KR100859509B1 - a thin film transistor array panel - Google Patents
a thin film transistor array panel Download PDFInfo
- Publication number
- KR100859509B1 KR100859509B1 KR1020020010501A KR20020010501A KR100859509B1 KR 100859509 B1 KR100859509 B1 KR 100859509B1 KR 1020020010501 A KR1020020010501 A KR 1020020010501A KR 20020010501 A KR20020010501 A KR 20020010501A KR 100859509 B1 KR100859509 B1 KR 100859509B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- line
- electrode
- thin film
- film transistor
- pixel
- Prior art date
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 14
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136286—Wiring, e.g. gate line, drain line
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136213—Storage capacitors associated with the pixel electrode
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136259—Repairing; Defects
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/1368—Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136286—Wiring, e.g. gate line, drain line
- G02F1/13629—Multilayer wirings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136286—Wiring, e.g. gate line, drain line
- G02F1/136295—Materials; Compositions; Manufacture processes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/12—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode
- G02F2201/123—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode pixel
Abstract
절연 기판 위에 게이트선이 가로 방향으로 형성되어 있고, 유지 용량선과 유지 전극이 형성되어 있으며, 게이트선 및 유지 용량선과 절연되어 교차하는 데이터선이 세로 방향으로 형성되어 있다. 데이터선 및 게이트선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터가 형성되어 있고, 박막 트랜지스터에는 화소 전극이 연결되어 있다. 화소 전극과 동일한 층에 게이트선 양쪽에 위치하는 유지 용량선과 유지 전극을 연결하는 다리가 형성되어 있다. 이 때, 유지 용량선을 포함하는 유지 용량 배선은 가장 가장자리에 열 방향 또는 행 방향의 화소에는 다른 화소와 동일한 배선 구조로 형성되어 있는 더미 배선을 가진다. 이렇게, 다른 화소와 동일하게 가장 가장자리에 위치하는 화소에 주사 신호 또는 영상 신호를 전달하는 게이트선이나 데이터선에 인접하게 더미 배선을 추가하여 가장자리 화소와 다른 화소의 구동 조건을 동일하게 형성함으로써 표시 장치의 표시 특성을 균일하게 확보할 수 있다.Gate lines are formed in the horizontal direction on the insulating substrate, storage capacitor lines and storage electrodes are formed, and data lines insulated from and intersecting the gate lines and storage capacitor lines are formed in the vertical direction. A thin film transistor connected to the data line and the gate line is formed, and a pixel electrode is connected to the thin film transistor. On the same layer as the pixel electrode, a bridge connecting the storage capacitor line positioned on both sides of the gate line and the storage electrode is formed. At this time, the storage capacitor wiring including the storage capacitor line has a dummy wiring formed at the edge of the pixel in the column direction or the row direction in the same wiring structure as the other pixels. In this way, a display device is formed by adding dummy wiring adjacent to a gate line or a data line that transmits a scan signal or an image signal to a pixel positioned at the edge of the pixel, similarly to other pixels, to form driving conditions for the edge pixel and another pixel in the same manner. The display characteristics of can be ensured uniformly.
박막트랜지스터, 더미배선, 구동, 유지용량배선Thin film transistor, dummy wiring, drive, maintenance capacitance wiring
Description
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 어레이 기판의 배치도이고,1 is a layout view of a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention;
도 2는 도 1의 II 영역을 확대한 도면이고,FIG. 2 is an enlarged view of region II of FIG. 1;
도 3은 도 2의 III-III'선에 대한 단면도이고,3 is a cross-sectional view taken along line III-III 'of FIG. 2,
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 어레이 기판의 배치도이다.4 is a layout view of a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
본 발명은 박막 트랜지스터 기판에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film transistor substrate.
