KR100813235B1

KR100813235B1 - 테스트핸들러

Info

Publication number: KR100813235B1
Application number: KR1020070032417A
Authority: KR
Inventors: 나윤성; 전인구; 여동현; 유현준
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2007-04-02
Filing date: 2007-04-02
Publication date: 2008-03-13

Abstract

본 발명은 테스트핸들러에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 고객트레이에 적재된 반도체소자를 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩시키고, 상기 로딩위치와 이격된 언로딩위치에 있는 테스트트레이에 적재된 반도체소자를 고객트레이로 언로딩시키기 위한 픽앤플레이스장치; 상기 픽앤플레이스장치가 테스트트레이에 적재된 반도체소자를 파지하거나 테스트트레이에 반도체소자를 적재시킬 수 있도록 테스트트레이에 적재된 반도체소자의 고정상태를 해제하는 개방유닛; 상기 개방유닛이 상기 로딩위치의 하방 및 상기 언로딩위치의 하방에 선택적으로 위치될 수 있도록 상기 개방유닛을 이동시키는 이동기; 상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이를 상기 로딩위치로 이송시키기 위한 트레이이송기; 및 상기 픽앤플레이스장치에 의해 로딩이 완료된 테스트트레이가 테스트위치로 이송되면, 상기 테스트위치에 있는 테스트트레이에 적재된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하기 위해 마련되는 테스트챔버; 를 포함함으로써 장비의 생산성을 향상시킬 수 있는 테스트핸들러에 관한 기술이 개시된다.

테스트핸들러, 개방유닛, 개방기

Description

테스트핸들러{TEST HANDLER}

도1은 선행기술3에 따른 문제점을 설명하기 위한 참조도이다.

도2는 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도이다.

도3 내지 도9는 도2의 테스트핸들러를 I방향에서 주요 구성을 바라본 개념적인 작동상태도이다.

*도면의 주요부위에 대한 부호의 설명*

220 : 테스트챔버

240 : 픽앤플레이스장치

250 : 개방유닛

251 : 개방블럭

251a : 설치판

251b : 개방기

252 : 승강기

253 : 지지블럭

260 : 이동기

270 : 테스트트레이이송기

본 발명은 생산된 반도체소자의 검사를 지원하기 위한 테스트핸들러에 관한 것으로, 특히 테스트트레이의 인서트를 개방시킬 수 있는 개방장치에 관한 것이다.

테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트결과에 따라 반도체소자들을 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재하는 기기로서 대한민국 등록특허공보 등록번호 10-0553992호(이하 '선행기술'이라 함) 등과 같은 다수의 공개문서들을 통해 이미 공개되어 있다.

일반적으로, 생산된 반도체소자는 고객트레이에 적재된 상태에서 테스트핸들러로 공급된다. 테스트핸들러로 공급된 반도체소자는 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩됨으로써 테스트트레이에 적재된 상태에서 테스트사이트를 거쳐 언로딩위치까지 이동된 후 언로딩위치에서 고객트레이로 언로딩된다.

위와 같은 테스트핸들러 내에서 반도체소자의 이동과정 중 테스트트레이가 테스트사이트에 위치하게 되면, 도킹된 테스터에 의해 반도체소자의 테스트가 이루어진다.

따라서 테스트핸들러에는 로딩플레이트상에 있는 고객트레이로부터 로딩위치에 있는 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시키거나, 언로딩위치에 있는 테스트트레이로부터 언로딩플레이트상에 있는 빈 고객트레이로 반도체소자를 언로딩시키 기 위한 장치가 필요하다.

일반적으로, 고객트레이와 테스트트레이 간에 반도체소자를 이동 적재(로딩 또는 언로딩)시키는 장치로는, 픽앤플레이스(PICK AND PLACE)장치가 사용되는 데, 이러한 픽앤플레이스장치와 관련하여서는 대한민국 공개특허 공개번호 특2001-0060303호(발명의 명칭 : 램버스 핸들러), 대한민국 특허출원 출원번호 10-2004-0107413(발명의 명칭 : 테스트 핸들러의 로더 핸드) 등의 선행자료들을 통해 이미 상세히 공개되어 있다. 일반적으로 픽앤플레이스장치는, 그 역할에 따라서 로딩용으로 적용 시에는 로더 핸드, 언로딩용으로 적용 시에는 언로더 핸드, 소팅용으로 적용 시에는 소터 핸드 등으로도 칭하여지며, 로더, 언로더, 소터 등으로 칭하여지기도 한다.

선행기술들에서 제시된 바와 같이 픽앤플레이스장치는 진공흡착패드에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착 해제함으로써 반도체소자를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 되어 있다.

한편, 테스트트레이에는 반도체소자가 안착되는 안착공간(수용홀, 안착부 등 다양한 명칭으로도 정의됨)을 가지는 인서트들이 행렬형태로 배열되어 있는 데, 인서트는 안착공간 상에 안착된 반도체소자를 안착된 상태로 유지시키기 위한 록킹장치를 구비한다. 이러한 록킹장치와 관련하여서는 대한민국 등록특허 10-0486412호(발명의 명칭 : 테스트 핸들러의 테스트 트레이 인서트, 이하 '선행기술1'이라 함) 등을 통해 이미 상세히 공개되어 있다.

따라서 픽앤플레이스장치에 의해 테스트트레이에 안착된 반도체소자를 파지 하거나 테스트트레이에 반도체소자를 안착시키기 위해서는 록킹장치를 개방시켜야만 한다.

록킹장치를 개방시키는 기술로는 종래 일본국의 어드반테스트사에서 개발하여 적용하고 있는 것처럼 개방소자가 픽앤플레이스장치에 구성된 것과, 대한민국의 테크윙사에서 상기한 선행기술1을 통해 개시한 바와 같이 별도의 개방유닛(선행기술1에는 위치결정장치로 정의됨)을 구성시키고 이 개방유닛에 개방소자(선행기술1에는 록커핀으로 정의됨)를 구성시킨 것을 들 수 있다.

그런데, 처리속도의 향상을 위해 로딩시간 및 언로딩시간의 단축이라는 과제를 위해서 픽앤플레이스장치는 신속한 이동성이 보장되어야 하는 데, 픽앤플레이스장치에 테스트트레이를 개방시키기 위한 개방소자를 적용하게 되면, 픽앤플레이스장치의 전체 무게를 증가시켜 픽앤플레이스장치의 이동성을 떨어뜨린다. 따라서 근자에는 테크윙사에서 개발한 별도의 개방유닛에 개방소자를 구성시킨 기술로 대체되어 나가고 있다.

테크윙사는 별도의 개방유닛에 개방소자를 구성시킨 기술의 우수성이 검증됨에 따라 개방유닛에 대한 지속적인 개발을 추구하여 선행기술1에서 더 나아가 대한민국 특허등록 등록번호 10-0687676호(발명의 명칭 : 테스트핸들러, 이하 '선행기술2'라 함)를 개발하기에 이르렀다. 선행기술2에 의하면, 개방유닛의 크기를 축소시키되, 개방유닛을 이동시켜 가면서 테스트트레이의 전면적에 걸친 인서트를 개방시킬 수 있도록 하여 생산성 및 교체성을 향상시키고 있다.

일반적으로 테스트핸들러는 로딩시간 및 언로딩시간을 줄이기 위해 로딩위치 와 언로딩위치를 별개로 구성시키고 로딩위치에 있는 테스트트레이로의 로딩작업과 언로딩위치에 있는 테스트트레이에서의 언로딩작업이 동시에 이루어질 수 있도록 하고 있다. 따라서 선행기술1 및 선행기술2에서 참조되는 바와 같이 개방유닛도 로딩위치의 하방 및 언로딩위치의 하방에 각각 구비되어야 한다.

물론, 대한민국 미래산업사의 특허공개 공개번호 10-1998-0056230호(발명의 명칭 : 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법, 이하 '선행기술3'이라 함)에서 언급(해당 공개공보 도4 참조)된 바와 같이, 로딩위치와 언로딩위치를 동일하게 하여 로딩작업과 언로딩작업이 이시(異時)적으로 이루어지게 할 수도 있다. 이러한 경우 테스트트레이를 개방시키기 위한 개방유닛이나 픽앤플레이스장치가 하나씩만 구비되면 족하므로 장치의 생산성을 향상시킬 수 있게 된다. 그러나 선행기술3에 의하면, 로딩시간과 언로딩시간이 서로 충돌하지 않아야 하므로 궁극적으로 로딩 및 언로딩에 걸리는 시간이 증가하게 된다. 따라서 선행기술1 및 선행기술2에서와 같이 로딩위치 및 언로딩위치를 이격시켜 로딩작업과 언로딩작업이 동시(同時)적으로 수행될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

그런데, 만일 소용량의 경우, 즉, 테스트트레이에 적재될 수 있는 반도체소자의 개수가 적을 경우, 테스트시간과의 관계에서 로딩시간이나 언로딩시간이 충분히 확보될 수 있게 된다. 따라서 이러한 경우에는 오히려 선행기술3과 같이 로딩위치와 언로딩위치를 동일하게 하는 것이 더 바람직할 수 있다. 그렇지만 선행기술3에 의하는 경우 픽앤플레이스장치의 이동거리가 길어져 로딩시간이나 언로딩시간을 지나치게 소비시키게 되어 스피드테스트(반도체소자의 테스트방법에는 테스트시간 이 짧은 스피드테스트[하이스피드테스트]와 긴 테스트시간을 필요로 하는 코어테스트[로우스피드테스트]가 있다)의 경우에는 그 적용이 곤란할 수 있다. 이러한 점에 대하여 도1을 참조하여 더 설명한다.

도1에서 참조되는 바와 같이 일반적인 테스트핸들러에는 고객트레이가 위치될 수 있는 복수의 로딩플레이트(181)와 언로딩플레이트(191)가 존재한다. 참고적으로 언로딩플레이트(191)가 더 많은 개수로 구비되어야 하는 데, 이러한 이유는 테스트가 완료된 반도체소자를 테스트 등급별로 구분하여 각각 다른 고객트레이에 적재시켜야 하기 때문이다. 도1에서와 같이 다수의 로딩플레이트(181) 및 언로딩플레이트(191)들이 일렬로 배치되어 있는 경우, 로딩위치(LP)와 언로딩위치(UP)가 동일하게 되면, 도1의 화살표에서 참조되는 바와 같이 로딩거리(LS) 및 언로딩거리(US)가 길어지게 되는 결과를 초래하게 됨으로 로딩작업과 언로딩작업의 이시적 수행에서 오는 로딩 및 언로딩시간의 소비요소에 더하여 픽앤플레이스장치의 이동거리가 길어짐으로 인한 로딩 및 언로딩시간의 소비요소가 추가되기 때문에, 앞서 언급한 바와 같이 스피드테스트의 경우 선행기술3에 따른 테스트핸들러를 사용하기가 부적절해진다.

즉, 테스트핸들러는 장비의 가동률을 높이기 위해, 테스터에 의해 테스트되는 시간과 비교해 로딩 및 언로딩시간이 일치하거나 더 빨라야 하는 것이 바람직한 데, 소용량의 테스트핸들러에 선행기술1 및 2를 적용하면 로딩 및 언로딩 시간이 테스트시간보다 빠른 것은 만족(지나치게 빠를 수 있음)하지만 장비의 생산단가가 상승하게 되며, 소용량의 테스트핸들러에 선행기술3을 적용하면 장비의 생산단가는 하락하지만 로딩 및 언로딩 시간이 지나치게 길어져 스피드테스트 시의 테스트 시간보다 로딩 및 언로딩 시간이 더 많이 걸려 장비의 가동률을 떨어뜨릴 수 있는 문제점이 있다.

또한, 언로딩이 완료된 테스트트레이의 경우에는 IC(아이씨)검출회로를 통해 언로딩위치에서 로딩위치로 이동 중인 테스트트레이로부터 모든 반도체소자가 언로딩되었는 지를 감지하게 된다. IC검출회로와 관련하여서는 대한민국 등록특허 10-0355422호(발명의 명칭 : 반도체디바이스시험장치) 등을 통해 이미 상세히 공개되어 있다. 일반적으로 IC검출회로는 테스트트레이의 상방(또는 하방)에서 빛을 조사시킨 후 테스트트레이의 하방(또는 상방)에서 빛을 감지함으로써 테스트트레이로부터 반도체소자들이 모두 언로딩되었는 지를 감지하게 된다. 만일 언로딩작업이 완료되었는데도 테스트트레이에 반도체소자가 남게 되면, 추후 해당 테스트트레이를 대상으로 로딩작업을 할 시에 로딩불량이 발생하기 때문에 관리자는 IC검출회로의 감지결과에 따라서 언로딩되지 못한 반도체소자를 제거하여야 한다. 그런데, 선행기술3에서와 같이 로딩과 언로딩이 동일위치에 있게 되면 IC검출회로를 설치할 수가 없게 된다. 선행기술3에 IC검출회로를 설치하기 위해서는 IC검출회로가 테스트트레이의 일측에서 타측으로 이동할 수 있도록 하여야 하거나, 테스트트레이의 전면적에 걸쳐서 감지 가능하도록 설치하여야 하는 데, 선행기술3에 의하면 테스트레이의 상방에는 픽앤플레이스장치가 위치하고 그 하방에는 개방유닛(개방유닛을 적용한 경우)이 위치하기 때문에, 장치 간 간섭으로 인하여 IC검출회로를 설치하는 것이 실질적으로 불가능하다는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 로딩위치와 언로딩위치를 구분시키되, 하나의 개방유닛에 의해 로딩위치와 언로딩위치에 있는 테스트트레이를 모두 개방시킬 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 고객트레이에 적재된 반도체소자를 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩시키고, 상기 로딩위치와 이격된 언로딩위치에 있는 테스트트레이에 적재된 반도체소자를 고객트레이로 언로딩시키기 위한 픽앤플레이스장치; 상기 픽앤플레이스장치가 테스트트레이에 적재된 반도체소자를 파지하거나 테스트트레이에 반도체소자를 적재시킬 수 있도록 테스트트레이에 적재된 반도체소자의 고정상태를 해제하는 개방유닛; 상기 개방유닛이 상기 로딩위치의 하방 및 상기 언로딩위치의 하방에 선택적으로 위치될 수 있도록 상기 개방유닛을 이동시키는 이동기; 상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이를 상기 로딩위치로 이송시키기 위한 테스트트레이이송기; 및 상기 픽앤플레이스장치에 의해 로딩이 완료된 테스트트레이가 테스트위치로 이송되면, 상기 테스트위치에 있는 테스트트레이에 적재된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하기 위해 마련되는 테스트챔버; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 개방유닛은, 테스트트레이에 적재된 반도체소자의 고정상태를 해제하는 개방기; 상기 개방기가 테스트트레이에 적재된 반도체소자의 고정상태를 해제하도 록 하는 동력을 제공하는 동력원; 및 상기 개방블럭 및 동력원을 지지하는 지지블럭; 을 포함하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 이동기는 상기 지지블럭에 힘을 가함으로써 상기 개방유닛을 이동시키는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 테스트트레이이송기는 상기 개방유닛에 일체로 결합되어 테스트트레이를 지지(또는 파지)하거나 지지(또는 파지) 해제 할 수 있도록 함으로써, 이동기의 작동에 의해 상기 개방유닛이 상기 언로딩위치의 하방에서 상기 로딩위치의 하방으로 이동할 시에 상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이를 상기 로딩위치로 함께 이송시키는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 따른 하나의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하되, 중복되는 설명이나 자명한 사항에 대한 설명은 가급적 생략하거나 압축하기로 한다.

도2에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 테스트핸들러는 로딩위치(LP)의 후방에 소크챔버(210)를 구비시키고, 소크챔버(210)의 측면으로 테스트챔버(220) 및 디소크챔버(230)가 순서적으로 나란히 배치되도록 구비시킨다. 그리고 테스트챔버(220)의 전방으로는 언로딩위치(UP)가 마련된다. 또, 로딩위치(LP)의 전방으로는 두개의 로딩플레이트(281)가 구비되고, 언로딩위치(UP)의 전방으로는 4개의 언로딩플레이트(291)가 구비되어 있다.

소크챔버(210)는, 주지된 바와 같이 테스트트레이에 적재된 반도체소자를 테스트챔버(220)로 이송시키기에 앞서 테스트환경에 적합하도록 예열/예냉시킨다.

테스트챔버(220)는, 주지된 바와 같이 테스트위치(TP)에 위치된 테스트트레이에 적재된 반도체소자가 테스터(미도시)에 의해 테스트될 수 있도록 지원한다.

디소크챔버(230)는, 역시 주지된 바와 같이 테스트챔버(220)로부터 이송되어 온 테스트트레이에 적재된 반도체소자로부터 제열/제냉시킨다.

그리고 로딩플레이트(281) 및 언로딩플레이트(291)에는 각각 미테스트된 반도체소자를 적재한 고객트레이와 테스트가 완료된 반도체소자를 적재할 고객트레이가 위치된다.

또한, 도2의 테스트핸들러에는 픽앤플레이스장치(240)와 도3 내지 도9에 도시된 개방유닛(250), 이동기(260) 및 테스트트레이이송기(270)가 더 구비된다.

픽앤플레이스장치(240)는, 주지된 바와 같이 전후 및 좌우 이동이 가능하도록 구비되며, 로딩플레이트(281)상에 있는 고객트레이로부터 로딩위치(LP)에 있는 테스트트레이(T.T)로 반도체소자를 로딩시키고, 언로딩위치(UP)에 있는 테스트트레이(T.T)로부터 언로딩플레이트(291)상에 있는 고객트레이로 반도체소자를 언로딩시키는 역할을 수행한다. 그리고 도2의 테스트핸들러의 주요 부위를 I방향에서 도시한 도3 내지 도9에서 참조되는 바와 같이 1회 작동 시 다수의 반도체소자들을 이동시키기 위해 다수의 픽커(241)들을 구비하고 있다.

개방유닛(250)은, 로딩위치(LP)의 하방이나 언로딩위치(LP)의 하방에 선택적으로 위치될 수 있으며, 로딩위치(LP)나 언로딩위치(UP)에 있는 테스트트레이(T.T) 를 개방시키는 역할을 수행한다.

개방유닛(250)의 구성을 도3 내지 도9를 참조하여 더 자세히 살펴보면, 개방유닛(250)은, 테스트트레이(T.T)를 개방시키기 위한 개방블럭(251)과, 개방블럭(251)을 승강시키는 승강기(252)와, 지지블럭(253) 등을 포함하여 구성된다.

개방블럭(251)은 테스트트레이(T.T) 방향으로 승강 가능하도록 구비되며, 개방핀(P)들이 다수 형성된 개방기(251b)와, 다수의 개방기(251b)가 설치되는 설치판(251a)을 구비하고 있어서, 개방블럭(251)이 상승하게 되면 다수의 개방핀(P)들이 테스트트레이(T.T)에 삽입되면서 테스트트레이(T.T)를 개방시킬 수 있도록 되어 있다.

승강기(252)는 개방블럭(251)을 승강시키는 동력원으로서 구비되며, 실린더와 같은 저가의 부품으로 구성되면 족하다.

지지블럭(253)은 개방블럭(251) 및 승강기(252)를 지지하며, 개방블럭(251)의 적절한 승강운동을 유도한다. 그리고 후술되는 이동기(260)의 피스톤로드(261)가 지지블럭(253)에 결합되기 때문에 개방블럭(251)이나 승강기(252)의 작동구성과는 무관하게 개방유닛(250)과 이동기(260)가 적절히 결합될 수 있도록 한다.

이동기(260)는 개방유닛(250)을 로딩위치(LP)의 하방 또는 언로딩위치(UP)의 하방에 선택적으로 위치시킬 수 있도록 이동시키는 역할을 수행하기 위해, 개방블럭(251) 및 승강기(252)를 지지하는 지지블럭(253)의 일단에 피스톤로드(261)가 결합되는 실린더로서 구비되며, 이동기(260)의 작동에 의해 지지블럭(253)에 이동력이 가해짐으로 인하여 개방유닛(250)이 로딩위치(LP)의 하방에서 언로딩위치(UP)의 하방으로 또는 언로딩위치(UP)의 하방에서 로딩위치(LP)의 하방으로 이동된다. 이동기(260)는 실시하기에 따라서 모터 및 벨트 또는 모터 및 스크류축 등으로 구성할 수도 있는 등 다양한 변형예가 가능할 수 있다.

테스트트레이이송기(270)는 언로딩위치(UP)에 있는 테스트트레이(T.T)를 로딩위치(LP)로 이송시키기 위해 구비된다. 이러한 테스트트레이이송기(270)는 개방유닛(250), 더 상세히는 개방유닛(250)의 지지블럭(253)에 결합 설치되면서 언로딩위치(UP)에 있는 테스트트레이(T.T)의 우측단을 지지(또는 파지)하거나 지지(또는 파지) 해제하도록 되어 있다. 본 실시예에서는 테스트트레이이송기(270)를 실린더로 구비시키고 실린더로드의 상단에 지지단(271)을 두어 실린더의 작동에 따라 지지단(271)이 승강하면서 언로딩위치(UP)에 있는 테스트트레이(T.T)의 우측단을 지지하거나 지지 해제할 수 있도록 구현시키고 있다.

위와 같은 테스트핸들러에서 테스트트레이(T.T)는, 도2의 루프에 도시된 바와 같이 로딩위치(LP)에서 로딩이 완료된 후 소크챔버(210)를 거쳐 테스트위치(TP)로 이송되고, 테스트위치(TP)에서 적재된 반도체소자의 테스트가 완료되면 디소크챔버(230)를 거쳐 디소크챔버(230)의 전방으로 이송된 후 다시 언로딩위치(UP)로 이송되며, 언로딩위치(UP)에서 적재된 반도체소자의 언로딩이 완료되면 로딩위치(LP)로 이송되게 된다.

계속하여 도2의 테스트핸들러의 주요 작동에 대하여 도3 이하를 참조하여 설 명한다.

도3에는 현재 적재된 반도체소자의 테스트가 완료된 후 디소크챔버(230) 및 디소크챔버(230)의 전방을 거쳐 언로딩위치(UP)로 테스트트레이(T.T)가 이송되어 온 상태에서 테스트트레이(T.T)의 하방에 개방유닛(250)이 위치하고 있는 상태를 도시하고 있다.

도3의 상태에서 승강기(252)가 작동하면 개방기(251)가 상승하면서 도4에 도시된 바와 같이, 개방블럭(251)이 테스트트레이(T.T)에 결합되면서 개방핀(P)들이 테스트트레이(T.T)에 삽입되어 테스트트레이(T.T)를 개방시키게 된다. 이러한 도4의 상태에서 픽앤플레이스장치(240)는 언로딩위치(UP)의 상방에서 언로딩위치(UP)에 있는 테스트트레이(T.T)로부터 언로딩플레이트(291)상의 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시킨다. 도2를 참조하면 언로딩위치(UP)의 전방에 언로딩플레이트(291)들이 구비되기 때문에 픽앤플레이스장치(240)의 언로딩거리가 최소화될 수 있음을 알 수 있다.

픽앤플레이스장치(240)에 의한 언로딩작업이 완료되면, 도5에서와 같이 승강기(252)가 작동하여 개방블럭(251)을 하강시키게 되고, 이와 함께 테스트트레이이송기(270)가 작동하여 지지단(271)을 상승시킴으로써 현재 언로딩위치(UP)에 있는 테스트트레이(T.T)의 우측단이 지지단(271)에 의해 지지될 수 있도록 한다. 이어서, 도6에서와 같이 이동기(260)가 작동하여 지지블럭(253)에 좌측으로 힘을 가하여 개방유닛(250)을 이동시킴으로써 개방유닛(250)이 로딩위치(LP)의 하방에 위치되도록 한다. 이 때 테스트트레이이송기(270)도 개방유닛(250)에 일체로 결합되어 있고, 테스트트레이이송기(270)의 지지단(271)에 의해 테스트트레이(T.T)의 우측단이 지지되고 있기 때문에, 언로딩위치(UP)에 있는 테스트트레이(T.T)도 개방유닛(250)과 함께 이동하면서 로딩위치(LP)로 이송되게 된다. 또한, 픽앤플레이스장치(240)도 좌측으로 이동하여 로딩위치(LP)의 상방에 위치되게 된다. 물론, 본 실시예에서는 개방유닛(250)에 테스트트레이이송기(270)를 일체로 결합하여 개방유닛(250)과 테스트트레이(T.T)가 함께 이동될 수 있도록 함으로써, 테스트트레이이송기(270)에 의한 테스트트레이(T.T)의 이송을 간단하게 구현시키고 있다. 즉, 개방유닛(250)과 별도로 분리된 테스트트레이이송기를 구현시킨다면 테스트트레이이송기에 테스트트레이를 파지하거나 지지할 수 있는 수단과 테스트트레이를 이송시킬 수 있는 수단을 필요로 한다. 그러나 본 실시예에서와 같이 테스트트레이이송기(270)를 개방유닛(250)에 결합 설치하게 되면, 개방유닛(250)과 테스트트레이(T.T)를 지지(또는 파지)한 상태의 테스트트레이이송기(270)의 이동을 하나의 이동기(260)에 의해 실현시킬 수 있게 되므로, 궁극적으로 테스트트레이를 이송시킬 수 있는 별도의 수단을 필요로 하지 않게 된다. 물론, 실시하기에 따라서는 언로딩위치(UP)에 있던 테스트트레이(T.T)가 별도의 이송장치(미도시)에 의해 로딩위치(LP)로 이송되도록 하는 것도 얼마든지 고려될 수 있다.

도6의 상태에서 다시 승강기(252)가 작동하여 개방블럭(251)을 상승시킴으로써 도7에서와 같이 테스트트레이(T.T)를 개방시키게 되고, 마찬가지로 테스트트레이이송기(270)도 작동하여 지지단(271)을 하강시키게 된다. 그리고 도7의 상태에서 픽앤플레이스장치(240)가 작동하여 로딩플레이트(281)상에 있는 고객트레이로부터 로딩위치(LP)에 있는 테스트트레이(T.T)로 반도체소자를 로딩시키게 된다. 이때도 마찬가지로 도2에서 참조되는 바와 같이 로딩위치(LP)의 전방에 로딩플레이트(281)가 위치됨으로 인하여 픽앤플레이스장치(240)의 로딩거리가 최소화되게 된다.

픽앤플레이스장치(240)에 의해 로딩위치(LP)에 있는 테스트트레이(T.T)로 반도체소자들의 로딩이 모두 완료되면, 도8에서와 같이 승강기(252)가 작동하여 개방블럭(251)을 하강시키게 된다.

그리고 로딩이 완료된 테스트트레이(T.T)는 별도의 미도시된 이송장치에 의해 소크챔버(210)로 보내지고, 도9에 도시된 바와 같이, 이동기(260)가 작동하여 개방유닛(250)을 언로딩위치(UP)의 하방으로 이동시킴으로써 다음에 올 테스트트레이(T.T)부터의 언로딩작업을 대기한다. 물론 픽앤플레이스장치(240)도 로딩위치(LP)의 상방에서 언로딩위치(UP)의 상방으로 이동해 있게 된다.

