렉시블한 서스펜션을 사용하여 플레이트(plate)에 부착된다. 상기 플레이트는 그 후에 스크류(screw)를 사용하여 프레임 중 하나의 베이스 표면에 부착된다. 상기 로드는 플렉시블한 서스펜션을 사용하여 가속도계의 측정 축 방향으로 플레이트 둘레를 회전할 수 있다. 진자의 로드에는 두 개의 원통형 코일이 부착된다.
가속도계의 축자기 시스템(axial magnetic system)은 이 경우의 첫번째 및 두번째 프레임에서 자기 컨덕터(magnetic conductor)를 포함하는데, 이들은 연자 성(magnetically soft)의 물질로 만들어진다. 자기축 시스템은 또한 영구 자석 및 필드 콘센트레이터(field concentrator)를 포함해서, 가동 코일은 자기 컨덕터의 표면 및 필드 콘센트레이터의 사이에 형성되는 갭(gap) 사이에 위치된다. 상기 가동 코일과 함께 상기 소자들은 가속도계의 운동량 센서(momentum sensor)를 구성한다.
양 프레임은 서로 견고하게 연결되어 있고, 각각의 프레임은 진자 운동의 범위를 제한하기 위한 스토퍼(stopper)를 포함한다. 이 운동 범위는 스토퍼를 프레임에 가늘게 형성된 개구부 내로 이동시킴으로써 조절될 수 있다.
하우징 내부에는 진자 운동을 측정하는 각센서(angle sensor)가 있다. 각센서는 단일 광원과 두 개의 광탐지기로 구성된다. 광원은 진자의 일면에 위치하고, 광탐지기는 상기 진자의 타면에 위치하도록 상기 진자는 프레임 사이에 위치한다. 따라서, 상기 진자는 광원으로부터 광탐지기로 가는 광을 막는 음영 소자(shading element)로서 작용한다. 측정 축을 따라 측정되는 가속이 없을 때, 진자는 중립 위치에 있고, 광원으로부터 나온 광의 일부는 상기 진자에 의해 막혀지고, 광의 잔여부분이 두 개의 광탐지기 사이에서 공평하게 분배된다. 따라서, 광탐지기에 의해 생산된 전류(만일, 예를 들어 광다이오드(photodiode)가 사용된다면)는 동일하다. 광다이오드의 표면(광탐지기)는 완전히 비춰질 필요는 없으나 각각의 탐지기의 조도(illumination)가 동일한 한, 출력 전류는 측정된 가속이 0임을 가리키면서 동일하다.
센서가 측정 축을 따라 가속되면, 진자는 관성력 때문에 그것의 중립 위치에 서 변위된다. 그 결과로, 두 개의 탐지기 간에서의 광분배는 변화하고, 따라서 두 개의 탐지기로부터 나오는 전류 간의 관계도 변화한다. 두 전류간의 차이는 가속력과 관계가 있고, 종래의 전자공학을 사용하여 가속도로 전환될 수 있다. 상기 전류는 또한 피드백 회로(feedback circuit)에서 사용될 수 있다; 즉, 영구자석의 자기장과 상호 작용하는 가동 코일을 통과하여 상기 진자를 그것의 중립 위치로 복귀시킨다. 그러므로 피드백 전류의 크기와 극성은 가속도의 측정을 가능하게 한다.
상기 설명된 종래 가속도계는 많은 문제점을 가진다. 문제점 중의 하나는 진자 로드의 상대적으로 큰 면적에서 기인하여 광탐지기가 상대적으로 멀리 위치될 필요가 있는데, 이는 소음을 증가시키고 측정의 감도를 감소시키는 경향이 있다. 또 다른 단점은 진자의 중립 위치는 전형적으로 가속도계의 제로 출력 신호에 정확하게 맞지 않는다는 데 있다. 여전한 또 다른 단점은 가속도계의 기계적인 튜닝(tuning)이, 특히 제로 바이어스 신호와 관련하여 어려워지는 경향이 있다는 데 있다.
종래 가속도계의 또 다른 예는 미국 특허 4,649,748호에서 설명된다. 이 특허에서 설명된 가속도계는 앞서 설명된 가속도계와 몇 가지 공통점을 가진다. 그러나, 미국 특허 4,649,748호에서 설명된 가속도계는 일본 특허 188924/1981호의 장치와 비교하여 다음과 같은 차이점을 갖는다: 첫째로, 첫번째 프레임-자기 시스템의 자기 컨덕터-은 가속도계의 설치면으로서 사용되는데, 이것은 가속도계의 제작을 간단하게 하는 것을 가능하게 하고 또한 그것의 질량을 감소시킨다.
추가적으로, 광원과 광탐지기 사이에 위치한 진자 로드의 자유단(free end) 은 광원과 광탐지기가 서로 좀 더 가까이 위치할 수 있게 하는 얇은 플레이트로 형성된다. 이것은 각센서의 감도를 증가시키고, 그것의 출력에서의 소음을 감소시킨다. 옵션 중의 하나는 얇은 플레이트에 관한 것으로, 이것 역시 로드의 형태를 갖게 하는 것이고, 또 다른 옵션은 플레이트가 로드의 축을 따른 슬릿이 있는 얇은 로드의 형태를 갖게 하여 광의 일부가 슬릿을 통과하게 하는 것이다.