일반적으로 액정 표시 장치는 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판 사이에 액정을 주입하고, 전극에 가하는 전압의 세기를 조절하여 광 투과량을 조절하는 구조로 되어 있다.In general, a liquid crystal display device has a structure in which a liquid crystal is injected between two substrates on which an electrode is formed, and a light transmission amount is controlled by adjusting the intensity of a voltage applied to the electrode.
이러한 액정 표시 장치는 매트릭스 배열의 화소를 가지며, 각각의 화소에는 매트릭스 형태로 배열되어 있으며, 각각의 화소에는 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터와 박막 트랜지스터를 통하여 신호선과 전기적으로 연결 되어 있는 화소 전극에 형성되어 있다. 각각의 화소는 일단은 화소 전극이며 타단은 액정층을 매개로 화소 전극과 마주하는 공통 전극을 포함하는 액정 축전기와 일단은 화소 전극이며 타단은 절연층을 매개로 화소 전극과 마주하는 유지 전극을 포함하는 유지 축전기를 가진다. The liquid crystal display has pixels in a matrix arrangement, each pixel is arranged in a matrix form, and each pixel is electrically connected to a signal line through a thin film transistor and a thin film transistor connected to a gate line and a data line. It is formed in the electrode. Each pixel includes a liquid crystal capacitor having a common electrode facing the pixel electrode on one end thereof with a pixel electrode and a sustain electrode facing the pixel electrode on the other end with an insulating layer on the other end thereof. Has a holding capacitor.
여기서에서, 박막 트랜지스터 기판은 각 화소를 독립적으로 구동하기 위한 회로 기판으로서 사용되며, 이러한 박막 트랜지스터 기판에는 주사 신호를 전달하는 주사 신호선 또는 게이트선과 교차하여 화소 영역을 정의하며 화상 신호를 전달하는 화상 신호선 또는 데이터선이 형성되어 있고, 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터 및 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극 등이 형성되어 있다. 박막 트랜지스터는 게이트선에 연결되어 있는 게이트 전극과 채널을 형성하는 반도체층, 데이터선에 연결되어 있는 소스 전극과 드레인 전극 및 게이트 절연막 등을 포함하며, 게이트선을 통하여 전달되는 주사 신호에 따라 데이터선을 통하여 전달되는 화상 신호를 화소 전극에 전달 또는 차단하는 스위칭 소자이다. Here, the thin film transistor substrate is used as a circuit board for driving each pixel independently, and the thin film transistor substrate defines a pixel area crossing the scan signal line or the gate line for transmitting the scan signal and the image signal line for transferring the image signal. Alternatively, a data line is formed, and a thin film transistor connected to the gate line and the data line, a pixel electrode connected to the thin film transistor, and the like are formed. The thin film transistor includes a semiconductor layer forming a channel and a gate electrode connected to the gate line, a source electrode and a drain electrode connected to the data line, a gate insulating layer, and the like, and the data line according to a scan signal transmitted through the gate line. A switching device that transfers or blocks an image signal transmitted through the pixel electrode.
이러한 액정 표시 장치에서 각각의 화소는 데이터선을 통하여 화소 전극에 전달되는 화상 신호를 박막 트랜지스터를 통하여 제어함으로써 구동하여 화상을 표시한다. In such a liquid crystal display, each pixel is driven by controlling an image signal transmitted to a pixel electrode through a data line through a thin film transistor to display an image.
이때, 실질적으로 각각의 화소에는 액정 축전기 및 유지 축전기뿐아니라 서로 인접한 배선 또는 전극들은 절연막을 매개로 하여 기생 축전기가 만들어지며, 구동시에는 커플링 용량을 만들어지며, 이들은 액정 분자를 미치는 전계에 영향을 미친다. At this time, practically, each pixel, as well as the liquid crystal capacitor and the storage capacitor, adjacent wires or electrodes are made of a parasitic capacitor through an insulating film, and when driven, a coupling capacitance is generated, which affects an electric field exerting liquid crystal molecules. Crazy
하지만, 화상이 표시되는 표시 영역의 가장자리에 배치되어 있는 화소의 배선 구조는 다른 화소의 배선 구조와 달라 가장자리 화소의 구동 조건은 다른 화소의 구동 조건과 다른 특성을 가진다. 이로 인하여 전체적인 표시 패널에 불균일을 가져올 수 있으며 이는 제품의 불량을 야기한다.However, the wiring structure of the pixel disposed at the edge of the display area where the image is displayed is different from the wiring structure of other pixels, so that the driving conditions of the edge pixels have characteristics different from those of the other pixels. This may cause non-uniformity of the entire display panel, which causes product defects.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 균일한 표시 특성을 확보할 수 있는 박막 트랜지스터 어레이 기판을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a thin film transistor array substrate capable of ensuring uniform display characteristics.
