KR100854836B1 - 수동형 자기 위치 센서 - Google Patents

수동형 자기 위치 센서 Download PDF

Info

Publication number
KR100854836B1
KR100854836B1 KR1020037013465A KR20037013465A KR100854836B1 KR 100854836 B1 KR100854836 B1 KR 100854836B1 KR 1020037013465 A KR1020037013465 A KR 1020037013465A KR 20037013465 A KR20037013465 A KR 20037013465A KR 100854836 B1 KR100854836 B1 KR 100854836B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
permanent magnet
position sensor
contact spring
spring structure
magnetic
Prior art date
Application number
KR1020037013465A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040005918A (ko
Inventor
츠랏코 펜차르
칼 에크
Original Assignee
지멘스 악티엔게젤샤프트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 지멘스 악티엔게젤샤프트 filed Critical 지멘스 악티엔게젤샤프트
Publication of KR20040005918A publication Critical patent/KR20040005918A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100854836B1 publication Critical patent/KR100854836B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/16Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying resistance
    • G01D5/165Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying resistance by relative movement of a point of contact or actuation and a resistive track
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/25Selecting one or more conductors or channels from a plurality of conductors or channels, e.g. by closing contacts
    • G01D5/251Selecting one or more conductors or channels from a plurality of conductors or channels, e.g. by closing contacts one conductor or channel
    • G01D5/2515Selecting one or more conductors or channels from a plurality of conductors or channels, e.g. by closing contacts one conductor or channel with magnetically controlled switches, e.g. by movement of a magnet

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

본 발명은 저항 네트워크(2)를 가진 기판(1)으로 구성된 수동형 자기 위치 센서에 관한 것이고, 상기 저항 네트워크(2)는 기판(1)에 구성된다. 접촉 스프링 구조물(8)이 상기 저항 네트워크에 결합되고, 상기 구조물은 영구 자석(11)에 의해 편향될 수 있다. 접촉에 의하여 저항 네트워크(2) 및 접촉 스프링 구조물(8) 사이에 전기 연결이 형성되고, 상기 연결은 영구 자석(11)의 위치에 따라 결정된다. 접촉 스프링 구조물(8) 및 저항 구조물(2)은 소형 하우징(1,12)에 수용되고, 영구 자석(11)은 소형 하우징(1,12)의 외부에서 이동될 수 있다. 위치 센서가 영구 자석(11)에 대한 자력을 향상시키는 것에 관하여, 상기 영구 자석(11)은 접촉 스프링 구조물(8)의 변위 방향으로 분극된다. 비교란 자기장의 인력을 응집하기 위해 자속 안내 시스템(14,15a,15b)은 영구 자석(11)에 인접하여 구성된다.