광원과 광탐지기가 내장된 전체 구조의 다양한 소자들은 플랫 스프링을 사용하여 프레임에 대하여 가압되며, 이것은 제로 바이어스 신호의 기계적 튜닝의 정확도를 증가시킨다.
미국 특허 4,649,748호에서 설명된 장치는 많은 문제점을 가진다. 예를 들어, 문제점 중 하나는 두 개의 자기 시스템의 사용에서 기인한다. 측정 가속의 범위를 증가시킬 필요가 있을 경우 이것은 상대적으로 코일을 통과하여 흐를 수 있는 전류를 위한 값으로 이끄는데, 이것은 많은 양의 열을 소산시키고, 측정에서 쓸모없는 열에 관련되는 에러 소스를 차례로 이끈다. 추가적으로, 두 개의 다른 자기 시스템을 사용하는 것은 제조 비용과 장치의 복잡성을 증가시킨다. 이러한 문제점은 또한 상기 설명된 일본 특허 188924/1981호에서 설명된 장치에서도 존재한다.
또한, 제로 바이어스 신호의 기계적 튜닝은 상대적으로 조잡하다. 게다가, 하우징에 대해 광원과 광탐지기 이동의 상대적으로 작은 범위는 중립 위치에 있는 진자 로드의 축과 가속도계의 설치면 표면의 사이에 상대적으로 큰 각이 있을 때 각센서를 튜닝하는 것을 어렵게 한다.
본 발명은 종래 가속도계의 하나 또는 그 이상의 문제점을 실질적으로 제거하는 보상 가속도계에 관한 것이다.
좀 더 상세하게는, 본 발명의 대표적인 실시 예에서, 보상 가속도계는 하우징과 하우징 안에 설치된 검출 소자를 포함한다. 상기 검출 소자는 베이스 위에 유연하게 매달린 진자를 포함한다. 상기 진자는 가동의 얇은 플레이트 위에 설치된 코일, 슬릿(slit)을 가지는 칸막이(curtain) 및 상기 칸막이에 부착된 중량체를 포함한다. 상기 하우징 내부의 각센서는 상기 칸막이, 포크(fork), 광원, 및 차광탐지기를 포함한다. 상기 하우징 내부에 있는 운동량 센서는 영구자석, 내부 자기 컨덕터, 외부 자기 컨덕터 및 코일을 포함한다. 영구자석은 진자의 축 방향으로 자기를 띠게 된다. 스토퍼가 포크의 위치를 조정하는 데 사용된다. 스프링(spring)이 상기 포크에서의 느슨함을 조이기 위해, 상기 포크의 반대 편에 있다. 고정자(fixator)가 상기 칸막이와 상기 광탐지기 사이의 갭(gap)을 조정하기 위해 편심기(eccentric)를 가진다.
본 발명의 추가적인 특징 및 장점은 이어지는 서술에서 설명될 것이고, 일부는 서술에 의해 명백하거나, 또는 발명의 실행에 의해 습득될 수 있다. 본 발명의 장점은 특히 추가된 도면뿐만 아니라 여기에 기술된 서술과 청구항에서 지적된 구조에 의해 파악되고 얻어진다.
앞서 말한 일반적인 서술 및 이어지는 상세한 서술 모두는 대표적이고 설명적이며 주장된 발명의 더 많은 설명을 제공하려는 것으로 이해된다.
인용문은 본 발명의 실시예, 첨부한 도면에 예증된 예시에 상세하게 나타날 것이다.
도 1 내지 3, 4A 및 4B는 본 발명의 가속도계의 대표적인 실시예를 도시한다. 도 1은 감도축 SA 및 진자축 PA를 따라 나타난 본 발명의 일 실시예의 가속도계의 횡단면도를 도시한다. 도 2는 소자(21)가 제거된 상태의 도 1을 화살표 A를 따라 나타낸다. 도 3은 소자(21)가 제거된 상태의 도 1을 화살표 B를 따라 나타낸다. 도 4A 및 4B는 검출 소자를 도시한다.
가속도계는 그것의 상부에 검출 소자가 위치한 하우징(1)을 포함한다. 검출 소자는 가동 플레이트(3), 상기 플레이트(3) 위에 설치된 코일(8), 진자의 축 PA의 방향을 따라 위치한 슬릿(26)을 갖는 칸막이(14), 및 상기 칸막이(14)에 견고하게 연결된 중량체(13)에 의해 형성된 관성 질량체(inertial mass)를 포함한다(옵션으로, 상기 중량체(13) 및 상기 칸막이(14)는 단일 소자로 제조될 수 있다.) 검출 소자는 또한 고정된 베이스(4) 및 상기 플레이트(3)를 상기 베이스(4)에 부착하는 데 사용되는 플렉서블 서스펜션(5)을 포함한다. 상기 코일(8)을 상기 플레이트(3)에 연결하는 데 부착물(attachment)(2)이 사용된다. 예를 들어 스크류(screw)(6)와 스프링 와셔(spring washer)(7)를 사용해서 상기 베이스(4)는 상기 하우징(1)의 상부에 확고하게 설치된다.
