KR20060084147A - Thin film transistor substate - Google Patents
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Abstract
본 발명은 표시장치용 박막트랜지스터 기판에 관한 것이다. 본 발명에 따른 박막트랜지스터 기판은 표시영역을 정의하는 신호선과; 상기 표시영역의 외곽에서 상기 신호선과 연결되어 있으며, 중심부에서 외곽부로 갈수록 길이가 길어지는 복수의 팬아웃을 포함하는 신호선 팬아웃부와; 상기 신호선 팬아웃부과 겹치며, 겹치는 면적이 상기 외곽부에서 상기 중심부로 갈수록 넓어지는 오버랩 전극을 포함한다. 이로 인해, 신호선 팬아웃부의 RC 지연을 보상할 수 있는 박막트랜지스터 기판이 제공된다.The present invention relates to a thin film transistor substrate for a display device. The thin film transistor substrate according to the present invention comprises: a signal line defining a display area; A signal line fan out part connected to the signal line at an outer side of the display area, the signal line fan out part including a plurality of fan outs extending from the center to the outer part of the display area; And an overlapping electrode overlapping the signal line fan-out part and having an overlapping area extending from the outer portion toward the center portion. As a result, a thin film transistor substrate capable of compensating for the RC delay of the signal line fanout part is provided.
Description
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 박막트랜지스터 기판의 배치도,1 is a layout view of a thin film transistor substrate according to a first embodiment of the present invention;
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 단면도,2 is a cross-sectional view taken along II-II of FIG. 1;
도 3은 본 발명의 제 2 실시예를 설명하기 위한 단면도,3 is a cross-sectional view for explaining a second embodiment of the present invention;
도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 신호선 팬아웃부의 확대도이다.4 is an enlarged view of a signal line fan out part according to a third exemplary embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 * Explanation of symbols for the main parts of the drawings
11 : 게이트선 13 : 게이트 팬아웃부 11
15 : 게이트 팬아웃 21 : 데이터선15: gate fanout 21: data line
23 : 데이터 팬아웃부 25 : 데이터 팬아웃부23: data fan out section 25: data fan out section
30 : 게이트 오버랩 전극 40 : 데이터 오버랩 전극30: gate overlap electrode 40: data overlap electrode
53 : 게이트 구동 회로 63 : 데이터 구동 회로53: gate driving circuit 63: data driving circuit
본 발명은 박막트랜지스터 기판에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 게이터선 및 데이터선의 팬아웃부를 포함하는 박막트랜지스터 기판에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film transistor substrate, and more particularly, to a thin film transistor substrate including a fanout portion of a gator line and a data line.
박막트랜지스터 기판(Thin Film Transistor; TFT)은 액정 표시 장치(LCD; Liquid Crystal Display)나 OLED(organic light emitting diode) 표시 장치 등에서 각 화소를 독립적으로 구동하기 위한 회로 기판으로써 사용되고, 박막트랜지스터 기판은 주사 신호를 전달하는 주사 신호 배선 또는 게이트 배선과 화상 신호를 전달하는 화상 신호선 또는 데이터 배선을 갖는다. 그리고, 이 기판에는 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결되어 있는 박막트랜지스터, 박막트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극, 게이트 배선을 덮어 절연하는 게이트 절연막 및 박막트랜지스터와 데이터 배선을 덮어 절연하는 보호막 등이 마련되어 있다. 여기서, 게이트 절연막 및 보호막은 통상 실리콘 질화물을 재질로 만들어진다. A thin film transistor (TFT) substrate is used as a circuit board for driving each pixel independently in a liquid crystal display (LCD) or an organic light emitting diode (OLED) display, and the thin film transistor substrate is scanned. Scanning signal wirings or gate wirings for transmitting signals and image signal lines or data wirings for transmitting image signals. The substrate is provided with a thin film transistor connected to the gate wiring and a data wiring, a pixel electrode connected to the thin film transistor, a gate insulating film covering and insulating the gate wiring, and a protective film covering and insulating the thin film transistor and the data wiring. Here, the gate insulating film and the protective film are usually made of silicon nitride.