Description

수동형 자기 위치 센서 {PASSIVE MAGNETIC POSITION SENSOR}
본 발명은 저항 네트워크를 구비한 기판을 포함하는 수동형 자기 위치 센서에 관한 것으로서, 상기 저항 네트워크는 상기 기판에 배치되고 접촉 스프링 구조물과 연결되며, 상기 접촉 스프링 구조물은 영구 자석의 작용하에 편향될 수 있으며, 저항 네트워크 및 접촉 스프링 구조물 사이의 전기 연결은 영구 자석의 위치에 따라 결정되는 접촉에 의해 형성되고, 접촉 스프링 구조물 및 저항 네트워크는 밀봉된 하우징에 밀폐되어 구성되며, 영구 자석은 밀봉된 하우징의 외부에서 이동가능하다.
상기 위치 센서는 DE 196 48 539 로부터 공지되어 있다. 상기 경우에 저항 네트워크 및 접촉 구조물은 기판에 구성된다. 위치가 결정되어질 가동 물체에 연결된 자기 장치는 접촉 스프링 구조물의 편향을 유발시켜, 상기 접촉 스프링 구조물이 저항 네트워크와 접촉되고, 가동 물체의 위치에 상응하는 출력 신호가 위치 센서에서 수신될 수 있다.
기술된 형태의 자기 위치 센서는 단지 수㎝의 길이를 가진다. 위치 센서의 신뢰성 있는 작동을 위해, 자석은 제한없이 크기면에서 증가될 수 없고, 이는 접촉 스프링 구조물의 많은 스프링 레그(leg)가 동시에 자석의 인력을 받는 결과를 형성하기 때문이며, 상기의 결과로 센서의 출력 신호는 더 이상 확실한 신호를 제공하 지 못하고, 결과적으로 더 이상 이용할 수 없다.
본 발명의 목적은 수동형 자기 위치 센서에 향상된 자력의 영구 자석을 제공하는 것이다.
본 발명에 따라 상기 목적이 달성되고, 본 발명에 따르면 영구 자석은 접촉 스프링 구조물의 운동 방향으로 분극되며, 비교란 자기장(undisturbed magnetic field)의 인력(force of attraction)을 응집하기 위한 자속 안내 장치가 영구 자석에 인접하여 구성된다.
본 발명의 장점에 따르면, 자속 안내 몸체로 인해 비교란 자기장의 패턴은 상기 비교란 자기장의 구배가 하우징에 대해 횡방향으로 증가되는 정도로 변화된다. 저항 네트워크 및 접촉 스프링 구조물을 가진 하우징이 삽입되지 않은 영구 자석에 의해 형성된 자기장은 비교란 자기장으로 간주될 수 있다. 상기 방법에 근거하여, 자기장의 힘은 기하학적 크기의 변화없이 증대될 수 있다.
본 발명에 따르면, 자속 안내 장치는 영구 자석에 조립될 수 있는 자기 침투성 캡(cap)으로서 형성된다. 상기 캡은 U자형 단면을 가지고, 상기 캡의 자유 단부에 가상 자극이 형성된다. 결과적으로, 하우징의 위치에서 센서 하우징에 대한 횡방향으로 자기장 구배의 현저한 증가가 형성되는 정도까지, 비교란 자기장(대기 중의 자기장)이 응집된다.
또 다른 실시예에 따르면, 자속 안내 장치는 2개의 추가 보조 자석을 포함하고, 영구 자석은 2개의 보조 자석 사이에 구성되며, 보조 자석의 자화 방향은 영구 자석의 자화 방향과 대향되어 형성된다.
하우징이 비자성으로 형성되고 따라서 힘이 접촉 스프링 구조물에 감쇠되지 않고 작용된다면, 영구 자석의 자력은 상기 경우에 특히 완전하게 이용될 수 있다.
본 발명은 다양한 실시예로 기술될 수 있다. 상기 실시예 중 하나가 도시된 도면을 참조하여 상세히 기술될 것이다.
도 1 은 전위차계로서 도시된 위치 센서의 실시예.
도 2 는 도체 트랙을 가진 저항기 트랙의 평면도.
도 3 은 도체 트랙을 가진 저항기 트랙의 단면도.
도 4 는 위치 센서의 출력 신호.
도 5 는 자속 안내 장치를 가진 자석의 제 1 실시예.
도 6 은 자속 안내 장치를 가진 자석의 제 2 실시예.
동일 특성은 전도면에서 동일 인용 부호로 도시되어 있다.
후막(thick film) 구성을 기본으로 하는 선형 수동형 자기 위치 센서의 구조가 전위차계의 형태로 도 1 에 개략적으로 도시되어 있다. 비자성 기판(1)은 저항기 트랙(2) 형태의 저항 네트워크를 지지하고, 상기 저항기 트랙(2)은 층의 형태이며, 전기 단자(5,6) 사이에서 연장구성된다.
도 2 에 도시된 바와 같이, 다수의 도체 트랙(3)이 기판에 동일 간격으로 저항기 트랙(2) 아래에서 서로 평행하게 구성된다. 상기 도체 트랙(3)은 저항기 트 랙(2)에 수직으로 기판(1)에 직접 적용되어졌다. 상기 도체 트랙(3)은 부분적으로 저항기 트랙(2)에 의해 덮여져 구성된다. 상기의 경우에, 각 도체 트랙(3)의 단부는 금 또는 은으로 코팅된 접촉 영역(4)을 형성한다.
