KR100818559B1 - 유리기판용 세정롤러 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 76
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 23
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 5
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 3
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 3
- 239000012634 fragment Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 abstract 1
- 230000001464 adherent effect Effects 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
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- B08B1/32—
-
- B08B1/10—
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B11/04—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto specially adapted for plate glass, e.g. prior to manufacture of windshields
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B2220/00—Type of materials or objects being removed
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Abstract
본 발명은 유리기판용 세정롤러에 관한 것으로, 샤프트부(20); 샤프트부(20)의 외주면에 롤 형태로 부착되며, 샤프트부(20)의 축방향을 따라 스파이럴 형태로 배치되는 이물질제거홈(32)이 형성되어 있는 탄성 재질의 세정부(30)를 포함한다. 이에 따라, 유리기판용 세정롤러의 기능성 및 사용성을 상대적으로 향상시킬 수 있다.
유리기판, 세정롤러, 샤프트부, 세정부, 이물질제거홈, 스파이럴
Description
도 1은 본 발명에 따른 유리기판용 세정롤러의 사시도,
도 2은 본 발명에 따른 유리기판용 세정롤러의 세정부 구조를 도시한 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 유리기판용 세정롤러의 작동상태를 개략적으로 도시한 구성도,
도 4는 본 발명에 따른 유리기판용 세정롤러에서 세정부의 다른 실시예를 도시한 단면도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10 : 세정롤러 20 : 샤프트부
30 : 세정부 30a : 제1탄성체
30b : 제2탄성체 32 : 이물질제거홈
40 : 유리기판
본 발명은 유리기판용 세정롤러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리기판 표면의 각종 이물질을 효율적으로 제거할 수 있는 유리기판용 세정롤러에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(FPD:Flat Panel Display)는 편평한 박형의 디스플레이를 말하며, 이러한 평판디스플레이의 종류로는 LCD, PDP, FED 또는 LED 등이 있다.
평판디스플레이에 사용되는 유리기판은 여러 다양한 공정을 거치게 되며, 이러한 과정에서 미세먼지나 유리파편 또는 유기성 물질 등과 같은 각종 이물질이 부착된다.
이와 같은 각종 이물질은 평판디스플레이의 불량을 초래하거나 제품의 질을 상대적으로 저하시키는 원인이 되기 때문에 세정작업을 통해 완전히 제거해 주어야 한다.
종래 평판디스플레이용 유리기판의 세정작업은 회전칼날 방식이나 디스크 타입의 연마패드 방식 또는 롤(Roll) 타입의 연마테이프 방식이 주로 사용되었으며, 최근에 들어 유리기판이 대형화됨에 따라 연마벨트를 이용하여 유리기판을 세정하는 방식이 선보이고 있다.
그러나 상기와 같은 유리기판 세정방식은 세정기구의 구조적·재질적 특성으로 인해, 유리기판 표면의 이물질을 제거하는 데 소요되는 시간이 오래 걸릴 뿐 아 니라 유리기판의 표면에 스크래치(Scratch)를 발생시키는 등 유리기판의 세정효율이 저하되는 문제점이 있다.
또한, 유리기판의 표면에 견고하게 부착되어 있는 고착성 이물질을 제거하는 데에는 한계가 있다.
한편, 연마벨트를 이용한 세정방식의 경우에는 대형의 유리기판에 있어 일부 장점이 있으나, 그 구조가 복잡하여 설치성 및 유지보수성 등이 저하되는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 구조가 단순하면서도 세정효율을 극대화시킬 수 있는 유리기판용 세정롤러를 제공하고자 하는 데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 유리기판 표면의 각종 이물질을 제거하기 위한 유리기판용 세정롤러에 있어서, 샤프트부; 상기 샤프트부의 외주면에 롤 형태로 부착되며, 상기 샤프트부의 축방향을 따라 스파이럴 형태로 배치되는 이물질제거홈이 형성되어 있는 탄성 재질의 세정부를 포함하여 구성되는 데 그 기술적 특징이 있다.
상기 세정부는 합성수지재의 바인더에 알루미늄옥시드(Aluminium Oxide), 실 리콘카바이드(Silicon Carbide), 지르코늄옥시드(Zirconium Oxide), 세륨옥시드(Cerium Oxide), 아이언옥시드(Iron Oxide) 중 적어도 어느 하나를 혼합한 혼합물로 이루어진다.
상기 세정부의 이물질제거홈은 상기 샤프트부의 축방향을 따라 스파이럴 형태로 교차되게 배치되어 다이아몬드 형상을 가지는 것이 보다 바람직함은 물론이다.
상기 세정부의 이물질제거홈은 상기 유리기판 표면의 이물질 제거가 용이하도록 일정 각도로 경사지게 형성되며, 그 내벽면 및 바닥면은 상기 유리기판의 표면으로부터 제거된 이물질이 고착되지 않도록 매끄럽게 표면처리되는 것이 바람직하다.
상기 세정부는 상기 샤프트부의 외주면에 롤 형태로 부착되는 평판형의 제1탄성체; 상기 제1탄성체에 롤 형태로 부착되며, 상기 샤프트부의 축방향을 따라 스파이럴 형태로배치되는 이물질제거홈이 형성되어 있는 제2탄성체를 포함하며, 특히 상기 제2탄성체는 상기 제1탄성체에 비해 경질인 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판용 세정롤러(10)는 샤프트부(20); 샤프트부(20)의 외주면에 롤(Roll) 형태로 부착되는 세정부(30)를 포함하여 구성된다.
샤프트부(20)는 금속 재질로 이루어지며, 일정의 길이 및 직경을 갖는 원통 형상을 가진다.
샤프트부(20)는 모터를 비롯한 공지된 다양한 형태의 구동수단(미도시)에 의해 회전되며, 그 형상 및 크기는 물론이고 그 재질 또한 필요에 따라 적절히 변경 가능하다.
세정부(30)는 접착제 등과 같은 부착수단에 의해 샤프트부(20)의 외주면에 부착되며, 부착수단으로는 세정부(30)를 샤프트부(20)의 외주면에 견고하고 안정적으로 부착시킬 수 있는 범위 내에서 공지된 다양한 종류의 것을 선택적으로 적용할 수 있다.
세정부(30)는 샤프트부(20)의 회전에 의해 연동되어 유리기판(40)에 부착되어 있는 각종 이물질을 제거하는 역할을 수행하며, 그 표면에는 일정 크기의 기공이 형성되어 있다.
세정부(30)는 이물질 제거시 유리기판(40)과의 접촉에 의해 발생되는 스크래치(Scratch) 등을 효율적으로 방지하기 위하여 탄성 재질로 이루어지며, 그 표면에는 이물질제거홈(32)이 형성되어 있다.
이물질제거홈(32)은 샤프트부(20)의 축방향을 따라 스파이럴(Spiral) 형태로 교차되게 배치된 구조를 가진다. 즉, 샤프트부(20)의 축방향을 따라 스파이럴 형태로 두 개의 이물질제거홈(32)이 서로 교차되게 배치되어 다이아몬드 형상을 가진다.
이에 따라, 이물질제거홈(32)의 가공이 간편할 뿐 아니라 유리기판(40)의 전 체 표면을 커버할 수 있어, 유리기판(40)에 부착되어 있는 이물질의 제거효율을 향상시킬 수 있다.
이물질제거홈(32)은 유리기판(40) 표면의 이물질 및 세정수의 흐름 등을 충분히 고려하여 너비 및 깊이가 결정되며, 그 너비 및 깊이는 대략 0.1㎜∼10㎜ 이하인 것이 바람직하다.
이물질제거홈(32)은 유리기판(40) 표면의 이물질 제거가 용이하도록 일정의 각도로 경사지게 형성되어 있으며, 그 경사각도는 필요에 따라 적절히 조절 가능함은 물론이다.
이에 따라, 미세먼지는 물론이고 고착성 이물질을 유리기판(40)으로부터 효율적으로 제거할 수 있다.
그리고 이물제거홈(32)의 바닥면 및 내벽면은 유리기판(40)의 표면으로부터 제거된 이물질이 고착되는 것을 방지할 수 있도록 매끄럽게 표면처리되는 것이 바람직하다.
한편, 세정부(30)의 이물질제거홈(32)은 도면에 별도로 도시하지는 않았지만 샤프트부(20)의 축방향을 따라 단일의 스파이럴 형태, 즉 통상의 나사선 형태를 가질 수도 있음은 물론이다.
세정부(30)의 표면 경도는 Shore A 10 이상, Shore D 90 이하인 것이 바람직하다. 그리고 세정부(30)의 압축강도는 1∼50% 이내이며, 그 밀도는 100∼1,800kg/㎥ 이내인 것이 바람직하다.
세정부(30)는 합성수지재의 바인더에 연마제인 알루미늄옥시드(Aluminium Oxide), 실리콘카바이드(Silicon Carbide), 지르코늄옥시드(Zirconium Oxide), 세륨옥시드(Cerium Oxide), 아이언옥시드(Iron Oxide) 중 적어도 어느 하나를 혼합한 혼합물로 이루어진다.
바인더로는 우레탄, 에폭시 또는 페놀 등이 사용된다. 연마제의 입도는 대략 #40∼8000mesh 정도의 크기를 가지며, 그 함량은 바인더에 대하여 10∼90% 정도인 것이 바람직하다.
유리기판용 세정롤러(10)의 직경 및 길이는 유리기판(40)의 크기 등에 따라 적절히 조절 가능하다.
한편, 세정롤러(10)는 세정부(30)를 평판으로 제조하여 표면가공을 통해 이물질제거홈(32)을 형성하여 일정의 길이 및 폭으로 재단한 후, 접착수단을 사용하여 이물질제거홈(32)이 샤프트부(20)의 외주면에 스파이럴 형태로 배치되도록 세정부(30)를 부착한다.
그리고 진원도를 향상시킬 목적으로 세정부(30)의 표면을 갈아내거나 깎아내는 가공을 한다.
상기와 같은 세정롤러(10)를 제조하는 방법은 일 실시예에 불과한 것으로, 필요에 따라 다양하게 변경할 수 있음은 물론이다.
상기에서 설명한 유리기판용 세정롤러의 작동상태를 간단히 설명하면 하기와 같다.
먼저, 구동수단(미도시)에 의해 세정롤러(10)가 회전됨과 아울러 유리기 판(40)이 세정롤러(10)의 하부영역으로 이송되면, 세정롤러(10)의 세정부(30)가 유리기판(40)에 접촉됨으로써 유리기판(40) 표면의 각종 이물질을 간편하게 제거하게 된다.
이 때, 유리기판(40) 표면의 이물질은 이물질제거홈(32)을 통해 제거되며, 이러한 이물질제거홈(32)은 스파이럴 형태를 가짐으로써 유리기판(40)을 효율적으로 세정할 수 있음은 물론이고 세정수의 흐름도 보다 원활하게 유지할 수 있게 된다.
도 4는 본 발명에 따른 유리기판용 세정롤러에서 세정부의 다른 실시예를 도시한 단면도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 유리기판용 세정롤러(10)는 샤프트부(20); 샤프트부(20)의 외주면에 롤(Roll) 형태로 견고하게 부착되는 세정부(30)를 포함하여 구성된다.
세정부(30)는 샤프트부(20)의 외주면에 롤 형태로 부착되는 평판형의 제1탄성체(30a); 제1탄성체(30a)에 롤 형태로 부착되며, 샤프트부(20)의 축방향을 따라 스파이럴 형태로 배치되는 이물질제거홈(32)이 형성되어 있는 제2탄성체(30b)를 포함한다.
제1탄성체(30a) 및 제2탄성체(30b)는 동심원 구조를 가지며, 그 재질은 도 1 내지 도 3에서 설명한 세정부(30)와 동일하므로 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.
제2탄성체(30b)는 제1탄성체(30a)에 비해 상대적으로 경질로 이루어진다. 이와 같이 세정부(30)가 연질 및 경질의 이중구조를 가짐으로 인해, 세정작업시 유리기판(40)에 손상을 주지 않으면서 유리기판(40)의 표면에 밀착 접촉 가능하여 세정효율을 극대화시킬 수 있다.
예컨대, 유리기판(40)에 고착성 이물질이 부착되어 있더라도 이를 간편하고 용이하게 제거할 수 있다.
한편, 세정부(30)는 이중 구조 외 필요에 따라 다중 구조를 가질 수 있음은 물론이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 유리기판용 세정롤러의 구조가 단순하여 세정장치에의 조립성 및 유지보수성 등을 상대적으로 향상시킬 수 있다.
그리고 세정부의 구조적·재질적 특성으로 인해, 유리기판의 이물질 세정효율을 극대화시킬 수 있음은 물론이고 세정수의 흐름을 보다 원활하게 유지할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 세정부가 연질 및 경질의 이중구조를 가짐으로써 고착성 이물질의 제거가 용이하다.
Claims (4)
- 유리기판 표면의 각종 이물질을 제거하기 위한 유리기판용 세정롤러에 있어서,샤프트부;상기 샤프트부의 외주면에 롤 형태로 부착되며, 상기 샤프트부의 축방향을 따라 스파이럴 형태로 배치되는 이물질제거홈이 형성되어 있는 탄성 재질의 세정부를 포함하며,상기 세정부는,합성수지재의 바인더에 알루미늄옥시드(Aluminium Oxide), 실리콘카바이드(Silicon Carbide), 지르코늄옥시드(Zirconium Oxide), 세륨옥시드(Cerium Oxide), 아이언옥시드(Iron Oxide) 중 적어도 어느 하나를 혼합한 혼합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리기판용 세정롤러.
- 제1항에 있어서,상기 세정부의 이물질제거홈은 상기 샤프트부의 축방향을 따라 스파이럴 형태로 교차되게 배치되어 다이아몬드 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 유리기판용 세정롤러.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 세정부의 이물질제거홈은 상기 유리기판 표면의 이물질 제거가 용이하도록 일정 각도로 경사지게 형성되며, 그 내벽면 및 바닥면은 상기 유리기판의 표면으로부터 제거된 이물질이 고착되지 않도록 매끄럽게 표면처리되는 것을 특징으로 하는 유리기판용 세정롤러.
- 제1항에 있어서,상기 세정부는,상기 샤프트부의 외주면에 롤 형태로 부착되는 평판형의 제1탄성체; 상기 제1탄성체에 롤 형태로 부착되며, 상기 샤프트부의 축방향을 따라 스파이럴 형태로 배치되는 이물질제거홈이 형성되어 있는 제2탄성체를 포함하며,상기 제2탄성체는 상기 제1탄성체에 비해 경질인 것을 특징으로 하는 유리기판용 세정롤러.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020070027940A KR100818559B1 (ko) | 2007-03-22 | 2007-03-22 | 유리기판용 세정롤러 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020070027940A KR100818559B1 (ko) | 2007-03-22 | 2007-03-22 | 유리기판용 세정롤러 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR100818559B1 true KR100818559B1 (ko) | 2008-04-02 |
Family
ID=39533477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020070027940A KR100818559B1 (ko) | 2007-03-22 | 2007-03-22 | 유리기판용 세정롤러 |
Country Status (1)
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