KR100835004B1 - Air Knife Dryer - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정패널의 세정공정 후 기판 상에 잔존하는 세정액을 완전히 제거하기 위한 에어 나이프 건조장치에 관한 것이다.The present invention relates to an air knife drying apparatus for completely removing the cleaning liquid remaining on the substrate after the cleaning process of the liquid crystal panel.

본 발명에 따른 에어 나이프 건조장치는 유리기판을 건조하기 위한 에어 나이프 건조장치에 있어서, 상기 유리기판을 건조시키기 위한 고압의 에어를 취출하는 상단 및 하단 에어 나이프와; 상기 상단 및 하단 에어 나이프가 전후 방향으로 왕복 이동하도록 하는 에어 나이프 이송 모터와; 상기 에어 나이프 이송 모터의 구동을 제어하며, 상기 상단 및 하단 에어 나이프의 에어 배출 방향을 제어하는 에어 나이프 제어부를 구비한다.An air knife drying apparatus according to the present invention comprises: an air knife drying apparatus for drying a glass substrate, the upper and lower air knives for extracting high pressure air for drying the glass substrate; An air knife feed motor for causing the upper and lower air knives to reciprocate in the front and rear directions; It is provided with an air knife control unit for controlling the driving of the air knife transfer motor, and controls the air discharge direction of the upper and lower air knife.

본 발명에 의하면, 유리기판의 건조 유닛 상에서 건조 장비인 에어 나이프를 전후 왕복이동시킴으로써 유리기판 상에 세정액을 효과적으로 건조시킬 수 있게 된다. 또한 에어 나이프의 전후 왕복이동시 에어 나이프 배출구의 방향을 제어하므로써 에어 나이프를 효과적으로 구동할 수 있게 된다.According to the present invention, it is possible to effectively dry the cleaning liquid on the glass substrate by reciprocating the air knife, which is a drying equipment, on the drying unit of the glass substrate. In addition, it is possible to effectively drive the air knife by controlling the direction of the air knife outlet in the forward and backward movement of the air knife.

Description

에어 나이프 건조장치{Air Knife Dryer} Air Knife Dryer             

도 1은 일반적인 액정패널의 세정 및 건조공정의 동작원리를 나타내는 도면.1 is a view showing the operating principle of the cleaning and drying process of a general liquid crystal panel.

도 2a 및 도 2b는 종래 에어 나이프 건조장치의 일례를 나타내는 도면.2A and 2B show an example of a conventional air knife drying apparatus.

도 3은 본 발명에 따른 에어 나이프 건조장치를 나타내는 도면.3 is a view showing an air knife drying apparatus according to the present invention.

도 4는 도 3의 에어 나이프 제어부를 설명하는 도면.4 is a view for explaining the air knife control unit of FIG.

도 5는 에어 나이프의 왕복 이동에 따른 건조과정을 설명하는 도면.5 is a view for explaining a drying process according to the reciprocating movement of the air knife.

도 6는 본 발명에 따른 에어 나이프 건조장치를 이용한 건조공정의 수행을 설명하기 위한 도면.
Figure 6 is a view for explaining the performance of the drying process using the air knife drying apparatus according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10,30 : 유리기판 11 : 세정기10,30: glass substrate 11: cleaner

13,32 : 에어 나이프 34 : 반송 샤프트/롤러13,32: Air knife 34: conveying shaft / roller

36 : 반송 모터 38 : 에어 나이프 이송 모터36: conveying motor 38: air knife feed motor

40 : 에어 나이프 제어부 42a : 배출구 방향 변환 제어부40: air knife control unit 42a: discharge direction change control unit

42b : 스캔 제어부 42c : 에어량 제어부
42b: scan control unit 42c: air amount control unit

본 발명은 에어 나이프 건조장치에 관한 것으로, 특히 액정패널의 세정공정 후 기판 상에 잔존하는 세정액을 효과적으로 제거할 수 있도록 한 에어 나이프 건조장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air knife drying apparatus, and more particularly, to an air knife drying apparatus capable of effectively removing a cleaning liquid remaining on a substrate after a liquid crystal panel cleaning process.

액티브 매트릭스 구동방식의 액정표시장치(Liquid Crystal Dislay ; 이하 "LCD"라 함)는 스위칭소자로서 박막트랜지스터등을 이용하여 고품질의 화상 표시가 가능하다. 이러한 액정표시장치는 브라운관에 비하여 소형화가 가능하며, 퍼스널 컴퓨터와 노트북 컴퓨터는 물론, 복사기 등의 사무자동화기기, 휴대전화기나 호출기 등의 휴대기기까지 광범위하게 이용되고 있다.The liquid crystal display device (Liquid Crystal Dislay) of the active matrix driving method (hereinafter referred to as "LCD") is capable of high quality image display using a thin film transistor or the like as a switching element. Such liquid crystal displays can be miniaturized compared to CRTs, and are widely used not only for personal computers and notebook computers, but also for office automation equipment such as copying machines, portable devices such as cell phones and pagers.

이러한 LCD에서 화상을 표시하는 액정패널은 제조시 세정공정을 필수로 하는 데, 이는 기판 위의 이물질 및 입자들을 제거하는 공정으로서, 박막트랜지스터 등의 소자 손실 등을 최소화하여 수율을 향상시키는 데 그 목적이 있다.The liquid crystal panel displaying an image in such an LCD requires a cleaning process during manufacturing, which is a process of removing foreign matters and particles on a substrate, and improves yield by minimizing device losses such as thin film transistors. There is this.

이러한 세정공정은 유리기판 상에 붙어있는 먼지와 유기물 등을 제거하는 공정으로, 박막을 입히기 전 기판의 세정은 막의 밀착성(adhesion)을 높이는 역할을 한다. 이 때 먼지와 유기물을 제거하기 위해서 탈이온수(DeIonized Water) 등의 세정액을 이용하여 약 20분동안 유리기판을 초음파 세정하게 된다. 상기 용액의 온도는 40∼50℃ 정도이다.This cleaning process removes dust, organic matter, and the like on the glass substrate, and cleaning of the substrate before applying a thin film serves to increase adhesion of the film. At this time, the glass substrate is ultrasonically cleaned for about 20 minutes by using a cleaning solution such as deionized water to remove dust and organics. The temperature of the said solution is about 40-50 degreeC.

도 1은 일반적인 유리기판의 세정 및 건조공정의 구성을 나타내는 도면이다. 1 is a view showing the configuration of a general glass substrate cleaning and drying process.                         

도 1을 참조하면, 유리기판(10)은 세정기(11)의 세정유닛 상에서 브러시 및/또는 고압 샤워 등에 의해 세정된 후 건조유닛 상에서 에어 나이프(13)에 의해 건조된 후 후속 공정으로 진입한다. 이때 유리기판(10)은 롤러의 회전에 의해 동작되는 컨베이어를 통해 정지하지 않고 계속 이동된다.Referring to FIG. 1, the glass substrate 10 is cleaned by a brush and / or a high pressure shower on the cleaning unit of the cleaner 11 and then dried by the air knife 13 on the drying unit, and then enters a subsequent process. At this time, the glass substrate 10 continues to move without stopping through the conveyor operated by the rotation of the roller.

에어 나이프(13)는 에어 블로워(Air Blower)에 의해서 공급된 압축 에어가 공기 주입구를 통해 에어 나이프(13) 몸체로 유입된다. 유입된 압축 에어는 노즐로 공급되고 노즐에서 유속이 증가하게 된다. 노즐을 지나면서 유속이 증가된 압축 에어는 슬릿조정부(도시하지 않음)를 통해 유리기판(10)으로 분사된다.In the air knife 13, compressed air supplied by an air blower is introduced into the body of the air knife 13 through an air inlet. Incoming compressed air is supplied to the nozzle and the flow velocity is increased at the nozzle. Compressed air whose flow velocity is increased while passing through the nozzle is injected to the glass substrate 10 through a slit adjusting unit (not shown).

도 2는 종래 에어 나이프 건조장치의 일례를 나타내는 도면이다.2 is a view showing an example of a conventional air knife drying apparatus.