박막트랜지스터는 게이트 배선의 일부인 게이트 전극과 채널부을 형성하는 반도체층, 데이터 배선의 일부인 소스 전극과 드레인 전극 및 게이트 절연막과 보호막 등으로 이루어진다. 박막트랜지스터는 게이트 배선을 통하여 전달되는 주사 신호에 따라 데이터 배선을 통해 전달되는 화상 신호를 화소 전극에 전달 또는 차단하는 스위칭(Switching) 소자이다. The thin film transistor includes a semiconductor layer forming a gate electrode and a channel portion which are part of a gate wiring, a source electrode and a drain electrode which are part of a data wiring, a gate insulating film and a protective film. The thin film transistor is a switching device that transfers or blocks an image signal transmitted through a data line to a pixel electrode according to a scan signal transmitted through a gate line.
박막트랜지스터 기판에는 게이트선 및 데이터선에 구동 신호를 인가하기 위한 구동 회로가 연결된다. 구동 회로는 패드를 통하여 게이트선 또는 데이터선에 연결되는데, 이 패드는 구동 회로와의 연결을 위하여 좁은 영역에 밀집하여 형성된다. 이에 비하여 표시영역에 위치하는 게이트선이나 데이터선의 선간 간격은 화소 크기에 따라 정해지는 폭을 가져야 하므로 패드 사이의 간격에 비하여 더 큰 폭을 가진다. 따라서, 패드부와 표시영역 사이에는 배선의 선간 간격이 점점 넓어지는 팬아웃(fanout)부가 존재한다. 이러한 팬아웃부로 인하여 배선의 길이가 서로 다르 게 되고, 따라서 RC 지연이 배선마다 달라지게 된다. RC 지연은 픽셀에서 킥백(kickback) 전압의 편차를 유발하고, 이는 픽셀의 휘도차를 발생시켜 화질을 떨어뜨리는 문제점이 있다.A driving circuit for applying a driving signal to a gate line and a data line is connected to the thin film transistor substrate. The driving circuit is connected to the gate line or the data line through the pad, and the pad is densely formed in a narrow area for connection with the driving circuit. On the other hand, since the line spacing between the gate lines and the data lines positioned in the display area should have a width determined according to the pixel size, the spacing between the gate lines and the data lines is larger than that between the pads. Accordingly, there is a fanout portion between the pad portion and the display area in which the line spacing of the wiring gradually increases. These fan-out parts cause wires to be different in length, and therefore, RC delays vary from wire to wire. RC delay causes a variation in kickback voltage in the pixel, which causes a difference in luminance of the pixel, thereby degrading image quality.
따라서, 본 발명의 목적은 게이트 팬아웃부 및 데이터 팬아웃부의 RC 지연을 보상할 수 있는 박막트랜지스터 기판을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a thin film transistor substrate capable of compensating for the RC delay of the gate fanout part and the data fanout part.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 표시영역을 정의하는 신호선과; 상기 표시영역의 외곽에서 상기 신호선과 연결되어 있으며, 중심부에서 외곽부로 갈수록 길이가 길어지는 복수의 팬아웃을 포함하는 신호선 팬아웃부와; 상기 신호선 팬아웃부과 겹치며, 겹치는 면적이 상기 외곽부에서 상기 중심부로 갈수록 넓어지는 오버랩 전극을 포함하는 것에 의해 달성된다. The object is, according to the present invention, a signal line defining a display area; A signal line fan out part connected to the signal line at an outer side of the display area, the signal line fan out part including a plurality of fan outs extending from the center to the outer part of the display area; The overlapping area of the signal line fan-out part is achieved by including an overlapping electrode, the overlapping area of which extends from the outer portion toward the center portion.
상기 각 팬아웃에서 발생하는 저항과 각 상기 팬아웃과 상기 오버랩 전극 간의 용량의 곱은 일정한 것이 바람직하며, 이로써 팬아웃에서 발생하는 RC 지연이 보상된다.The product of the resistance occurring at each fanout and the capacitance between each fanout and the overlap electrode is preferably constant, thereby compensating for the RC delay occurring at the fanout.
상기 신호선은 게이트선 및 상기 게이트선과 교차하는 데이터선을 포함하며, 상기 오버랩 전극의 일부는 상기 게이트선과 동일한 층으로 형성될 수 있다.The signal line may include a gate line and a data line crossing the gate line, and a portion of the overlap electrode may be formed of the same layer as the gate line.
또한, 상기 오버랩 전극의 일부는 상기 데이터선과 동일한 층으로 형성될 수도 있다.In addition, a part of the overlap electrode may be formed of the same layer as the data line.
상기 데이터선과 전기적으로 연결되어 있는 화소전극을 더 포함하며, 상기 오버랩 전극은 상기 화소전극과 동일한 층으로 형성되는 것도 가능하다.The pixel electrode may further include a pixel electrode electrically connected to the data line, and the overlap electrode may be formed on the same layer as the pixel electrode.
이 경우, 상기 오버랩 전극은 ITO 또는 IZO 물질을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In this case, the overlap electrode is characterized in that it comprises an ITO or IZO material.
상기 팬아웃의 적어도 일부분은 지그재그 패턴으로 형성되어 있으며, 상기 지그재그 패턴의 연장길이는 상기 외곽부에서 상기 중심부로 갈수록 더 길게 형성되는 것이 바람직하며, 이로 인해 팬아웃의 저항을 조절할 수 있다. At least a portion of the fanout is formed in a zigzag pattern, and the extension length of the zigzag pattern is preferably formed longer from the outer portion to the center, thereby adjusting the resistance of the fanout.
여기서, 상기 신호선을 구동시키기 위한 구동 회로와; 상기 구동 회로와 상기 오버랩 전극을 연결하는 전극배선을 더 포함할 수 있다.A driving circuit for driving the signal line; The apparatus may further include an electrode wiring connecting the driving circuit and the overlap electrode.
여기서, 상기 구동 회로는 게이트 구동 회로 및 데이터 구동 회로를 포함하며, 상기 전극배선은 상기 게이트 구동 회로와 상기 게이트선과 겹치는 상기 오버랩 전극 및 상기 데이터 구동 회로와 상기 데이터선과 겹치는 상기 오버랩 전극을 연결하는 것을 특징으로 한다.The driving circuit may include a gate driving circuit and a data driving circuit, and the electrode wiring may be configured to connect the overlapping electrode overlapping the gate driving circuit and the gate line and the overlapping electrode overlapping the data driving circuit and the data line. It features.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대하여 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막트랜지스터 기판의 배치도이다.1 is a layout view of a thin film transistor substrate according to an embodiment of the present invention.
