ES2197276T3 - Sensor magnetico pasivo de posicion. - Google Patents

Sensor magnetico pasivo de posicion.

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ES2197276T3
ES2197276T3 ES97117774T ES97117774T ES2197276T3 ES 2197276 T3 ES2197276 T3 ES 2197276T3 ES 97117774 T ES97117774 T ES 97117774T ES 97117774 T ES97117774 T ES 97117774T ES 2197276 T3 ES2197276 T3 ES 2197276T3
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Abstract

LA PRESENTE INVENCION SE REFIERE A UN SENSOR DE POSICION MAGNETICO PASIVO, QUE CONSTA DE UN SUSTRATO CON UNA RED DE RESISTENCIAS INCLUIDA EN DICHO SUSTRATO, ASI COMO DE UNA ESTRUCTURA DE CONTACTOS QUE ESTA ASIGNADA A DICHA RED DE RESISTENCIAS Y PUEDE DESVIARSE CON LA ACCION DE UN DISPOSITIVO DE IMAN, CARACTERIZADO PORQUE SE CREA UNA UNION ELECTRICA ENTRE LA RED DE RESISTENCIAS Y LA ESTRUCTURA DE CONTACTOS QUE DEPENDE DE LA POSICION DEL DISPOSITIVO DE IMAN. PARA CREAR UN SENSOR DE POSICION QUE PRESENTE UNA ALTA RESOLUCION, SUFRA POCO DESGASTE Y TENGA UN DISEÑO FACIL DE CONSTRUIR, LA ESTRUCTURA DE CONTACTOS SE REALIZA COMO ESTRUCTURA DE RESORTES DE CONTACTOS (8) Y LOS PUNTOS DE UNION DE LA RED DE RESISTENCIAS (2) SE UNEN CON SUPERFICIES DE CONTACTO QUE TAMBIEN ESTAN ACOGIDAS EN EL SUSTRATO (1), EN DONDE LA ESTRUCTURA DE RESORTES DE CONTACTOS (8) SE DISPONE EN UNA DISTANCIA CONSTANTE CON RESPECTO A LAS SUPERFICIES DE CONTACTO (4) QUE ENTRAN EN CONTACTO CON LA ESTRUCTURA DE RESORTES DE CONTACTOS (8) DEBIDO A LA ACCION DEL DISPOSITIVO DE IMAN (11), EN DONDE AL MENOS LAS SUPERFICIES DE CONTACTO (4) Y LA ESTRUCTURA DE RESORTES DE CONTACTOS (8) ESTAN ENCERRADAS EN UNA CARCASA HERMETICA (1, 12) Y EL DISPOSITIVO DE IMAN (11) PUEDE MOVERSE POR FUERA DE LA CARCASA HERMETICA (1, 12) Y EN DONDE SE EMITE UNA SEÑAL DE SALIDA ESCALONADA EN LA ESTRUCTURA DE RESORTES DE CONTACTOS (8) QUE DEPENDE DE LA POSICION DEL DISPOSITIVO DE IMAN (11).

Description

Sensor magnético pasivo de posición.
La invención se refiere a un sensor magnético pasivo de posición según el preámbulo de la reivindicación 1 de la patente.
Se conoce por el documento DE 43 09 442 C2 un transmisor de posición de este tipo. La red deresistencias y la estructura de contacto están dispuestas en este caso sobre un substrato. Una conexión eléctrica entre la red de resistencias y la estructura de contacto, en la que se toma la señal de salida que corresponde a la posición del objeto movido, se realiza a través de un segundo substrato conductor. A través de una instalación magnética, que está conectada con el objeto móvil, o bien se desvía uno u otro substrato de tal forma que ambos se tocan y resulta una conexión eléctrica entre la red de resistencias y la estructura de contacto.
En virtud de la disposición alterna de la red de resistencias y de la estructura de substrato, la resolución del sensor de posición está limitada. Puesto que para el establecimiento de la conexión eléctrica están presentes dos puntos de transición de contacto, un sistema de este tipo no siempre funciona de manera fiable.