하우징(1)은 차광각센서(differential optical angle sensor) 및 운동량 센 서(momentum sensor)를 포함한다. 운동량 센서는 자기 시스템 및 상기 코일(8)을 포함한다. 자기 시스템은 상기 하우징(1)의 상부 원통형 부분에 위치하고, 외부 자기 컨덕터(10), 내부 자기 컨덕터(11) 및 검출 소자의 축 PA의 방향으로 자기를 띠는 고리-모양 자석(12)를 포함한다. 상기 고리-모양 자석(12)은, 비록 전자석(electromagnet)도 쓰일 수 있을지라도 일반적으로 영구자석이다. 검출 소자의 서스펜션 축 HA는 영구 자석(12)의 중립면(neutral plane)에 위치한다. 상기 코일(8)은 외부 자기 컨덕터(10)의 내부 표면과 영구 자석(12)의 외부 표면 사이의 갭에 위치한다.
광각센서는 포크(fork)(23)를 포함한다. 광원(24)(예를 들어, LED) 및 두 개 소자 광검출기(two-element photodetector)(25)는 상기 포크(23)에 설치된다. 광검출기는 예를 들어, 광다이오드(photodiode)일 수 있다. 상기 슬릿(slit)(26)을 갖는 상기 칸막이(14)는 검출 소자의 플레이트(3) 위에 설치된다. 상기 하우징(1)의 하부는 가는 스토퍼(threaded stopper)(19)가 위치될 수 있는 가는 개구부(threaded opening)(20)를 포함한다. 또한, 하우징(1)은 그것의 하부에 실(28)을 갖는 개구부(27)를 포함한다. 편심기(eccentric)(29)를 포함하는 고정자(fixator)(9)는 개구부(27)에 위치할 수 있다. 그 위에 광원(24) 및 광검출기(25)가 설치된 포크(23)는 하우징(1) 안에 배열되는데, 말하자면 가이드(18)를 따라 위 아래로 움직이는 것을 가능하게 하고, 스크류(22)를 사용하여 궁극적으로 하우징(1)에 대해 그것을 부착되게 한다.
포크(23)의 하부 표면은 상기 스토퍼(19)에 대하여 접촉한다. 포크(23)의 상 부 표면은 두 개의 스프링(16)에 대하여 접촉하는데, 이것은 플랜지(flange)(15)에 대하여 인접한다. 상기 플랜지(15)는 스크류(17)을 사용하여 상기 하우징에 고정된다. 상기 스토퍼(19)가 개구부(20)으로 움직일 때, 상기 포크(23)은 가이드(18)을 따라 있는 축 SA를 따라 움직인다. 상기 스프링(16)은 포크(23)의 움직임에서의 느슨함을 조이기 위해 사용된다.
케이싱(casing)(21)은 외부의 영향으로부터 가속도계를 보호하기 위해 하우징(1)에 부착될 수 있다. 상기 하우징(1)은 또한 측정 축 SA에 수직한 베이스 설치면 C를 포함한다. 상기 가속도계의 기능적인 전기적 개략도(electrical schematic)는 도 5에서 나타난다. 상기 가속도계는 도 5에서 나타난 것과 같이 광각센서(41), 교정소자(42), 증폭기(43), 코일(8), 레지스터(resistor)(45) 및 필터(46)를 포함한다. UOP는 가속도계의 출력 전압이다. 각센서(41)는 도 5에서 나타나는 것과 같이 모두 서로 연결된 발광다이오드(light emitting diode)(24), 두 개 소자 광검출기(25), 슬릿(26)을 갖는 칸막이(14), 예증폭기(preamlifier)(47 및 48), 서머(summer)(49 및 50), 전류 조절기(current regulator)(51) 및 레퍼런스 전압 UREF를 생산하는 레퍼런스 전압 소스(reference voltage source)(44) 등을 포함한다.
가속도계는 다음과 같이 작동한다: 가속도 a가 축 SA를 따라 적용되지 않을 때, 검출 소자의 관성 질량체는 중립 위치에 있다. 따라서, 상기 칸막이(14)는 또한 LED(24)와 두 개 소자 광검출기(25)에 대하여 중립 위치에 있다. 중립 위치에서, 제로 바이어스 신호가 기계적으로 튜닝되고 있을 때, 두 개 소자 광검출기(25) 의 광을 받는 면적은 동일하고, 각각은 활성 영역의 절반과 같다.
광검출기(25)의 각각의 소자는 광의 세기뿐만 아니라 LED(24)로부터 광을 받는 면적에 비례하는 값의 전류를 발생시킨다. 중립 위치에서, 광을 받는 면적 및 강도는 모두 같으므로, 상기 예증폭기(47,48)의 입력에서의 출력 전압 또한 같고, 광-유도 전류(photo-induced currents)에 비례한다. 상기 서머(49)에서, 제로 출력 전압의 결과를 낳고, 또한 각센서의 제로 출력인 이러한 전압은 제거된다. 가속도 a가 축 SA를 따라 적용될 때,관성력 Mi의 모멘트에 기인한 관성 질량체가 가속도계의 상기 하우징(1)에 대해 플렉시블 서스펜션(5)에 의해 편향된다. 만일 가속도 a가 +이면, 관성 질량체는 표면 C 쪽으로 이동하고, 만일 그것이 -이면, 표면 C로부터 멀어진다.
