KR100847072B1 - 레이저 리페어용 현미경 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 레이저 리페어 시스템용 현미경에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 평면표시장치(Flat Panel Display ; FPD)의 패널(Panel)을 수리하기 위하여 4파장 레이저 광원을 사용할 수 있는 레이저 리페어 시스템용 현미경에 대한 것이다.
본 발명에 따른 레이저 리페어 시스템용 현미경은 레이저 광원과, 대물렌즈와, 셔터와, 제1튜브렌즈와, 전하결합소자 카메라와, 자동초점장치와, 제2튜브렌즈를 포함한다. 상기의 레이저 광원은 대상물을 가공하기 위하여 복수의 파장 중 1개를 선택하여 레이저를 출사할 수 있다. 상기 대물렌즈는 상기 대상물에 상기의 레이저 상을 맺는다. 상기 셔터는 상기 대상물을 원하는 형상으로 가공하기 위하여 일정한 패턴이 형성되어 상기 레이저 광원과 상기 대물렌즈 사이의 상기 레이저의 경로에 위치된다. 상기 제1튜브렌즈는 선택된 상기 레이저 광원의 파장에 대하여 색수차를 보정하기 위하여 상기 셔터와 상기 대물렌즈 사이의 상기 레이저 경로에 위치한다. 상기 조명은 상기 대상물을 관찰하기 위하여 상기 대물렌즈에 광을 비춘다. 상기 전하결합소자 카메라는 상기 대상물의 표면을 관찰한다. 그리고 상기 자동초점장치는 상기 전하결합소자 카메라의 초점을 맞추는 역할을 한다.
레이저, 현미경, 색수차, 4파장, UV, DUV, GR, IR

Description

레이저 리페어용 현미경{MICROSCOPE FOR REPAIRING FLAT PANEL DISPLAY USING LASER}
도 1은 본 발명에 따른 레이저 리페어 시스템용 현미경의 일실시예의 개념도,
도 2는 종래의 레이저 리페어 시스템용 현미경의 개념도이다.
<도면부호의 간단한 설명>
10 : 레이저 광원 20 : 셔터
30 : 제1튜브렌즈 40 : 대물렌즈
50 : 조명 60 : 제2튜브렌즈
70 : 자동초점장치 80 : CCD 카메라
본 발명은 레이저 리페어 시스템용 현미경에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 평면표시장치(Flat Panel Display ; FPD)의 패널(Panel)을 수리하기 위하여 4파장 레이저 광원을 사용할 수 있는 레이저 리페어 시스템용 현미경에 대한 것이다.
액정표시장치(Liquied Crystal Disply ; LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel ; PDP) 등과 같은 FPD의 결함 수리에 레이저가 많이 사용되고 있다. 도 2는 종래의 레이저를 사용한 FPD 리페어 시스템용 현미경이다.
도 2에 따른 종래의 리페어 시스템용 현미경은 레이저 광원(110)과, 셔터(120)와, 제1튜브렌즈(130)와, 대물렌즈(140)와, 조명(150)과, 제2튜브렌즈(160)와, 자동초점장치(170)와, 전하결함소자(CCD) 카메라(180)를 포함한다.
레이저 광원(110)은 LCD나 PDP 패널 등의 대상물(200)의 결함을 수리하거나, 측정하기 위하여 대상물(200)의 표면에 레이저 빔(101)을 출사한다.
LCD나 PDP 패널 등의 결함은 상기 결함의 패턴에 맞는 레이저 빔을 조사하여 제거시킨다. 셔터(120)는 레이저 빔(101)의 경로에 설치되어, 레이저 광원(110)에서 발사된 레이저 빔(101)이 결함의 패턴으로만 조사되도록 마스크를 형성한다. 따라서 셔터(120)는 정방형, 장방형 또는 평행사변형 등 다양한 형상의 크기의 마스크을 형성할 수 있다.
셔터(120)를 통과한 레이저 빔(101)은 제1튜브렌즈(130) 및 대물렌즈(140)를 통과한 후 대상물(200)에 출사되어 상기 대상물(200)에 형성된 결함을 제거한다.