Se conoce por el documento US-PS 5.074.053 un sensor de posición de este tipo, en el que se lleva a cabo un contacto de una estructura de muelles de contacto con una banda de resistencia, donde la banda de resistencia está en contacto directo con la estructura de muelles de contacto. Sin embargo, en virtud de las resistencias de transición alternas, esto conduce a señales de salida inexactas.
Por lo tanto, la invención tiene el cometido de indicar un transmisor de posición, que funciona de una manera fiable y sin desgaste, presenta una resolución alta así como tiene una estructura sencilla de realizar.
Según la invención, el cometido se soluciona a través de las características de la reivindicación 1 de la patente.
La ventaja de la invención consiste en que el sensor de posición presenta una fiabilidad de contacto más elevada y al mismo tiempo una resolución más elevada, puesto que la red de resistencias y la estructura de muelles de contacto se tocan también directamente. La estructura de muelles de contacto puede ser en este caso cualquier estructura que presente elementos de resorte en forma de lengüeta de cualquier tipo, independientemente de que estos elementos de resorte son colocados individualmente o están configurados en combinación con varios elementos de resorte como estructura de una sola pieza. La mejora de la capacidad de contacto se realiza también a través de las superficies de contacto aplicadas sobre el substrato, con lo que es posible una estructura sin vibraciones y robusta del sensor de posición con dimensiones sólo reducidas, lo que es especialmente ventajoso para el empleo en automóviles. Se puede emplear de múltiples maneras tanto como resistencia de ajuste de 2 polos como también como potenciómetro de 3 polos.
La red de resistencias está realizada está realizada o bien como banda de resistencias en forma de capa en técnica de capa fina o en técnica de capa gruesa o bien a través de resistencias separadas de material semiconductor dotado como silicio o germanio, a través de resistencias fijas montadas separadas o de resistencias de capas separadas. Para la elevación de la exactitud se puede nivelar la red de resistencias.
De manera más ventajosa, las superficies de contacto están formadas por bandas de conductores, que están dispuestas total o parcialmente sobre la res de resistencias.
Como una alternativa a ello, las bandas de conductores pueden estar dispuestas directamente sobre el substrato a distancias predeterminadas, las cuales están cubiertas parcialmente con la red de resistencias, formando la parte no cubierta de cada banda de conductores la superficie de contacto.
Especialmente en el caso de la realización de la red de resistencias como banda de resistencias en forma de capa, las bandas de conductores permiten una detección exacta de la señal de salida.
Para la mejora adicional de la fiabilidad de la resistencia de contacto, las superficies de contacto sobre el substrato y sobre los muelles de contacto están provistas con una capa de metal noble.
Las bandas de conductores están configuradas en este caso de impedancia más baja que las resistencias individuales de la red de resistencias.
El substrato no conductor está constituido en este caso o bien de una placa de cerámica, de vidrio o de plástico. Pero también son concebibles otros materiales como silicio o material de placas de circuitos impresos de epóxido. También se puede emplear un substrato de metal aislado eléctricamente.
De manera más ventajosa, la carcasa del substrato aislante está formada como pared de la carcasa, que está cerrada con una cubierta de la carcasa.
Como una alternativa, el substrato y la estructura de muelle de contacto pueden estar moldeadas por inyección herméticamente en una carcasa de plástico.
Otras configuraciones están caracterizadas en las reivindicaciones dependientes.
La invención admite numerosas formas de realización, una de las cuales se explica en detalle en el dibujo con la ayuda de las figuras. En este caso:
La figura 1 muestra un primer ejemplo de realización del sensor de posición según la invención como potenciómetro.
La figura 2 muestra una banda de resistencias con bandas de conductores en una vista en planta superior.
La figura 3 muestra una banda de resistencias con bandas de conductores en sección.
La figura 4 muestra la disposición de la instalación magnética en el objeto móvil.