상기 칸막이(14)는 또한 LED(24) 및 광검출기(25)에 대해 상기 관성 질량체와 함께 움직인다. 상기 칸막이(14)의 움직임은 더 많은 광에 노출된 광다이오드 소자 중 하나 및 더 적은 광에 노출된 소자 중 다른 하나의 결과를 초래한다. 따라서, 상기 서머(49)의 출력에서의 전압은 제로가 아닌 것이 되고, 그 값은 그의 신호가 편향의 방향에 반응하는 데 반해 관성 질량체의 편향에 비례한다. 그 후에, 전압은 교정 소자(42) 및 네거티브 피드백 신호(negative feedback signal)의 형태를 가진 출력이 코일(8)에 공급되는 증폭기(43)를 통과한다. 상기 코일(8)을 통과하는 전류 IOP는 영구 자석(12)의 자기장과 상호작용하고, 서스펜션 축 HA의 주위에 피드백 모멘트 MF를 만들어낸다. 이것은 측정된 가속도의 관성력 Mi의 모멘트와 균 형을 이루고, 관성 질량체를 중립 위치로 되돌려놓는다. 레지스터(45)를 통과하는 전류 IOP는 전압 UOP = IOP R을 만들어내고, 여기서 R은 상기 레지스터(45)의 저항값(resistance)이다. 상기 필터(46)를 통과한 이러한 전압은 가속도계의 출력 신호이다.
상기 고정자(9)의 편심기(29)는 상기 베이스(4)의 슬릿(30) 안에 위치하고, 도 2 및 3에서 나타난 것처럼 상기 칸막이(14)와 광다이오드(25) 사이의 갭(31)을 조절하게 된다. 상기 갭(31)의 크기는 따라서 LED(24)로부터 오는 광을 받는 광다이오드(25)의 면적과 관련된다. 상기 갭(31)의 공칭값(nominal value)에서, 관성 질량체의 중립 위치에서, 광원(24)으로부터 온 광에 노출된 면적은 전체 면적의 절반과 같아야 한다. 예를 들어, 스크류드라이버(screwdriver)를 사용하여 상기 고정자(9)를 회전시키면 측정 축 SA에 대한 축 PA가 회전하게 된다. 동시에, 상기 칸막이(14) 및 상기 광다이오드(25) 사이의 갭(31) 안에서 변화가 있다. 따라서, 상기 갭(31)은 그 값이 의도하는 공칭값에 도달할 때까지 튜닝될 수 있다.
가속도계의 제로 바이어스 신호의 기계적 튜닝은 상기 가이드(18)를 따라 포크(23)를 움직임으로써 수행되는데, 이것은 상기 포크(23)를 축 SA를 따라 움직이게 한다. 제로 바이어스 신호를 기계적으로 튜닝하기 위해서 가속도계는 검출 소자의 관성 질량체가 중립 위치에 위치하는 방법으로 배열된다. 상기 포크(23)의 움직임은 상기 포크(23)와 접촉하는 스토퍼(19)를 실(20)을 따라 움직임으로써 성취된다. 상기 포크(23)와 함께, 상기 LED(24)와 광다이오드(25) 또한 가속도계의 관성 질량체의 중립 위치에 위치한 상기 칸막이(14)의 슬릿(26)와 대해 움직인다. 이러한 움직임 때문에, 전류 IOP의 극성 또한 변화하는데, 이것은 가속도계의 출력 신호를 나타내는 상기 서머(49)에서의 출력 신호 또한 변화한다는 것을 의미한다.
상기 서머(49)의 출력 전압이 0일 때, 가이드(18)과 관련한 포크(23)의 위치는 제로 바이어스 신호의 기계적 튜닝이 수행될 때의 위치이다. 이러한 위치에서, 포크(23)는 가이드(18)을 따라 스크류(22)를 사용하여 적절한 위치에 고정된다.
가속도계가 작용할 때, 상기 가속도계의 온도는 상대적으로 넓은 범위에서 변화할 수 있는데, 이것은 도 5에서 나타나는 것과 같이 그것의 다양한 전자 및 기계적 구성 요소의 파라미터(parameter)를 변화시킬 수 있다. 온도 변화시 각센서의 이동율을 안정시키기 위해, 추가적인 피드백 회로가 사용된다. 피드백 회로는 서머(50), LED 전류 조절기(51) 및 레퍼런스 소스(44)를 포함한다. 상기 서머(50)를 사용함으로써, 상기 예증폭기(47,48)의 출력에서의 전압 총계는 레퍼런스 전압 소스(44)로부터 나온 레퍼런스 전압 UREF와 비교된다.