이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 가장 가장자리의 화소에도 다른 화소와 동일하게 배선 구조를 가지도록 게이트선 및 데이터선에 인접하게 더미 배선을 형성한다.In order to solve this problem, in the present invention, the dummy wiring is formed adjacent to the gate line and the data line so that the pixel at the edge thereof has a wiring structure similarly to other pixels.
구체적으로 본 발명에 따른 박막 트랜지스터 어레이 기판에는 투명한 절연 기판 위에는 서로 절연되어 교차하는 제1 신호선과 제2 신호선이 형성되어 있으며, 제2 신호선과 절연되어 교차하는 본선과 본선에 연결되어 있는 다수의 가지선을 가지는 신호 배선이 형성되어 있다. 가장 가장자리에 위치하는 화소에 신호를 전달하는 제1 또는 제2 신호선에 나란하게는 신호 배선과 동일한 구조를 가지는 더미 배선이 형성되어 있으며, 제1 신호선 및 상기 제2 신호선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터와 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극이 투명한 절연 기판의 상부에 형성되어 있다.Specifically, in the thin film transistor array substrate according to the present invention, a first signal line and a second signal line which are insulated from each other and cross each other are formed on a transparent insulating substrate, and a plurality of branches connected to the main line and the main line which are insulated from and cross the second signal line. Signal wirings having lines are formed. A thin film transistor having the same structure as that of the signal wiring line is formed in parallel with the first or second signal line which transmits the signal to the pixel located at the edge, and the thin film transistor connected to the first signal line and the second signal line; The pixel electrode connected to the thin film transistor is formed on the transparent insulating substrate.
이때, 제1 신호선은 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선과 게이트선에 연결되 어 있는 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선이고, 제2 신호선은 세로 방향으로 형성되어 있는 데이터선, 데이터선과 연결되어 있고 적어도 일부분이 박막 트랜지스터의 반도체층 위에 위치하는 소스 전극, 소스 전극의 대향 전극이며 적어도 일부분이 박막 트랜지스터의 반도체층 위에 위치하는 드레인 전극을 포함하는 데이터 배선인 것이 바람직하다.In this case, the first signal line is a gate line including a gate line extending in the horizontal direction and a gate electrode connected to the gate line, and the second signal line is connected to the data line and the data line formed in the vertical direction and at least partially It is preferable that it is a data wiring including a source electrode positioned on the semiconductor layer of the thin film transistor, a counter electrode of the source electrode, and at least part of which is a drain electrode positioned on the semiconductor layer of the thin film transistor.
또한, 신호 배선은 게이트선과 나란한 유지 용량선과 유지 용량선의 분지이며 세로 방향으로 뻗어 있는 유지 전극을 포함하는 유지 용량 배선이며, 더미 배선은 게이트선과 나란하며 유지 용지 용량선과 동일하게 형성될 수 있거나 데이터선과 나란하며 유지 전극과 동일하게 형성될 수 있다.Further, the signal wiring is a storage capacitor wiring which is a branch of the storage capacitor line and the storage capacitor line parallel to the gate line and includes a storage electrode extending in the vertical direction, and the dummy wiring is parallel to the gate line and may be formed in the same manner as the storage paper capacitance line or Side by side may be formed in the same manner as the sustain electrode.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 어레이 기판에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Next, the thin film transistor array substrate according to the embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that a person skilled in the art can easily implement the present invention.