La figura 5 muestra una señal de salida del sensor de posición según la invención.
La figura 6 muestra un sensor de posición según la invención con elementos individuales de vigas de flexión.
La figura 7 muestra un sensor de posición según la invención como resistencia de ajuste.
La figura 8 muestra una red de resistencia en forma de resistencias separadas.
La figura 9 muestra un contacto de las conexiones eléctricas.
La figura 10 muestra un diagrama equivalente eléctrico del sensor de posición.
Las mismas características están identificadas en todas las figuras con los mismos signos de referencia.
En la figura 1 se representa de forma esquemática la estructura de un sensor magnético, pasivo, lineal de posición sobre la base de una disposición de capa gruesa en forma de un potenciómetro.
El substrato 1 no magnético lleva una red de resistencias en forma de una banda de resistencias 2 en forma de capa, que se extiende entre las conexiones eléctricas 5 y 6.
Como se deduce a partir de la figura 2, debajo de la banda de resistencias 2 a distancias regulares sobre el substrato están dispuestas varias bandas de conductores 3 paralelas entre sí. Estas bandas de conductores 3 están aplicadas perpendicularmente a la banda de resistencias 2 directamente sobre el substrato. Las bandas de conductores 3 son cubiertas parcialmente por la banda de resistencias 2. En este caso, el extremo de cada banda de conductores 3 forma una superficie de contacto 4, que está recubierta con oro o plata.
La representación en sección en la figura 3 muestra que las bandas de conductores 3 en la región de la banda de resistencias 2 están completamente rodeadas por ésta para garantizar un contacto eléctrico fiable. Según la figura 1, sobre el substrato 1, paralelamente a la banda de resistencias 2, está dispuesto un distanciador 7, sobre el que está aplicada una estructura de vigas de flexión 8 en forma de peine de una sola pieza, en forma de una lamina magnética blanda.
Como una alternativa, la estructura de vigas flexibles 8 está constituida de material no magnético, que está provisto con una capa magnética.
La estructura de vigas de flexión 8 magnética blanda en forma de peine está constituida por vigas de flexión 9 apoyadas unilateralmente, libremente móvil. Las vigas de flexión 9 están recubiertas galvánicamente con una capa de oro o de plata para la reducción de la resistencia de contacto.
El distanciador 7 mantiene los extremos libremente móviles de la estructura de vigas de flexión 8 a una distancia definida de las superficies de contacto 4.
Los extremos libremente móviles de las vigas de flexión 9 están dispuestos solapando las superficies de contacto 4. En este caso, la estructura de vigas de flexión 8 configurada como lámina magnética blanda es ella misma conductora de electricidad y está en conexión con la conexión eléctrica exterior 10.
La banda de resistencias 2 está conectada, como ya se ha explicado, a través de las conexiones 5 y 6, eléctricamente con masa y con la tensión de funcionamiento U_{B}. La tensión de señalización U_{AUS} del transmisor de la posición se puede tomar a través de la conexión eléctrica 10, que está conectada con la estructura de vigas de flexión 8. La tensión de señalización U_{AUS} es variable en el intervalo de 0 V a U_{B} y representa la posición de un imán permanente 11.
El imán permanente 11, que está dispuesto fuera de la carcasa 1, 12 de forma móvil con respecto al lado alejado del substrato 1 que lleva la banda de resistencias 2, se mueve en la región del solape de las superficies de contacto 4 con los extremos libremente móviles de las vigas de flexión 9 apoyadas en un lado. El imán permanente 11 puede estar pretensado en este caso por medio de un muelle, de tal forma que se puede mover con contacto a lo largo del lado exterior de la carcasa, por ejemplo el lado exterior del substrato.
La estructura se representa en la figura 4 en la vista en planta superior y en la vista lateral.