각센서의 전달율(transfer coefficient)이 공칭값(예를 들면, 센서의 특징과 외형에 기초하여 계산된 값)과 같을 때, 상기 서머(50)의 출력에서의 전압은 0이고, 상기 조절기(51)는 LED(24)에서의 전류를 변화하지 않고 유지한다. 예를 들면, 각센서(41)의 전달율이 증가할 때, 예증폭기(47 및 48)의 출력에서의 전압 또한 증가하고, 예증폭기(50)의 출력에서의 전압은 네거티브가 되는데, 이것은 LED(24)를 통과하는 전류를 감소시키고, 따라서 광에서의 감소는 두 개의 광다이오드(25) 소 자에 의해 감지된다. 그러므로, 상기 각센서(41)의 전달율은 그 공칭값으로 감소시킨다. 따라서, 각센서의 전달율은 안정되고, 가속도계 출력에서의 온도 변화(temperature-caused variation)는 감소된다.
도 6 및 7은 여기에 설명된 가속도계와 종래 가속도계 간의 차이점을 설명한다. 여기 설명된 가속도계를 위해, 변경 가능함: 관성 질량체 m∑, 관성력 Fi에서 기인한 운동량(momentum)(Mi), 피드백 운동량 MF 및 피드백 전류 IOP. 여기서, 인덱스(index) "Ⅰ"는 본 발명의 가속도계를 나타내고, 인덱스 "Ⅱ"는 종래 가속도계를 나타낸다.
Figure 112007022199082-pat00001
Figure 112007022199082-pat00002
Figure 112007022199082-pat00003
Figure 112007022199082-pat00004
여기서, mB, LB - 질량체 및 검출 소자(예를 들어, 플레이트(3)의 절반 및 코일(8)의 절반)의 왼쪽 부분의 질량중심좌표("B")(축 HA와 관련된); mA, LA - 질량체 및 검출 소자의 오른쪽 부분의 질량중심좌표(동그라미쳐진 "A")(축 HA와 관련 된)으로, 그것의 질량은 질량 mB 및 중량체(13)의 질량으로, 칸막이 (14)와 함께 구성된다; FiB, FiA - 관성 질량체의 일부분 "A" 및 "B"의 가속도의 관성력; Fim - 중량체(13)의 관성력 및 칸막이(14); Lm - 칸막이(14)를 갖는 중량체(13)의 질량중심좌표; B는 운동량 센서의 자기 시스템의 작용 갭에서 인덕션; rK - 코일(8)의 원형치수(radial dimension), LW는 코일(8)의 전선 길이이다.
결과값 mLm은 가속도계의 진자 값(pendulum value)으로 불린다. 전류 IOP Ⅰ이 상기 코일(8)을 통과하여 흐를 때, 전력 PⅠ의 양은 상기 코일(8)에서 발생하는 낭비 열로, 다음과 같이 정의된다.
Figure 112007022199082-pat00005
여기서 RK - 코일(8)의 레지스턴스; ρ, LW, S - 각각 전선 저항률, 전선 길이 및 코일(8)의 전선 횡단면이다.
상기 설명된 종래 가속도계를 위해, 하기 파라미터들은 인덱스 "Ⅱ"에 의해 나타나고, 다음에 이어지는 이러한 가속도계의 외형 및 구조에 의해 정의된다:
Figure 112007022199082-pat00006
Figure 112007022199082-pat00007
Figure 112007022199082-pat00008
Figure 112007022199082-pat00009
Figure 112007022199082-pat00010
여기서 m1Ⅱ - 관성 질량체 로드(rod)의 질량; m2Ⅱ - 관성 질량체 로드 위에 설치된 양 코일의 질량이다. 검출 소자의 이러한 디자인에서, 측정될 수 있는 최대 가속도를 증가시키기 위해, 코일의 질량 m2Ⅱ 보다 실질적으로 더 적어지는 프루프 매쓰(proof mass) m1Ⅱ 로드의 질량을 갖는 것이 바람직하고, 따라서, 방정식 6에서는, 전체 관성 질량체의 질량이 코일의 질량에 의해 실질적으로 정의되는 것으로 추정된다; γ, LW, S - 각각 전선 밀도, 전체 전선 길이 및 코일의 전선 횡단면; Lm - 관성 질량체 중앙까지의 거리; LF - 운동량 센서에 의해 만들어진 복원력(restoring force)의 작용점(point of application)까지의 거리(코일의 대칭축과 일치하는); B - 운동량 센서의 자기 시스템에서 작용하는 갭에서의 자기 유도이다.
결과값
Figure 112007022199082-pat00011
은 종래 가속도계의 진자값이라고 불린다. 상기 설명된 방정식과 비슷하게, 피드백 전류 IOP Ⅱ는 또한 아래 식(11)에서 얻어지는 PⅡ로 지시되는 낭비 열을 구한다.
Figure 112007022199082-pat00012
여기서, RK는 운동량 센서의 코일의 전체 레지스턴스로서, 연속하여 연결된다; ρ, LW, S - 각각 저항률, 길이 및 상기 코일의 전선 횡단면이다.
방정식 1부터 11까지를 기초하여, 종래 가속도계와 여기에 설명된 가속도계를 비교할 수 있다. 비교를 위하여, 모든 가속도계는 그들이 측정할 수 있는 동일한 최대 가속도 amax, 동일한 진자 값(mLm)을 갖는다고 가정될 수 있다.