본 발명의 실시예에서는 화상이 표시되는 표시 영역의 가장 가장자리에 위치한 화소도 다른 화소와 동일하게 배선 구조를 가지도록 게이트선 및 데이터선에 인접하게 더미 배선을 가지며, 도면에는 가장자리에 위치하는 화소의 배선 구조를 도시하였다.In the embodiment of the present invention, the pixel located at the edge of the display area where the image is displayed also has dummy wiring adjacent to the gate line and the data line so as to have a wiring structure like other pixels, and in the drawing, the wiring of the pixel located at the edge The structure is shown.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 어레이 기판의 배선 구조를 도시한 배치도이고, 도 2는 도 1에서 II 영역을 확대한 도면이고, 도 3은 도 2의 III-III선에 대한 단면도이다.FIG. 1 is a layout view illustrating a wiring structure of a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of region II in FIG. 1, and FIG. 3 is III of FIG. 2. It is sectional drawing about the -III line.
도 1 내지 도 3에서 보는 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표 시 장치용 박막 트랜지스터 어레이 기판에는, 유리등의 투명한 절연 기판(10) 위에 게이트 배선(20, 21)과 유지 용량 배선(30, 31, 32, 33, 34, 35, 36)이 형성되어 있다. 1 to 3, in the thin film transistor array substrate for a liquid crystal display according to the first embodiment of the present invention, the
게이트 배선(20, 21)은 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선(20)을 포함하며 게이트선(20)의 일부는 상하로 돌출하여 게이트 전극(21)을 이룬다. The
유지 용량 배선(30, 31, 31', 32, 33, 34, 35, 36)은 게이트선(20)과 나란한 유지 용량선(30)과 그 가지인 제1 내지 제5 유지 전극(31, 32, 33, 34, 35)을 포함한다. 화소 영역 가장 자리에 위치한 제1 유지 전극(31)은 일단이 유지 용량선(30)에 직접 연결되어 세로 방향으로 뻗어 있고, 제2 유지 전극(32)은 제1 유지 전극(31)의 다른 일단에 돌기의 형태로 연결되어 있다. 제3 유지 전극(33)은 화소 영역에 대하여 제1 유지 전극(31)의 반대쪽 가장자리에 위치하며 세로 방향으로 뻗어 있고, 유지 전극 연결부(36)를 통하여 이웃 화소 영역의 제1 유지 전극(31)과도 연결되어 있다. 