El sensor de posición, que está fijado en el lugar de montaje por medio de una instalación de encaje elástico 24, solamente está representado con la ayuda del substrato 1 y de la cubierta 12 de la carcasa así como de las conexiones eléctricas 5, 6, 10. El imán permanente 11 está dispuesto en el orificio 13 de una lámina de resorte 14 por aplicación de fuerza en un casquillo 15. La lámina de resorte 14 rodea, en el extremo opuesto a la fijación magnética, un eje de giro 16, que está conectado con el objeto móvil. También es posible una medición de la posición lineal a través de desplazamiento lineal de la lámina de resorte 14.
Los extremos libremente móviles de las vigas de flexión 9 de la estructura de vigas de flexión 8 son atraídos y contactados a través del campo magnético del imán permanente 11 sobre las superficies de contacto 4. De acuerdo con la posición del imán permanente 11 se genera una conexión eléctrica con las resistencias correspondientes de la red de resistencias y se detecta una tensión de la señal U_{AUS} que corresponde a esta posición. En este caso, se genera una señal de salida escalonada, como se representa en la figura 5.
La anchura del imán permanente 11 está dimensionada de tal forma que varios extremos 9 libremente móviles, que se encuentran adyacentes entre sí, de la estructura de vigas de flexión 8 son contactados al mismo tiempo con las superficies de contacto 4 correspondientes y, por lo tanto, actúan de forma redundante, de manera que las eventuales interrupciones del contacto no conducen al fallo completo de la señal del sistema de medición.
Esto se ilustra de nuevo en el diagrama equivalente eléctrico del sensor de posición según la figura 10.
Las resistencias individuales de la red de resistencias 2 pueden estar configuradas, como se ha descrito, como banda o como resistencias individuales separadas.
El contacto de los elementos de las vigas de flexión 9 con las superficies de contacto 4 en las bandas de conductores 3 conduce al cierre de un conmutador 23, con lo que se genera la señal de salida U_{AUS}.
El distanciador 7 está fijado por medio de una lámina adhesiva resistente a la temperatura y libre de gasificación tanto en la estructura de vigas de flexión 8 como también en el substrato aislante 1. Para el establecimiento de una conexión eléctrica directa, el distanciador 7 puede estar configurado metálico.
El distanciador 7 puede estar fabricado con preferencia también del mismo material que el substrato 1.
También se puede utilizar una estructura de vigas de flexión 8 doblada transversalmente para el mantenimiento de la distancia de las vigas de flexión 9 con respecto a las superficies de contacto 4.
El substrato aislante 1, que lleva la banda de resistencias 2 y la lámina magnética blanda 8, está constituida por una placa cerámica. Pero también es concebible el empleo de soportes de vidrio o de plástico o de placas metálicas revestidas de vidrio o de aislamiento, así como silicio o material de placas de circuitos impresos de epóxido.
El substrato aislante 1, que lleva la banda de resistencias 2, las bandas de conductores 3 con las superficies de contacto 4, el distanciador 7 así como la estructura de vigas de flexión 8, sirve al mismo tiempo como pared de la carcasa del sensor de posición, que se cierra con una cubierta 12 de la carcasa.
En una configuración, el distanciador 7 y la estructura de vigas de flexión 8 están presionados con la cubierta 12 de la carcasa contra el substrato 1 aislante y de esta manera están fijados adicionalmente en su posición.
El material de la cubierta 12 de la carcasa y el material del substrato 1 presentan en este caso los mismos o similares coeficientes de dilatación de la temperatura y se pueden estañar, soldar o encolar.
En el caso de utilización de una cubierta metálica 12 de la carcasa, la cubierta se puede galvanizar completamente para la protección contra la corrosión y para la mejora de la solubilidad.
En lugar de la cubierta metálica 12 de la carcasa, también se puede utilizar una cubierta de cerámica metalizada apta para soldadura.
Otra posibilidad consiste en encolar la tapa 12 de la carcasa con el substrato 1 con pegamento o con una lámina de fusión.
Una capa metálica 17 como borde circundante sobre el substrato aislante 1 sirve para el encapsulado del sensor de posición. Para la mejora de la capacidad de soldadura se galvaniza la capa metálica 17.
Para la realización de las conexiones eléctricas 5, 6, 10 se conducen clavijas a través del substrato aislante 1 y se estañan o sueldan de manera herméticamente allí y, por lo tanto, resistentes a la corrosión con la banda de resistencias 2 o bien con la estructura de vigas de flexión 8.
Pero como una alternativa, también los hilos de conexión 21 se pueden conducir a través de un paso de vidrio hermético hacia fuera, siendo conducido cada paso de vidrio o bien a través del substrato 1 o a través de la cubierta 12 de la carcasa.
En otra forma de realización, como se representa en la figura 9, los taladros de paso para las conexiones eléctricas, por ejemplo la conexión 5 en el substrato 1 (o la cubierta 12 de la carcasa) se cierran herméticamente a través de soldadura por medio de relleno del taladro de paso con medio de soldadura (20) sin hilos de conexión. El punto de soldadura 20b resultante sirve al mismo tiempo como conexión eléctrica para hilos 21 conducidos desde el exterior. De esta manera se impide de forma fiable que penetre humedad a través de los taladros de paso dentro del sensor de posición. La red de resistencias 2 está conectada con el punto de soldadura 20a por medio de una banda de conductores de conexión 19 que se encuentra sobre el substrato 1.
En la región del borde circundante 22, el substrato 1 y la cubierta 12 de la carcasa están estañados, soldados o encolados, como se ha descrito, sobre la capa metálica 17.
En lugar de la estructura de vigas de flexión 8 de una sola pieza descrita, se pueden utilizar elementos de vigas de flexión 18 individuales (figura 6). También estos elementos de vigas de flexión 18 están constituidos por una lámina magnética blanda y están configurados conductores de electricidad. Se fija igualmente por medio de una lámina autoadhesiva en el distanciador 7. Los elementos de vigas de flexión 18 están dimensionados de tal forma que retroceden por fuerza elástica propia sin medios auxiliares adicionales cuando cede la acción magnética. Esta recuperación automática se aplica también para la estructura de vigas de flexión descrita anteriormente.
Los elementos de vigas de flexión 18 están conectados eléctricamente con la toma 10 para el suministro de la señal de posición U_{AUS}. Estos elementos de vigas de flexión 18 pueden estar constituidos o bien de material magnético blando o de un material no magnético que está provisto con capas magnéticas. Los elementos de vigas de flexión están revestidos en este caso también parcialmente con una capa de metal noble.
Pero el sensor de posición descrito no sólo se puede emplear como potenciómetro, sino también como resistencia de ajuste. Como se deduce a partir de la figura 7, la banda de resistencias 2 se conecta en este caso con una conexión 5 y la estructura de vigas de flexión se conecta con la toma 10 para la toma de una señal de la resistencia.
Tanto la realización del sensor magnético de posición como también el potenciómetro lo mismo que la resistencia de ajuste pueden estar fabricados, como se ha descrito, de manera sencilla en técnica de capa gruesa. En este caso, el espesor de la capa es de 5 a 50 \mum. La anchura es aproximadamente 0,2 mm y la longitud es aproximadamente 100 mm. Las capas son aplicadas en técnica de capa gruesa conocida con impresión con tamiz de seda y a continuación son secadas al horno.
Pero la red de resistencias 2 del sensor de posición se puede fabricar sobre el substrato también en técnica de capa fina. Aquí el espesor de capa es habitualmente de 0,5 a 2 \mum, la anchura de la capa se selecciona entre 5 \mum y 5 mm, mientras que la longitud de la capa es de 1 mm a 100 mm.
Las bandas de conductores 3 o bien se encuentran entre el substrato 1 y la banda de resistencia 2 o la banda de resistencia 2 está dispuesta directamente sobre el substrato 1 y las bandas de conductores 3 están dispuestas en la configuración descrita sobre la banda de resistencias 2. Esto tiene la ventaja de que toda la superficie de una banda de conductores 3 se puede utilizar como superficie de contacto 4 de la manera descrita. Pero también es concebible que la banda de resistencias 2 y las superficies de contacto 4 sean aplicadas en un patrón sobre el substrato.