Figure 112007022199082-pat00013
여기서, 종래 가속도계에서 상기 코일(8)과 두 개의 코일에서 그들이 축 HA로부터 그들의 중심 질량 Lm까지 동일한 거리를 갖고 전선의 동일한 전선 길이 LW를 갖는 경우일 수 있다. 그러면, 다음과 같은 조건이 맞을 경우,
Figure 112007022199082-pat00014
최대 피드백 전류 값은 코일에서 흐르고, 전류 때문에 분산되는 낭비 열의 양과 동일한 최대 가속도 IOP (amax)에서 발생한다. 따라서, 자기 시스템의 과열 최대 온도는 대략적으로 동일한 피드백 전류 IOP에 기인하고 가속도계의 대략적으로 동일한 에러를 증가시킨다(측정된 가속도 a에 의거하여).
n 이라는 요인에 의해 가속도계의 진자 값을 증가시키지 않고(진자 값을 감소시키는 것이 가속도계의 감수성을 감소와, 측정에서 더 큰 에러를 초래하기 때문이다), 가속도계가 측정할 필요가 있는 최대 가속도 amax를 증가시키는 것이 필요한 상황을 고려해야 한다.
종래 가속도계에서는, 방정식 (10)에 기초하여, 코일을 통과하여 흐르는 전류 IOPⅡ (amax)는 게다가 n이라는 요인에 의해 증가할 것인데, 그것은 방정식 (11)에 기초하여, 운동량 센서에 있는 흩뜨려진 낭비 열 PⅡ (amax)이 n2이라는 요인에 의해 증가할 것을 의미한다. 따라서, 영구 자석의 온도는 또한 전류의 제곱값이 증가함에 따라 증가할 것이다. 그러나, 가속도계에 있어서는, 전류 IOPⅡ (amax)는 운동량 센서의 코일 전선 횡단면 S에 의해 제한된다.
제안된 가속도계에서, amax가 n에 의해 증가할 때, 코일(8)에서의 전선의 길이는 n 이라는 요인에 의해 상기 코일(8)이 상기 플레이트(3)위에 축 HA에 대하여 대칭적으로 설치되었기 때문에 가속도계의 진자 값 변화없이 증가할 수 있다. 코일(8)에서 전선의 길이가 증가하는 것은 진자 값에서의 변화-진자 값은 오직 상기 중량체(13) 및 상기 칸막이(14)에 의해서만 결정된다-를 초래하지 않는다.
상기 코일(8)에서의 전선의 길이가 n이라는 요인에 의해 증가할 때, 방정식 (3) 및 (4)에 기초하여, 최대 보상 모멘트 MFⅠ는 또한 n에 의해 상기 코일(8)에서 흐르는 피드백 전류IOP Ⅰ(amax)에서의 증가 없이 최대 관성 모멘트 Mi Ⅰ(amax)이 균형을 이루면서 증가할 것이다. 이것은 방정식 (5)에 기초하여, 최대 낭비열 소산 PⅠ(amax)이 n2이 아니라 n이라는 요소에 의해서만 증가하는 것을 의미한다. 따라서, 영구 자석의 과열은 또한 n2이 아니라 n이라는 요소에 의해서만 증가할 것이고, 측정에서의 에러는 amax에서 비선형종속(non-linear dependence)이 아닌 선형종속(linear dependence)를 갖는다.
제안된 가속도계에 대해서, amax에는 이론상의 제한이 없고, 따라서 방정식(4)에 기초하여 amax가 매우 두드러지게 증가하였음에도 불구하고, 상기 코일(8)에서 전선의 길이 또한 매우 두드러지게 증가될 수 있기 때문에, IOPⅠ(amax)는 횡단면 S에기초하여 허락된 최대치보다 더 커지지 않을 것이다. 따라서, 제안된 가속도계는 큰 amax을 요구하는 적용에서 현저한 장점을 가진다.
발명의 설명된 실시예를 가짐으로써, 설명된 방법과 장치의 특정한 장점이 성취되었음이 해당 분야의 당업자에게 명백해질 것이다. 또한 실시예들의 다양한 변경, 개량, 교체가 본 발명의 범위 및 정신 안에서 만들어지는 것이 인정된다. 발명은 나아가서 다음의 청구항에 의해 한정된다.
본 발명을 통하여 소음을 감소시키고 측정의 감도를 향상시키는 광각감지 보상 가속도계를 제공할 수 있다.
또, 진자의 중립 위치와 가속도계의 제로 출력 신호를 정확하게 일치시킬 수 있다.

