KR100812989B1 - 연마휠 - Google Patents

Abstract

본 발명은 연마휠에 관한 것으로, 그 구성은 연마를 요하는 대상물의 내경에 삽입되어 회전운동 및 왕복운동을 할 수 있으며, 긴 환봉의 형태를 가지며, 그 내부에는 길이관통공이 그 길이중심선과 나란하게 형성되며, 그 외주로부터 중심을 향하여 파여져서 그 길이방향으로 길게 형성된 수용홈을 가지는 몸체부재와, 상기 몸체부재로부터 연장되며, 상기 몸체부재의 직경보다 더 큰 직경을 가지며, 그 내부에는 상기 길이관통공과 연통된 연장관통공을 가지는 연장부재와, 상기 몸체부재의 수용홈으로부터 그 몸체부재의 내경 쪽으로 파여져, 상기 몸체부재의 길이관통공과 연통되며, 상기 연장관통공과 길이관통공으로부터 제공되는 가압공기가 유출되는 가압공기유출공 및 상기 수용홈에 삽입되어 위치되었다가, 상기 수용홈에 제공되는 가압공기에 의해 상기 몸체부재의 외주로부터 부풀려지며, 대상물을 연마하는 연마제를 포함하는 것을 특징으로 하는 것으로서, 연마를 요하는 대상물의 내경에 삽입되어 가압공기에 의해 상기 연마제가 부풀러진 상태에서 회전운동 및 왕복운동을 함으로써 연마를 요하는 대상물의 내경을 자동으로 연마할 수 있는 효과가 있다.

Description

연마휠{Polishing wheel}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 연마휠의 측면도

도 2는 도 1에 도시된 연마휠의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도

도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 연마휠의 사용 상태를 설명하기 위한 도면

도 5는 도 1에 도시된 연마휠에 사용되는 연마제의 측면도

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

10. 몸체부재 12. 길이관통공

14. 수용홈 20. 연장부재

22. 연장관통공 30. 가압공기유출공

40. 절삭유유출공 50. 연마제

본 발명은 연마휠에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자동으로 연마를 요하는 대상물의 내경을 연마할 수 있는 연마휠에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 설비 가스 라인에는 여러 가지의 피팅류나 밸브류가 사용된다. 그리고 이러한 피팅류나 밸브류는 그 내경이 굉장히 매끄러워야 하여 일정한 내면조도가 요구되고 있다. 왜냐하면 반도체 설비 가스 라인에 사용되는 피팅류나 밸브류이어서 그 내면에 이물질이 포함되어서는 안되며, 그 내부를 유동하는 유체의 흐름이 원활해야만 하기 때문이다.

이를 위해서, 현재까지 상기 반도체 설비 가스 라인에 사용되는 피팅류나 밸브류의 내경은 작업자가 수작업으로 반복 왕복 운동으로 연마를 하였다.

즉, 작은 직경을 가지는 환봉에 연마포(사포)를 감아서, 이 연마포가 감긴 환봉을 상기 피팅류나 밸브류의 내경에 삽입하여 작업자가 수회 반복하여 왕복운동으로 문질러서 상기 반도체 설비 가스 라인에 사용되는 피팅류나 밸브류의 내경을 연마하였던 것이다.

그러나, 상기와 같이 종래의 반도체 설비 가스 라인에 사용되는 피팅류나 밸브류의 내경을 연마하는 방식은 수작업으로 이루어지므로, 일률적인 품질이 보장이 안되며, 내경 연마를 위한 시간이 오래 걸려서 밸브류나 피팅류의 생산시간이 장시간 소요되며, 생산원가가 올라가며 대량생산이 불가능하다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 바와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 그 목적은 반도체 설비 가스 라인에 사용되는 피팅류나 밸브류의 내경을 자동으로 연마함으로써, 밸브류나 피팅류의 일률적인 품질이 보장되며, 내경 연마를 위한 시간이 단축되어 밸브류나 피팅류의 생산시간이 단시간으로 감소되며, 생산원가가 절감되며 대량생산이 가능하도록 할 수 있는 연마휠을 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 연마휠은, 연마를 요하는 대상물의 내경에 삽입되어 회전운동 및 왕복운동을 할 수 있으며, 긴 환봉의 형태를 가지며, 그 내부에는 길이관통공이 그 길이중심선과 나란하게 형성되며, 그 외주로부터 중심을 향하여 파여져서 그 길이방향으로 길게 형성된 수용홈을 가지는 몸체부재와, 상기 몸체부재로부터 연장되며, 상기 몸체부재의 직경보다 더 큰 직경을 가지며, 그 내부에는 상기 길이관통공과 연통된 연장관통공을 가지는 연장부재와, 상기 몸체부재의 수용홈으로부터 그 몸체부재의 내경 쪽으로 파여져, 상기 몸체부재의 길이관통공과 연통되며, 상기 연장관통공과 길이관통공으로부터 제공되는 가압공기가 유출되는 가압공기유출공 및 상기 수용홈에 삽입되어 위치되었다가, 상기 수용홈에 제공되는 가압공기에 의해 상기 몸체부재의 외주로부터 부풀려지며, 대상물을 연마하는 연마제를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 연마휠은, 상기 몸체부재의 외주에부터 그 몸체부재의 내경 쪽으로 파여져, 상기 몸체부재의 길이관통공과 연통되며, 상기 가압공기유출공과 이격되며, 상기 연장관통공과 길이관통공으로부터 제공되는 절삭유가 유출되는 절삭유유출공을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연마휠을 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.