먼저 에어 나이프(13)에 의해 건조되는 동안 유리기판(10)은 진행 방향으로 구동 롤러에 의해서 이동된다. 또한 상/하단 에어 나이프(13a,13b)는 도 2(a) 및 도 2(b)에 도시된 바와 같이 유리기판(10)의 단축과 평행한 방향과 소정의 각을 이룬 방향으로 배치된다. 이러한 상/하단 에어 나이프(13a,13b)에 의해 유리기판(10) 상에 남아있는 세정액을 기판으로부터 분리함으로써 유리기판(10)을 건조시키게 된다. First, the glass substrate 10 is moved by the driving roller in the advancing direction while being dried by the air knife 13. In addition, the upper and lower air knives 13a and 13b are disposed in a direction parallel to a short axis of the glass substrate 10 and a predetermined angle as shown in FIGS. 2A and 2B. The glass substrate 10 is dried by separating the cleaning liquid remaining on the glass substrate 10 from the substrate by the upper / lower air knives 13a and 13b.

그러나, 에어 나이프(13)로부터 분사되는 압축 에어의 유량과 압력분포가 전구간에서 일정하지 않고 공기 주입구 측과 그 외 부분에서의 차이가 심하기 때문에, 유리기판(10)의 완전 건조가 불가능하고, 잔류한 세정액에 의하여 유리기판(10) 상에 물얼룩 등의 건조불량이 발생하여 결과적으로 제품의 수율이 저하되는 문제점이 있다.
However, since the flow rate and pressure distribution of the compressed air jetted from the air knife 13 are not constant between all the regions, and the difference between the air inlet side and other parts is severe, complete drying of the glass substrate 10 is impossible, and the residual There is a problem in that a poor drying result such as water stains on the glass substrate 10 by the cleaning liquid, resulting in a decrease in the yield of the product.

따라서, 본 발명의 목적은 유리 기판이 고정되어 있는 상태에서 에어 나이프를 전후 방향으로 왕복 이동할 수 있게 함으로써 유리 기판 상의 세정액을 효과적으로 건조시킬 수 있도록 한 에어 나이프 건조장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide an air knife drying apparatus capable of effectively drying the cleaning liquid on the glass substrate by allowing the air knife to reciprocate in the front-rear direction while the glass substrate is fixed.

또한 유리 기판을 건조시키는 에어 나이프의 에어 배출 방향이 왕복 이동시 진행방향에 따라 다르도록 한 에어 나이프 건조장치를 제공하는 데 있다.
Another object of the present invention is to provide an air knife drying apparatus in which the air discharge direction of the air knife for drying the glass substrate is different depending on the traveling direction during the reciprocating movement.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 에어 나이프 건조장치는 유리기판을 건조하기 위한 에어 나이프 건조장치에 있어서, 상기 유리기판을 건조시키기 위한 고압의 에어를 취출하는 상단 및 하단 에어 나이프와; 상기 상단 및 하단 에어 나이프가 전후 방향으로 왕복 이동하도록 하는 에어 나이프 이송 모터와; 상기 에어 나이프 이송 모터의 구동을 제어하며, 상기 상단 및 하단 에어 나이프의 에어 배출 방향을 제어하는 에어 나이프 제어부를 구비한다.In order to achieve the above object, the air knife drying apparatus according to an embodiment of the present invention, in the air knife drying apparatus for drying the glass substrate, the upper and lower air knives to extract the high pressure air for drying the glass substrate Wow; An air knife feed motor for causing the upper and lower air knives to reciprocate in the front and rear directions; It is provided with an air knife control unit for controlling the driving of the air knife transfer motor, and controls the air discharge direction of the upper and lower air knife.

본 발명에서의 상단 및 하단 에어 나이프는 각 에어 나이프의 일측에 형성되어 에어 블로워로부터 공급된 압축에어가 흡입되는 흡입구와, 상기 흡입구를 통해 흡입된 에어를 배출하는 배출구와, 상기 배출구의 크기를 조절하기 위한 슬릿조정 부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the upper and lower air knives are formed on one side of each air knife, and the suction port through which the compressed air supplied from the air blower is sucked, the discharge port for discharging the air sucked through the suction port, and the size of the discharge port are adjusted. It characterized in that it comprises a slit adjustment unit for.

본 발명에서의 에어 나이프 제어부는 상/하단 에어 나이프가 전후 방향으로 왕복 이동시 압축 에어를 배출하는 배출구의 방향을 조절하기 위한 배출구 방향 변환 제어부와; 상기 상/하단 에어 나이프의 전후방향의 왕복 이동 횟수를 제어하는 스캔 제어부와; 상기 상/하단 에어 나이프에 공급되는 에어량을 제어하는 에어량 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.The air knife control unit in the present invention includes an outlet direction conversion control unit for adjusting the direction of the discharge port for discharging the compressed air when the upper and lower air knife reciprocating in the front and rear directions; A scan controller for controlling the number of reciprocating movements in the front and rear directions of the upper and lower air knives; And an air amount control unit for controlling the air amount supplied to the upper and lower air knives.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above objects will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 3 내지 도 5c를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 5C.

도 3은 본 발명에 따른 에어 나이프 건조장치의 개략도이다.3 is a schematic view of an air knife drying apparatus according to the present invention.

먼저 에어 나이프(32)는 도 2a에서와 같이 상단 에어 나이프와 하단 에어 나이프로 이루어지고, 상기 상/하단 에어나이프는 유리기판의 단축과 평행하게 배치되며, 도면으로 나타내지는 않았지만, 각각은 본체의 일측에 형성되어 고압의 에어가 흡입되는 흡입구와, 상기 흡입구를 통해 흡입된 에어를 배출하는 배출구 및 상기 배출구의 크기를 조절하기 위한 슬릿조정부 등을 포함하여 이루어진다. 이 때 상/하단 에어 나이프(32)는 도 2b에서와 같이 유리기판의 단축과 소정의 각을 이루도록 배치될 수 있다.First, the air knife 32 is composed of an upper air knife and a lower air knife as shown in FIG. 2A, and the upper and lower air knives are disposed parallel to the short axis of the glass substrate, and although not shown in the drawings, each of the main It is formed on one side and comprises a suction port for suctioning the high pressure air, a discharge port for discharging the air sucked through the suction port, and a slit adjusting unit for adjusting the size of the discharge port. In this case, the upper / lower air knife 32 may be arranged to form a predetermined angle with a short axis of the glass substrate as shown in FIG. 2B.

또한 에어 나이프 건조장치는 이전 공정으로부터 유리 기판을 건조시키기 위한 현 공정으로 이송하기 위한 반송 샤프트/롤러(34)와, 반송 샤프트/롤러(34)를 구동하기 위한 반송 모터(36)와, 에어 나이프(32)를 전후 방향으로 왕복 이동시키기 위한 에어 나이프 이송 모터(38)와, 에어 나이프 이송 모터(38)의 왕복동작 횟수, 배출구 방향 및 에어 주입량 등을 제어하는 에어 나이프 제어부(40)를 구비한다.In addition, the air knife drying apparatus includes a conveying shaft / roller 34 for conveying from the previous process to the present process for drying the glass substrate, a conveying motor 36 for driving the conveying shaft / roller 34, and an air knife. An air knife feed motor 38 for reciprocating the 32 in the front-rear direction, and an air knife control unit 40 for controlling the number of reciprocating operations of the air knife feed motor 38, the discharge port direction, the air injection amount, and the like. .

에어 나이프 제어부(40)는 도 4에 도시한 바와 같이 에어 나이프(32)가 전후 방향으로 왕복 이동시 압축 에어를 배출하는 배출구의 방향을 조절하기 위한 배출구 방향 변환 제어부(42a)와, 에어 나이프(32)의 전후방향의 왕복 이동 횟수를 제어하는 스캔 제어부(42b)와, 에어 주입부(도시하지 않음)로부터 에어 나이프(32)에 공급되는 에어량을 제어하는 에어량 제어부(42c)를 구비한다. 이에 따라 유리기판(30) 상에 세정액이 남지 않도록 하기 위하여 에어 나이프 제어부(40)를 통하여 유리기판(30)을 건조시키게 된다. 또한 상/하단 에어 나이프(32)가 우측 방향으로 이동할 경우 도 5a에서와 같이 에어를 취출하기 위해 왼쪽으로 소정 각도 기울어진 에어 나이프(32)의 에어 배출구로부터의 에어를 이용하여 1차 건조시키게 된다. 1차 건조시 세정액이 완전 건조되지 않음을 가만하여 2차 건조시 건조 유닛의 오른쪽 가장자리로 이동된 에어 나이프(32)의 에어 배출구 방향을 도 5b에서와 같이 오른쪽으로 소정각도 기울어지게 하여 구동시키게 한다. 이 때 에어 배출구 방향의 이동은 에어 나이프 제어부(40)의 배출구 방향 변환 제어부(42a)를 통하여 구동된다. 다시 건조를 요할 경우에는 도 5c에 도시된 바와 같이 도 5a와 동일한 방향으로 구동되어 유리 기판(30) 상의 세정액을 건조시키게 된다.As shown in FIG. 4, the air knife control unit 40 includes an air outlet direction conversion control unit 42a and an air knife 32 for adjusting a direction of an outlet port through which the air knife 32 discharges compressed air when the air knife 32 reciprocates in the front-rear direction. Scan control unit 42b for controlling the number of reciprocating movements in the front-rear direction and the air amount control unit 42c for controlling the amount of air supplied to the air knife 32 from the air injection unit (not shown). Accordingly, the glass substrate 30 is dried through the air knife controller 40 so that the cleaning liquid does not remain on the glass substrate 30. In addition, when the upper / lower air knife 32 moves in the right direction, as shown in FIG. 5A, primary air is dried by using air from the air outlet of the air knife 32 inclined to the left by a predetermined angle to blow out air. . The cleaning liquid is not completely dried during the first drying, and the air outlet of the air knife 32 moved to the right edge of the drying unit during the second drying is inclined by a predetermined angle to the right as shown in FIG. 5B. . At this time, the movement in the air outlet direction is driven through the outlet direction conversion control unit 42a of the air knife control unit 40. When drying is required again, as shown in FIG. 5C, the driving solution is driven in the same direction as that of FIG. 5A to dry the cleaning liquid on the glass substrate 30.

도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 에어 나이프 건조장치를 이용한 건조공정 의 수행을 설명하기 위한 도면이다.6a and 6b is a view for explaining the performance of the drying process using the air knife drying apparatus according to the present invention.

도 4에서의 구성요소를 통하여 동작을 설명하면, 에어 나이프를 이용한 건조공정은 유리기판(30)이 세정기의 세정유닛 상에서 브러시, MHz 대역의 초음파(Megasonic) 및/또는 고압 샤워에 의해 세정된 후 건조유닛 상으로 반송 모터(36) 및 반송 샤프트/롤러(34)에 의해 진입된다. 유리기판(30)이 진입되면 반송 모터(36) 및 반송 샤프트/롤러(34)의 동작을 정지시켜 유리기판(30)을 고정시키고 건조장비인 에어 나이프(32)를 구동시킨다. 에어 나이프(32)는 에어 블로워(도시하지 않음)로부터 공급된 압축 에어를 배출구를 통하여 에어 나이프 이송 모터(38)의 구동 진행 방향으로 분출하게 된다. 에어나이프(32)를 우측에서 좌측방향으로 진행시 도 6a에서와 같이 상/하단 에어 나이프(32)를 배치하여 유리기판(30)을 건조시키게 되고, 좌측에서 우측 방향으로 진행시에는 도 6b에서와 같이 상/하단 에어 나이프(32)를 배치하여 유리기판(30)을 건조시킨다.Referring to the operation through the components in FIG. 4, the drying process using the air knife is performed after the glass substrate 30 is cleaned by a brush, megasonic and / or high pressure shower in the MHz band on the cleaning unit of the cleaner. The conveying motor 36 and the conveying shaft / roller 34 enter the drying unit. When the glass substrate 30 enters, the operation of the conveying motor 36 and the conveying shaft / roller 34 is stopped to fix the glass substrate 30 and drive the air knife 32 which is a drying equipment. The air knife 32 blows the compressed air supplied from the air blower (not shown) in the driving travel direction of the air knife feed motor 38 through the discharge port. When the air knife 32 proceeds from the right side to the left side, as shown in FIG. 6A, the upper and lower air knives 32 are disposed to dry the glass substrate 30. When the air knife 32 proceeds from the left side to the right side, FIG. As shown above, the upper and lower air knives 32 are arranged to dry the glass substrate 30.

그 결과, 유리기판(30) 상에 남아있던 탈이온수등의 세정액이 유리기판(30)으로부터 효과적으로 분리됨으로써 유리기판(30)은 물얼룩 등 건조불량이 발생하지 않게 된다.As a result, the cleaning liquid such as deionized water remaining on the glass substrate 30 is effectively separated from the glass substrate 30, so that the glass substrate 30 does not have poor drying such as water stains.

또한 본 발명의 다른 에어 나이프 건조장치는 상/하단 에어 나이프를 기판에 대각선 대칭 구조로 배치시킴으로써 상기에서와 같은 동일한 건조 효과를 얻을 수 있게 된다.
In addition, another air knife drying apparatus of the present invention can obtain the same drying effect as described above by placing the upper / lower air knife in a diagonal symmetrical structure on the substrate.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 에어 나이프 건조장치는 유리기판의 건조 유닛 상에서 건조 장비인 에어 나이프를 전후 왕복이동시킴으로써 유리기판 상의 세정액을 효과적으로 건조시킬 수 있게 된다. 또한 에어 나이프의 전후 왕복이동시 에어 나이프 배출구의 방향을 제어하므로써 에어 나이프를 효과적으로 구동할 수 있게 된다. As described above, the air knife drying apparatus according to the present invention can effectively dry the cleaning liquid on the glass substrate by reciprocating the air knife, which is a drying equipment, on the drying unit of the glass substrate. In addition, it is possible to effectively drive the air knife by controlling the direction of the air knife outlet in the forward and backward movement of the air knife.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (4)

유리기판을 건조하기 위한 에어 나이프 건조장치에 있어서,In the air knife drying apparatus for drying the glass substrate, 상기 유리기판을 건조시키기 위한 고압의 에어를 취출하는 상단 및 하단 에어 나이프와;Upper and lower air knives for extracting high pressure air for drying the glass substrate; 상기 상단 및 하단 에어 나이프가 전후 방향으로 왕복 이동하도록 하는 에어 나이프 이송 모터와;An air knife feed motor for causing the upper and lower air knives to reciprocate in the front and rear directions; 상기 에어 나이프 이송 모터의 구동을 제어하며, 상기 상단 및 하단 에어 나이프의 에어 배출 방향을 제어하는 에어 나이프 제어부를 구비하고,An air knife control unit for controlling driving of the air knife conveying motor and controlling an air discharge direction of the upper and lower air knives, 상기 에어 나이프 제어부는 상/하단 에어 나이프가 전후 방향으로 왕복 이동시 압축 에어를 배출하는 배출구의 방향을 조절하기 위한 배출구 방향 변환 제어부와,The air knife control unit and the outlet direction conversion control unit for adjusting the direction of the outlet for discharging the compressed air when the upper and lower air knife reciprocating in the front and rear directions, 상기 상/하단 에어 나이프의 전후방향의 왕복 이동 횟수를 제어하는 스캔 제어부와,A scan controller for controlling the number of reciprocating movements in the front and rear directions of the upper and lower air knives, 상기 상/하단 에어 나이프에 공급되는 에어량을 제어하는 에어량 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 에어 나이프 건조장치.And an air amount control unit for controlling the air amount supplied to the upper and lower air knives. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 상단 및 하단 에어 나이프는 각 에어 나이프의 일측에 형성되어 에어 블로워로부터 공급된 압축에어가 흡입되는 흡입구와,The upper and lower air knives are formed on one side of each air knife and the inlet through which the compressed air supplied from the air blower is sucked; 상기 흡입구를 통한 에어를 배출하는 배출구와,An outlet for discharging air through the inlet; 상기 배출구의 크기를 조절하기 위한 슬릿조정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 에어 나이프 건조장치.Air knife drying apparatus characterized in that it comprises a slit adjustment for adjusting the size of the outlet. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 상단 및 하단 에어 나이프는 유리기판의 단축과 평행한 구조와 유리기판과 소정 각도를 이루는 구조 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 에어 나이프 건조장치.The upper and lower air knives are any one of a structure parallel to the short axis of the glass substrate and the structure to form a predetermined angle with the glass substrate. 삭제delete
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