Claims (19)

  1. 하우징;
    베이스에 플렉서블하게 연결되고, 가동 플레이트 위에 설치된 코일과, 개구부 및 고정된 중량체를 갖는 칸막이를 포함하는 상기 하우징 내의 진자;
    광원 및 진자의 각변위에 비례하는 신호를 생산하는 차광검출기;
    상기 광원 및 차광검출기가 설치된 포크;
    상기 진자의 축방향으로 자기를 띤 자석;
    상기 코일과 상기 자석과 함께 상기 진자를 중립 위치로 돌려놓는 데 사용되는 자기 컨덕터;
    상기 진자의 각변위에 기초하여 보상 가속도계에 의해 체득되는 가속도에 비례하는 출력을 만드는 피드백 회로를 포함하는 보상 가속도계.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 진자의 각변위 각센서는 포크(folk), 칸막이, 광원 및 차광탐지기로 형성되는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 포크의 위치를 조절하는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 포크에서의 느슨함을 조이기 위해 상기 포크의 반대면에 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  5. 제 3항에 있어서, 상기 칸막이와 상기 광탐지기 사이의 갭을 조절하기 위해, 편심기(eccentric)를 갖는 고정자(fixator)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  6. 제 2항에 있어서, 상기 포크가 가이드를 사용하여 가속도계의 측정 축을 따라 움직일 수 있고, 스크류(screw)를 사용하여 임의의 위치에 고정되는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  7. 제 6항에 있어서, 가늘게 형성된 개구부 안에 위치가 조절될 수 있고 상기 포크를 고정시키기 위해 상기 포크에 접촉하는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 포크의 위치에서 느슨함을 조이기 위해, 상기 포크와 플랜지(flange) 사이에 위치한 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  9. 제 7항에 있어서, 가속도계가 상기 스토퍼의 위치를 조절함으로써 기계적으로 튜닝되는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 자석은 영구자석인 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  11. 제 1항에 있어서, 상기 개구부는 슬릿(slit)의 모양을 하는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  12. 삭제
  13. 제 1항에 있어서, 가동 플레이트가 플레이트의 편향을 가능하게 하는 얇은 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  14. 제 1항에 있어서, 상기 자기 컨덕터가 내부 자기 컨덕터 및 외부 자기 컨덕터를 포함하는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  15. 제 1항에 있어서, 차광탐지기 및 광원이 상기 하우징에 대하여 고정되는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  16. 제 1항에 있어서, 상기 자서, 상기 자기 컨덕터 및 상기 코일은 운동량 센서를 형성하는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  17. 제 1항에 있어서, 상기 진자의 서스펜션 축이 실질적으로 상기 자석의 중립면과 일치하는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  18. 제 1항에 있어서, 각센서 회로의 피드백은 온도 효과를 보상하는 것을 특징으로 하는 보상 가속도계.
  19. 하우징;
    베이스에 플렉서블하게 연결되고, 진자의 서스펜션 축에 대하여 대칭적으로 설치된 코일을 포함하는 상기 하우징 내의 진자;
    광원;
    상기 광원으로부터 수신된 광에 기초한 신호로서 상기 진자의 각변위에 비례하는 신호를 생산하고 전류를 발생시키는 차광검출기;
    상기 진자의 서스펜션 축방향으로 자기를 띤 자석;
    상기 코일과 상기 자석과 함께 상기 진자를 중립 위치로 돌려놓는 데 사용되는 자기 컨덕터;
    가속도계의 제로 바이어스 신호의 기계적 튜닝 수단; 및
    상기 진자의 각변위에 기초하여 보상 가속도계에 의해 체득되는 가속도에 비례하는 출력을 만드는 피드백 회로를 포함하는 보상 가속도계.
KR1020070027336A 2006-03-20 2007-03-20 광각감지 보상 가속도계 KR100860366B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US78344806P 2006-03-20 2006-03-20
US60/783,448 2006-03-20
US11/460,985 US7406868B2 (en) 2006-03-20 2006-07-30 Compensating accelerometer with optical angle sensing
US11/460,985 2006-07-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070095247A KR20070095247A (ko) 2007-09-28
KR100860366B1 true KR100860366B1 (ko) 2008-09-25

Family

ID=38066499

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070027336A KR100860366B1 (ko) 2006-03-20 2007-03-20 광각감지 보상 가속도계

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7406868B2 (ko)
EP (1) EP1837662B1 (ko)
JP (1) JP2007256266A (ko)
KR (1) KR100860366B1 (ko)
AT (1) ATE467840T1 (ko)
DE (1) DE602007006357D1 (ko)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0401053D0 (en) * 2004-01-17 2004-02-18 Qinetiq Ltd Improvements in and relating to accelerometers
US7793543B2 (en) * 2007-05-04 2010-09-14 Baker Hughes Incorporated Method of measuring borehole gravitational acceleration
US9250261B2 (en) * 2012-12-28 2016-02-02 Intel Corporation Method, apparatus and system for providing metering of acceleration
RU2527660C1 (ru) * 2013-03-04 2014-09-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тульский государственный университет" (ТулГУ) Акселерометр
CA2921227C (en) * 2013-09-25 2017-05-09 Institut National D'optique All-optical system responsive to motion and optical module for use in the same
WO2015200547A1 (en) * 2014-06-25 2015-12-30 Smoke Guard, Inc. Deployable, foldable smoke/fire curtain assembly
RU2627014C1 (ru) * 2016-07-27 2017-08-02 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по космической деятельности "РОСКОСМОС" (Госкорпорация "РОСКОСМОС") Спутниковый акселерометр
US10002243B1 (en) * 2017-03-24 2018-06-19 Wipro Limited System and method for powering on electronic devices
