KR100848283B1 - 자동 큐어 오븐 - Google Patents

Abstract

본 발명은 자동 큐어 오븐에 관한 것으로서, 상세하게는 다수개의 히터가 구비된 온도 공조부와, 상기 온도 공조부의 하부에 형성되어, 상기 매거진을 큐어시키는 본체와 상기 본체의 하부에 설치되어, 상기 매거진을 이송시키는 구동장치와 상기 구동장치와 전기적으로 연결됨과 아울러 그 구동장치를 제어하는 제어부로 구성되어, 반도체 패키지가 수납된 메거진을 자동화된 오븐으로 큐어 시킴으로써, 반도체 패키지의 큐어 시간을 단축시켜 생산성을 향상되게 하는 효과가 있다.

매거진, 반도체 패키지, 큐어, 오븐, 자동화

Description

자동 큐어 오븐 { Auto cure oven }

도 1은 종래 반도체 패키지 제조용 오븐을 나타낸 정면도이다.

도 2는 종래 반도체 패키지 제조용 오븐의 주요 부위를 나타낸 단면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐을 나타낸 사시도이다.

도 4는 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐에 있어, 온도 공조부 내부와 챔버의 내부를 보인 사시도이다.

도 5는 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐에 있어, 이송부를 나타낸 사시도이다.

도 6은 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐에 있어, 구동장치를 보인 개념도이다.

도 7은 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐에 있어, 이송장치를 나타낸 단면도 이다.

도 8a 내지 도 8d는 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐에 있어, 매거진이 이송되는 과정을 나타낸 단면도이다.

도 9는 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐에 있어, 매거진의 이동경로를 나타낸 도면이다.

<도면의 주요부분에 관한 부호의 설명>

1 : 자동 큐어 오븐 100 : 온도 공조부

110 : 히터 200 : 본체

210 : 송풍관 300 : 구동장치

310(a,b,c,d,e,f) : 제 1 이동실린더 311 : 제 1 푸셔부재

320(a,b,c) : 제 1 작동실린더 330(a,b,c) : 제 1 리프트실린더

340(a,b) : 제 1 도어실린더 350(a,b) : 제 2 도어실린더

360 : 제 2 작동실린더 370 : 제 2 이동실린더

371 : 제 2 푸셔부재 380 : 제 2 리프트실린더

390 : 제 3 작동실린더 391 : 제 3 푸셔부재

400 : 제어부 410 : 운전조작부

420 : 디스플레이부 500 : 챔버

510 : 이송장치 511 : 테이블

512 : 이송부 512a : 이송부재

512a' : 걸림돌기 512b : 연결부재

512c: 지지봉 513 : 센서

520(a,b) : 입출도어 530 : 분리벽

531(a,b) : 분리도어 540a : 제 1 챔버버

540b : 제 2 챔버부 540c : 제 3 챔버부

600 : 로딩부 610 : 테이블

611(a,b) : 센서 700 : 쿨링실

710 : 개폐도어 711 : 투시창

M : 매거진 F; : 펜

본 발명은 자동 큐어 오븐에 관한것으로, 보다 상세하게는 패키지가 수납된 메거진을 자동화된 오븐으로 큐어시킴으로써, 반도체 패키지의 큐어 시간이 단축되어 생상성이 향상되는 자동 큐어 오븐에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 패키지의 제조공정은 웨이퍼를 각각의 반도체칩으로 절단하는 소잉공정(Sawing Process)과, 절단된 반도체칩을 리드프레임 또는 인쇄회로기판(PCB) 등에 접착하는 다이어태치공정(Die Attach Process), 상기 반도체칩의 본딩패드와 리드프레임의 각 리드를 골드와이어로 회로적으로 연결해 주는 와이어본딩공정(WireBonding Process)과 상기 와이어본딩된 반도체칩을 외부환경으로부터 보호하고, USER의 사용이 가능하도록 합성수지로 둘러싸 패키지를 형성시키는 엔캡슐레이션(encapsulation) 공정 및 상기 패키지를 오븐(oven)에 투입하여 엔캡슐런트를 경화시키는 큐어 공정을 수행하게 된다.

상기한, 큐어공정은 상기 패키지를 오븐 내부의 선반형태의 테이블로 작업자 가 운반하고, 내부에서 가열한 후, 다시 작업자가 끄집어내어 실시한다.

그러나, 작업자가 패키지의 큐어(cure)공정을 진행하기 위해서는 작업자가 직접 패키지를 오븐 내부의 테이블로 이동시키게 되고, 큐어공정이 끝난 패키지를 재차 오븐에서 꺼내야 하는 번거로움과 시간적인 손실이 있는 문제점이 있었고, 작업을 신속히 하기 위하여 패키지가 형성되는 즉시 연속하여 패키지를 오븐으로 이동시키면 오븐의 입구를 자주 개폐함에 따라 오븐 내부의 온도가 변하여 공정불량이 발생하거나 오븐 내부의 고온의 공기에 의해 작업자가 부상을 입는 문제점이 있었다.

또한, 가열을 마친 패키지를 작업자가 내열재료로 형성된 장갑을 사용하여 오븐으로부터 끄집어 내야 하므로 작업이 매우 위험하고, 번거로운 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 해결하고자 안출된 종래 큐어 오븐을 도 1과 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

첨부된 도 1은 종래 반도체 패키지 제조용 오븐을 나타낸 정면도이고, 도 2는 종래 반도체 패키지 제조용 오븐의 주요 부위를 나타낸 단면도이다.

도시된 바와 같이, 오븐의 본체(10)에는 다수의 챔버(30)가 구비되고, 상기 각 챔버(30)의 전방부에는 챔버(30)를 개폐하기 위한 도어(20)들이 설치된다.

또한, 상기 챔버(30)의 내부에는 접착제에 의해 반도체칩이 부착된 리드프레임 또는 인쇄회로기판(이하, 반도체 패키지 반제품)(42)이 수납되는 매거진(Magazine)(40)이 설치된다.

이때, 상기 매거진(40)에는 반도체 패키지 반제품(42)의 수납을 위한 다수의 슬롯(41)이 구비된다.

그리고, 상기 각 챔버(30)에는 내부를 50℃~200℃의 온도로 가열시켜 반도체 패키지 반제품(42)을 가열시키며 접착제(주로, 에폭시 수지)를 경화시키기 위한 가열수단(50)이 구비된다.

상기 가열수단(50)은 히터(51)와 송풍팬(52)으로 구성되어 상기 가열수단(50)에 의해 가열된 열풍을 챔버(30)의 내부로 순환시킨다.

이때, 상기 챔버(30)의 양측 벽면에는 상기 가열수단(50)에 의해 가열된 열풍이 순환되기 위한 다수의 통공(31)이 형성된다.

또한, 상기 챔버(30)에는 내부의 각 반도체 패키지 반제품(42)의 가열이 종료된 후, 상기 각 챔버(30)에는 내부를 서냉시켜 원래의 상온 상태로 되돌릴 수 있도록 냉각파이프(60)가 더 구비된다.

이와 같이 구성된 종래 반도체 패키지 제조용 오븐은 챔버(30)의 내부에 장착된 매거진(40)에 반도체 패키지 반제품(42)을 수납하고 챔버(30)의 도어(20)를 닫은 후, 가열수단(50)을 이용하여 상기 반도체 패키지 반제품(42)의 접착제를 고온의 열을 가하여 경화시킨다.

접착제가 경화된 후, 냉각파이프(60)를 작동시켜 상기 도어(20)를 열고 매거진(40)에 수납된 반도체 패키지를 꺼낼 수 있도록 챔버(30)의 내부를 상온 상태로 서서히 냉각시키면 다이어태치공정의 경화과정이 종료된다.

그러나, 상기 큐어 오븐은 각각의 챔버를 가열하고 그 챔버를 냉각시킨 상태 에서 반도체 패키지를 꺼내게 되고, 다시 큐어공정을 위해 상기 챔버를 가열하게 됨으로써, 반복적으로 각각의 챔버를 가열, 냉각하여 효율이 떨어지게 되는 문제점이 있었고, 이러한 반복적인 가열, 냉각으로 인해 공정의 지연과 시간적인 손실이 발생되어 생산성이 저하되는 문제점이 상존하였던 것이다.

본 발명은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 패키지가 수납된 메거진을 자동화된 오븐으로 큐어시킴으로써, 반도체 패키지의 큐어 시간이 단축되어 생상성이 향상되는 자동 큐어 오븐을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 리드프렘임에 고정된 칩을 외부환경으로부터 보호하기 위하여 합성수지로 둘러싸 패키지를 형성하는 리드프레임 몰딩공정을 마친 후에 상기 합성수지의 경도를 높이도록 상기 패키지들이 수납되는 매거진을 큐어하는 오븐에 있어서, 다수개의 히터가 구비된 온도 공조부와, 상기 온도 공조부의 하부에 형성되어, 상기 매거진을 큐어시키는 본체와 상기 본체의 하부에 설치되어, 상기 매거진을 이송시키는 구동장치와 상기 구동장치와 전기적으로 연결됨과 아울러 그 구동장치를 제어하는 제어부로 구성된다.

또한, 상기 본체는 다수개의 송풍관에 의해 상기 히터와 연결되며, 내부에는 상기 매거진을 이송시키는 다수개의 이송장치가 구비됨과 아울러 입출도어가 구비된 챔버와 상기 챔버의 일면에 형성되어 상기 매거진을 상기 챔버의 입출도어로 이동시키는 것으로서, 상기 매거진을 지지하는 테이블이 구비되고, 상기 테이블에는 다수개의 센서가 설치된 로딩부와, 상기 챔버의 일단에 형성되어 그 챔버에서 가열되어진 매거진을 일정온도로 낮추는 쿨링실로 구성된다.

또한, 상기 챔버의 내부는 상기 히터에 의해 각각이 다른 온도로 상기 매거진을 가열하도록, 분리도어가 한조의 분리벽에 의해 내부가 제 1 챔버부, 제 2 챔버부, 제 3 챔버부로 구획, 분할된다.

또한, 상기 이송장치는 상기 매거진을 지지하는 테이블과 상기 테이블에 설치되어 상기 매거진을 이송시키는 이송부와, 상기 테이블에 설치되고, 상기 매거진의 이동을 감지한 후 전기적 신호를 상기 제어부로 전달시키는 다수개의 센서로 구성된다.

또한, 상기 이송부는 상기 매거진이 안착, 걸림되어 이동되도록 길이방향으로 다수개의 걸림돌기가 형성되고, 하부에는 길이방향으로 지지봉이 장착된 한쌍의 이송부재가 서로 마주보도록 배치되어 한쌍의 연결부재에 의해 상호 연결된다.

또한, 상기 쿨링실에는 일측면에 팬이 구비되며, 상기 매거진이 외부로 배출되도록 개폐도어가 구비되며, 상기 개패도어는 투시창이 구비되어 상기 쿨링실 내부에 정렬된 상기 매거진을 육안으로 확인할 수 있도록 구성된다.

또한, 상기 구동장치는 상기 본체의 하부에 설치되어, 상기 제어부의 전기적신호를 인가받아 상기 이송장치의 이송부 및 입출도어, 분리도어, 개폐도어를 구동시키는 것으로서, 상기 구동장치는 상기 매거진을 이송부로 이동시킴과 아울러 각각의 제 1 챔버부, 제 2 챔버부, 제 3 챔버부와 쿨링실로 이동시키는 제 1 푸셔부재가 구비된 다수개의 제 1 이동실린더와 상기 지지봉과 연결되어 상기 이송부를 전,후로 이동시키는 제 1 작동실린더와, 상기 제 1 작동실린더의 하부에 설치되어, 그 제 1 작동실린더를 상,하로 이동시키는 제 1 리프트 실린더와, 상기 입출도어를 개폐시키는 한조의 제 1 도어 실린더와, 상기 분리도어를 개폐시키는 한조의 제 2 도어 실린더와, 상기 제 2 챔버부에 설치되어 상기 이송부를 전,후로 이동시키는 한조의 제 2 작동실린더와, 상기 로딩부에 배치된 매거진을 이동시키도록 일단에 제 2 푸셔부재가 구비된 제 2 이동실린더와, 상기 제 2 작동실린더를 상, 하로 이동시키는 한조의 제 2 리프트 실린더와, 상기 쿨링실로 이동된 매거진을 순차적으로 정렬시키는 제 3 푸셔부재가 구비된 제 3 작동실린더로 구성된다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

또한, 하기 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 단지 예시로 제시하는 것이며, 본 기술 사상을 통해 구현되는 다양한 실시예가 있을 수 있다.

도 3은 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐을 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐에 있어, 온도 공조부 내부와 챔버의 내부를 보인 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐에 있어, 이송부를 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐에 있어, 구동장치를 보인 개념도이며, 도 7은 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐에 있어, 이송장치를 나타낸 단면도이고, 도 8a 내지 도 8d는 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐에 있어, 매거진이 이송되는 과정을 나타낸 단면도이며, 도 9는 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐에 있어, 매거진의 이동경로를 나타낸 도면이다.

본 발명인 자동 큐어 오븐(1)은 다수개의 히터(110)가 구비된 온도 공조부(100)와 상기 온도 공조부(100)의 하부에 형성되어, 상기 매거진(M)을 큐어시키는 본체(200)와 상기 본체(200)의 하부에 설치되어, 상기 매거진(M)을 이송시키는 구동장치(300)와 상기 구동장치(300)를 전기적으로 제어하는 제어부(400)로 구성된다.

여기서, 상기 본체(200)는 상기 매거진(M)을 가열하여 그 매거진(M) 내부에 수납된 다수개의 패키지(도시생략)를 큐어시키는 것으로서, 상기 매거진(M)을 이송시키는 다수개의 이송장치(510)가 구비됨과 아울러 입출도어(520a,520b)가 구비된 챔버(500)가 형성되고, 상기 챔버(500)의 일면에는 로딩부(600)가 설치되는데 그 로딩부(600)에는 상기 매거진(M)을 지지하는 테이블(610)이 구비되고, 상기 테이블(610)에는 다수개의 센서(611)가 설치된다. 또한, 상기 본체(200)는 다수개의 송풍관(210)에 의해 상기 히터(110)와 연결되며, 상기 챔버의 내부에는 상기 매거 진(M)을 이송시키는 다수개의 이송장치(510)가 구비되고, 상기 챔버(500)의 일단에 형성되어 그 챔버(500)에서 가열되어진 매거진(M)을 일정온도로 낮추는 쿨링실(700)이 구비된다.

그리고, 상기 챔버(500)의 내부는 상기 히터(110)에 의해 각각이 다른 온도로 상기 매거진(M)을 가열하여 빠른시간에 순차적으로 그 매거진(M) 내부의 패키지를 큐어시키도록 분리도어(531a,531b)가 구비된 한조의 분리벽(530)에 의해 제 1 챔버부(540a), 제 2 챔버부(540b), 제 3 챔버부(540c)로 구획, 분할된다.

그리고, 상기 챔버(500) 내부의 제 1 챔버부(540a), 제 2 챔버부(540b), 제 3 챔버부(540c)에는 상기 매거진(M)을 이동시키는 이송장치(510)가 설치되는바, 이에 이와 같은 상기 이송장치(510)는 상기 각각의 제 1 챔버부(540a), 제 2 챔버부(540b), 제 3 챔버부(540c)의 저면에 테이블(511)이 형성되고, 그 테이블에는 상기 매거진(M)을 이송시키는 이송부(512)가 설치됨과 아울러 상기 매거진(M)의 이동을 감지한 후 전기적 신호를 상기 제어부(400)로 전달시키는 다수개의 센서(513)가 설치된다.

또한, 상기 이송부(512)는 상기 매거진(M)이 안착, 걸림되어 이동되도록 길이방향으로 다수개의 걸림돌기(512a')가 형성되고, 하부에는 길이방향으로 지지봉(512c)이 장착된 한쌍의 이송부재(512a)가 서로 마주보도록 배치되어 한쌍의 연결부재(512b)에 의해 상호 연결되며, 상기 지지봉(512c)은 후술될 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)에 장착되어 상기 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)에 의해 그 지지봉(512c)과 연동된 이송부(512)가 전,후진하게 된다.

그리고, 상기 쿨링실(700)은 상기 챔버(500)에서 큐어된 매거진(M)을 작업자가 이동시킬 수 있도록 그 매거진(M)을 일정온도로 낮추는 것으로서, 이러한 쿨링실은 일측면 팬(F)이 구비되어 내부에 수납되는 상기 매거진(M)의 온도를 낮추게 되고, 상기 매거진(M)이 외부로 배출되도록 개폐도어(720)가 구비되고, 상기 개패도어(720)는 투시창(721)이 구비되어 상기 쿨링실(700) 내부에 정렬된 상기 매거진(M)을 육안으로 확인할 수 있게 된다.

그리고, 상기 구동장치(300)는 상기 본체(200)의 하부에 설치되어, 상기 제어부(400)의 전기적신호를 인가받아 상기 이송부(512) 및 입출도어(520a,520b), 분리도어(531a,531b), 개폐도어(710)를 구동시키는 것으로서, 상기 매거진(M)을 챔버(500)와 쿨링실(700)로 이동시키는 제1,2이동실린더(310a,310b,310c,310d,310f,370)와, 상기 이송부(512)를 이동시키는 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)와, 상기 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)의 양측에 설치되는 제 2 작동실린더(360)와 상기 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)의 하부에 설치되는 제 1 리프트실린더(330a,330b,330c)와 상기 입출도어(520a,520b), 분리도어(531a,531b)를 작동시키는 한조의 제 1 도어실린더(340a,340b), 제 2 도어실린더(350a,350b)와 상기 로딩부(600)에 설치되는 제 2 이동실린더(370)와 상기 제 2 작동실린더(370)의 하부에 설치되는 한조의 제 2 리프트 실린더(380)와 상기 쿨링실(700)의 하부에 구비되는 제 2 작동실린더(360)로 구성된다.

여기서, 상기 이동실린더(310a,310b,310c,310e,310f)는 상기 본체의 하단부에 다수개가 설치되며, 일단에 제 1 푸셔부재(311)가 장착되어, 상기 이동실린더(310a,310b,310c,310e,310f)의 작동에 의해 상기 매거진(M)을 이송부(512)로 이동시킴과 아울러 각각의 제 1 챔버부(540a), 제 2 챔버부(540b), 제 3 챔버부(540c)와 쿨링실(700)로 순차적으로 이동시키게 된다.

또한, 상기 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)는 상기 지지봉(512c)과 연결되어 상기 이송부(512)를 전,후로 이동시키고, 제 1 리프트 실린더(330a,330b,330c)는 상기 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)의 하부에 설치되어, 그 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)를 상,하로 이동시키게 된다. 그리고, 상기 한조의 제 1 도어 실린더(340a,340b)와 제 2 도어 실린더(350a,350b)는 상기 입출도어(520a,530b)와 상기 분리도어(531a,531b)를 상하로 이동시켜 상기 매거진(M)이 이동될 수 있도록 함과 아울러 상기 챔버(500) 내부의 온도를 유지시킬 수 있게 된다.

이때, 상기 제 2 챔버부(540b)에는 상기 이송부(512)를 전,후로 이동시키는 한조의 제 2 작동실린더(360)가 설치되는바, 이에 이와 같은 상기 제 2 작동실린더(360)는 상기 제 2 챔버(540b) 내부에 설치된 제 1 작동실린더(320b)를 중심으로 양측에 대응되도록 설치된다.

또한, 상기 로딩부(600)의 하부에는 그 로딩부(600)에 배치된 매거진(M)을 이동시키도록 일단에 제 2 푸셔부재(371)가 장착된 제 2 이동실린더(370)가 설치되며, 상기 제 2 작동실린더(370)를 상, 하로 이동시키는 한조의 제 2 리프트 실린더(380)가 구비되고, 상기 쿨링실(700)로 이동된 매거진(M)을 순차적으로 정렬시키는 제 3 푸셔부재(391)가 구비된 제 3 작동실린더(390)로 설치된다.

여기서, 상기 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)의 하부에는 그 제 1 작동실 린더(320a,320b,320c)를 지지하는 베이스프레임(B)이 구비되고, 그 베이스프레임(B)의 상면에는 상기 지지봉(512c)을 안내하는 한조의 가이드 돌기(H)가 형성되며, 상기 베이스프레임(B)의 하부에 제 1 리프트 실린더(330a,330b,330c)가 설치되어, 그 제 1 리프트 실린더(330a,330b,330c)의 작동에 의해 상기 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)를 상,하로 이동된다. 또한, 상기 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)는 상기 지지봉(512c)과 연결부재(321)에 의해 상호 연동되어 상기 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)의 구동에 의해 이송부(512)를 이동시키게 된다.

그리고, 상기 제어부(400)는 전원을 온(on)/오프(off)시키고, 상기 온도 공조부(100)의 온도를 제어하며, 상기 구동장치(300)를 제어하여 상기 매거진(M)이 이동되는 속도를 제어하는 운전조작부(410)가 구비되고, 상기 센서(513,620)의 전기적신호에 따라 상기 구동장치(300)에 전력을 인가하여 상기 매거진(M)이 순차적으로 이동되도록 한다. 또한, 상기 제어부(400)에는 상기 챔버(500)의 내부에서 이동되는 매거진(M)의 이동과정을 확인할 수 있도록 디스플레이부(420)가 형성된다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐(1)의 작동관계를 설명하면 먼저, 작업자가 상기 제어부(400)의 운전조작부(410)를 조작하여 상기 온도 공조부(100)의 가열온도와 구동장치(300)의 작동시간 등을 설정,저장한 후 상기 오븐(1)을 구동시킴과 동시에 상기 매거진(M)을 상기 로딩부(600)의 테이블(610)에 배치한다. 이때, 상기 테이블(610)에 구비된 센서(611a)가 상기 매거진(M)을 감지하게 되고, 상기 센서(611a)와 전기적으로 연결된 상기 제어부(400)에 감지된 신호를 보내게 되며, 이를 감지한 제어부(400)는 상기 구동장치(300)에 구동을 인가하게 됨으로써, 상기 제 2 이동실린더(370)의 제 2 푸셔부재(371)이 이동되면서 상기 매거진(M)을 가압하여 이동시킨 후 상기 제 2 이동실린더(370) 하부에 연동되게 설치된 제 2 리프트 실린더(380)가 하강하게 됨과 동시에 상기 제 2 실린더(370)의 제 2 푸셔부재(371)를 이동시켜 재차 상기 매거진(M)을 이동시킬 수 있게 되고, 상기 테이블(610)에 매거진(M)이 배치되면 다시 제 2 리프트실린더(380)가 상승하여 전술한 바와 같이 상기 매거진(M)을 이동시키게 된다.

그리고, 상기 입출도어(520a)의 전방까지 이동된 상기 매거진(M)을 상기 입출도어(520a)의 인접위치에 구비된 센서(610)가 감지하여 상기 입출도어(520a)를 개방시키게 됨과 동시에 상기 제 1 이동실린더(310a)를 가동시켜 그 제 1 이동실린더(310a)에 구비된 제 1 푸셔부재(311)가 상기 매거진(M)을 가압하면서 상기 제 1 챔버부(540a)의 내부로 이동시키게 된다. 즉 도 8a 내지 도8b에 도시된 바와 같이 상기 테이블(511)로 이송된 매거진(M)을 이동시키기 위해 도 8a에서와 같이 제 1 리프트실린더(330a)가 상기 제 1 작동실린더(320a)를 상향으로 이동시키게 되고, 상기 제 1 작동실린더(320a)와 연동된 이송부재(512a)가 상기 매거진(M)을 들어올리게 된다. 이와 같은 상태에서 도 8b에 도시된 바와 같이 상기 제 1 작동실린더(320a)가 작동하여 상기 매거진(M)을 화살표방향으로 이동시킨 다음 도 8c에서와 같이 상기 제 1 리프트실린더(330a)가 상기 제 1 작동실린더(320a)와 이송부재(512a)를 하향으로 이송시키게 되면, 상기 매거진(M)은 도 8d에서와 같이 이동된 상태에서 상기 테이블(511)에 지지고정됨과 동시에 상기 제 1 작동실린더(320a)는 상기 이송부재(512a)를 도 8a에서와 같은 위치로 이동시키게 됨으로써, 재차 상기 매거진(M)을 전술된 구동방법으로 이송시킬 수 있게 된다.

상기에서와 같이 제 1 챔버부(540a)에서 이송된 상기 매거진(M)은 분리벽(530)에 장착된 분리도어(531a)의 전방에 위치하게 됨과 동시에 상기 분리도어(531a)의 근접위치에 장착된 센서(513)가 상기 매거진(M)을 감지하여 그 분리도어(531a)를 개방시키게 되고, 상기 제 1 이동실린더(310b)에 의해 상기 매거진(M)은 제 1 챕버부(540a)에서 제 2 챔버부(540b)로 이동하게 된다. 또한, 상기 제 2 챔버부(540b)로 이동된 상기 매거진(M)은 상기 제 1 이동실린더(310c,310d,310e,310f), 제 1 작동실린더(320b,320c), 제 1 리프트실린더(350b,350c), 제 2 작동실린더(360)에 의해 순차적으로 상기 제 3 챔버부(540c)로 이동된 후 상기 매거진(M)을 소정의 온도로 낮추기 위해 상기 쿨링실(700)로 이송된다. 그리고, 상기 쿨링실(700)로 이송된 상기 매거진(M)은 제 3 푸셔부재(391)가 구비된 제 3 작동실린더(390)에 의해 순차적으로 개패도어(71) 방향으로 정렬됨과 동시에 상기 쿨링실(700)에 구비된 팬(F)에 의해 외부의 공기를 공급받아 일정시간이 지난 후 소정의 온도, 즉 작업자가 매거진(M)을 파지할 수 있을 정도의 온도로 낮추어지게 되고, 작업자는 상기 개패도어(710)를 개방하여 매거진(M)들을 꺼내게 됨으로써, 모든 공정이 끝나게 된다.

이와같이 구성된 본 발명에 따른 자동 큐어 오븐은 반도체 패키지가 수납된 메거진을 자동화된 오븐으로 큐어 시킴으로써, 반도체 패키지의 큐어 시간을 단축시켜 생산성을 향상되게 하는 효과가 있다.

Claims (7)

1. 삭제
2. 삭제
3. 패키지들이 수납되는 매거진을 큐어하는 오븐으로서,

   다수개의 히터(110)가 구비된 온도 공조부(100)와 상기 온도 공조부(100)의 하부에 형성되어, 상기 매거진(M)을 큐어시키는 본체(200)와 상기 본체(200)의 하부에 설치되어, 상기 매거진(M)을 이송시키는 구동장치(300)와 상기 구동장치(300)와 전기적으로 연결됨과 아울러 그 구동장치(300)를 제어하는 제어부(400)로 구성하되,

   상기 본체(200)는 다수개의 송풍관(210)에 의해 상기 히터(110)와 연결되며, 내부에는 상기 매거진(M)을 이송시키는 것으로, 테이블(511)과 이송부(512)와 수개의 센서(513)를 갖는 다수개의 이송장치(510) 및 입출도어(520a,520b)가 구비된 챔버(500)와 상기 챔버(500)의 일면에 형성되어 상기 매거진(M)을 상기 챔버(500)의 입출도어(520a)로 이동시키는 것으로서, 상기 매거진(M)을 지지하는 테이블(610) 및 상기 테이블(610)에 설치되는 다수개의 센서(611)를 포함하는 로딩부(600)와 상기 챔버(500)의 일단에 형성되어 상기 챔버(500)에서 가열되어진 매거진(M)을 일정온도로 낮추는 쿨링실(700)로 구성되는 자동 큐어 오븐에 있어서,

   상기 챔버(500)의 내부는 상기 히터(110)에 의해 각각이 다른 온도로 상기 매거진(M)을 가열하도록, 분리도어(531a,531b)가 한조의 분리벽(530)에 의해 내부가 제 1 챔버부(540a), 제 2 챔버부(540b), 제 3 챔버부(540c)로 구획, 분할된 것을 특징으로 하는 자동 큐어 오븐.
4. 삭제
5. 제 3 항에 있어서,

   상기 이송부(512)는 상기 매거진(M)이 안착, 걸림되어 이동되도록 길이방향으로 다수개의 걸림돌기(512a')가 형성되고, 하부에는 길이방향으로 지지봉(512c)이 장착된 한쌍의 이송부재(512a)가 서로 마주보도록 배치되어 한쌍의 연결부재(512b)에 의해 상호 연결된 것을 특징으로 하는 자동 큐어 오븐.
6. 제 3 항에 있어서,

   상기 쿨링실(700)에는 일측면에 팬(F)이 구비되며, 상기 매거진(M)이 외부로 배출되도록 개폐도어(710)가 구비되며, 상기 개패도어(710)는 투시창(711)이 구비되어 상기 쿨링실(700) 내부에 정렬된 상기 매거진(M)을 육안으로 확인할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 자동 큐어 오븐.
7. 제 3 항에 있어서,

   상기 구동장치(300)는 상기 본체의 하부에 설치되어, 상기 제어부(400)의 전기적신호를 인가받아 상기 이송장치(510)의 이송부(512) 및 입출도어(520a,520b), 분리도어(531a,531b), 개폐도어(710)를 구동시키는 것으로서,

   상기 구동장치(300)는 상기 매거진(M)을 이송부(512)로 이동시킴과 아울러 각각의 제 1 챔버부(540a), 제 2 챔버부(540b), 제 3 챔버부(540c)와 쿨링실(700)로 이동시키는 제 1 푸셔부재(311)가 구비된 다수개의 제 1 이동실린더(310a,310b,310c,310e,310f);

   상기 지지봉(512c)과 연결되어 상기 이송부(512)를 전,후로 이동시키는 제 1 작동실린더(320a,320b,320c);

   상기 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)의 하부에 설치되어, 그 제 1 작동실린더(320a,320b,320c)를 상,하로 이동시키는 제 1 리프트 실린더(330a,330b,330c);

   상기 입출도어(520a,530b)를 개폐시키는 한조의 제 1 도어 실린더(340a,340b);

   상기 분리도어(531a,531b)를 개폐시키는 한조의 제 2 도어 실린더(350a,350b);

   상기 제 2 챔버부(540b)에 설치되어 상기 이송부(512)를 전,후로 이동시키는 한조의 제 2 작동실린더(360);

   상기 로딩부(600)에 배치된 매거진(M)을 이동시키도록 일단에 제 2 푸셔부재(371)가 구비된 제 2 이동실린더(370);

   상기 제 2 작동실린더(370)를 상, 하로 이동시키는 한조의 제 2 리프트 실린더(380); 및

   상기 쿨링실(700)로 이동된 매거진(M)을 순차적으로 정렬시키는 제 3 푸셔부재(391)가 구비된 제 3 작동실린더(390)로 구성된 것을 특징으로 하는 자동 큐어 오븐.

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