JP2006142391A - 光学レンズの芯取り装置 - Google Patents

光学レンズの芯取り装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2006142391A
JP2006142391A JP2004331629A JP2004331629A JP2006142391A JP 2006142391 A JP2006142391 A JP 2006142391A JP 2004331629 A JP2004331629 A JP 2004331629A JP 2004331629 A JP2004331629 A JP 2004331629A JP 2006142391 A JP2006142391 A JP 2006142391A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical lens
grinding
grinding wheel
fluid
centering device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004331629A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideto Iijima
秀人 伊井島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Priority to JP2004331629A priority Critical patent/JP2006142391A/ja
Publication of JP2006142391A publication Critical patent/JP2006142391A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

【課題】 研削砥石の回転速度に関わらず切粉を確実に除去して目詰まりをなくし、研削加工を効率的に行うこと。
【解決手段】 回転可能な研削砥石2により光学レンズ3の外周を研削加工して、該光学レンズ3の光軸と該光学レンズ3の外周の軸芯とを合わせるレンズの芯取り加工を行う装置であって、光学レンズ3の外周と研削砥石2との接触点に研削液Wを供給する第1のノズル4と、0.1MPa以上に加圧された流体W1を、研削砥石2の外周面に対して直角方向、又は、該直角方向を中心に±85度の範囲内で斜めの方向から直接吹き付ける第2のノズル5とを備えている光学レンズの芯取り装置1を提供する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、光学レンズの芯取りに用いられる光学レンズの芯取り装置に関するものであ
る。
従来より、光学レンズの芯取りに用いられる光学レンズの芯取り装置として、様々なものが提供されている(例えば、非特許文献1参照)。その1つとして、ベル方式の光学レンズの芯取り装置を、図4及び図5を参照して説明する。
この光学レンズの芯取り装置50は、図4及び図5に示すように、光学レンズ等の被加工物51を、固定ワーク軸52の一端に取り付けられた固定軸ワークホルダー53と、固定ワーク軸52と同芯上に摺動するように構成された移動ワーク軸54の一端に取り付けられた移動軸ワークホルダー55とで挟持するようになっている。
また、上記固定ワーク軸52には、他端側、即ち、固定軸ワークホルダー53の反対側に、固定ワーク軸ギア56が固着されている。一方、移動ワーク軸54も同様に他端側、即ち、移動軸ワークホルダー55の反対側に移動ワーク軸ギア57が固着されている。
上記移動ワーク軸ギア57には、移動ワーク軸駆動ギア58が噛合っている。また、上記固定ワーク軸ギア56にも固定ワーク軸駆動ギア59が噛合っている。そして、固定ワーク軸駆動ギア59及び移動ワーク軸駆動ギア58には、ワーク軸駆動軸60が組み合わされており、該ワーク軸駆動軸60の軸線L3を中心として共に回転できるようになっている。
また、ワーク軸駆動軸60の一端には、ワーク軸駆動モーター61が取り付けられている。これにより、固定ワーク軸52及び移動ワーク軸54は、ワーク軸駆動モーター61により同期回転を行って、固定軸ワークホルダー53と移動軸ワークホルダー55とで挟持された被加工物51を回転させるようになっている。
また、被加工物51と対向する位置には、固定ワーク軸52及び移動ワーク軸54の軸芯と平行な方向に回転軸L4を有する回転可能な研削砥石65が配されている。この研削砥石65は、上記回転軸L4と同軸に回転する砥石軸66の一端に固着されており、また、該砥石軸66は砥石軸駆動テーブル67に固着されている。また、砥石軸66の他端、即ち、研削砥石65が固着されている反対側には、砥石軸プーリー68が固着されている。
また、砥石軸駆動テーブル67には、砥石軸66と平行に砥石軸回転モーター69が搭載されており、該砥石軸回転モーター69には砥石軸モータープーリー70が固着されている。そして、砥石軸モータープーリー70と砥石軸プーリー68とは、砥石軸回転ベルト71により連結されており、砥石軸回転モーター69により砥石軸66を回転させ、該砥石軸66に固着された研削砥石65を回転できるようになっている。
また、砥石軸駆動テーブル67は、被加工物51の回転軸芯に対して直角に移動する機能と平行に移動する機能とを有し、図示されていない駆動モーターによりそれぞれの方向に任意に移動できる構造となっている。そして、駆動モーターを作動させることで砥石軸駆動テーブル67が移動し、被加工物51に対して研削砥石65を接触させ加工することができる。
また、被加工物51の研削砥石65の加工点(接触点)には、研削液W2が研削液ノズル75により供給されている。研削液ノズル75は、一方に開閉バルブ76が装着され、開閉バルブ76の他端には研削液供給ホース77が接続されている。研削液供給ホース77の一方は、研削液タンク78に取り付けられている研削液ポンプ79に接続されている。そして、研削液ポンプ79を作動させることで、研削液タンク78から研削液W2を研削液ノズル75に供給し、加工点に研削液W2を吐出する。
研削液ノズル75より吐出された研削液W2は、被加工物51と研削砥石65との加工点を通過し、研削液トレイ80に受け取られる。一方を研削液トレイ80に固着された研削液戻り管路81は、他方は研削液タンク78に固着され、研削液トレイ80にて受け取られた研削液W2を研削液タンク78に戻す。
また、吐出された研削液W2は、被加工物51の研削砥石65による加工により発生した熱の除去と切粉とを洗い流す役目をする。
KJ−100/100H(手動磨邊機)カタログEdition.2、大韓民国、KWANGJIN PRECISION CO,LTD、Date 2002.01.21
しかしながら、上記従来の光学レンズの芯取り装置では、以下のような問題点があった。
即ち、近年光学レンズは、デジタル化に対応するため小型化、高精度化が求められ、それに伴い非球面ガラス成形レンズが多く使われるようになってきた。特に、ガラス成形レンズは、従来の研磨レンズと比較して芯取り時に削り落とす駄肉が多いため、芯取り加工に時間が掛かり、それに伴い芯取り装置の負担が増大し設備投資が大きくなっている。このため、芯取り装置の加工能率を向上させることが求められている。
ここで、従来の光学レンズの芯取り装置50では、加工点に供給される研削液W2が、被加工物51と研削砥石65との加工により発生した熱の除去と切粉の洗い流しを行うと共に、被加工物51と研削砥石65との間に適度な摩擦を与える潤滑液の役目も担っている。ところが、研削液W2は、高速で回転する研削砥石65により途中で振り切られてしまい、切粉の除去を確実にできないという不都合があった。そのため、研削砥石65が切粉により目詰まりを起こしてしまう不都合があった。その結果、研削砥石65の回転速度及び切込み速度を上げることができず、加工効率を上げることが困難なものであった。よって、上述した要求に対応することができないものであった。
この発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、研削砥石の回転速度や切込み速度に関わらず切粉を確実に除去して目詰まりをなくし、研削加工を効率的に行うことができる光学レンズの芯取り装置を提供することである。
上記の目的を達成するために、この発明は以下の手段を提供している。
請求項1に係る発明は、回転可能な研削砥石により光学レンズの外周を研削加工して、該光学レンズの光軸と該光学レンズの外周の軸芯とを合わせるレンズの芯取り加工を行う光学レンズの芯取り装置であって、前記光学レンズの外周と前記研削砥石との接触点に研削液を供給する第1のノズルと、0.1MPa以上に加圧された流体を、前記研削砥石の外周面に対して直角方向、又は、該直角方向を中心に±85度の範囲内で斜めの方向から直接吹き付ける第2のノズルとを備えている光学レンズの芯取り装置を提供する。
この発明に係る光学レンズの芯取り装置においては、研削砥石を回転させながら光学レンズの外周に接触させて研削加工を行うことで、光学レンズの光軸と外周の軸芯とを合わせるレンズの芯取り加工を行うことができる。この研削加工を行う際、第1のノズルにより、光学レンズの外周と研削砥石との接触点に研削液を供給するので、光学レンズの外周と研削砥石との間が潤滑されて適度な摩擦状態となると共に、研削加工で発生した加工熱を除去し、切粉を洗い流すことができる。
ここで、研削砥石の回転速度を上げた時に、高速で回転する研削砥石により第1のノズルで供給された研削液が振り切られて切粉の除去が不十分だとしても、第2のノズルを有しているので、確実にこの切粉を除去を行える。
つまり、第2のノズルにより、研削砥石の外周面に圧力を与えた状態で流体を直接吹き付けるので、第1のノズルで除去しきれなかった切粉、即ち、研削砥石の砥粒の間に入り込んだ切粉を確実に除去することができる。これにより、研削砥石の砥石面(外周面)を目詰まりのない常に最良の状態に維持することができ、研削能力の低下を防止することができる。従って、研削砥石の回転速度を上げて、また、切込み速度を速くして効率良く研削加工を行うことができる。その結果、光学レンズの芯取り装置にかける設備投資を抑えることができると共に、消費するエネルギーを抑えることができ、光学レンズの製造コストの低減化を図ることができる。更に、研削砥石の切れ味の低下を防止するので、加工精度を維持でき、品質の安定化を図ることができる。
請求項2に係る発明は、請求項1記載の光学レンズの芯取り装置において、前記流体が、前記研削液である光学レンズの芯取り装置を提供する。
この発明に係る光学レンズの芯取り装置においては、第2のノズルで使用する流体も研削液を利用できるので、別個の流体を備える必要がなく構成の単純化を図ることができる。
請求項3に係る発明は、請求項1記載の光学レンズの芯取り装置において、前記流体が、液体、気体、又は、液体と気体との混合流体のいずれかである光学レンズの芯取り装置を提供する。
この発明に係る光学レンズの芯取り装置においては、液体、気体又は液体と気体の混合流体(例えば、ミスト状の流体)を、流体として状況に応じて使用できるので、設計の自由度が向上する。
請求項4に係る発明は、請求項1から3のいずれか1項に記載の光学レンズの芯取り装置において、前記流体に超音波振動を与える超音波振動発生手段を備えている光学レンズの芯取り装置を提供する。
この発明に係る光学レンズの芯取り装置においては、第2のノズルにより流体を吹き付ける際に、超音波振動発生手段により流体を超音波振動させた状態で吹き付けを行える。従って、さらに確実に切粉の除去を行うことができ、加工能力を確実に維持することができる。
請求項5に係る発明は、請求項1から4のいずれか1項に記載の光学レンズの芯取り装置において、前記第2のノズルが、前記流体を一定又は任意の時間間隔をもって間欠供給するよう制御されている光学レンズの芯取り装置を提供する。
この発明に係る光学レンズの芯取り装置においては、流体を常時吹き付けるのではなく間欠供給するので、流体の使用量を必要最少限の量にすることができ、コストの低減化と周辺への飛散を防ぎ作業環境のクリーン化を図ることができる。
本発明に係る光学レンズの芯取り装置によれば、第2のノズルにより、研削砥石の外周面に圧力を与えた状態で流体を直接吹き付けるので、第1のノズルで除去しきれなかった切粉、即ち、研削砥石の砥粒の間に入り込んだ切粉を確実に除去することができる。これにより、研削砥石の砥石面(外周面)を目詰まりのない常に最良の状態に維持することができ、研削能力の低下を防止することができる。
従って、研削砥石の回転速度を上げて、また、切込み速度を速くして効率良く研削加工を行うことができる。その結果、光学レンズの芯取り装置にかける設備投資を抑えることができると共に、消費するエネルギーを抑えることができ、光学レンズの製造コストの低減化を図ることができる。更に、研削砥石の切れ味の低下を防止するので、加工精度を維持でき、品質の安定化を図ることができる。
以下、本発明に係る光学レンズの芯取り装置の第1実施形態について、図1及び図2を参照して説明する。
本実施形態の光学レンズの芯取り装置1は、図1及び図2に示すように、回転可能な研削砥石2により、被加工物(光学レンズ)3の外周を研削加工して、該被加工物3の光軸と該被加工物3の外周の軸芯とを合わせるレンズの芯取り加工を行う装置であって、被加工物3の外周と研削砥石2との接触点に研削液Wを供給する研削液ノズル(第1のノズル)4と、0.1MPa以上に加圧された流体を、研削砥石2の砥石面(外周面)に対して直角方向、又は、該直角方向を中心に±85度の範囲内で斜めの方向から直接吹き付ける高圧ノズル(第2のノズル)5とを備えている。
なお、本実施形態においては、上記流体が高圧研削液W1である場合を例にして説明する。
上記被加工物3は、固定ワーク軸10の一端に取り付けられた固定軸ワークホルダー11と、該固定ワーク軸10と同芯上に摺動するように構成された移動ワーク軸12の一端に取り付けられた移動軸ワークホルダー13とによって挟持されている。
固定ワーク軸10の他端、即ち、固定軸ワークホルダー11の反対側には、固定ワーク軸ギア14が固着されている。一方、移動ワーク軸12の他端、即ち、移動軸ワークホルダー13の反対側にも、移動ワーク軸ギア15が固着されている。
また、移動ワーク軸ギア15には、移動ワーク軸駆動ギア16が噛みあっている。また、固定ワーク軸ギア14にも固定ワーク軸駆動ギア17が噛みあっている。そして、固定ワーク軸駆動ギア17と移動ワーク軸駆動ギア16とは、ワーク軸駆動軸18によって連結され、該ワーク軸駆動軸18の軸線L1回りに回転可能に構成されている。
また、ワーク軸駆動軸18の一端には、ワーク軸駆動モーター19が取り付けられている。これにより、固定ワーク軸10および移動ワーク軸12は、ワーク軸駆動モーター19により同期回転をし、固定軸ワークホルダー11と移動軸ワークホルダー13とで挟持された被加工物3を回転させるようになっている。
また、被加工物3と対向する位置には、固定ワーク軸10及び移動ワーク軸12の軸芯と平行な方向に回転軸L2を有する回転可能な上記研削砥石2が配置されている。この研削砥石2は、上記回転軸L2と同軸に回転する砥石軸20の一端に固着されており、また、該砥石軸20は砥石軸駆動テーブル21に固着されている。また、砥石軸20の他端、即ち、研削砥石2が固着されている反対側には、砥石軸プーリー22が固着されている。
砥石軸駆動テーブル21には、砥石軸20と平行に砥石軸回転モーター23が搭載されており、該砥石軸回転モーター23には砥石軸モータープーリー24が固着されている。そして、砥石軸モータープーリー24と砥石軸プーリー22とは、砥石軸回転ベルト25により連結されており、砥石軸回転モーター23により砥石軸20を回転させ、該砥石軸20に固着された研削砥石2を回転できるようになっている。
また、砥石軸駆動テーブル21は、被加工物3の回転軸芯に対して直角に移動する機能と平行に移動する機能とを有し、図示されていない駆動モーターにより任意に移動できる構造となっている。そして、駆動モーターを作動させることで砥石軸駆動テーブル21が移動し、被加工物3に対して研削砥石2を接触させ加工することができる。
また、被加工物3と研削砥石2の接触点(加工点)には、研削液Wが上記研削液ノズル4により供給されている。この研削液ノズル4は、一方に開閉バルブ30が装着され、開閉バルブ30の他端には研削液供給ホース31が接続されている。研削液供給ホース31の一方は、研削液タンク32に取り付けられている研削液ポンプ33に接続されている。そして、研削液ポンプ33を作動させることで、研削液タンク32から研削液Wを研削液ノズル4に供給し、加工点に研削液Wを吐出する。
研削液ノズル4より吐出された研削液Wは、被加工物3と研削砥石2との加工点を通過し、研削液トレイ34に受取られる。一方を研削液トレイ34に固着された研削液戻り管路35は、他方は研削液タンク32に固着され、研削液トレイ34にて受取られた研削液Wを研削液タンク32に戻す。
一方、研削砥石2には、加工点とは別の位置に上記高圧ノズル5が研削砥石2の砥石面(外周面)に対して直角に固着されている。
この高圧ノズル5の他端には、高圧ホース36の一端が固着されている。研削液タンク32には、研削液ポンプ33とは別に0.1MPa以上の吐出圧を出せる高圧ポンプ37が装着されている。高圧ポンプ37の吐出側には、切り替えバルブ38が接続され、切り替えバルブ38の一方は、研削液タンク32に戻る管路になっている。切り替えバルブ38の他端には、高圧ノズル5の一端に接続された高圧ホース36の他端が接続されている。
そして、高圧ノズル5から吐出した高圧研削液W1は、研削砥石2に吹き付けられた後、研削液トレイ34に回収され、研削液戻り管路35から研削液タンク32に戻される。
なお、上記高圧ノズル5は、使用状況により研削砥石2の砥石面に対し直角方向を中心に±85度の高圧ノズル移動範囲39内で任意に固定して、研削液Wを砥石面に対して斜め方向から高圧研削液W1を吹き付けるように構成しても構わない。
また、研削液Wを循環させる途中には、切粉及び自生作用により脱落した砥粒を除去する図示しない除去機能が組み込まれている。
このように構成された光学レンズの芯取り装置1により、被加工物3を研削加工する場合について説明する。
ワーク軸駆動モーター19を作動させて被加工物3を回転させた状態で、砥石軸駆動テーブル21により高速回転する研削砥石2を被加工物3に接触させる。これにより、被加工物3の外径や端面は、高速回転している研削砥石2の砥粒により削り取られて研削加工される。この研削加工を行う際、研削液ノズル4により、被加工物3の外周と研削砥石2との加工点に研削液Wを吐出(供給)するので、被加工物3の外周と研削砥石2の間が潤滑されて適度な摩耗状態となると共に、研削加工で発生した加工熱を除去し、切粉を洗い流すことができる。
ここで、研削砥石2の回転速度を上げたときに、高速で回転する研削砥石2により研削液ノズル4で吐出された研削液Wが振り切られて切粉の除去が不十分だとしても、高圧ノズル5を有しているので確実にこの切粉の除去を行える。
つまり、高圧ノズル5により、研削砥石2の外周面に圧力を与えた状態で高圧研削液W1を直接吹き付けるので、研削液ノズル4で除去しきれなかった切粉、即ち、研削砥石2の砥粒の間に入り込んだ切粉を確実に除去することができる。これにより、研削砥石2の砥石面を目詰まりのない常に最良の状態で維持することができ、研削能力の低下を防止することができる。
従って、研削砥石2の回転速度を上げて、また、切込み速度を速くして効率良く研削加工を行うことができる。その結果、光学レンズの芯取り装置1にかける設備投資を抑えることができると共に、消費するエネルギーを抑えることができ、被加工物3の製造コストの低減化を図ることができる。更に、研削砥石2の切れ味の低下を防止するので、加工精度を維持でき、品質の安定化を図ることができる。また、本実施形態においては、研削液ノズル4及び高圧ノズル5の両方で研削液Wを利用できるので、それぞれ別個の流体を備える必要がなく、構成の単純化を図ることができる。
以上説明したように、本実施形態の光学レンズの芯取り装置1によれば、高精度で安価な光学部品等の被加工物3の製造を行うことができる。また、カーブジェネレータ等にも応用することができる。
次に、本発明に係る光学レンズの芯取り装置の第2実施形態を、図3を参照して説明する。なお、この第2実施形態においては、第1実施形態における構成要素と同一の部分については、同一の符号を付しその説明を省略する。
第2実施形態と第1実施形態との異なる点は、第1実施形態では、高圧ノズル5により単に高圧研削液W1を研削砥石2の砥石面に吹き付けたが、第2実施形態の光学レンズの芯取り装置40は、超音波振動発生手段41により超音波振動を与えた状態で高圧研削液W1を吹き付ける点である。
即ち、本実施形態の光学レンズの芯取り装置40は、図3に示すように、高圧ノズル5の途中に取り付けられた超音波振動部42と、該超音波振動部42に信号を出力して超音波を発生させ、高圧研削液W1の中に超音波振動を与える超音波電源43とを備えている。即ち、これら超音波振動部42及び超音波電源43は、上記超音波振動発生手段41を構成している。
このように構成された光学レンズの芯取り装置40によれば、高圧ノズル5で高圧研削液W1を吹き付ける際に、超音波振動させた状態で高圧研削液W1を吹き付けることができ、高圧研削液W1の効果がさらに向上する。従って、さらに確実に切粉の除去を行うことができ、研削砥石2の加工能力の低下を効果的に防止して、加工能力を確実に維持することができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記各実施形態では、高圧ノズルが研削液を高圧状態で吹き付ける構成にしたが、高圧ノズルが吹き付ける流体は研削液に限られず、例えば、圧縮気体や、気体と液体との混合流体(例えば、ミスト状の流体)を状況に応じて使用しても構わない。この場合においても、同様の効果が得られる。
また、高圧ノズルから吹き付ける流体を、一定又は任意の時間間隔をもって間欠供給するように制御しても構わない。こうすることで、流体の使用量を必要最少限の量にすることができ、コストの低減化を図ることができる。
また、高圧ノズルは、1本に限らず、複数本用いても良い。
本発明に係る光学レンズの芯取り装置の第1実施形態を示す正面図である。 図1に示す光学レンズの芯取り装置の上面図である。 本発明に係る光学レンズの芯取り装置の第2実施形態を示す正面図である。 従来の光学レンズの芯取り装置の一例を示す正面図である。 図4に示す光学レンズの芯取りの上面図である。
符号の説明
W 研削液
W1 高圧研削液(流体)
1、40 光学レンズの芯取り装置
2 研削砥石
3 被加工物(光学レンズ)
4 研削液ノズル(第1のノズル)
5 高圧ノズル(第2のノズル)
41 超音波振動発生手段




Claims (5)

  1. 回転可能な研削砥石により光学レンズの外周を研削加工して、該光学レンズの光軸と該光学レンズの外周の軸芯とを合わせるレンズの芯取り加工を行う光学レンズの芯取り装置であって、
    前記光学レンズの外周と前記研削砥石との接触点に研削液を供給する第1のノズルと、
    0.1MPa以上に加圧された流体を、前記研削砥石の外周面に対して直角方向、又は、該直角方向を中心に±85度の範囲内で斜めの方向から直接吹き付ける第2のノズルとを備えていることを特徴とする光学レンズの芯取り装置。
  2. 請求項1記載の光学レンズの芯取り装置において、
    前記流体が、前記研削液であることを特徴とする光学レンズの芯取り装置。
  3. 請求項1記載の光学レンズの芯取り装置において、
    前記流体が、液体、気体、又は、液体と気体との混合流体のいずれかであることを特徴とする光学レンズの芯取り装置。
  4. 請求項1から3のいずれか1項に記載の光学レンズの芯取り装置において、
    前記流体に超音波振動を与える超音波振動発生手段を備えていることを特徴とする光学レンズの芯取り装置。
  5. 請求項1から4のいずれか1項に記載の光学レンズの芯取り装置において、
    前記第2のノズルは、前記流体を一定又は任意の時間間隔をもって間欠供給するよう制御されていることを特徴とする光学レンズの芯取り装置。



JP2004331629A 2004-11-16 2004-11-16 光学レンズの芯取り装置 Pending JP2006142391A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004331629A JP2006142391A (ja) 2004-11-16 2004-11-16 光学レンズの芯取り装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004331629A JP2006142391A (ja) 2004-11-16 2004-11-16 光学レンズの芯取り装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006142391A true JP2006142391A (ja) 2006-06-08

Family

ID=36622648

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004331629A Pending JP2006142391A (ja) 2004-11-16 2004-11-16 光学レンズの芯取り装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006142391A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008221448A (ja) * 2007-03-16 2008-09-25 Dainippon Printing Co Ltd ドクター刃研磨装置およびドクター刃研磨方法
JP2009279710A (ja) * 2008-05-23 2009-12-03 Olympus Corp 芯取加工方法および芯取加工装置
JP2012011536A (ja) * 2010-07-05 2012-01-19 Hallys Corp 研削装置及び研削方法並びに薄板状部材の製造方法
JP2013022717A (ja) * 2011-07-25 2013-02-04 Shindengen Electric Mfg Co Ltd ダイシング装置
CN108188861A (zh) * 2018-03-21 2018-06-22 望江县天长光学仪器有限公司 一种磨边装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008221448A (ja) * 2007-03-16 2008-09-25 Dainippon Printing Co Ltd ドクター刃研磨装置およびドクター刃研磨方法
JP2009279710A (ja) * 2008-05-23 2009-12-03 Olympus Corp 芯取加工方法および芯取加工装置
JP2012011536A (ja) * 2010-07-05 2012-01-19 Hallys Corp 研削装置及び研削方法並びに薄板状部材の製造方法
TWI468257B (zh) * 2010-07-05 2015-01-11 Hallys Corp A lapping apparatus, a grinding method, and a manufacturing method of a sheet-like member
JP2013022717A (ja) * 2011-07-25 2013-02-04 Shindengen Electric Mfg Co Ltd ダイシング装置
CN108188861A (zh) * 2018-03-21 2018-06-22 望江县天长光学仪器有限公司 一种磨边装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9138861B2 (en) CMP pad cleaning apparatus
US20160311127A1 (en) Cutting apparatus and cutting method
US7037178B2 (en) Methods for conditioning surfaces of polishing pads after chemical-mechanical polishing
JP2011167818A (ja) 加工装置
KR20150119806A (ko) 연삭 장치
JP2017222003A (ja) スピンドルユニット
KR20170015150A (ko) 연삭 장치
JP4412192B2 (ja) 研磨パッドのドレッシング方法
JP2006142391A (ja) 光学レンズの芯取り装置
US20060121837A1 (en) Dressing method for polishing pad
JP6242162B2 (ja) 切削装置及び切削方法
JP2017124479A (ja) ブレードカバー
JP2016055408A (ja) 研磨装置
JP5165458B2 (ja) 芯取加工方法および芯取加工装置
JP2017127910A (ja) 切削装置
JP5618508B2 (ja) ウエハ研磨装置
JP2008110420A (ja) 内面研削装置用砥石および内面研削方法
TW202207299A (zh) 修整裝置和研磨裝置
JP2008311382A (ja) ポーラスセラミック製チャックの洗浄方法
JPWO2019131846A1 (ja) 研磨方法及び研磨装置
US6086459A (en) Device for deburring edges on an object
TWI669189B (zh) 砂輪除屑削銳裝置
CN110014362A (zh) 晶片抛光装置
KR20190086507A (ko) 표면 정화 도구
JPH11277411A (ja) 基板の研磨装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20071105

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090716

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20090721

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Effective date: 20091201

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02