En otra configuración, la red de resistencias 2 está constituida por una yuxtaposición de n resistencias 2 individuales. A cada nodo de resistencias está asociada una superficie de contacto 4 sobre una banda de conductores 3 (figura 8).
La superficie de contacto 4 y las resistencias separadas 2 están constituidas en este caso de diferente material, estando configurada la resistencia 2 con una impedancia al menos en el facto 10 más alta que la banda de conductores 3.
Las resistencias 2 propiamente dichas están constituidas en este caso de material semiconductor dotado como silicio o germanio y se pueden fabricar con los procesos de fabricación de semiconductores conocidos.
Para la reducción de las tolerancias de fabricación se pueden nivelar las resistencias de la capa o las resistencias individuales.

Claims (32)

1. Sensor pasivo de posición, que consta de un substrato (1), con una red de resistencias (2, 3, 4) aplicada sobre este substrato, y una estructura de contacto (8, 9), que está asociada a la red de resistencias y que se puede desviar bajo la acción de una instalación magnética (11), donde se establece una conexión eléctrica entre la red de resistencias y la estructura de contacto, que depende de la posición de la instalación magnética, y la estructura de contacto está configurada como estructura de muelle de contacto, que está incluida en una carcasa (1, 12), y la instalación magnética se puede mover fuera de la carcasa, donde en función de la posición de la instalación magnética se puede tomar una señal de salida (U_{aus}) escalonada en la estructura de muelle de contacto, caracterizado porque los puntos nodales de la red de resistencias (2) están conectados con superficies de contacto (4) aplicadas igualmente sobre el substrato (1), donde la estructura de muelle de contacto (8) está dispuesta a una distancia constante de las superficies de contacto (4) que, en uso, entran en contacto con la estructura de muelle de contacto (8) bajo la acción de la instalación magnética (11), y donde al menos las superficies de contacto (4) y la estructura de muelle de contacto (8) están incluidas en la carcasa hermética (1, 12) y la señal de salida escalonada se puede tomar en la estructura de muelle de contacto (8) solamente a través de su contacto con las superficies de contacto (4) de la red de resistencias.
2. Sensor de posición según la reivindicación 1, caracterizado porque sobre el substrato (1) están dispuestas bandas de conductores (3) a distancias predeterminadas y el extremo de cada banda de conductores forma la superficie de contacto (4).
3. Sensor de posición según la reivindicación 1 ó 2, caracterizado porque la red de resistencias (2) está configurada como banda de resistencias en forma de capa.
4. Sensor de posición según la reivindicación 3, caracterizado porque la banda de resistencias (2) presenta una estructura en forma de meandro.
5. Sensor de posición según la reivindicación 4, caracterizado porque las superficies de contacto (4) se conectan directamente en la estructura en forma de meandro.
6. Sensor de posición según una de las reivindicaciones anteriores 3 y 4, caracterizado porque la banda de resistencias (2) está fabricada en la técnica de capa fina.
7. Sensor de posición según una de las reivindicaciones anteriores 3 y 4, caracterizado porque la banda de resistencias (2) está fabricada en la técnica de capa gruesa.
8. Sensor de posición según una de las reivindicaciones 2 a 7, caracterizado porque las bandas de conductores (3) están dispuestas total o parcialmente a distancias predeterminadas sobre la banda de resistencias (2).
9. Sensor de posición según una de las reivindicaciones 2 a 7, caracterizado porque las bandas de conductores (3) están parcialmente recubiertas con la banda de resistencias (2) y el extremo de cada banda de conductores (3) forma la superficie de contacto (4).
10. Sensor de posición según la reivindicación 1, caracterizado porque la red de resistencias (2) está constituida por resistencias individuales separadas.