제4 유지 전극(34)과 제5 유지 전극(35)은 각각 제1 유지 전극(31)과 제3 유지 전극(33)을 사선 방향으로 연결하고 있는데, 제4 유지 전극(34)은 화소 영역의 왼쪽 아래에서 왼쪽 중앙으로, 제5 유지 전극(35)은 오른쪽 위에서 왼쪽 중앙으로 뻗어 왼쪽 중앙에 두 유지 전극(34, 35)이 수렴하는 형태가 된다. 이들(34, 35)은 제1 유지 전극(31)에 대하여 사선 방향으로 형성되어 있으며, 제4 유지 전극(34)과 제5 유지 전극(35)의 연장선은 약 90°의 각을 이루고 있다. 또한, 유지 용량 배선은 표시 영역의 가장 가장자리에 위치하는 열 방향의 화소(Pm)에 영상 신호를 전달하는 데이터선(70)에 인접하게 형성되어 있으며, 제1 유지 전극(31)과 유사한 모양으로 일단이 유지 용량선(30)에 직접 연결되어 세로 방향으로 뻗어 있는 더미 배선(31')을 포함한다. 본 발명에서와 같이 표시 영역의 마지막 열 방향의 화소(Pm)의 유지 용량선(3)에 연결되어 유지 용량용 전압이 전달되는 더미 배선(31')이 데이터선(70)에 인접하게 형성되어 있어, 마지막 열 방향의 화소(Pm)의 구동 조건 또한 표시 영역의 다른 화소의 구동 조건과 동일하여 표시 장치의 표시 특성을 균일하게 확보할 수 있어 제품의 불량을 최소화할 수 있다. 또한, 이러한 더미 배선(31')은 마지막 열 방향의 화소(Pm)에 영상 신호를 전달하는 데이터선(70)이 단선되는 경우에 수리선으로 사용할 수 있다. 즉, 마지막 열 방향의 화소(Pm)의 데이터선(70)이 단선되었을 때 단선된 부분의 상부 및 하부에서 서로 중첩하는 데이터선(70)과 유지 용량선(30)을 단락시켜 데이터선(70)을 통하여 전달되는 영상 신호를 더미 배선(31')으로 우회시키고, 더미 배선(31')을 포함하며 신호의 간섭을 방지하기 위해 수리선으로 사용되는 부분을 유지 용량 배선(30, 31, 31', 32, 33, 34, 35, 36)으로부터 분리한다.The
게이트 배선(20, 21)과 유지 용량 배선(30, 31, 31', 32, 33, 34, 35, 36)은 게이트 절연막(40)으로 덮여 있고, 게이트 절연막(40) 위에는 비정질 규소로 이루어진 반도체층(50, 51)이 형성되어 있다. 반도체층(50, 51)은 세로 방향으로 길게 뻗으며 유지 전극 연결부(36)를 지나가는 세로부(50)와 게이트 전극(21) 부근에서 세로 방향으로 확장되어 게이트 전극(21)과 중첩하는 채널부(51)를 포함한다. 반도체층(50, 51)의 위에는 인등의 N형 불순물로 고농도로 도핑된 비정질 규소로 이루어진 저항성 접촉층(60, 61, 62)이 형성되어 있다. The
접촉층(60, 61, 62) 및 게이트 절연막(40) 위에는 데이터 배선(70, 71, 72, 74)이 형성되어 있다. 데이터 배선은 반도체층의 세로부(50)를 따라 뻗은 데이터선(70)과 이에 연결된 소스 전극(71) 및 이들과 분리된 드레인 전극(72)을 포함한다. 소스 전극(71)은 게이트 전극(21) 부근에서 데이터선(70)으로부터 U자형으로 돌출해 있으며, 드레인 전극(72)의 한 끝은 소스 전극(71)의 U자형 부분 중앙으로 뻗어 있으며 다른 쪽 끝은 화소 영역 안쪽으로 뻗어 있다. 또 데이터 배선은 제2 유지 전극(32)과 인접한 지점의 게이트선(20) 위에 위치하고 있는 데이터 금속편(74)을 포함한다. 여기에서, 저항성 접촉층(60, 61, 62)은 반도체층(50, 51)과 데이터 배선(70, 71, 72, 74)이 중첩되는 부분에만 형성되어 있다.
데이터 배선(70, 71, 72, 74)의 위에는 보호막(80)이 형성되어 있다. 이 때, 보호막(80)은 드레인 전극(72)의 한쪽 끝을 노출하는 제1 접촉구(81), 데이터 금속편(74)을 노출하는 제2 접촉구(82)를 가지고 있으며, 제2 접촉구(82)의 상하에 각각 위치하는 제2 유지 전극(32)과 유지 용량선(30)의 일부를 노출하는 제3 및 제4 접촉구(83, 84)를 게이트 절연막(40)과 함께 가지고 있다. The
보호막(80)의 위에는 제1 접촉구(81)를 통하여 드레인 전극(72)과 연결되어 있는 화소 전극(90), 그리고 제2 접촉구(82)를 통하여 데이터 금속편(74)과 연결되어 있고 제3 및 제4 접촉구(83, 84)를 통하여 제2 유지 전극(32) 및 유지 배선(84) 과 연결되어 있는 다리(91)가 형성되어 있다. 화소 전극(90)과 다리(91)는 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 등의 투명한 도전 물질로 이루어진다. 화소 전극(90)은 제1 내지 제3 개구부(92, 93, 94)를 가진다. 제1 및 제2 개구부(92, 93)는 각각 제4 및 제5 유지 전극(34, 35)과 중첩되어 있다. 제3 개구부(94)는 제1 개구부(92)와 제2 개구부(93)의 사이에 형성되어 있고, 화소 전극(90)의 오른쪽 변에서 왼쪽 변을 향하여 뻗어 있으며, 그 입구가 모따기 되어 있다. 한편, 유지 용량 배선(30, 31, 31', 32, 33, 34, 35, 36)에는 화소 전극(90)과 대향하는 공통 전극의 전위가 인가되는 것이 보통이다.On the
한편, 제1 유지 전극(31)과 유지 용량선(30)에는 각각 돌기의 형태로 표지가 형성되어 있다. 이러한 표지는 배선 불량을 수리할 때 레이저를 조사할 위치를 표시하는 것이다. 표지가 형성되어 있는 부분은 주위에 화소 전극(90)이나 다리(91)가 인접해 있어서 레이저 조사 위치가 약간만 벗어나면 화소 전극(90)이나 다리(91)에 손상을 주거나 화소 전극(90)이나 다리(91)를 다른 배선에 단락시킬 우려가 있는 부분이다. 또, 주변의 다른 불투명 패턴과 교차한다거나 모양이 특이하여 주변의 다른 부분으로부터 구분될 수 있는 특징이 없는 부분에 표지를 형성한다. 본 실시예에서는 표지가 있는 부분은 배선을 수리할 때, 레이저를 조사하여 절단할 부분이다. 표지의 크기는 조사될 레이저빔의 단면적의 넓이(3㎛ ×3㎛)와 층간 중첩 마진(margin), 즉 각 층 형성시의 광마스크의 정렬 오차로 인하여 변동될 수 있는 각 층 패턴의 중첩 폭(2.5~3㎛) 등을 고려하여 길이(유지 용량성 또는 제1 유지 전극의 길이 방향)가 4㎛ 내지 5㎛이고, 폭(유지 용량성 또는 제1 유지 전극의 폭 방향)이 0.5㎛ 내지 1.5㎛인 것이 바람직하고, 본 발명의 제1 실시예에서는 길이 4.5㎛, 폭 1㎛ 정도로 형성하였다.On the other hand, the
본 발명의 제1 실시예에서는 더미 배선을 데이터선과 나란하게만 형성하였지만, 더미 배선은 게이트선과 나란하게 형성될 수도 있으며, 이에 대하여 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.In the first embodiment of the present invention, the dummy wiring is formed only in parallel with the data line, but the dummy wiring may be formed in parallel with the gate line, which will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 어레이 기판의 배치도이다.4 is a layout view of a thin film transistor array substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
제2 실시예에 따른 박막 트랜지스터 어레이 기판은 제1 실시예에 따른 박막 트랜지스터 어레이 기판과 대부분 동일한 배선 구조를 가진다. The thin film transistor array substrate according to the second embodiment has almost the same wiring structure as the thin film transistor array substrate according to the first embodiment.