RU2653140C1 (ru) * 2017-05-22 2018-05-07 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тульский государственный университет" (ТулГУ) Акселерометр
RU2676177C1 (ru) * 2018-03-12 2018-12-26 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тульский государственный университет" (ТулГУ) Компенсационный акселерометр
RU2700339C1 (ru) * 2019-03-12 2019-09-16 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тульский государственный университет" (ТулГУ) Компенсационный акселерометр
RU2708716C1 (ru) * 2019-05-06 2019-12-11 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тульский государственный университет" (ТулГУ) Компенсационный акселерометр
RU2724241C1 (ru) * 2020-01-14 2020-06-22 Федеральное государственное бюджетное учреждение высшего образования "Тульский государственный университет" (ТулГУ) Компенсационный акселерометр

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0371061A (ja) * 1989-08-10 1991-03-26 Jeco Co Ltd サーボ加速度計
JP2001296142A (ja) 2000-04-14 2001-10-26 Yaskawa Electric Corp 回転位置検出器及び回転速度検出装置
KR100336151B1 (ko) * 1994-06-27 2002-09-05 세르게이 페오도시에비키 코노발로브 서보 가속도계

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4114451A (en) * 1977-08-11 1978-09-19 General Dynamics Corporation Moving coil miniature angular rate sensor
SE411687B (sv) * 1978-05-31 1980-01-28 Aga Ab Accelerometer for metning av vinkellege i vertikalled
JPS5890174A (ja) * 1981-11-25 1983-05-28 Tokyo Keiki Co Ltd 加速度計
JPS5890173A (ja) * 1981-11-25 1983-05-28 Tokyo Keiki Co Ltd 加速度計の偏位検出装置
US4507965A (en) * 1982-09-24 1985-04-02 Columbia Research Laboratories Detector for determining both forces on and positions of a host device
JPS5990173A (ja) 1982-11-15 1984-05-24 Toshiba Corp デ−タ入力方式
DE3404309A1 (de) * 1983-02-25 1984-08-30 Smiths Industries Public Ltd. Co., London Beschleunigungsmesser
US4512593A (en) 1983-03-14 1985-04-23 Ehrhardt Henry B Tracking trailer construction
US4649748A (en) 1984-03-30 1987-03-17 Kabushikikaisha Tokyo Keiki Accelerometer
JPH02150569U (ko) * 1989-05-25 1990-12-26
JP2805881B2 (ja) * 1989-08-30 1998-09-30 株式会社島津製作所 振動検出器
US5488865A (en) * 1994-08-15 1996-02-06 Alliedsignal Inc. Wide-band servo accelerometer with flat leaf flexure suspension
DE69529793T2 (de) 1994-10-11 2003-10-23 Fujikura Ltd Servo-Beschleunigungsmessaufnehmer
JPH08184607A (ja) * 1994-12-28 1996-07-16 Tokimec Inc 加速度計
WO2004090468A2 (en) * 2003-04-04 2004-10-21 Snap-On Incorporated Sensing steering axis inclination and camber with an accelerometer

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0371061A (ja) * 1989-08-10 1991-03-26 Jeco Co Ltd サーボ加速度計
KR100336151B1 (ko) * 1994-06-27 2002-09-05 세르게이 페오도시에비키 코노발로브 서보 가속도계
JP2001296142A (ja) 2000-04-14 2001-10-26 Yaskawa Electric Corp 回転位置検出器及び回転速度検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007256266A (ja) 2007-10-04
EP1837662A1 (en) 2007-09-26
ATE467840T1 (de) 2010-05-15
US20070214885A1 (en) 2007-09-20
EP1837662B1 (en) 2010-05-12
KR20070095247A (ko) 2007-09-28
US7406868B2 (en) 2008-08-05
DE602007006357D1 (de) 2010-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100860366B1 (ko) 광각감지 보상 가속도계
US7347097B2 (en) Servo compensating accelerometer
JP3212859B2 (ja) 加速度検出装置
US5485748A (en) Magnetically levitated force/weight measurement system
JPH0658258B2 (ja) 弦振動検出装置
EP3365688B1 (en) Thermally insensitive open-loop hung mass accelerometer with differential eddy current sensing
EP3458863A1 (en) Athermal hung mass accelerometer with reduced sensitivity to longitudinal temperature gradients
JP2789218B2 (ja) 加速度計
JPS6126625B2 (ko)
US6161433A (en) Fiber optic geophone
CN109541257A (zh) 一种摆式加速度计
US4254395A (en) Electromechanical force converter for measuring gas pressure
RU2559154C2 (ru) Компенсационный маятниковый акселерометр
US3948107A (en) Velocity transducer
UA25676U (en) Compensated accelerometer with an optical angular position transducer
RU120235U1 (ru) Компенсационный акселерометр с оптическим датчиком угла
US4856333A (en) Servo type accelerometer
JPS5946340B2 (ja) 加速度計
RU2690708C2 (ru) Компенсационный акселерометр
RU2128345C1 (ru) Осевой компенсационный цифровой акселерометр с неконтактным подвесом инерционной массы
RU2039994C1 (ru) Компенсационный акселерометр
SU1700484A1 (ru) Устройство дл измерени ускорений
SU847090A1 (ru) Микробарограф
JPS5926286Y2 (ja) 加速度計
JPS6217164B2 (ko)

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee