KR100808451B1 - 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치 및 그글라스 홀더 장치를 이용한 글라스 기판 검사방법 - Google Patents

글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치 및 그글라스 홀더 장치를 이용한 글라스 기판 검사방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치 및 그 글라스 홀더 장치를 이용한 글라스 기판 검사방법에 관한 것으로, 글라스 서포트의 위치를 조절하는 글라스 서포트 이송유닛을 구비함으로써, 평판 디스플레이의 글라스 기판 결함 유무 검사 시, 글라스 서포트의 위치를 적절히 조절하여 손쉽고 신속하게 글라스 기판의 결함 유무를 검사할 수 있다.
글라스 서포트 이송 유닛, 이송 스크류 부재, 구동모터

Description

글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치 및 그 글라스 홀더 장치를 이용한 글라스 기판 검사방법{APPARATUS FOR HOLDING GLASS PANEL AND METHOD FOR INSPECTING GLASS PANEL USING THE SAME}
도 1은 종래 평판 디스플레이 패널 검사장치를 개략적으로 도시한 도면
도 2는 종래 평판 디스플레이 패널 검사장치의 측면도
도 3은 종래 글라스 홀더 장치의 요부를 보인 부분 사시도
도 4는 본 발명의 제 1실시 에에 따른 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치를 보인 평면도
도 5는 본 발명의 제 1실시 예에 따른 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치에 있어서, 글라스 서포트 이송 유닛을 보인 평면도
도 6은 본 발명의 제 1실시 예에 따른 글라스 홀더 장치를 이용한 글라스 기판 검사방법을 설명하는 흐름도
도 7은 본 발명의 제 1실시 예에 따른 글라스 홀더 장치를 이용한 글라스 기판 검사방법에 있어서, 글라스 서포트 이송 유닛 구동과정을 설명하는 흐름도
도 8은 본 발명의 제 2실시 예에 따른 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치에 있어서, 글라스 서포트 이송 유닛을 보인 평면도
< 주요부분에 대한 도면 부호>
110:글라스 서포트 이송 유닛
110:이송 스크류 부재
111:나선부
120:이송 스크류 부재 지지 브라켓
130:슬라이드 부재
131:삽입 홈
140:구동모터
150:구동기어
151:종동기어
200:글라스 서포트 이송 유닛
210:이송축
220:이송축 지지 브라켓
230:리니어 모터
본 발명은 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치 및 그 글라스 홀더 장치를 이용한 글라스 기판 검사방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평판 디스플레이의 글라스 기판 결함 유무 검사 시, 글라스 서포트의 위치를 적절히 조 절하여 손쉽고 신속하게 글라스 기판의 결함 유무를 검사할 수 있는 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치 및 그 글라스 홀더 장치를 이용한 글라스 기판 검사방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 패널을 제조하는 공정에서는, 글라스 기판의 결함 유무에 대한 검사로서, 육안으로 이루어지는 매크로 검사와 현미경과 같은 장비를 이용하는 마이크로 검사가 수행된다. 매크로 검사에서는 글라스 기판의 표면에 조명 광을 조사하거나, 백라이트 유닛을 이용하여 유리 기판의 후면에 조명 광을 조사하여 작업자가 육안으로 글라스 기판의 표면에 존재하는 얼룩, 흠, 오염 등의 결함을 검출하고, 마이크로 검사에서는 작업자가 육안으로 보이지 않는 결함을 현미경 광학계에 의하여 글라스 기판을 확대 관찰함으로써 글라스 기판의 이물질 불량 패턴의 결함을 검출한다.
도 1은 종래 평판 디스플레이 패널 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 종래 평판 디스플레이 패널 검사장치의 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 일반적인 평판 디스플레이 패널 검사장치는 로봇 핸드(70)를 구비하는 글라스 로딩/언로딩 로봇(60)이 카세트 스테이션(50)에 수납되어 있는 글라스를 다관절 로봇(20)과 연결된 글라스 홀더장치(10)에 로딩하면, 검사자의 조작에 따라 다관절 로봇(20)이 글라스 홀더장치(10)를 여러 방향으로 움직이면서 백라이트 유닛(40)의 조명광에 조사하여 글라스 기판의 결함 유무를 검사한다. 하나의 글라스 기판에 대한 검사가 완료되면, 글라스 로딩/언로딩 로봇(60)이 글라스 홀더장치(10)에 있는 글라스 기판을 수취한 후 이동하여 카세트 스테이 션(50)에 수납한다.
도 3은 종래 글라스 홀더 장치의 일부를 보인 부분 사시도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 종래 글라스 홀더 장치는, 사각 형상의 글라스 홀더 플레이트(10') 안에 다수의 글라스 서포트(25)가 서로 일정 간격을 두고 평행하게 배치되어 있으며, 글라스 서포트(25)의 양 끝단은 고정 브라켓(22)에 의해 글라스 홀더 플레이트(10')에 고정되어 있다. 그리고 글라스 서포트(25) 상에는 공압 배관(미 도시)과 연결된 다수의 진공패드(15)가 설치되어 있다. 여기서 글라스 서포트(25)와 진공패드(15)는 글라스 홀더 플레이트(10')의 강도를 보강하고 글라스 기판을 안전하게 로딩 및 지지함은 물론 처짐을 방지하는 역할을 한다. 미설명 부호 26은 클램프를 보인 것이다.
그러나, 이러한 구조를 갖는 종래 글라스 홀더 장치에서는, 글라스 서포트가 글라스 홀더 플레이트에 고정된 구조로 이루어져 있기 때문에, 글라스 기판의 결함 유무를 판단하는 매크로 검사 또는 마이크로 검사 시, 이러한 구조에 의해 백라이트 유닛의 조명광의 일부가 글라스 기판에 도달하지 못하게 된다. 따라서 조명광이 도달하지 못하여 검사하지 못한 부분을 검사하기 위해서는 글라스 기판을 언로딩한 후 글라스 서포트의 체결부위를 풀어 글라스 서포트의 위치를 이동시킨 후, 재검사하여야 했다. 그러나 이러한 검사 방식은 매우 불편하고 검사 시간이 지연되는 문제점을 안고 있다.
본 발명은 전술한 단점을 해결하기 위한 것으로서, 평판 디스플레이의 글라 스 기판 결함 유무 검사 시 글라스 서포트의 위치를 적절히 조절할 수 있도록(이동시킬 수 있도록) 구성함으로써, 손쉽고 신속하게 글라스 기판의 결함 검사를 수행할 수 있는 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치 및 그 글라스 홀더 장치를 이용한 글라스 기판 검사방법을 제공함에 그 목적이 있다.
따라서 전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 검사 대상인 글라스 기판이 로딩되는 글라스 홀더 플레이트와; 글라스 홀더 플레이트에 로딩된 글라스 기판을 지지할 수 있도록 서로 일정한 간격을 두고 글라스 홀더 플레이트에 설치되는 다수의 글라스 서포트와; 글라스 서포트의 위치를 조절할 수 있도록 글라스 홀더 플레이트의 양측에 설치되는 글라스 서포트 이송 유닛을 포함하는 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치를 제공한다.
상기 글라스 서포트 이송 유닛의 일례는, 글라스 서포트의 양 끝단에 근접되도록 글라스 홀더 플레이트의 양측에 각각 설치되고, 외측 면에 나선부가 형성되는 이송 스크류 부재; 상기 이송 스크류 부재의 양 끝단 부를 지지할 수 있도록 글라스 홀더 플레이트에 고정되는 이송 스크류 부재 지지 브라켓과; 상기 이송 스크류 부재의 회전 시, 이송 스크류 부재의 길이방향을 따라 이동될 수 있도록 이송 스크류 부재의 중간에 서로 일정 간격을 두고 스크류 결합(나사결합)되며, 일 측에 글라스 서포트의 양 끝단을 끼우기 위한 삽입 홈이 형성되는 다수의 슬라이드 부재와; 상기 이송 스크류 부재를 회전시킬 수 있도록 글라스 홀더 플레이트에 고정 설치되는 구동모터와; 상기 구동모터의 구동력을 이송 스크류 부재에 전달할 수 있도록 구동모터와 이송 스크류 부재에 설치되는 구동/종동기어로 구성된다.
상기 글라스 서포트 이송 유닛의 다른 례는, 글라스 서포트의 양 끝단을 고정할 수 있도록 글라스 홀더 플레이트의 양측에 각각 설치되는 이송축과; 상기 각 이송 축의 양 끝단 부를 지지할 수 있도록 글라스 홀더 플레이트의 양측에 고정되는 이송 축 지지 브라켓과; 상기 글라스 서포트를 이동시킬 수 있도록 이송 축에 연결되는 리니어 모터로 구성된다.
또한, 전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 카세트 스테이션에 수납된 글라스 기판을 다관절 로봇과 연결된 글라스 홀더 유닛 상에 로딩한 후, 다관절 로봇이 글라스 홀더 유닛을 여러 방향으로 움직이면서 백라이트의 조명광을 이용하여 글라스 기판을 1차 검사하는 단계와; 글라스 서포트 이송수단을 작동하여 글라스 서포트의 위치를 조절한 후, 글라스 서포트에 의해 가려진 부분에 대해 2차 검사를 하고, 글라스 기판에 대한 검사가 끝나면 글라스 홀더 유닛 상에 있는 글라스 기판을 이동하여 카세트 스테이션에 수납하는 단계;를 포함하는 글라스 홀더 장치를 이용한 글라스 기판 검사방법을 제공한다.
상기 글라스 기판의 2차 검사 단계는, 구동모터에 전원이 인가되어 구동모터의 구동기어가 회전하는 단계와; 상기 구동기어에 의해 구동기어에 이맞물림(치합)되어 있는 종동기어 회전하는 단계와; 상기 종동기어의 회전에 의해 이송 스크류 부재가 회전하는 단계와; 상기 이송 스크류 부재의 회전에 의해 이송 스크류 부재에 스크류 결합되어 있는 슬라이드 부재가 이송 스크류 부재의 길이 방향을 따라 이동하여 글라스 서포트의 위치가 조절되는 단계로 구성된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치 및 그 글라스 홀더 장치를 이용한 글라스 기판 검사방법에 대하여 상세하게 설명한다.
도 4는 본 발명의 제 1실시 에에 따른 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치를 보인 평면도이고, 도 5는 본 발명의 제 1실시 예에 따른 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치에 있어서, 글라스 서포트 이송 유닛을 보인 평면도이다.
우선, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1실시 에에 따른 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치는 검사 대상인 글라스 기판(미도시)이 로딩되는 글라스 홀더 플레이트(10')와; 상기 글라스 홀더 플레이트(10')에 로딩된 글라스 기판을 지지할 수 있도록 서로 일정한 간격을 두고 글라스 홀더 플레이트(10')에 설치되는 다수의 글라스 서포트(25)와; 글라스 서포트(25)의 위치를 조절할 수 있도록 글라스 홀더 플레이트(10')의 양측에 설치되는 글라스 서포트 이송 유닛(100)로 구성된다.
상기 글라스 서포트 이송 유닛(100)은 글라스 서포트(25)의 양 끝단에 근접되도록 글라스 홀더 플레이트(10')의 양측에 각각 설치되고, 외측 면에 나선부(111)가 형성되는 이송 스크류 부재(110)와; 상기 이송 스크류 부재(110)의 양 끝단 부를 지지할 수 있도록 글라스 홀더 플레이트(10')에 고정되는 이송 스크류 부재 지지 브라켓(120)과; 상기 이송 스크류 부재(110)의 회전 시, 상기 이송 스크류 부재(110)의 길이방향을 따라 이동될 수 있도록 이송 스크류 부재(110)의 중간에 서로 일정 간격을 두고 스크류 결합(나합)되며, 일 측에 글라스 서포트(25)의 양 끝단을 끼우기 위한 삽입 홈(131)이 형성되는 다수의 슬라이드 부재(130)와; 상기 이송 스크류 부재(110)를 회전시킬 수 있도록 글라스 홀더 플레이트(10')에 고정 설치되는 구동모터(140)와; 상기 구동모터(140)의 구동력을 이송 스크류 부재(110)에 전달할 수 있도록 구동모터(140)와 이송 스크류 부재(110)에 설치되는 구동/종동기어(150)(151)로 구성된다.
다시 말해, 상기 이송 스크류 부재(110)는 그 양단부가 이송 스크류 부재 지지 브라켓(120)에 의해 회전 가능하게 지지되어 있고, 구동기어(150)과 종동기어(151)에 의해 구동모터(140)의 동력을 전달받아 회전되도록 구성된다.
이송 스크류 부재(110)의 나선부에는 슬라이드 부재(130)가 스크류 결합되도록 끼워져 있고, 슬라이드 부재(130)의 삽입홈에는 글라스 서포트(25)의 양 끝단이 끼워져 있다. 따라서, 이송 스크류 부재(110)의 회전 시, 슬라이드 부재(130)는 스크류 이송 부재(110)의 길이방향을 따라 움직이게 되고, 이때 글라스 서포트(25)가 슬라이드 부재(130)와 함께 움직이게 되는 것이다.
상기 이송 스크류 부재 지지 브라켓(120)와 구동모터(140)는 볼트, 리벳, 용접 중 어느 하나에 의해 글라스 홀더 플레이트(10')에 고정되는 것이 바람직하다.
또, 도면에는 도시하지 않았으나, 슬라이드 부재는 글라스 서포트(25)와 일체로 형성될 수도 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 제 1실시 에에 따른 글라스 서포트 이송 구조를 갖는 글라스 홀더 장치의 작동은 다음과 같다.
글라스 홀더 장치 상에 글라스 기판이 로딩된 이후 도 3에 도시된 클램프(26), 진공패드(15)에 의해 글라스 기판은 안전하고 견고하게 지지되며, 이 상태에서 도 1에 도시한 다관절 로봇(20)이 글라스 홀더 유닛을 여러 방향으로 움직이면서 백라이트(40)의 조명광을 조사하여 글라스 기판을 1차 검사하여 글라스 기판의 결함 유무를 판단한다.
그 다음, 글라스 서포트 이송 유닛(100)을 구동하여, 글라스 서포트(25)를 소정 위치로 이송시킨 후 글라스 서포트(25)에 의해 가려진 부분에 대해 2차 검사를 실시한다.
글라스 서포트 이송 유닛(100)의 구동을 살펴보면, 우선 제어부(미도시)는 작업자의 명령에 따라 구동모터(140)에 전원을 인가하여 구동모터(140)를 작동시킨다. 이때, 구동모터(140)의 구동기어(150), 그리고 구동기어(150)에 치합되어 있는 피동기어(151)가 회전하여 이송 스크류 부재(110)가 회전된다. 이때 이송 스크류 부재(110)의 양단 부를 지지하고 있는 이송 스크류 부재 지지 브라켓(120)에 의해 이송 스크류 부재(110)는 원활하게 회전된다.
이송 스크류 부재(110)가 회전되면, 이에 스크류 결합(나합)되어 있는 각 슬라이드 부재(130)는 이송 스크류 부재(130)의 길이방향을 따라 이동됨으로써, 글라스 서포트(25)가 적정한 위치로 조절되는 것이다.
한편, 도 6은 본 발명의 제 1실시 예에 따른 글라스 기판 검사방법을 설명하는 흐름도이고, 도 7은 본 발명의 제 1실시 예에 따른 글라스 기판 검사방법에 있 어서, 글라스 서포트 이송 유닛 구동과정을 설명하는 흐름도이다.
먼저, 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1실시 예에 따른 글라스 홀더 장치를 이용한 글라스 기판 검사방법은 카세트 스테이션에 수납된 글라스 기판을 다관절 로봇과 연결된 글라스 홀더 유닛 상에 로딩한 후, 다관절 로봇이 글라스 홀더 유닛을 여러 방향으로 움직이면서 백라이트의 조명 광을 조사하여 글라스 기판의 결함 유무를 1차 검사하는 단계(S10)와; 글라스 서포트 이송수단을 작동하여 글라스 서포트의 위치를 조절한 후, 글라스 서포트에 의해 가려진 부분에 대해 2차 검사를 하고, 글라스 기판에 대한 검사가 끝나면 글라스 홀더 유닛 상에 있는 글라스 기판을 이동하여 카세트 스테이션에 수납하는 단계(S20);로 구성된다.
도 7에 도시된 바와 같이, 상기 글라스 기판의 2차 검사 단계(S20)는, 구동모터에 전원이 인가되어 구동모터의 구동기어가 회전하는 단계(S21)와; 구동기어에 의해 구동기어에 이맞물림(치합)되어 있는 종동기어가 회전하는 단계(S22)와; 종동기어의 회전에 의해 이송 스크류 부재가 회전하는 단계(S23)와; 이송 스크류 부재의 회전에 의해 이송 스크류 부재에 스크류 결합되어 있는 슬라이드 부재가 이송 스크류 부재의 길이 방향을 따라 이동하여 글라스 서포트의 위치가 조절되는 단계(S24)로 구성된다.
한편, 도 8은 본 발명의 제 2실시 예에 따른 글라스 홀더 장치에 있어서, 글라스 서포트 이송 유닛을 보인 평면도이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 2실시 예에 따른 글라스 홀더 장치는 결함 검사 대상인 글라스 기판이 로딩되는 글라스 홀더 플레이트(10')와; 글라 스 홀더 플레이트(10')에 로딩된 글라스 기판을 지지할 수 있도록 서로 일정한 간격을 두고 글라스 홀더 플레이트(10')에 설치되는 다수의 글라스 서포트(25)와; 글라스 서포트(25)의 위치를 조절할 수 있도록 글라스 홀더 플레이트(10')의 양측에 설치되는 글라스 서포트 이송 유닛(200)으로 구성된다.
상기 글라스 서포트 이송 유닛(200)은 글라스 서포트(25)의 양 끝단을 고정할 수 있도록 글라스 홀더 플레이트(25)의 양측에 각각 설치되는 이송축(210)과; 각 이송 축(210)의 양 끝단 부를 지지할 수 있도록 글라스 홀더 플레이트(25)의 양측에 고정되는 이송 축 지지 브라켓(220)과; 글라스 서포트(25)를 이동시킬 수 있도록 이송 축(210)에 연결되는 리니어 모터(230)로 구성된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 제 2실시 예에 따른 글라스 홀더 장치의 작동은 다음과 같다.
글라스 홀더 장치 상에 글라스 기판이 로딩된 이후 도 3에 도시된 클램프(26), 진공패드(15)에 의해 글라스 기판은 안전하고 견고하게 지지되며, 이 상태에서 도 1에 도시된 다관절 로봇(20)이 글라스 홀더 유닛을 여러 방향으로 움직이면서 백라이트(40)의 조명광을 조사하여 글라스 기판의 1차 검사를 수행하여 글라스 기판의 결함 유무를 판단한다.
그 다음, 글라스 서포트 이송 유닛(200)을 구동하여, 글라스 서포트(25)를 소정 위치로 이송시킨 후 글라스 서포트(25)에 의해 가려진 부분에 대해 2차 검사를 실시한다.
도 8에 도시된 바와 같이, 글라스 서포트 이송 유닛(200)의 구동을 살펴보 면, 우선 제어부(미도시)는 작업자의 명령에 따라 구동모터(230)에 전원을 인가하여, 구동모터(230)를 작동시킨다. 이때 구동모터(230)의 이송 축(210)이 화살표 방향으로 움직이게 된다. 이때, 이송 축(210)에 고정되어 있는 다수의 글라스 서포트(25)의 위치가 조절된다.
한편, 도면에는 도시하지 않았으나, 글라스 서포트의 이동 시, 글라스 기판에 흠집을 주지 않기 위해 진공패드(15)를 통해 압축공기를 불어 부상시킨 다음 글라스 서포트를 이동시킨다.
도시하지는 않았으나, 글라스 홀더 유닛에는 글라스 기판의 가장자리를 파지하기 위해 복수개의 클램핑 장치가 설치될 수 있다. 이 경우, 클램핑 장치는 글라스 기판의 결함 유무 검사 시에 글라스 기판을 강하게 클램핑하다가 글라스 서포트를 이동할 필요가 있는 경우 다소 느슨하게 글라스 기판을 풀어 주는 것이 좋다.
또한, 제2 실시예에서 글라스 서포트의 양쪽 단부가 이송축에 고정된 상태에서 이송축을 리니어 모터로 이동시키고 있지만, 이송축을 고정한 상태로 각각의 글라스 서포트의 적어도 한쪽 단부에 리니어 모터가 마련될 수 있다. 이 경우 글라스 기판의 결함 유무 검사 도중에 글라스 서포트의 위치를 개별로 변동시킬 수 있어 검사 공정의 불편과 부정확함을 동시에 해결할 수 있다.
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이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 평판 디스플레이의 글라스 기판 결함 유무 검사 시 글라스 서포트의 위치를 적절히 조절할 수 있도록 구성함으 로써, 손쉽고 신속하게 글라스 기판의 결함 유무를 검사할 수 있다.

Claims (11)

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  2. 구동장치에 연결되고, 결함 검사 대상인 글라스 기판을 파지하기 위한 글라스 홀더 플레이트와;
    상기 글라스 홀더 플레이트에 파지된 상기 글라스 기판을 지지하도록 간격을 두고 상기 글라스 홀더 플레이트에 설치되는 복수개의 글라스 서포트와;
    상기 글라스 홀더 플레이트의 양측에 설치되고 상기 각 글라스 서포트와 연결되어 글라스 홀더 플레이트 상에서의 글라스 서포트의 위치를 조절(변경)할 수 있도록 글라스 서포트 이송 유닛을 구비하고;
    상기 글라스 서포트 이송 유닛은,
    상기 글라스 서포트의 양 끝단에 근접되도록 상기 글라스 홀더 플레이트의 양측에 각각 설치되고, 외측 면에 나선부가 형성되는 이송 스크류 부재;
    상기 이송 스크류 부재의 양 끝단부를 지지할 수 있도록 상기 글라스 홀더 플레이트에 고정되는 이송 스크류 부재 지지 브라켓;
    상기 이송 스크류 부재의 회전 시, 상기 이송 스크류 부재의 길이방향을 따라 이동될 수 있도록 상기 이송 스크류 부재의 중간에 서로 일정 간격을 두고 스크류 결합(나합)되며, 일 측에 상기 글라스 서포트의 양 끝단을 끼우기 위한 삽입 홈이 형성되는 다수의 슬라이드 부재;
    상기 이송 스크류 부재를 회전시킬 수 있도록 상기 글라스 홀더 플레이트에 고정 설치되는 구동모터와;
    상기 구동모터의 구동력을 상기 이송 스크류 부재에 전달할 수 있도록 상기 구동모터와 상기 이송 스크류 부재에 설치되는 구동/종동기어
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 서포트 이송 유닛을 구비한 글라스 홀더 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 이송 스크류 부재 지지 브라켓와 상기 구동모터는 볼트, 리벳, 용접 중 어느 하나에 의해 상기 글라스 홀더 플레이트에 고정되는 것을 특징으로 하는 글라스 서포트 이송 유닛을 구비한 글라스 홀더 장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 슬라이드 부재는 상기 글라스 서포트와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 글라스 서포트 이송 유닛을 구비한 글라스 홀더 장치.
  5. 구동장치에 연결되고, 결함 검사 대상인 글라스 기판을 파지하기 위한 글라스 홀더 플레이트와;
    상기 글라스 홀더 플레이트에 파지된 상기 글라스 기판을 지지하도록 간격을 두고 상기 글라스 홀더 플레이트에 설치되는 복수개의 글라스 서포트와;
    상기 글라스 홀더 플레이트의 양측에 설치되고 상기 각 글라스 서포트와 연결되어 글라스 홀더 플레이트 상에서의 글라스 서포트의 위치를 조절(변경)할 수 있도록 글라스 서포트 이송 유닛을 구비하고;
    상기 글라스 서포트 이송 유닛은,
    상기 각 글라스 서포트의 양 끝단을 고정할 수 있도록 상기 글라스 홀더 플레이트의 양측에 각각 설치되는 이송축;
    상기 각 이송 축의 양 단부를 지지할 수 있도록 상기 글라스 홀더 플레이트의 양측에 고정되는 이송 축 지지 브라켓;
    상기 글라스 서포트를 이동시킬 수 있도록 상기 이송 축에 연결되는 리니어 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 서포트 이송 유닛을 구비한 글라스 홀더 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 이송 축 지지 브라켓와 상기 리니어 모터는 볼트, 리벳, 용접 중 어느 하나에 의해 상기 글라스 홀더 플레이트에 고정되는 것을 특징으로 하는 글라스 서포트 이송 유닛을 구비한 글라스 홀더 장치.