단, 유지 용량 배선은 표시 영역의 가장 가장자리에 위치하는 행 방향의 화소(Pn)에 주사 신호를 전달하는 게이트선(20)에 인접하게 형성되어 있으며, 유지 용량선(30)과 유사한 모양으로 게이트선(20)에 나란하게 가로 방향으로 뻗어 있는 더미 배선(30')을 포함한다. 물론, 더미 배선(30')은 유지 용량선(30)과 전기적으로 연결되어 유지 전압이 전달된다. 본 발명에서와 같이 표시 영역의 가장 가장자리에 위치하는 행 방향의 화소(Pn)의 유지 용량선(30)에 연결되어 유지 용량용 전압이 전달되는 더미 배선(30')이 게이트선(20)에 인접하게 형성되어 있어, 마지막 행 방향의 화소(Pn)의 구동 조건 또한 표시 영역의 다른 화소의 구동 조건과 동일하여 표시 장치의 표시 특성을 균일하게 확보할 수 있어 제품의 불량을 최소화할 수 있다. 여기서도, 더미 배선(30')은 마지막 행 방향의 화소(Pn)에 주사 신호를 전달하는 게이트선(20)이 단선되는 경우에 수리선으로 사용할 수 있다. 즉, 마지막 행 방향의 화소(Pn)의 게이트선(20)이 단선되었을 때 단선된 부분의 좌측 및 우측에서 서로 중첩하는 게이트선(20)과 다리(91)를 단락시켜 게이트선(20)을 통하여 전달되는 주사 신호를 더미 배선(30')으로 우회시키고, 신호의 간섭을 방지하기 위해 수리선으로 사용되는 부분을 유지 용량 배선(30, 31, 31', 32, 33, 34, 35, 36)으로부터 분리한다.However, the storage capacitor wiring is formed adjacent to the
비록, 이 발명을 가장 실제적이며 바람직한 실시예를 중심으로 하여 설명하였지만, 이 발명은 앞서 설명한 실시예에 한정되지 않으며, 후술하는 특허 청구 범위 내에 속하는 다양한 변형 및 등가물들도 포함한다Although the invention has been described with reference to the most practical and preferred embodiments, the invention is not limited to the embodiments described above, but also includes various modifications and equivalents within the scope of the following claims.
이상과 같이, 본 발명에 따르면 가장 가장자리에 위치하는 화소 밖에 더미 배선을 형성함으로써 가장 가장자리에 위치하는 화소의 구동 조건이 가장자리에 위치하지 않는 다른 화소의 구동 조건과 동일하게 되므로 표시 장치의 표시 특성을 균일하게 확보할 수 있어 제품의 불량을 최소화할 수 있다.As described above, according to the present invention, since the dummy wiring is formed only outside the pixel located at the edge, the driving condition of the pixel located at the edge becomes the same as the driving condition of the other pixel not located at the edge. Since it can be secured uniformly, the defect of the product can be minimized.
Claims (9)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020020010501A KR100859509B1 (en) | 2002-02-27 | 2002-02-27 | a thin film transistor array panel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020020010501A KR100859509B1 (en) | 2002-02-27 | 2002-02-27 | a thin film transistor array panel |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030071005A KR20030071005A (en) | 2003-09-03 |
KR100859509B1 true KR100859509B1 (en) | 2008-09-22 |
Family
ID=32222802
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020020010501A KR100859509B1 (en) | 2002-02-27 | 2002-02-27 | a thin film transistor array panel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100859509B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101502836B1 (en) * | 2008-03-21 | 2015-03-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | Liquid crystal display panel |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19980023919A (en) * | 1996-09-17 | 1998-07-06 | 김광호 | Liquid crystal display |
KR19980069927A (en) * | 1997-02-20 | 1998-10-26 | 세끼자와 다다시 | Liquid crystal display panel, liquid crystal display device and manufacturing method thereof |
KR19980070962A (en) * | 1997-01-31 | 1998-10-26 | 세끼자와다다시 | Thin film transistor matrix substrate and manufacturing method thereof |
KR19990026583A (en) * | 1997-09-25 | 1999-04-15 | 윤종용 | Liquid Crystal Display and Data Line Repair Method |
KR100199648B1 (en) * | 1995-06-19 | 1999-06-15 | 쓰지 하루오 | Driving methode for display panel and device therefor |
KR20000001469U (en) * | 1998-06-25 | 2000-01-25 | 김영환 | LCD Display |
KR100270421B1 (en) * | 1996-04-22 | 2000-11-01 | 마찌다 가쯔히꼬 | Lcd apparatus and driving method thereof |
KR20010039573A (en) * | 1999-10-13 | 2001-05-15 | 아끼구사 나오유끼 | Liquid crystal display device and method of controlling the same |
KR20020009414A (en) * | 2000-07-24 | 2002-02-01 | 포만 제프리 엘 | Display device, method of manu facturing the same and wiring board |
-
2002
- 2002-02-27 KR KR1020020010501A patent/KR100859509B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100199648B1 (en) * | 1995-06-19 | 1999-06-15 | 쓰지 하루오 | Driving methode for display panel and device therefor |
KR100270421B1 (en) * | 1996-04-22 | 2000-11-01 | 마찌다 가쯔히꼬 | Lcd apparatus and driving method thereof |
KR19980023919A (en) * | 1996-09-17 | 1998-07-06 | 김광호 | Liquid crystal display |
KR19980070962A (en) * | 1997-01-31 | 1998-10-26 | 세끼자와다다시 | Thin film transistor matrix substrate and manufacturing method thereof |
KR19980069927A (en) * | 1997-02-20 | 1998-10-26 | 세끼자와 다다시 | Liquid crystal display panel, liquid crystal display device and manufacturing method thereof |
KR19990026583A (en) * | 1997-09-25 | 1999-04-15 | 윤종용 | Liquid Crystal Display and Data Line Repair Method |
KR20000001469U (en) * | 1998-06-25 | 2000-01-25 | 김영환 | LCD Display |
KR20010039573A (en) * | 1999-10-13 | 2001-05-15 | 아끼구사 나오유끼 | Liquid crystal display device and method of controlling the same |
KR20020009414A (en) * | 2000-07-24 | 2002-02-01 | 포만 제프리 엘 | Display device, method of manu facturing the same and wiring board |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20030071005A (en) | 2003-09-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100796749B1 (en) | A thin film transistor array substrate for a liquid crystal display | |
KR100740938B1 (en) | a thin film transistor array panel having a mark indication laser irradiation point | |
KR101490485B1 (en) | Liquid crystal display and method of manufacturing the same | |
US20080061296A1 (en) | Thin Film Transistor Array Panel for Liquid Crystal Display and Method of Manufacturing the Same | |
CN101110443A (en) | Display substrate, method of manufacturing and display device comprising the substrate | |
CN101086995A (en) | Thin film transistor substrate and liquid crystal display panel having the same | |
KR100686270B1 (en) | Liquid crystal display device | |
KR20030094452A (en) | Thin film transistor array panel for liquid crystal display | |
KR20150004999A (en) | Liquid crystal display | |
JP4047626B2 (en) | Image display device | |
KR100859509B1 (en) | a thin film transistor array panel | |
KR20060084147A (en) | Thin film transistor substate | |
KR100686235B1 (en) | A panel for liquid crystal display | |
JP5221408B2 (en) | Display device and manufacturing method thereof | |
KR100675315B1 (en) | Liquid Crystal Display Device | |
KR100720084B1 (en) | Thin film transistor substrate for liquid crystal display | |
KR100759968B1 (en) | thin film transistor array panel for liquid crystal display, manufacturing method thereof and repairing method thereof | |
KR100529572B1 (en) | Thin film transistor liquid crystal display | |
KR19990041469A (en) | Thin film transistor matrix substrate and manufacturing method thereof | |
KR100656902B1 (en) | Thin film transistor array panel for liquid crystal display | |
KR100752207B1 (en) | Liquid Crystal Display Device | |
KR100543033B1 (en) | Manufacturing method of liquid crystal display device | |
KR20000007633A (en) | Method for manufacturing lcd | |
KR100670057B1 (en) | Thin film transistor array panel for liquid crystal display | |
KR100709712B1 (en) | pad structure for liquid crystal display |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
J201 | Request for trial against refusal decision | ||
AMND | Amendment | ||
B701 | Decision to grant | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120914 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130830 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140901 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160831 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180829 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190822 Year of fee payment: 12 |