도시된 바와 같이, 박막트랜지스터 기판(1)은 게이트선(11) 및 이와 교차하는 데이터선(21)과 같은 신호선에 의해 정의되는 표시영역(100)을 포함하며, 표시영역(100)의 외곽에 게이트선(11)과 데이터선(21)을 구동시키기 위한 게이트 구동회로(53) 및 데이터 회로(63)가 나타나 있다.As shown, the thin film transistor substrate 1 includes a
게이트 구동회로(53)와 데이터 구동회로(63)는 박막트랜지스터 기판(1) 상에 전기적으로 연결된다. 게이트 구동회로(53)와 데이터 구동회로(63)의 연결방법으로 는 구동부가 직접 박막트랜지스터 기판 상에 실장되는 COG(chip on glass), 고분자 필름상에 구동회로를 부착하여 실장하는 TCP(tape carrier package), 구동회로 기판상에 구동부를 실장하여 부착하는 COF(chip on film) 등의 방법이 있다. 본 실시예의 게이트 구동회로(53)와 데이터 구동회로(63)는 박막트랜지스터 기판(1)의 외곽에 부착되어 있는 게이트 COF(50) 및 데이터 COF(60)에 연결되어 있다. The
표시영역(100) 내의 게이트선(11) 및 데이터선(21)은 외곽영역으로 연장되어 박막트랜지스터 기판(1)의 단부에 위치한 게이트 패드(미도시)와 데이터 패드(미도시)를 통해 게이트 구동회로(53) 및 데이터 구동회로(63)와 연결된다. 연결되는 부분에는 표시영역(100)으로부터 연장된 게이트선(11)의 배선 간격이 점점 좁아지는 게이트 팬아웃부(13)와 데이트선(21)의 배선 간격이 점점 좁아지는 데이터 팬아웃부(23)를 형성되어 있다. 이러한 게이트 팬아웃부(13)와 데이터 팬아웃부(23)는 게이트 팬아웃부(13) 및 데이터 팬아웃부(23)와 겹치는 게이트 오버랩 전극(30) 및 데이터 오버랩 전극(40)을 포함한다. 이하 게이트선 및 데이터선에 대응되는 공통의 구성요소에는 신호선이라는 용어를 사용하겠다.The
신호선 팬아웃부(13, 23)는 신호선의 길이가 긴 외곽부와 신호선의 길이가 짧은 중심부를 가지며, 신호선 팬아웃부(13, 23)를 구성하는 복수의 게이트선 및 데이터선을 게이트 팬아웃(15) 및 데이터 팬아웃(25)으로 정의한다. 신호선 팬아웃(15, 25)의 길이는 중심부에서 외곽부로 갈수록 길어지며, 표시영역(100)과 근접하게 배열되면서 신호선 팬아웃(15, 25)의 배열 간격이 넓어진다.The signal
이러한 신호선 팬아웃부(13, 23)는 삼각형 형상의 신호선 오버랩 전극(30, 40)과 겹쳐져 있다. 신호선 오버랩 전극(30, 40)은 게이트 팬아웃부(13)와 겹쳐지는 게이트 오버랩 전극(30)과 데이터 팬아웃부(23)와 겹쳐지는 데이터 오버랩 전극(40)으로 이루어져 있다. 신호선 오버랩 전극(30, 40)은 신호선 팬아웃부(13, 23)와 겹치는 면적이 외곽부에서 중심부로 갈수록 넓어진다. 구체적으로, 팬아웃부(13, 23)의 중심부에서는 신호선 오버랩 전극(30, 40)과 겹쳐지는 신호선 팬아웃(15, 25)의 길이가 길고, 상대적으로 외곽부에서는 신호선 팬아웃(15, 25)과 겹쳐지는 길이가 짧다. 이것은 중심부에서는 신호선 오버랩 전극(30, 40)과 신호선 팬아웃(15, 25) 간의 용량이 크고, 상대적으로 외곽부에서는 신호선 오버랩 전극(30, 40)과 신호선 팬아웃(15, 25) 간의 용량이 적는 것을 의미한다.The signal
한편, 상기한 바와 같이 신호선 팬아웃(15, 25)의 길이는 신호선 팬아웃부(13, 23)의 중심부에서 외곽부로 갈수록 길어지므로 각 팬아웃(15, 25)에서 발생하는 저항은 중심부에서 외곽부로 갈수록 커진다.Meanwhile, as described above, the lengths of the
신호선 팬아웃부(13, 23)의 외곽부에서는 각 신호선 팬아웃(15, 25)의 저항은 크지만 용량은 적고, 신호선 팬아웃부(13, 23)의 중심부에서는 각 신호선 팬아웃(15, 25)의 저항은 작지만, 용량은 크게 형성되므로 결과적으로 각 신호선 팬아웃(15, 25)에서 발생하는 저항과 용량의 곱은 일정하게 된다. 따라서, 팬아웃(15, 25)의 길이 차이에 의해 발생하였던 RC 지연은 오버랩 전극(30, 40)을 이용한 용량 발생으로 인해 효과적으로 보상될 수 있다.In the outer portion of the signal
신호선 팬아웃(15, 25)의 길이 및 신호선 오버랩 전극(30, 40)의 겹침 면적은 해당 박막트랜지스터 기판(1)의 신호선에서 발생하는 RC 지연을 고려하여 겹침 정도가 결정된다. The length of the
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 단면도이며, 이하에서는 게이트 팬아웃부(13)의 단면이 설명되지만, 이는 유사한 구성을 가지는 데이터 팬아웃부(23)에도 적용될 수 있다. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1, but the cross section of the
유리, 석영, 세라믹 또는 플라스틱 등의 절연성 재질을 포함하여 만들어진 절연기판(10) 상에 복수의 게이트 팬아웃(15)이 형성되며, 게이트선(11)의 일부가 분기되어 게이트 전극(12)을 이루고 있다. 이러한 게이트 팬아웃(13) 및 게이트 전극(12)을 포함한 게이트선(11)을 게이트 배선이라 한다.A plurality of
본 발명의 게이트 배선은 단일층으로 형성되어 있으나, 금속 또는 합금의 단점을 보완하고 원하는 물성을 얻기 위해 다중층으로 형성될 수 있다. 일예로, 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 하부층으로 사용하고 크롬, 몰리브덴, 몰리브덴-텅스텐 또는 몰리브덴-텅스텐 나이트라이드를 상부층으로 사용하는 이중층으로 형성하는 것이다. 이는 하부층으로 배선저항에 의한 신호저항을 막기 위해 비저항이 작은 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 사용하고, 상부층으로 화학약품에 의한 내식성이 약하며 쉽게 산화되어 단선이 발생되는 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 단점을 보완하기 위해 화학약품에 대한 내식성이 강한 크롬, 몰리브덴, 몰리브덴-텅스텐 또는 몰리브덴-텅스텐 나이트라이드를 사용하는 것이다. 근래에는 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 텅스텐(W) 등이 배선재료로 각광받고 있다. Although the gate wiring of the present invention is formed in a single layer, it may be formed in multiple layers to compensate for the disadvantages of the metal or alloy and obtain desired properties. In one example, a double layer using aluminum or an aluminum alloy as a lower layer and chromium, molybdenum, molybdenum-tungsten or molybdenum-tungsten nitride as the upper layer is formed. The lower layer uses aluminum or aluminum alloy with low specific resistance to prevent signal resistance due to wiring resistance. It is to use chromium, molybdenum, molybdenum-tungsten or molybdenum-tungsten nitride which are highly corrosion-resistant to chemicals. In recent years, molybdenum (Mo), aluminum (Al), titanium (Ti), tungsten (W) and the like have been spotlighted as wiring materials.
게이트 팬아웃(13) 및 게이트 전극(12) 위에는 실리콘 질화물(SiNx) 따위로 이루어진 게이트 절연막(26)이 형성되어 게이트 배선(13, 12)을 덮고 있다.