11. Sensor de posición según la reivindicación 10, caracterizado porque las resistencias individuales están fabricadas de material semiconductor dotado.
12. Sensor de posición según la reivindicación 10, caracterizado porque las resistencias individuales son resistencias fijas montadas separadas.
13. Sensor de posición según la reivindicación 10, caracterizado porque las resistencias individuales son resistencias de capa separadas.
14. Sensor de posición según una de las reivindicaciones anteriores 1 y 9, caracterizado porque las bandas de conductores (3) están configuradas de impedancia más baja que las resistencias individuales de la red de resistencias (2).
15. Sensor de posición según una de las reivindicaciones anteriores 1, 6, 7 ó 10, caracterizado porque la red de resistencias (2) está adaptada para la elevación de la exactitud.
16. Sensor de posición según la reivindicación 1, caracterizado porque las superficies de contacto (4) dispuestas sobre el substrato presentan una capa de metal noble.
17. Sensor de posición según una de las reivindicaciones 1 ó 16, caracterizado porque el substrato (1) está constituido de cerámica, silicio, vidrio, material de circuitos impresos de epóxido o de un substrato de metal de aislamiento eléctrico.
18. Sensor de posición según la reivindicación 1, caracterizado porque la estructura de muelle de contacto (8) está constituida por muelles de contacto separados (18).
19. Sensor de posición según la reivindicación 1, caracterizado porque la estructura de muelles de contacto (8) es una estructura de vigas de flexión de una sola pieza.
20. Sensor de posición según la reivindicación 18 ó 19, caracterizado porque la estructura de muelles de contacto (8) está constituida de metal magnético blando.
21. Sensor de posición según la reivindicación 18 ó 19, caracterizado porque la estructura de muelles de contacto (8) está constituida de material no magnético, que está provisto con al menos una capa magnética.
22. Sensor de posición según la reivindicación 18, 19, 20 ó 21, caracterizado porque la estructura de muelle de contacto (8) está provista con una capa de metal noble al menos en sus superficies de contacto eléctrico.
23. Sensor de posición según una de las reivindicaciones 18 a 22, caracterizado porque se activan al menos dos muelles de contacto (9) de la estructura de muelles de contacto (8) al mismo tiempo a través de la instalación magnética (11).
24. Sensor de posición según una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque la estructura de muelles de contacto (8) y el substrato (1) están fabricados del mismo material.
25. Sensor de posición según una de las reivindicaciones anteriores 1, 16 ó 17, caracterizado porque el substrato aislante (1) sirve al mismo tiempo como pared de la carcasa, que está cerrada con una cubierta (12) de la carcasa.
26. Sensor de posición según la reivindicación 25, caracterizado el substrato (1) y la cubierta (12) de la carcasa están constituidos de materiales con los mismos o similares coeficientes de dilatación de la temperatura.
27. Sensor de posición según la reivindicación 25 ó 26, caracterizado porque la cubierta (12) de la carcasa y el substrato (1) están estañados, soldados o encolados herméticamente.
28. Sensor de posición según la reivindicación 24, caracterizado porque el substrato (1) y la estructura de muelles de contacto (8) está constituido de material semiconductor.
29. Sensor de posición según la reivindicación 28, caracterizado porque el substrato (1) y la estructura de muelles de contacto (8) están encapsulados herméticamente en una carcasa de plástico.
30. Sensor de posición según la reivindicación 1, caracterizado porque la instalación magnética (11) está pretensada contra el lado exterior de la carcasa (1, 12), de manera que se puede mover haciendo contacto ligero.
31. Sensor de posición según la reivindicación 30, caracterizado porque la tensión previa es generada por medio de un elemento de muelle (14), que sirve al mismo tiempo para el alojamiento de la instalación magnética (11).
32. Sensor de posición según la reivindicación 1, caracterizado porque al menos una conexión eléctrica (5) de la red de resistencias (2) y una conexión eléctrica (10) de la estructura de muelles de contacto (8) están guiadas cerradas herméticamente hacia el exterior.
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