도 3 의 단면도에 따르면, 확실한 전기 접촉을 위해 도체 트랙(3)은 저항기 트랙(2)의 영역에서 상기 저항기 트랙(2)에 의해 완전히 둘러싸여 구성된다. 도 1 에 따르면, 스페이서(spacer)(7)가 저항기 트랙(2)에 평행하게 기판에 구성되고, 상기 스페이서(7)에 일체형의 빗형상 굽힘빔(bending beam) 구조물(8)이 연자성 포일(foil)의 형태로 적용되어졌다. 상기에 대한 대안으로서, 상기 굽힘빔 구조물은 자기층이 구비된 비자성 재료로 구성된다. 상기 빗형상의 연자성 굽힘빔 구조물(8)은 일단에서 지지된 자유롭게 움직일 수 있는 가동 굽힘빔(9)을 포함한다. 상기 굽힘빔(9)은 접촉 저항을 감소시키기 위해 금 또는 은으로 전기코팅되어 구성된다.
스페이서(7)는 굽힘빔 구조물(8)의 자유가동 단부를 접촉 영역(4)으로부터 지정 거리만큼 이격시켜 유지시킨다. 굽힘빔(9)의 자유가동 단부는 접촉 영역(4)을 덮도록 구성된다. 상기 구성에서, 연자성 포일로서 형성된 굽힘빔 구조물(8)은 전기 전도성을 가지고, 외부 전기 단자(10)와 연결된다.
이미 설명한 바와 같이, 저항기 트랙(2)은 단자(5,6)를 통해 지면과 작동 전압(UB)에 전기적으로 연결된다. 위치 센서의 신호 전압(UOUT)은 굽힘빔 구조물(8)에 연결된 전기 단자(10)를 통해 수신될 수 있다. 신호 전압(UOUT)은 0볼트부터 UB까지 변화되고, 영구 자석(11)의 위치를 나타낸다.
저항기 트랙(2)을 지지하는 기판(1)의 원거리 측면에 대해 하우징(1,12)의 외부에서 이동가능하도록 구성된 영구 자석(11)은, 일단에서 지지된 굽힘빔(9)의 자유가동 단부에 의해 접촉 영역(4)이 덮여지는 영역에서 이동된다. 굽힘빔 구조물(8)의 굽힘빔(9)의 자유가동 단부는 영구 자석(11)의 자기장에 의해 접촉 영역(4)으로 이동되고 접촉된다. 영구 자석(11)의 위치에 상응하는 방법으로, 저항 네트워크의 관련 저항기에 대해 전기 연결이 형성되고, 상기 위치에 상응하는 신호 전압(UOUT)이 수신된다. 상기 경우에, 도 4 에 도시된 바와 같이 계단형 출력 신호가 발생된다.
서로 이웃하여 구성된 굽힘빔 구조물(8)의 다수의 자유가동 단부(9)가 상응 접촉 영역에 의해 동시에 접촉되고 결과적으로 중복되어 작동되도록, 영구 자석(11)의 폭이 결정되고, 따라서 어떤 접촉 중단이 발생하더라도 측정 시스템의 완전한 신호 고장을 초래하지 않는다.
저항기 트랙(2)을 지지하는 절연 기판(1)과 연자성 포일(8)은 세라믹 시트(ceramic sheet)를 포함한다. 상기는 동시에 위치 센서의 하우징 벽으로서 역할을 수행하고, 하우징 커버(12)에 의해 밀폐된다. 하우징 커버(12) 및 기판(1)의 재료는 상기 경우에 동일 또는 유사한 열팽창 계수를 가지고, 납땜, 용접 또는 부착될 수 있다.
비자성 하우징 커버(12)의 사용이 유리하다. 절연 기판(1)의 주변 변부로서 의 금속화된 층(17)은 위치 센서를 둘러싸는 역할을 수행한다. 납땜성의 향상을 위해 금속층(17)은 주석으로 코팅된다. 전기 단자(5,6,10)의 구성을 위해, 핀이 절연 기판(1)을 통해 삽입되고, 기밀 밀봉 및 부식 방지 방법으로 저항기 트랙(2) 또는 굽힘빔 구조물(8)에 납땜 또는 용접된다.
센서의 영역에서 자석(11)의 인력을 증가시키기 위해, 하우징 커버에 대해 횡방향으로 비교란 자기장(undisturbed magnetic field)(센서가 없는 자기장, 도 5 및 도 6 에 단지 하우징 커버(12)로 도시됨)의 구배가 상기 하우징 커버의 위치에서 증가된다. 상기는 다양한 방법으로 이루어질 수 있다.
인력의 증가를 위해 비교란 자기장을 응집하는 장치가 도 5 에 도시되어 있다. U자형 단면을 가진 자기 침투성 스틸캡(steel cap)(14)이 본래의 영구 자석(11)에 조립된다. 상기 경우에 영구 자석(11)의 남극이 기판(1)에 마주하도록 상기 영구 자석(11)이 분극된다. 자석(11)의 자화 방향은 상기 경우에 굽힘빔 구조물(8)의 굽힘빔(9)의 운동 방향에 상응한다. 가상 자극은 스틸캡(14)의 U자형 단면의 자유 단부에서 형성된다. 결과적으로, 기판(1)이 없는 비교란장(대기 중의 자기장)은 자기장 구배의 현저한 증가가 기판(1)의 위치에서 이루어지도록 응집된다.
기본 영구 자석(11)을 2개의 영구 자석(15a,15b)으로 측방향으로 둘러쌈으로써 동일한 효과를 얻을 수 있고, 상기 영구 자석(15a,15b)에는 영구 자석(11)의 자화와 반대 방향으로 자화가 형성된다.
본 발명에 따라 저항 네트워크를 가진 기판을 포함한 수동형 자기 위치 센서가 구성된다.