A
게이트 팬아웃(13) 위에는 게이트 팬아웃(13)과 겹쳐져 그 사이에 용량을 형성하는 게이트 오버랩 전극(30)이 덮여 있다. 도면에는 나타나 있지 않지만, 게이트 오버랩 전극(30)은 게이트 팬아웃부의 중심부로 갈수록 게이트 팬아웃(13)과 겹쳐지는 면적이 넓어진다. 게이트 오버랩 전극(30)은 게이트 전극(12) 위에 형성된 소스 전극(93) 및 드레인 전극(94)과 동일한 층으로 형성되어 있다. 소스 전극(93) 및 드레인 전극(94)을 포함하는 데이터 배선을 패터닝 할 때 게이트 팬아웃부(13)에 게이트 오버랩 전극(30)을 형성함으로써 게이트 팬아웃부(13)와 함께 캐패시터를 구성할 수 있다. 게이트 오버랩 전극(30)과 소스 전극(93) 및 드레인 전극(94)은 동일한 층으로 형성되지만, 이들은 서로 물리적으로 분리되어, 전기적인 접촉이 발생하지 않는다. On the
게이트 오버랩 전극(30)은 게이트 구동회로(53)와 전극배선(71)으로 연결되어 있다. 게이트 오버랩 전극(30)은 전극배선(71)을 통해 게이트 구동회로(71)로부터 일정한 직류 전압 등을 인가 받아 전하를 축적한다. The gate overlap
게이트 전극(12)이 위치한 게이트 절연막(26) 상에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon) 따위의 반도체로 이루어진 반도체층(91)과 n형 불순물이 고농도 도핑된 n+ 수소화 비정질 실리콘으로 이루어진 저항성 접촉층(92)이 순차적으로 형성되어 있다. 여기서, 저항성 접촉층(92)은 게이트 전극(12)을 중심으로 양쪽으로 분리되어 있다. 저항성 접촉층(92) 위에는 소스 전극(93)과 드레인 전극(94)이 형성되어 있다. 소스 전극(93)과 드레인 전극(94) 역시 금속층으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있다. 데이터 배선 위에는 실 리콘 질화물(SiNx)을 포함한 재질의 보호막(95)이 형성되어 있다. 보호막(95)은 드레인 전극(94)을 드러내는 접촉구멍을 구비한다. 보호막(95) 위에는 박막 트랜지스터로부터 화상 신호를 받아 상판의 공통 전극과 함께 전기장을 생성하는 화소 전극(96)이 형성되어 있다. 화소 전극(96)은 게이트 오버랩 전극(30)과 동일한 층으로 형성되며, 접촉구멍을 통해 드레인 전극(94)과 물리적ㅇ전기적으로 연결되어 화상 신호를 전달 받는다. On the
데이터 팬아웃부(23)의 경우, 게이트 팬아웃부(13)와 유사하지만 데이터 팬아웃(25)과 겹쳐지는 데이터 오버랩 전극(40)은 게이트선(11)과 동일한 층으로 형성된다. 즉, 데이트 오버랩 전극(40)은 게이트 배선에 형성될 때 함께 패터닝되어 데이터 팬아웃(25)의 아래에 형성되고, 그 사이에는 실리콘 질화물(SiNx) 재질로 이루어진 게이트 절연막이 적층된다. 데이트 오버랩 전극(40)은 전극배선(81)을 통해 데이터 구동회로(63)와 연결되며, 데이터 구동회로(63)로부터 일정한 전압을 인가 받는다.In the case of the data fanout
도 3은 본 발명의 제 2 실시예를 설명하기 위한 단면도이며, 도 2와 동일한 구성요소에 대한 설명은 생략한다.3 is a cross-sectional view for describing a second embodiment of the present invention, and descriptions of the same components as in FIG. 2 will be omitted.
도시된 바와 같이, 게이트 오버랩 전극(30)은 소스 전극(93) 및 드레인 전극(94)과 동일한 층이 아닌, 화소 전극(96)과 동일한 층으로 형성된다. 즉, 게이트 팬아웃(15)와 게이트 오버랩 전극(30) 사이에는 실리콘 질화물(SiNx)로 이루어진 게이트 절연막(12) 및 보호막(90)이 적층되어 있다.As shown, the
게이트 오버랩 전극(30)은 보호막(90)의 형성 과정을 거친 후, 마지막으로 화소 전극(96)과 함께 패터닝되며, ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium tin oxide) 따위의 투명한 도전 물질로 만들어진다.After forming the
데이터 팬아웃부(23) 및 데이터 오버랩 전극(40)에 대한 설명은 게이트 팬아웃부(13) 및 게이트 오버랩 전극(40)에 대한 상기 내용과 유사하다. 데이터 팬아웃부(40)의 단면을 간단히 살펴보면, 절연기판(10) 위에 게이트 절연막(26) 및 보호막(90)이 순차적으로 적층되어 있고 그 위에 화소전극(90)과 동일한 층으로 데이터 오버랩 전극(40)이 형성되어 있다.The description of the data fanout
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 게이트 팬아웃부의 확대도이며, 도시되지 않은 구성요소는 도 1과 동일하다.4 is an enlarged view of a gate fan-out part according to another exemplary embodiment of the present invention, and components not shown are the same as those of FIG. 1.
