KR100806893B1 - 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 - Google Patents

액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 Download PDF

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Abstract

절연 기판 위에 게이트선, 게이트 전극 및 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선이 형성되어 있고, 그 위에 게이트 절연막, 반도체층 및 저항성 접촉층이 차례로 형성되어 있다. 게이트 절연막 및 저항성 접촉층 위에 데이터선, 소스 전극, 드레인 전극 및 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선이 형성되어 있다. 데이터 배선 위에 질화 규소로 이루어진 버퍼막이 형성되어 있으며, 버퍼막 위에 검은색 안료를 포함하는 감광성 유기막으로 이루어진 블랙 매트릭스 패턴이 형성되어 있다. 버퍼막 및 블랙 매트릭스 패턴에는 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드를 각각 노출시키는 접촉 구멍이 형성되어 있다. 블랙 매트릭스 패턴 위에 요철 모양의 표면을 가지는 유기 절연막으로 이루어진 보호막이 형성되어 있고, 보호막은 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드를 노출시키면서 각각의 접촉 구멍의 측면을 덮고 있다. 보호막 위에 드레인 전극과 연결되는 반사막이 형성되어 있다. 여기서, 데이터 배선이 블랙 매트릭스 패턴으로 덮여 있어 데이터 배선의 반사에 의한 혼색으로 표시색의 대비비가 떨어지는 것을 방지하며, 상판에 블랙 매트릭스를 형성하는 경우에 발생하는 상하판 오정렬에 의한 반사 개구율의 감소를 방지할 수 있다.
감광성 유기 절연막, 블랙 매트릭스, 반사막

Description

액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법{thin film transistor array panel for liquid crystal display and manufacturing method thereof}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 표시 영역의 일부분을 대략적으로 도시한 배치도이고,
도 2는 도 1에서 P 부분을 확대하여 패드부와 함께 도시한 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고,
도 3은 도 2에서 Ⅲ-Ⅲ 선에 대한 단면도이고,
도 4a는 본 발명의 실시예에 따라 제조하는 첫 단계에서의 박막 트랜지스터 기판을 도시한 배치도이고,
도 4b는 도 4a에서 Ⅳb-Ⅳb 선에 대한 단면도이고,
도 5a는 도 4a 다음 단계에서의 배치도이고,
도 5b는 도 5a에서 Ⅴb-Ⅴb 선에 대한 단면도이고,
도 6a는 도 5a 다음 단계에서의 배치도이고,
도 6b는 도 6a에서 Ⅵb-Ⅵb 선에 대한 단면도이고,
도 7a는 도 6a 다음 단계에서의 배치도이고,
도 7b는 도 7a에서 Ⅶb-Ⅶb 선에 대한 단면도이다.
본 발명은 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반사형 모드에서 반사 개구율을 확대하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중의 하나로서, 전극이 형성되어 있는 두 장의 유리 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져 있으며, 두 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시켜 투과되는 빛의 양을 조절하는 표시 장치이다.
이러한 액정 표시 장치의 한 기판은 전극에 인가되는 전압을 스위칭하는 박막 트랜지스터를 갖는 것이 일반적이며, 이러한 박막 트랜지스터 기판에는 박막 트랜지스터 외에도 게이트선 및 데이터선을 포함하는 배선, 외부로부터 신호를 인가받아 게이트선 및 데이터선으로 각각 전달하는 게이트 패드 및 데이터 패드가 형성되어 있다. 게이트선과 데이터선이 교차하여 정의되는 화소 영역에는 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되어 있는 화소 전극이 형성되어 있다.
이러한 박막 트랜지스터 기판과 마주하는 다른 한 기판의 화소 영역에는 적, 녹, 청의 색 필터와 화소 영역에 개구부를 가지는 블랙 매트릭스가 형성되어 있으며 색 필터와 블랙 매트릭스 상부에 공통 전극이 형성되어 있다.
이러한 액정 표시 장치는 빛을 발광하는 백 라이트(back light)가 부착되어 있는 투과형, 자연광을 이용하는 반사형 및 투과형과 반사형을 겸용할 수 있는 반투과형으로 나눌 수가 있는데, 이 중에서 반사형 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판에는 화소 전극이 높은 반사율을 가지는 도전 물질로 이루어진 반사막으로 형성되어 있다. 이러한 반사형 액정 표시 장치에서는 색 필터 기판의 바깥면에서 빛이 입사하여 색 필터 및 액정층을 차례로 통과하고, 입사한 빛은 박막 트랜지스터 기판의 반사막에서 반사되어 다시 액정층 및 색 필터 기판의 색 필터를 통과하여 화상을 표시한다.
이러한 반사형 액정 표시 장치의 표시 특성을 향상시키기 위해서는 화소의 반사 개구율을 확보하는 것이 바람직한데, 제조 공정에서 박막 트랜지스터 기판과 색 필터 기판을 조립할 때 오정렬을 고려해야 하므로 블랙 매트릭스를 넓은 폭으로 형성하는데, 이로 인하여 반사 개구율이 감소하는 문제점이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 반사막의 개구율을 최대로 확보할 수 있는 반사형 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
이러한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에서는 반사막 하부에 검은색 안료를 포함하는 감광성 유기막을 사용하여 블랙 매트릭스를 형성한다.
본 발명에 따르면, 절연 기판 위에 게이트선 및 게이트선의 일부인 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선이 형성되어 있고, 게이트 배선은 게이트 절연막으로 덮여 있다. 게이트 절연막 위에 반도체층 및 저항성 접촉층이 차례로 형성되어 있으며, 게이트 절연막 및 저항성 접촉층 위에 데이터선, 데이터선의 일부인 소스 전극, 게이트 전극을 중심으로 소스 전극과 마주하는 드레인 전극을 포함하는 데이터 배선이 형성되어 있다. 드레인 전극을 노출시키는 제1 접촉 구멍을 가지며, 검은색의 안료를 포함하는 감광성 유기막으로 이루어진 블랙 매트릭스 패턴이 형성되어 있고, 블랙 매트릭스 패턴 위에 제1 접촉 구멍보다 작은 크기의 제2 접촉 구멍을 가지며 요철 모양의 표면을 갖는 유기 보호막이 형성되어 있다. 제2 접촉 구멍을 통해 드레인 전극과 연결되어 있는 반사막이 형성되어 있다.
이때, 블랙 매트릭스 패턴의 광학 밀도는 1 내지 3.5의 값을 가지는 것이 바람직하다.
또한, 데이터 배선과 블랙 매트릭스 패턴 사이에 버퍼막이 형성되어 있을 수 있으며, 반사막은 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 은 또는 은 합금으로 이루어질 수 있다.
한편, 게이트 배선은 게이트선의 끝에 연결되어 있는 게이트 패드를 더 포함하고, 데이터 배선은 데이터선의 끝에 연결되어 있는 데이터 패드를 더 포함하며, 감광성 유기막은 게이트 패드 및 데이터 패드를 각각 노출시키는 제3 접촉 구멍 및 제4 접촉 구멍을 가지며, 유기 보호막은 제3 접촉 구멍 및 제4 접촉 구멍보다 크기가 작고 게이트 패드 및 데이터 패드를 각각 노출시키는 제5 접촉 구멍 및 제6 접촉 구멍을 갖는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 제조할 때 먼저, 절연 기판 위에 게이트선 및 게이트선의 일부인 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선을 형성하고, 게이트 절연막, 반도체층, 저항성 접촉층을 차례로 형성한다. 다음, 데이터선, 데이터선의 일부인 소스 전극 및 게이트 전극을 중심으로 소스 전극과 마주하는 드레인 전극을 포함하는 데이터 배선을 형성한다. 다음, 검은색 안료를 포함하는 감광성 유기막을 도포하고 노광 현상하여 드레인 전극을 노출시키는 제1 접촉 구멍을 갖는 블랙 매트릭스 패턴을 형성한다. 다음, 유기 보호막을 도포하고 노광 현상하여 드레인 전극을 노출시키며 제1 접촉 구멍보다 크기가 작은 제2 접촉 구멍을 형성하고, 유기 보호막의 표면을 요철 모양으로 만든다. 다음, 제2 접촉 구멍을 통해 드레인 전극과 연결되는 반사막을 형성한다.
이때, 데이터 배선과 블랙 매트릭스 패턴 사이에 질화 규소로 이루어진 버퍼막을 형성할 수도 있다.
이러한 본 발명에서는 감광성 유기막으로 이루어진 블랙 매트릭스 패턴을 반사막 이외의 영역에 형성하여 데이터 배선으로부터 반사되어 나오는 빛에 의한 표시색의 혼색을 방지하며, 반사막 개구율을 향상시킬 수 있다.
그러면, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명한다.
먼저, 도 1을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조에 대략적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에 서 표시 영역의 일부분을 대략적으로 도시한 배치도이다.
도 1에서와 같이, 기판(10)은 화면을 표시하는 다수의 화소 영역(P)마다 반사막(80)이 형성되어 있으며, 반사막(80)이 형성되어 있지 않은 부분(빗금친 부분)에는 블랙 매트릭스 패턴(702)이 형성되어 있다. 이러한 액정 표시 장치에서는 색 필터 기판에 블랙 매트릭스를 형성하는 경우에 박막 트랜지스터 기판과 색 필터 기판을 조립할 때 오정렬을 고려하지 않아도 되고, 블랙 매트릭스 패턴(702)의 폭이 반사막(80)으로 가리지 않는 부분이 되므로 반사막(80)에 의한 반사 개구율을 극대화할 수 있다.
그러면, 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조에 대하여 상세히 설명한다.
도 2는 도 1에서 P 부분을 확대하여 패드와 함께 도시한 배치도이고, 도 3은 도 2에서 Ⅲ-Ⅲ 선에 대한 단면도이다.
도 2 및 도 3에서와 같이, 절연 기판(10) 위에 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(Al alloy), 몰리브덴(Mo) 또는 몰리브덴-텅스텐 합금(MoW), 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta) 등의 금속 또는 도전체로 이루어진 게이트 배선(21, 22, 23)이 형성되어 있다. 게이트 배선은 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선(21), 게이트선(21)의 일부인 게이트 전극(22), 게이트선(21)의 끝에 연결되어 외부로부터 주사 신호를 인가받아 게이트선(21)으로 전달하는 게이트 패드(23)를 포함한다.
게이트 배선(21, 22, 23)은 단일층으로 형성할 수도 있지만, 이중층이나 삼중층으로 형성할 수도 있다. 이중층 이상으로 형성하는 경우에는 한 층은 저항이 작은 물질로 형성하고 다른 층은 다른 물질과의 접촉 특성이 좋은 물질로 만드는 것이 바람직하며, 그 예로 Cr/Al(또는 Al 합금)의 이중층 또는 Al(또는 Al 합금)/Mo의 이중층을 들 수 있다.
게이트 배선(21, 22, 23) 위에는 질화 규소(SiNx) 따위로 이루어진 게이트 절연막(30)이 형성되어 있다.
게이트 절연막(30) 위에는 비정질 규소 따위의 반도체로 이루어진 반도체층(41)이 형성되어 있으며, 반도체층(41) 위에는 인(P)과 같은 n형 불순물이 도핑되어 있는 비정질 규소 따위의 반도체로 이루어진 저항성 접촉층(52, 53)이 게이트 전극(22)을 중심으로 양쪽으로 분리되어 형성되어 있다.
저항성 접촉층(52, 53) 위에는 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 몰리브덴 또는 몰리브덴-텅스텐 합금, 크롬, 탄탈륨 등의 금속 또는 도전체로 이루어진 데이터 배선(61, 62, 63, 64)이 형성되어 있다. 데이터 배선은 세로 방향으로 뻗어 있는 데이터선(61), 데이터선(61)의 일부인 소스 전극(62), 게이트 전극(22)을 중심으로 소스 전극(62)과 마주하는 드레인 전극(63), 데이터선(61)에 연결되어 외부로부터 화상 신호를 인가받아 데이터선(61)에 전달하는 데이터 패드(64)를 포함한다.
데이터 배선(61, 62, 63, 64)도 게이트 배선(21, 22, 23)과 마찬가지로 단일층으로 형성할 수 있지만, 이중층이나 삼중층으로 형성할 수도 있다. 이중층 이상으로 형성하는 경우에는 한 층은 저항이 작은 물질로 형성하고 다른 층은 다른 물질과의 접촉 특성이 좋은 물질로 형성하는 것이 바람직하다.
데이터 배선(61, 62, 63, 64) 및 게이트 절연막(30) 위에는 질화 규소와 같은 물질로 이루어진 버퍼막(701)이 형성되어 있으며, 버퍼막(701) 위에 검은색 안료를 포함하는 감광성 유기막으로 이루어진 블랙 매트릭스 패턴(702)이 형성되어 있고, 블랙 매트릭스 패턴(702) 위에 유기 절연막으로 이루어진 유기 보호막(703)이 형성되어 있다. 유기 보호막(703)은 표면이 요철 모양으로 형성되어 있어서 이후 형성하는 반사막(80)의 반사율을 향상시킬 수 있다. 이때, 게이트 및 데이터 패드(23, 64)를 덮는 유기 보호막(703)의 표면은 평탄하다.
버퍼막(701) 및 블랙 매트릭스 패턴(702)에는 드레인 전극(63)을 노출시키는 접촉 구멍(72)이 형성되어 있으며, 유기 보호막(703)에는 접촉 구멍(72)의 안쪽으로 드레인 전극(63)을 드러내며 접촉 구멍(72)에서 블랙 매트릭스 패턴(702) 및 버퍼막(701)의 측면을 덮고 있는 접촉 구멍(172)이 형성되어 있다. 한편, 게이트 절연막(30), 버퍼막(701) 및 블랙 매트릭스 패턴(702)에는 게이트 패드(23)를 드러내는 접촉 구멍(73)이 형성되어 있고, 유기 보호막(703)에는 접촉 구멍(73)보다 작은 크기를 가지며 접촉 구멍(73)의 블랙 매트릭스 패턴(702), 버퍼막(701) 및 게이트 절연막(30)의 측면을 덮고 있는 접촉 구멍(173)이 형성되어 있다. 또한, 게이트 절연막(30), 버퍼막(701) 및 블랙 매트릭스 패턴(702)에는 데이터 패드(64)를 드러내는 접촉 구멍(74)이 형성되어 있고, 유기 보호막(703)에는 접촉 구멍(74)보다 작은 크기를 가지며 접촉 구멍(74)의 블랙 매트릭스 패턴(702) 및 버퍼막(701)의 측면을 덮고 있는 접촉 구멍(174)이 형성되어 있다.
유기 보호막(703) 위에는 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 은 또는 은 합금과 같이 반사율이 우수한 금속으로 이루어진 반사막(80)이 형성되어 있다.
반사막(80)은 접촉 구멍(172)을 통하여 드레인 전극(63)과 연결되어 데이터선(62)으로부터 화상 신호를 전달받는다.
이때, 블랙 매트릭스 패턴(702)에 사용하는 감광성 유기막은 하부의 데이터 배선(61, 62, 63, 64)으로부터의 빛의 반사를 방지할 수 있는 차광 특성을 지니면서 저반사 특성도 지녀야 하므로 광학 밀도(optical density)보다 낮은 1 내지 3.5의 값을 가지며, 이때 블랙 매트릭스 패턴의 두께는 0.3㎛ 내지 2㎛인 것이 바람직하다.
이러한 본 발명에 따른 구조에서, 블랙 매트릭스 패턴(702)은 검은색의 안료를 포함하는 감광성 유기막으로 이루어져 있는데, 이때 블랙 매트릭스 패턴(702)의 폭은 서로 이웃하는 화소 영역의 반사막(80) 사이의 간격으로 최적화되므로 반사막(80)의 개구율을 향상시킬 수 있으며, 데이터 배선(61, 62, 63, 64)으로부터 반사되어 나오는 빛을 흡수 또는 반사하여 표시색의 대비비가 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상판에 배선 및 박막 트랜지스터와 함께 블랙 매트릭스를 형성하여, 대향 기판에 형성하는 구조와 비교하여 상하판의 오정렬을 고려하지 않아도 되므로 화소의 반사 개구율이 감소하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 감광성 유기막으로 이루어진 블랙 매트릭스 패턴(702)은 다른 무기 절연막에 비해 비저항이 떨어지므로 버퍼막(701)을 200Å 내지 2,000Å의 두께로 형성하여 절연 특성을 높이는데, 유기막의 절연 특성을 개선할 수 있는 경우에는 버퍼막(701)을 형성하지 않을 수도 있다.
그러면, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법에 대하여 도 4a 내지 도 7b, 앞서의 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다.
먼저, 도 4a 및 도 4b에서와 같이, 절연 기판(10) 위에 게이트 배선용 도전체 또는 금속을 스퍼터링(sputtering) 따위의 방법으로 1,000Å 내지 3,000Å의 두께로 증착하고 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 패터닝하여 게이트선(21), 게이트 전극(22) 및 게이트 패드(23)를 포함하는 게이트 배선을 형성한다.
다음, 도 5a 및 도 5b에서와 같이, 게이트 절연막(30), 비정질 규소층 및 n형 불순물이 도핑된 비정질 규소층을 화학 기상 증착법(CVD : chemical vapor deposition) 따위를 이용하여 각각 1,500Å 내지 5,000Å, 500Å 내지 1,500Å 및 300Å 내지 600Å의 두께로 차례로 증착하고, 상부의 두 층을 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 패터닝하여 반도체층(41) 및 저항성 접촉층(51)을 형성한다.
다음, 도 6a 및 도 6b에서와 같이, 데이터 배선용 도전체 또는 금속을 스퍼터링 따위의 방법으로 1,500Å 내지 3,000Å의 두께로 증착하고, 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 패터닝하여 데이터선(61), 소스 전극(62), 드레인 전극(63) 및 데이터 패드(64)를 포함하는 데이터 배선을 형성한다. 다음, 소스 전극(62)과 드레인 전극(63)으로 가리지 않은 저항성 접촉층(51)을 제거하여 두 부분(52, 53)으로 분리한다.
다음, 도 7a 및 도 7b에서와 같이, 질화 규소를 화학 기상 증착법을 이용하여 200Å 내지 2,000Å의 두께로 증착하여 버퍼막(701)을 형성하고, 버퍼막(701) 위에 검은색 안료를 포함하는 감광성 유기막(702)을 도포한다. 다음, 마스크를 이 용하여 노광한 후 감광성 유기막(702)을 현상하여 드레인 전극(63), 게이트 패드(23) 및 데이터 패드(64) 상부의 버퍼막(701)을 노출시킨다. 이때, 사용하는 노광 장비의 해상도는 6㎛ 이내인 것이 바람직하다. 다음, 감광성 유기막(702)을 마스크로 하여 버퍼막(701)을 건식 식각하여 드레인 전극(63), 게이트 패드(23) 및 데이터 패드(64)를 노출시키는 접촉 구멍(72, 73, 74)을 형성한다. 다음, 감광성 유기 절연막(703)을 도포하고 마스크를 사용하여 드레인 전극(63), 게이트 패드(23) 및 데이터 패드(64) 부분을 완전 노광한 후 슬릿이 형성된 마스크를 사용하여 화소 영역을 부분 노광한 다음, 현상하여 드레인 전극(63), 게이트 패드(23) 및 데이터 패드(64)를 노출시키는 접촉 구멍(172, 173, 174)을 형성하면서 화소 영역의 유기 절연막(703)의 표면을 요철 모양으로 한다. 이와 같이 하면 감광성 유기막(702)으로 이루어진 블랙 매트릭스 패턴이 완성되며 유기 절연막(703)으로 이루어진 유기 보호막이 완성할 수 있다.
여기서, 접촉 구멍(172, 173, 174)을 이용하여 유기 절연막(703)으로 접촉 구멍(72, 73, 74)의 측벽을 덮는 이유는 감광성 유기막(702)으로부터 떨어져 나온 입자가 접촉 구멍(72, 73, 74)에 잔류하는 경우에 접촉부의 접촉 특성이 나빠지는 것을 방지하기 위해서이다.
다음, 앞서의 도 1 및 도 2에서와 같이, 유기 보호막(703) 위에 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 은 또는 은 합금과 같이 반사율이 우수한 금속을 스퍼터링 따위의 방법으로 400Å 내지 1,000Å의 두께로 증착하고, 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 패터닝하여 반사막(80)을 형성한다.
한편, 반사막(80) 간의 단락을 방지할 수 있도록 반사막(80) 간격을 10㎛ 이하로 조절할 수 있는 경우에는 반사막(80)을 게이트선(21) 및 데이터선(61)과 중첩시켜 반사 개구율을 더 확대할 수도 있다.
이와 같이 본 발명에서는 감광성 유기막으로 이루어진 블랙 매트릭스 패턴을 반사막의 하부에 형성하여 반사막 개구율을 최대로 확보하여 표시 장치의 반사 특성을 극대화할 수 있으며, 데이터 배선으로부터 반사되어 나오는 빛에 의한 표시색의 혼색을 방지하며 표시 장치의 대비비를 향상시킬 수 있다.

Claims (7)

  1. 절연 기판 위에 형성되어 있는 게이트선 및 상기 게이트선의 일부인 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선,
    상기 게이트 배선을 덮고 있는 게이트 절연막,
    상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 반도체층,
    상기 반도체층 위에 형성되어 있는 저항성 접촉층,
    상기 게이트 절연막 및 상기 저항성 접촉층 위에 형성되어 있는 데이터선, 상기 데이터선의 일부인 소스 전극, 상기 게이트 전극을 중심으로 상기 소스 전극과 마주하는 드레인 전극을 포함하는 데이터 배선,
    상기 드레인 전극을 노출시키는 제1 접촉 구멍을 가지며, 검은색의 안료를 포함하는 감광성 유기막으로 이루어진 블랙 매트릭스 패턴,
    상기 블랙 매트릭스 패턴 위에 형성되어 있고 상기 제1 접촉 구멍보다 작은 크기로 상기 드레인 전극을 노출하는 제2 접촉 구멍을 가지며 요철 모양의 표면을 갖는 유기 보호막,
    상기 제2 접촉 구멍을 통해 상기 드레인 전극과 연결되어 있는 반사막
    을 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
  2. 제1항에서,
    상기 블랙 매트릭스 패턴의 광학 밀도는 1 내지 3.5의 값을 가지는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
  3. 제1항에서,
    상기 데이터 배선과 상기 블랙 매트릭스 패턴 사이에 형성되어 있는 버퍼막을 더 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
  4. 제1항에서,
    상기 반사막은 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 은 또는 은 합금으로 이루어진 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
  5. 제1항에서,
    상기 게이트 배선은 상기 게이트선의 끝에 연결되어 있는 게이트 패드를 더 포함하고, 상기 데이터 배선은 상기 데이터선의 끝에 연결되어 있는 데이터 패드를 더 포함하며,
    상기 감광성 유기막은 상기 게이트 패드 및 상기 데이터 패드를 각각 노출시키는 제3 접촉 구멍 및 제4 접촉 구멍을 가지며, 상기 유기 보호막은 상기 제3 접촉 구멍 및 제4 접촉 구멍보다 크기가 작고 상기 게이트 패드 및 상기 데이터 패드를 각각 노출시키는 제5 접촉 구멍 및 제6 접촉 구멍을 가지는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
  6. 절연 기판 위에 게이트선 및 상기 게이트선의 일부인 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선을 형성하는 단계,
    상기 게이트 배선 위에 게이트 절연막을 형성하는 단계,
    상기 게이트 절연막 위에 반도체층을 형성하는 단계,
    상기 반도체층 위에 저항성 접촉층을 형성하는 단계,
    상기 저항성 접촉층 위에 소스 전극을 가지는 데이터선, 상기 게이트 전극을 중심으로 상기 소스 전극과 마주하고 상기 저항성 접촉층과 중첩하는 드레인 전극을 포함하는 데이터 배선을 형성하는 단계,
    상기 데이터 배선 위에 검은색 안료를 포함하는 감광성 유기막을 도포하고 노광 현상하여 상기 드레인 전극을 노출시키는 제1 접촉 구멍을 갖는 블랙 매트릭스 패턴을 형성하는 단계,
    상기 블랙 매트릭스 패턴 위에 유기 보호막을 도포하고 노광 현상하여 상기 드레인 전극을 노출시키며 상기 제1 접촉 구멍보다 크기가 작은 제2 접촉 구멍을 형성하고, 상기 유기 보호막의 표면을 요철 모양으로 만드는 단계,
    상기 제2 접촉 구멍을 통해 상기 드레인 전극과 연결되는 반사막을 형성하는 단계
    를 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
  7. 제6항에서,
    상기 데이터 배선과 상기 블랙 매트릭스 패턴 사이에 질화 규소로 이루어진 버퍼막을 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
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