그리고 상기 대상물(200)에서 반사된 레이저 빔(113)은 제2튜브렌즈(160)를 통과한 후 CCD 카메라(180)에 감지되어 대상물(200)의 표면을 관찰할 수 있다.
자동초점장치(170)은 CCD 카메라(180)의 초점을 맞추기 위한 장치이며, 조명(150)은 CCD 카메라(180)로 대상물(200)을 관찰하기 위하여 사용된다. 그리고 미설명 부호 115는 광원의 경로를 바꾸기 위한 반사경이다.
레이저 리페어 시스템에 사용되는 레이저 광원은 다양한 종류의 파장이 있다. 대표적으로 1064 나노미터(nm)의 적외선(Infrared, IR)과, 532 nm의 그린(Green, GR)과, 355 nm의 자외선(Ultraviolet, UV)과, 266 nm의 원자외선(Deep Ultraviolet, DUV)이 있다. FPD Panel의 제거하려는 결합부 재질에 따라 이에 맞는 파장의 레이저 광원이 사용되어야 한다.
종래의 레이저 리페어 시스템의 튜브렌즈는 1개 렌즈가 고정되어 있었다. 따라서 레이저 광원도 1개 파장의 레이저 광원만을 사용할 수 있었으며, 다른 파장의 레이저 광원을 사용하는 경우 색수차가 발생하여 기능적으로 리페어 시스템의 성능을 100% 완벽하게 발휘하지 못하였다. 그러므로 종래의 레이저 리페어 시스템은 레이저 광원의 각각의 파장 별로 시스템이 구성되어야 했다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것이다. 본 발명은 복수의 파장의 레이저 광원을 사용할 수 있는 레이저 리페어 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 위하여 본 발명은 상기 레이저 광원에서 발사되는 레이저 빔의 파장이 변경될 경우 상기 파장에 따른 색수차를 완벽하게 보정하여 고품질 가공과 고품질 이미지를 구현할 수 있는 튜브렌즈를 구비한 레이저 리페어 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 레이저 리페어 시스템용 현미경은 레이저 광원과, 대물렌즈와, 셔터와, 제1튜브렌즈와, 전하결합소자 카메라와, 제2튜브렌즈를 포함한다. 상기의 레이저 광원은 대상물을 가공하기 위하여 복수의 파장 중 1개를 선택하여 레이저를 출사할 수 있다. 상기 대물렌즈는 상기 대상물에 상기의 레이저 상을 맺는다. 상기 셔터는 상기 대상물을 원하는 형상으로 가공하기 위하여 일정한 패턴이 형성되어 상기 레이저 광원과 상기 대물렌즈 사이의 상기 레이저의 경로에 위치된다. 상기 제1튜브렌즈는 선택된 상기 레이저 광원의 파장에 대하여 색수차를 보정하기 위하여 상기 셔터와 상기 대물렌즈 사이의 상기 레이저 경로에 위치한다. 상기 조명은 상기 대상물을 관찰하기 위하여 상기 대물렌즈에 광을 비춘다. 상기 전하결합소자 카메라는 상기 대상물의 표면을 관찰한다. 그리고 상기 제2튜브렌즈는 선택된 상기 레이저 광원의 파장에 대하여 색수차를 보정하기 위하여 상기 대상물에서 반사되어 상기 전하결합소자 카메라로 유입되는 경로에 위치한다. 또한, 상기의 레이저 리페어 시스템용 현미경은 상기 전하결합소자 카메라의초점을 맞추기 위하여 자동초점장치를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기의 레이저 리페어 시스템용 현미경에 있어서, 상기 제1튜브렌즈는 고정렌즈와, 상기 고정렌즈에 대하여 상대 운동을 하는 이동렌즈를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기의 레이저 리페어 시스템용 현미경에 있어서, 상기 제1튜브렌즈의 이동렌즈는 한 쌍의 렌즈를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기의 레이저 리페어 시스템용 현미경에 있어서, 상기 제2튜브렌즈는 고정렌즈와, 상기 고정렌즈에 대하여 상대 운동을 하는 이동렌즈를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기의 레이저 리페어 시스템용 현미경에 있어서, 상기 제2튜브렌즈의 이동렌즈는 한 쌍의 렌즈를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기의 레이저 리페어 시스템용 현미경에 있어서, 상기 레이저 광원은 적외선, 그린, 자외선, 원자외선 파장의 레이저 중에서 1개를 선택하여 출사하는 것이 바람직하다.