복수의 게이트 팬아웃(15a, 15b)을 포함하는 게이트 팬아웃부(13)는 게이트 오버랩 전극(30)과 겹쳐져 있다. 게이트 팬아웃(15)은 직선형태가 아닌 지그재그 패턴으로 형성된 부분을 포함하며, 표시영역에 가깝게 배치될수록 배선 간격이 넓어진다. 지그재그 패턴의 간격은 게이트 팬아웃부(13)의 중심부에 위치하는 게이트 팬아웃(15a)와 외곽부에 위치하는 게이트 팬아웃(15b) 간에 차이가 있으며, 외곽부로 갈수록 지그재그의 간격이 넓어진다. 즉, 지그재그 패턴의 연장길이는 외곽부에서 중심부로 갈수록 더 길게 형성되는 것이 바람직하다. 지그재그 패턴이 아닌 직선 모양의 게이트 팬아웃(15)부분이 외곽부에서 중심부로 갈수록 짧아지므로 지그재그 패턴의 길이를 조정함으로써 전체적인 게이트 팬아웃(15)의 길이를 동일하게 할 수 있다. The gate fanout
이렇게 지그재그 패턴을 포함한 게이트 팬아웃(15)을 형성함으로써 각 게이 트 팬아웃(15)에서 발생하는 배선 간의 저항 차이를 보상할 수 있으며, 추가적으로 게이트 오버랩 전극(30)의 면적을 조절하여 각 팬아웃의 저항과 용량의 곱이 일정하도록 조정한다.이로써 각 팬아웃의 RC지연 차가 보상되고 전체적인 화질 개선이 이루어진다.By forming the
본 실시예에 대한 게이트 팬아웃(15)의 형상은 데이터 팬아웃(25)에도 동일하게 적용될 수 있으며, 도 1에 나타난 용량 보상과 더불어 저항 보상을 함께 적용함으로써 보다 효과적으로 RC 지연에 대응할 수 있다.The shape of the
비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명의 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 RC 지연을 보상하기 위한 신호선 팬아웃부의 다양한 구성 및 변경에 대한 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다. Although some embodiments of the invention have been shown and described, those skilled in the art will appreciate that various configurations of signal line fanouts can be used to compensate for RC delay without departing from the principles or spirit of the invention. It will be appreciated that this embodiment may be modified for modification. It is intended that the scope of the invention be defined by the claims appended hereto and their equivalents.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 게이트 팬아웃부 및 데이터 팬아웃부의 RC 지연을 보상할 수 있는 박막트랜지스터 기판이 제공된다. As described above, according to the present invention, a thin film transistor substrate capable of compensating for the RC delay of the gate fanout part and the data fanout part is provided.
Claims (9)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050004183A KR20060084147A (en) | 2005-01-17 | 2005-01-17 | Thin film transistor substate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050004183A KR20060084147A (en) | 2005-01-17 | 2005-01-17 | Thin film transistor substate |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060084147A true KR20060084147A (en) | 2006-07-24 |
Family
ID=37174286
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050004183A KR20060084147A (en) | 2005-01-17 | 2005-01-17 | Thin film transistor substate |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20060084147A (en) |
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