상술한 실시예에서는 개방유닛(250) 및 픽앤플레이스장치(240)가 로딩 및 언로딩 시에 모두 활용될 수 있도록 하고 있지만, 픽앤플레이스장치는 로딩용과 언로딩용으로 구분되어 구비되는 것도 고려될 수 있다.

또한, IC검출회로는 로딩위치(LP)에 있는 테스트트레이(T.T)의 점유공간과 언로딩위치(UP)에 있는 테스트트레이(T.T)의 점유공간 사이(도2의 G위치)에 설치될 수 있을 것이며, 설치된 IC검출회로는 언로딩위치(UP)에서 로딩위치(LP)로 이송되는 테스트트레이(T.T)로부터 반도체소자의 적절한 언로딩작업이 이루어졌는지 여부를 감지하게 될 것이다.

이상과 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 따르면, 로딩위치 및 언로딩위치가 구분되어 있는 경우에도 하나의 개방유닛을 로딩 및 언로딩 작업에 모두 활용할 수 있기 때문에 테스트시간과 로딩 및 언로딩시간이 적절히 조율된 테스트핸들러의 생산이 가능하고, 소용량 테스트핸들러의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 테스트트레이이송기를 개방유닛에 일체로 결합 설치함으로써 테스트트레이이송기가 테스트트레이를 파지하거나 지지한 상태에서 개방유닛과 함께 이동될 수 있도록 하여 테스트트레이의 이송을 보다 간단히 구성시킴으로써 이 역시 테스트핸들러의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과를 가지게 한다.

Claims

고객트레이에 적재된 반도체소자를 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩시키고, 상기 로딩위치와 이격된 언로딩위치에 있는 테스트트레이에 적재된 반도체소자를 고객트레이로 언로딩시키기 위한 픽앤플레이스장치;

상기 픽앤플레이스장치가 테스트트레이에 적재된 반도체소자를 파지하거나 테스트트레이에 반도체소자를 적재시킬 수 있도록 테스트트레이에 적재된 반도체소자의 고정상태를 해제하는 개방유닛;

상기 개방유닛이 상기 로딩위치의 하방 및 상기 언로딩위치의 하방에 선택적으로 위치될 수 있도록 상기 개방유닛을 이동시키는 이동기;

상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이를 상기 로딩위치로 이송시키기 위한 테스트트레이이송기; 및

상기 픽앤플레이스장치에 의해 로딩이 완료된 테스트트레이가 테스트위치로 이송되면, 상기 테스트위치에 있는 테스트트레이에 적재된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하기 위해 마련되는 테스트챔버; 를 포함하는 것을 특징으로 하는

테스트핸들러.
제1항에 있어서,

상기 개방유닛은,

테스트트레이에 적재된 반도체소자의 고정상태를 해제하는 개방블럭;

상기 개방블럭이 테스트트레이에 적재된 반도체소자의 고정상태를 해제하도록 하는 동력을 제공하는 동력원; 및

상기 개방블럭 및 동력원을 지지하는 지지블럭; 을 포함하는 것을 특징으로 하는

테스트핸들러.
제2항에 있어서,

상기 이동기는 상기 지지블럭에 힘을 가함으로써 상기 개방유닛을 이동시키는 것을 특징으로 하는

테스트핸들러.
제1항에 있어서,

상기 테스트트레이이송기는 상기 개방유닛에 일체로 결합되어 테스트트레이를 지지(또는 파지)하거나 지지(또는 파지) 해제 할 수 있도록 함으로써, 상기 개방유닛이 상기 언로딩위치의 하방에서 상기 로딩위치의 하방으로 이동할 시에 상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이를 상기 로딩위치로 함께 이송시키는 것을 특징으로

테스트핸들러.