이하에서는 본 발명에 따른 레이저 리페어 시스템용 현미경의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 레이저 리페어 시스템용 현미경의 일실시예의 개념도이다.
도 1에 따른 레이저 리페어 시스템용 현미경은 레이저 광원(10)과, 셔터(20)와, 제1튜브렌즈(30)와, 대물렌즈(40)와, 조명(50)과, 제2튜브렌즈(60)와, 자동초점장치(70)와, 전하결합소자(CCD) 카메라(80)를 포함한다.
셔터(20)와, 대물렌즈(40)와, 조명(50)과, 자동초점장치(70)와, CCD 카메라(80)는 종래의 레이저 리페어 시스템용 현미경의 것과 동일하다. 따라서 본 실시예에서는 레이저 광원(10)과, 제1튜브렌즈(30) 및 제2튜브렌즈(60)에 대하여 설명한다.
도 1에 도시된 레이저 광원(10)은 4종류의 파장의 레이저 빔(1)을 대상물(100)에 발사할 수 있다. 즉 IR, GR, UV, DUV 파장의 레이저 빔(1)을 사용자의 선택에 따라 대상물(100)에 발사할 수 있다.
제1튜브렌즈(30)는 고정렌즈(31)와, 한 쌍의 이동렌즈(35)를 포함한다. 한 쌍의 이동렌즈(35)는 제1이동렌즈(33)과 제2이동렌즈(34)로 구성되며, 상기의 제1 이동렌즈(33) 및 제2이동렌즈(34)가 함께 이동을 한다. 한 쌍의 이동렌즈(35)는 고정렌즈(31)에 대하여 상대적인 이동이 가능하다. 고정렌즈(31)만 사용할 경우 레이저 광원에서 발사된 레이저 빔의 파장이 변경될 경우 색수차가 발생한다. 한 쌍의 이동렌즈(35)는 상기의 색수차를 보정하기 위하여 필요하다. 즉 사용된 레이저 광원이 파장이 변경될 경우 한 쌍의 이동렌즈(35)의 위치가 이동되어 색수차를 없애준다. 본 실시예에서는 레이저 광원(10)에서 발사된 레이저 빔(1)이 DUV 파장인 경우 한 쌍의 이동렌즈(35)는 고정렌즈(31)로부터 0.1mm 이격 되도록 이동한다. 그리고 상기의 레이저 빔(1)이 UV 파장인 경우 한 쌍의 이동렌즈(35)는 고정렌즈(31)로부터 7.15mm 이격 되도록 이동한다. 또한, 레이저 빔(1)이 GR 파장인 경우 한 쌍의 이동렌즈(35)는 고정렌즈(31)로부터 12.4mm 이격 되도록 이동한다. 또한, 레이저 빔(1)이 IR 파장인 경우 한 쌍의 이동렌즈(35)는 고정렌즈(31)로부터 16.55mm 이격 되도록 이동한다. 따라서 제1튜브렌즈(30)를 사용함으로써, 레이저 광원으로 IR, GR, UV, DUV의 파장의 레이저를 모두 사용할 수 있다.
제2튜브렌즈(60)는 대상물(100)로부터 반사되어 CCD 카메라(80)로 조사되는 레이저 빔(3)의 경로 상에 위치된다. 제2튜브렌즈(60)로 제1튜브렌즈(30)와 마찬가지로 고정렌즈(61)와 한 쌍의 이동렌즈(65)를 포함하며, 한 쌍의 이동렌즈(65)는 제1이동렌즈(63)와 제2이동렌즈(64)로 구성된다. 그리고 한 쌍의 이동렌즈(65)는 CCD 카메라(80)로 조사되는 레이저 빔(3)의 종류에 따라 고정렌즈(61)에 대하여 상대적인 이동을 한다.