도 1 내지 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 연마휠을 도시한 것으로, 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 연마휠의 측면도를, 도 2는 도 1에 도시된 연마휠의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도를, 도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 연마휠의 사용 상태를 설명하기 위 한 도면을, 도 5는 도 1에 도시된 연마휠에 사용되는 연마제의 측면도를 각각 나타낸 것이다.

상기 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 연마휠(100)은 몸체부재(10)와, 연장부재(20)와, 가압공기유출공(30)과, 절삭유유출공(40)과 연마제(50)를 포함하고 있다.

상기 몸체부재(10)는 연마를 요하는 대상물의 내경에 삽입되어 회전운동 및 왕복운동을 할 수 있으며, 긴 환봉의 형태를 가지며, 그 내부에는 길이관통공(12)이 그 길이중심선과 나란하게 형성되며, 그 외주로부터 중심을 향하여 파여져서 그 길이방향으로 길게 형성된 수용홈(14)을 가진다.

상기 연장부재(20)는 상기 몸체부재(10)로부터 연장되며, 상기 몸체부재(10)의 직경보다 더 큰 직경을 가지며, 그 내부에는 상기 길이관통공(12)과 연통된 연장관통공(22)을 가진다.

상기 가압공기유출공(30)은 상기 몸체부재(10)의 수용홈(14)으로부터 그 몸체부재(10)의 내경 쪽으로 파여져, 상기 몸체부재(10)의 길이관통공(12)과 연통되며, 상기 연장관통공(22)과 길이관통공(12)으로부터 제공되는 가압공기가 유출된다.

상기 절삭유유출공(40)은 상기 몸체부재(10)의 외주에부터 그 몸체부재(10)의 내경 쪽으로 파여져, 상기 몸체부재(10)의 길이관통공(12)과 연통되며, 상기 가압공기유출공(30)과 이격되며, 상기 연장관통공(22)과 길이관통공(12)으로부터 제공되는 절삭유가 유출된다.

상기 연마제(50)는 상기 수용홈(14)에 삽입되어 위치되었다가, 상기 수용홈(14)에 제공되는 가압공기에 의해 상기 몸체부재(10)의 외주로부터 부풀려지며, 대상물을 연마한다.

상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 실시예에 따른 연마휠(100)은 다음과 같이 사용된다.

먼저, 연마를 요하는 피팅류나 밸브류의 내경(도 3 및 도 4에 가상선으로 표시)에 상기 몸체부재(10)를 삽입시킨다.

이어서, 상기 연장부재(20)의 연장관통공(22)으로 가압공기를 유동시킨다. 이에 따라 상기 가압공기는 상기 연장관통공(22)을 통과하여 상기 길이관통공(12)으로 유동되고, 이어서 상기 가압공기는 상기 몸체부재(10)의 수용홈(14)과 연통된 가압공기유출공(30)으로 유출된다.

이에 따라, 상기 수용홈(14)에 위치하였던 상기 연마제(50)가 부풀려지면서 상기 연마제(50)가 도 4에 도시된 바와 같이, 밸브류나 피팅류의 내경에 밀착된다.

이어서, 상기 연장부재(20)와 몸체부재(10)를 회전시키면서 동시에 왕복 운동시키면 상기 밸브류나 피팅류의 내경이 자동 연마되어 원하는 내면조도를 얻을 수 있는 것이다.

한편, 상기 절삭유유출공(40)으로는 상기 연장관통공(22)과 길이관통공(12)을 통해서 유입되는 절삭유가 공급이 되므로 상기 연마제(50)와 밸브류나 피팅류의 내경이 마찰되면서 발생하는 열이 제거될 수 있는 것이다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 연마휠에 의하면, 반도체 설비 가스 라인에 사용되는 피팅류나 밸브류의 내경을 자동으로 연마함으로써, 밸브류나 피팅류의 일률적인 품질이 보장되며, 내경 연마를 위한 시간이 단축되어 밸브류나 피팅류의 생산시간이 단시간으로 감소되며, 생산원가가 절감되며 대량생산이 가능하도록 할 수 있는 효과가 있다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것이며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (2)

1. 연마를 요하는 대상물의 내경에 삽입되어 회전운동 및 왕복운동을 할 수 있으며, 긴 환봉의 형태를 가지며, 그 내부에는 길이관통공이 그 길이중심선과 나란하게 형성되며, 그 외주로부터 중심을 향하여 파여져서 그 길이방향으로 길게 형성된 수용홈을 가지는 몸체부재;

   상기 몸체부재로부터 연장되며, 상기 몸체부재의 직경보다 더 큰 직경을 가지며, 그 내부에는 상기 길이관통공과 연통된 연장관통공을 가지는 연장부재;

   상기 몸체부재의 수용홈으로부터 그 몸체부재의 내경 쪽으로 파여져, 상기 몸체부재의 길이관통공과 연통되며, 상기 연장관통공과 길이관통공으로부터 제공되는 가압공기가 유출되는 가압공기유출공; 및

   상기 수용홈에 삽입되어 위치되었다가, 상기 수용홈에 제공되는 가압공기에 의해 상기 몸체부재의 외주로부터 부풀려지며, 대상물을 연마하는 연마제;를 포함하며,

   상기 몸체부재의 외주에부터 그 몸체부재의 내경 쪽으로 파여져, 상기 몸체부재의 길이관통공과 연통되며, 상기 가압공기유출공과 이격되며, 상기 연장관통공과 길이관통공으로부터 제공되는 절삭유가 유출되는 절삭유유출공을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마휠.
2. 삭제

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