Claims (4)

  1. 저항 네트워크를 구비한 기판을 포함하고, 상기 저항 네트워크는 상기 기판에 배치되고 접촉 스프링 구조물과 연결되며, 상기 접촉 스프링 구조물은 영구 자석의 작용하에 편향될 수 있으며, 저항 네트워크 및 접촉 스프링 구조물 사이의 전기 연결은 영구 자석의 위치에 따라 결정되는 접촉에 의해 형성되고, 접촉 스프링 구조물 및 저항 네트워크는 밀봉된 하우징에 밀폐되어 구성되며, 영구 자석은 밀봉된 하우징의 외부에서 이동가능한, 수동형 위치 센서에 있어서,
    상기 영구 자석(11)은 상기 접촉 스프링 구조물(8)의 운동 방향으로 분극되고, 비교란 자기장의 인력의 집중도 증가를 위한 자속 안내 장치(14,15a,15b)는 상기 영구 자석(11)에 인접하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수동형 위치 센서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 자속 안내 장치(14,15a,15b)는 상기 영구 자석(11)에 조립될 수 있는 자기 침투성 캡(14)으로서 형성되는 것을 특징으로 하는 수동형 위치 센서.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 자속 안내 장치(14,15a,15b)는 2개의 추가 보조 자석(15a,15b)을 포함하고, 상기 영구 자석(11)은 상기 2개의 보조 자석(15a,15b) 사이에 구성되며, 상기 보조 자석(15a,15b)의 자화 방향은 상기 영구 자석(11)의 자화 방향과 대향되어 형성되는 것을 특징으로 하는 수동형 위치 센서.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징(1,12)은 비자성으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수동형 위치 센서.
KR1020037013465A 2001-04-19 2002-03-21 수동형 자기 위치 센서 KR100854836B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10119317A DE10119317A1 (de) 2001-04-19 2001-04-19 Passiver magnetischer Positionssensor
DE10119317.3 2001-04-19
PCT/DE2002/001034 WO2002086917A1 (de) 2001-04-19 2002-03-21 Passiver magnetischer positionssensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040005918A KR20040005918A (ko) 2004-01-16
KR100854836B1 true KR100854836B1 (ko) 2008-08-27

Family

ID=7682051

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020037013465A KR100854836B1 (ko) 2001-04-19 2002-03-21 수동형 자기 위치 센서

Country Status (9)

Country Link
US (1) US6803759B2 (ko)
EP (1) EP1380038B1 (ko)
JP (1) JP4181415B2 (ko)
KR (1) KR100854836B1 (ko)
CN (1) CN1235238C (ko)
BR (1) BR0208975A (ko)
DE (2) DE10119317A1 (ko)
ES (1) ES2248545T3 (ko)
WO (1) WO2002086917A1 (ko)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050139003A1 (en) * 2003-02-26 2005-06-30 Rudolph Bergsma Trust Hermetic fuel level sender
DE10308958A1 (de) * 2003-02-28 2004-09-09 Siemens Ag Magnetisch passiver Positions-Sensor, Verfahren zur Fertigung des magnetisch passiven Positions-Sensors
US7673509B2 (en) * 2006-01-04 2010-03-09 Rudolph Bergsma Trust Magnetically coupled drive for a sealed liquid level sender
EP1965176B1 (de) * 2007-03-01 2014-07-30 J. Wagner AG Sensor zum Erfassen der Position eines beweglichen magnetischen Objekts und eine den Sensor aufweisende Fördervorrichtung
JP4992690B2 (ja) * 2007-12-05 2012-08-08 株式会社デンソー 磁気的位置検出装置
JP4992689B2 (ja) * 2007-12-05 2012-08-08 株式会社デンソー 磁気的位置検出装置
DE102008011713A1 (de) * 2008-02-28 2009-09-03 Continental Automotive Gmbh Magnetischer passiver Positionssensor
WO2009130035A1 (de) * 2008-04-24 2009-10-29 Hirschmann Automotive Gmbh Magnetischer positionssensor mit einer abgreifschicht aus einem amorphen metall
DE102016213514A1 (de) * 2016-07-22 2018-01-25 Continental Automotive Gmbh Passiver magnetischer Positionssensor
EP3521779B1 (en) * 2018-01-31 2022-03-02 TI Automotive Technology Center GmbH Fuel level sensor
PL3839255T3 (pl) * 2019-12-19 2022-06-27 Contelec Ag Osiowa pompa tłokowa