미설명 도면부호는 5는 광원의 경로를 바꾸기 위한 반사경이다. 도 1에 도시 된 실시예에 의하면 제1튜브렌즈(30) 및 제2튜브렌즈(60)에 의하여 레이저 광원(10)의 파장이 바뀌더라도 색수차를 보정할 수 있으므로 하나의 레이저 리페어용 현미경으로 4파장의 레이저 광원을 사용할 수 있다.
본 발명에 의하면 고정렌즈 및 이동렌즈를 구비한 튜브렌즈를 제공하여 레이저 파장의 변화에 따른 색수차를 보정할 수 있다. 따라서 하나의 레이저 리페어 시스템에서 복수 파장의 레이저 광원을 사용할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면 상기의 튜브렌즈를 사용함으로써 가공 고스트(Ghost) 및 영상 고스트를 완벽하게 제거할 수 있으서, 결합제거 가공품질 및 CCD 카메라의 이미지의 품질을 향상시킬 수 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.

Claims (7)

  1. 삭제
  2. 대상물을 가공하기 위하여 복수의 파장 중 1 개를 선택하여 레이저를 출사하기 위한 레이저 광원과,
    상기 대상물에 상기의 레이저 상을 맺기 위한 대물렌즈와,
    상기 대상물을 원하는 형상으로 가공하기 위하여 일정한 패턴이 형성되어 상기 레이저 광원과 상기 대물렌즈 사이의 상기 레이저의 경로에 위치된 셔터와,
    선택된 상기 레이저 광원의 파장에 대하여 색수차를 보정하기 위하여 상기 셔터와 상기 대물렌즈 사이의 상기 레이저 경로에 위치한 제1튜브렌즈와,
    상기 대상물을 관찰하기 위하여 상기 대물렌즈에 광을 비추는 조명과,
    상기 대상물의 표면을 관찰하기 위한 전하결합소자 카메라와,
    선택된 상기 레이저 광원의 파장에 대하여 색수차를 보정하기 위하여 상기 대상물에서 반사되어 상기 전하결합소자 카메라로 유입되는 경로에 위치한 제2튜브렌즈와,
    상기 전하결합소자 카메라의 초점을 맞추기 위한 자동초점장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 시스템용 현미경.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1튜브렌즈는 고정렌즈와, 상기 고정렌즈에 대하여 상대 운동을 하는 이동렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 시스템용 현미경.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1튜브렌즈의 이동렌즈는 한 쌍의 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 시스템용 현미경.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2튜브렌즈는 고정렌즈와, 상기 고정렌즈에 대하여 상대 운동을 하는 이동렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 시스템용 현미경.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2튜브렌즈의 이동렌즈는 한 쌍의 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어용 현미경.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 레이저 광원은 적외선, 그린, 자외선, 원자외선 파장의 레이저 중 1개씩 선택하여 출사하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어용 현미경.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN109991725A (zh) * 2019-04-11 2019-07-09 中国科学院上海生命科学研究院 便携式微型荧光显微镜
KR102067488B1 (ko) * 2019-07-03 2020-01-17 주식회사 에이치비테크놀러지 렌즈의 색수차를 해소하는 레이저 리페어 장치 및 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007047447A (ja) * 2005-08-10 2007-02-22 Olympus Corp 焦点検出装置及びこれを備えた顕微鏡装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007047447A (ja) * 2005-08-10 2007-02-22 Olympus Corp 焦点検出装置及びこれを備えた顕微鏡装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109991725A (zh) * 2019-04-11 2019-07-09 中国科学院上海生命科学研究院 便携式微型荧光显微镜
KR102067488B1 (ko) * 2019-07-03 2020-01-17 주식회사 에이치비테크놀러지 렌즈의 색수차를 해소하는 레이저 리페어 장치 및 방법

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