  7. 구동장치에 연결되고, 결함 검사 대상인 글라스 기판을 파지하기 위한 글라스 홀더 플레이트와;
    상기 글라스 홀더 플레이트에 파지된 상기 글라스 기판을 지지하도록 간격을 두고 상기 글라스 홀더 플레이트에 설치되는 복수개의 글라스 서포트와;
    상기 글라스 홀더 플레이트의 양측에 설치되고 상기 각 글라스 서포트와 연결되어 글라스 홀더 플레이트 상에서의 글라스 서포트의 위치를 조절(변경)할 수 있도록 글라스 서포트 이송 유닛을 구비하고;
    상기 글라스 서포트 이송 유닛은,
    상기 각 글라스 서포트의 적어도 한쪽 단부에 마련되는 리니어 모터;
    상기 글라스 홀더 플레이트의 양측에 마련되는 이송축으로서, 이 이송축 중 적어도 어느 하나는 상기 각 글라스 서포트의 리니어 모터를 지지하는 이송축;
    상기 각 글라스 서포트의 적어도 한쪽 단부에 마련된 리니어 모터의 작동을 개별적으로 제어할 수 있는 리니어 모터 제어부
    를 포함하는 글라스 서포트 이송 유닛을 구비한 글라스 홀더 장치.
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  9. 삭제
  10. 글라스 기판에 대한 검사방법으로서,
    (a) 카세트 스테이션에 수납된 글라스 기판을 글라스 홀더 유닛 상에 로딩하고 글라스 서포트로 파지하는 단계와;
    (b) 상기 글라스 홀더 유닛을 여러 방향으로 움직이면서 백라이트의 조명광을 조사하여 검사를 수행하는 단계와;
    (c) 글라스 서포트 이송유닛을 작동하여 상기 글라스 홀더 유닛의 글라스 서포트의 위치를 조절하는 단계와;
    (d) 상기 단계(b)의 검사시 상기 글라스 서포트에 의해 가려진 부분에 대해 검사를 수행하는 단계; 및
    (e) 상기 글라스 기판에 대한 단계(d)의 검사가 끝나면 상기 글라스 홀더 유닛 상에 있는 글라스 기판을 이동하여 상기 카세트 스테이션에 수납하는 단계
    를 포함하고;
    상기 단계(c)는,
    구동모터에 전원이 인가되어 상기 구동모터의 구동기어가 회전하는 단계(S21)와;
    상기 구동기어에 의해 상기 구동기어에 이맞물림(치합)되어 있는 종동기어가 회전하는 단계(S22)와;
    상기 종동기어의 회전에 의해 이송 스크류 부재가 회전하는 단계(S23)와;
    상기 이송 스크류 부재의 회전에 의해 상기 이송 스크류 부재에 스크류 결합되어 있는 슬라이드 부재가 상기 이송 스크류 부재의 길이 방향을 따라 이동하여 상기 글라스 서포트의 위치가 조절되는 단계(S24)
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 서포트 이송 유닛을 이용한 글라스 기판 검사방법.
  11. 글라스 기판에 대한 검사방법으로서,
    (a) 카세트 스테이션에 수납된 글라스 기판을 글라스 홀더 유닛 상에 로딩하고 글라스 서포트로 파지하는 단계와;
    (b) 상기 글라스 홀더 유닛을 여러 방향으로 움직이면서 백라이트의 조명광을 조사하여 검사를 수행하는 단계와;
    (c) 글라스 서포트 이송유닛을 작동하여 상기 글라스 홀더 유닛의 글라스 서포트의 위치를 조절하는 단계와;
    (d) 상기 단계(b)의 검사시 상기 글라스 서포트에 의해 가려진 부분에 대해 검사를 수행하는 단계; 및
    (e) 상기 글라스 기판에 대한 단계(d)의 검사가 끝나면 상기 글라스 홀더 유닛 상에 있는 글라스 기판을 이동하여 상기 카세트 스테이션에 수납하는 단계
    를 포함하고;
    상기 단계 (c)는,
    상기 글라스 홀더 유닛을 수평으로 하여 파지된 글라스 기판이 위쪽을 향하도록 하는 단계;
    상기 글라스 기판의 아래쪽 표면에 압축 공기를 분사하여 글라스 기판이 소정의 간격만큼 글라스 홀더 유닛으로부터 부상되도록 하는 단계; 및
    상기 글라스 서포트를 수평 방향으로 이동시키는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 서포트 이송 유닛을 이용한 글라스 기판 검사방법.
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