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH682859A5 (de) * 1991-10-07 1993-11-30 Maurer Magnetic Ag Permanentmagnet mit geringem Streufeld.
US5315245A (en) 1992-02-27 1994-05-24 General Motors Corporation Sensor assembly having embedded wires within a powder metal core and a method therefor
DE19648539A1 (de) * 1996-11-25 1998-06-25 Mannesmann Vdo Ag Passiver magnetischer Positionssensor

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19803018C2 (de) * 1997-03-05 2000-09-07 Vs Sensorik Gmbh Magnetischer Meßwertaufnehmer

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH682859A5 (de) * 1991-10-07 1993-11-30 Maurer Magnetic Ag Permanentmagnet mit geringem Streufeld.
US5315245A (en) 1992-02-27 1994-05-24 General Motors Corporation Sensor assembly having embedded wires within a powder metal core and a method therefor
DE19648539A1 (de) * 1996-11-25 1998-06-25 Mannesmann Vdo Ag Passiver magnetischer Positionssensor

Also Published As

Publication number Publication date
DE50204029D1 (de) 2005-09-29
DE10119317A1 (de) 2002-10-31
JP2004525378A (ja) 2004-08-19
US6803759B2 (en) 2004-10-12
KR20040005918A (ko) 2004-01-16
EP1380038A1 (de) 2004-01-14
JP4181415B2 (ja) 2008-11-12
CN1503978A (zh) 2004-06-09
BR0208975A (pt) 2004-07-27
US20040130319A1 (en) 2004-07-08
ES2248545T3 (es) 2006-03-16
EP1380038B1 (de) 2005-08-24
WO2002086917A1 (de) 2002-10-31
CN1235238C (zh) 2006-01-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5798640A (en) Passive magnetic position sensor
KR100854836B1 (ko) 수동형 자기 위치 센서
ES2197276T3 (es) Sensor magnetico pasivo de posicion.
US5128641A (en) Magnetic switches
KR900014893A (ko) 이중자기감지체를 갖는 가속도계
GB1571751A (en) Angular position sensors
TWI270661B (en) Magnetic position sensor
FI66689B (fi) Givare foer fortgaoende observation av ett roerligt organ i enraktor eller motsvarande
JP2797876B2 (ja) 直線変位検出装置
US4065974A (en) Spring system comprising an adjustable spring
KR870008284A (ko) 자기헤드
US8330450B2 (en) Magnetic position sensor
US20070186432A1 (en) Measuring device for linear position recording
KR20050044883A (ko) 특정한 관성력에 반응하는 마그넷 스타일 관성센서
US3764952A (en) Galvanomagnetic resistance device
US4167726A (en) Magnetic liquid protector
JPS61148320A (ja) 傾斜角検知器
SU1744431A1 (ru) Бесконтактный датчик перемещени
JPH10142263A (ja) 電流検出装置
JPH07113524B2 (ja) 磁気抵抗素子を用いた位置検出装置
JPH0666504A (ja) 直線変位検出装置
KR101300028B1 (ko) 박막 직교형 플럭스게이트 센서 소자
JPH04254027A (ja) 磁気ダンパ装置
JPH0419564A (ja) 速度センサ装置
KR200391328Y1 (ko) 특정한 관성력에 반응하는 마그넷 스타일 관성센서

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110818

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120813

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee