KR100833640B1 - 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 장치 및 그 접합방법 - Google Patents
레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 장치 및 그 접합방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (6)
- 마이크로 전기 배선을 하기 위한 장치에 있어서,레이저 빔을 발생시키는 레이저 빔 발생장치(10)와;상기 레이저 빔 발생장치(10)로부터 공급된 빔을 와이어(W)의 용융 온도가 되도록 집속시키는 빔 집속장치(20)와;상기 빔 집속장치(20)에서 발생된 집속빔으로 와이어(W)를 안내하는 와이어 노즐(30)과;상기 와이어 노즐(30)로 배선 용접이 되는 와이어(W)를 공급하는 와이어 공급장치(40)와;상기 빔 집속장치(20)와 와이어 공급장치(40)를 탑재시켜 3축 이송시키는 3축 이송장치(50)를 포함한 구성으로 된 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 3축 이송장치(50)에 설치되며, 상기 빔 집속장치(20)에 의해 형성된 집속빔으로 불활성 가스를 공급하는 가스노즐(60)과;상기 가스노즐(60)에 연결되어 불활성가스를 공급하는 가스공급기(70)를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 빔 집속장치(20)는 상기 와이어 노즐(30)에 배치된 집속렌즈(22)와;상기 3축 이송장치(50)에 탑재되어 점광원을 평행광으로 변화시켜 상기 집속렌즈(22)로 조사하는 시준기(24)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 와이어 노즐(30)은,상기 집속 렌즈(22)가 설치되고 빔 통과 경로를 제공하는 빔 통과공(31)과, 상기 빔 통과공(31)의 일측으로 상기 와이어(W)를 안내하는 와이어 안내구멍(32)을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 장치.
- 마이크로 전기 배선을 하기 위한 방법에 있어서,(a) 3축 정밀스테이지(7)상에 마이크로 와이어 배선이 요구되는 패드(2)를 안착시킨 후 상기 패드(2)의 상방으로 3축 이송장치(50)를 위치시키는 단계와;(b) 상기 3축 이송장치(50)내의 와이어 공급장치(40)로부터 와이어(W)를 배출시켜 와이어(W)의 선단을 와이어 노즐(30)의 하부 끝단에서 일정한 길이로 노출시키는 단계와;(c) 상기 3축 이송장치(50)를 하향 이송시켜 와이어(W)와 패드(2)의 접촉면에 2차 결합(Van der Waals force)를 발생시키는 단계와;(d) 상기 3축 이송장치(50)를 상향 이송과 수평 이송을 시킨 후, 와이어(W)에 레이저 빔(4)을 집속시켜 1차 접합을 실시하는 단계와;(e) 1차 접합이 완료되면 레이저 빔의 집속 조사를 중단하고 와이어(W)를 계속 공급하면서 3축 이송장치(50)를 다음 접합 위치까지 수평방향으로 이동시킨 후 와이어 공급을 중단시키는 단계와;(f) 상기 3축 이송장치(50)를 하향 이동시켜 와이어(W)와 패드(3)의 접촉면에 2차 결합(Van der Waals force)를 발생시킨 후, 3축 이송장치(50)를 상향 이송시킨 상태에서 와이어(W)에 레이저 빔을 집속 조사시켜 접합을 수행하고 소성 변형된 와이어를 절단하는 단계를 포함하여 와이어 접합을 수행하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 방법.
- 제 5항에 있어서,상기 (d)단계 및 (f)단계에서 각기 와이어(W)의 접합부에서 발생되는 금속증기를 가스공급기(70)로부터 공급되는 불활성가스에 의해 제거시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 방법.
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