KR100783761B1 - 진공건조장치 - Google Patents

Abstract

LCD나 OLED, FED 등에 사용하는 평판표시소자용 기판의 제조시 기판에 도포한 포토레지스트와 같은 각종 도포액을 균일한 진공 압력이 작용하는 챔버 분위기에서 진공 배기 방식으로 건조시킬 수 있는 진공건조장치를 개시한다.

그러한 진공건조장치는, 건조 작업을 진행하기 위한 챔버를 구비한 건조용기와, 상기 건조용기를 형성하는 외부면에서 상기 챔버와 연통한 상태로 설치되는 배기포트와, 상기 배기포트와 연결되며 이 배기포트를 통하여 상기 챔버 내부에 건조를 위한 진공 압력을 발생하는 진공펌프 그리고, 상기 챔버의 윗면으로부터 아래쪽을 향하여 상기 챔버의 공간을 점유하는 상태로 돌출 형성되는 압력조절벽을 구비하고 이 압력조절벽에 대응하는 상기 챔버 영역의 배기 유속을 상승시켜서 진공 압력을 줄이기 위한 압력조절수단을 포함한다.

평판표시소자용 기판, 건조용기, 챔버, 배기포트, 압력조절수단, 압력조절벽, 압력 편차 억제, 배기 유속 조절, 포토레지스트, 진공 배기에 의한 기판 건조 작업, 작업성 및 생산성 향상.

Description

진공건조장치{vacuum dry apparatus}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공건조장치의 내부 구조를 설명하기 위한 단면도이다.

도 2는 도 1의 건조용기 챔버 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 진공건조장치의 압력조절수단의 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 진공건조장치의 압력조절수단의 다른실시예를 설명하기 위한 도면이다.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 진공건조장치의 배기포트의 다른실시예를 설명하기 위한 도면이다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 진공건조장치의 압력조절수단의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 진공건조장치의 온도조절수단의 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 8은 도 7의 가열부 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 9는 도 7의 냉각부 구조를 설명하기 위한 도면이다.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

2: 건조용기 4: 받침대 6: 압력조절수단

8: 온도조절수단 10: 가열부 12: 냉각부

G: 기판 G1: 도포액 S: 챔버

P: 배기포트 P1: 진공펌프 W: 압력조절벽

본 발명은 진공건조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD나 OLED, FED 등에 사용하는 평판표시소자용 기판 제조를 위한 건조 작업에 사용되며, 특히 기판에 도포한 포토레지스트와 같은 각종 도포액을 균일한 진공 압력이 작용하는 챔버 분위기에서 진공(眞空) 배기 방식으로 건조시킬 수 있는 진공건조장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판표시소자용 기판을 제조할 때 기판 표면에 달라붙은 각종 이물질을 제거하기 위하여 세척액으로 세정하거나 포토리소그라피(photolithography) 방식으로 기판 표면에 소정의 패턴을 형성하기 위하여 포토레지스트를 도포하는 작업을 진행한다.

그리고, 상기와 같이 세정 및 도포 작업 후에는 기판 표면으로부터 세척액을 제거하거나 포토레지스트 중에 함유된 수분이나 알코올, 기포, 불순물 가스 등을 제거하기 위한 건조 작업을 진행한다.

이러한 기판 건조를 위한 방법으로는 진공 챔버를 갖는 건조장치를 이용하여 진공 챔버 내부에서 기판을 건조하는 진공 건조 방식이 알려져 있다.

상기 건조장치는 챔버 내부에 작용하는 진공 압력에 의해 상온 또는 상온 이하의 온도에서도 수분의 기화가 가능한 원리를 이용한 것이다. 예를들어, 물은 1기압(760 Torr)일 때 섭씨 100도에서 끓으면서 기화되지만, 1기압 이하일 때는 상온 또는 그 이하의 온도에서 기화가 가능하다.

이러한 진공건조장치의 구조를 간략하게 설명하면, 기판의 건조를 위한 챔버를 갖는 건조용기와, 상기 챔버와 연통하는 상태로 상기 건조용기 윗면이나 측면과 연결되는 배기관을 포함하며, 이 배기관은 통상의 진공펌프와 연결된다.

즉, 상기 진공건조장치는 챔버 내부에 기판이 위치한 상태에서 상기 배기관을 통하여 진공 압력이 작용하는 챔버 분위기로 기판 표면 또는 포토레지스트 도포면 중에 함유된 알코올이나 수분, 불순물 가스, 기포 등을 진공 배기시키는 방식으로 제거하면서 건조할 수 있다.

그러나, 상기한 종래의 진공건조장치는 기판과 서로 마주하는 챔버 윗면이 평탄하게 형성된 챔버 분위기에서 건조 작업을 진행하므로 이와 같은 구조는 예를들어, 챔버의 측벽면과 연결한 배기관으로 측방(側方) 배기할 때 상기 챔버의 전체 공간에서 위치에 따른 압력 편차가 발생하여 균일한 진공 압력 조건에서 건조 작업을 진행하게 어렵다.

즉, 챔버 전체 공간 중에서 상기 배기관이 연결된 측벽면 지점과 근접한 외곽영역의 배기 유속이 중앙영역의 배기 유속보다 크게 작용하여 유속이 높은 영역은 압력이 낮아지고, 유속이 낮은 지점은 압력이 높게 형성된다.

따라서, 이러한 압력 편차는 배기 유속이 낮은 중앙영역에서 알코올이나 수분, 불순가스 등이 원활하게 배기되지 못하는 현상을 유발하고, 이로 인하여 건조 작업 중에 기판측에 얼룩무늬가 형성되어 불량 품질을 유발할 수 있다.

특히, 기판 측에 얼룩무늬가 발생하는 현상은 소면적의 기판보다 사이즈가 큰 대면적의 기판을 건조할 때 더욱 많이 발생하게 되므로 상기 종래의 건조장치로는 점차 대면적 기판을 양산하는 작업 공정에 부응하기 어려울 뿐만 아니라, 대면적 기판의 양산시 과다한 불량품질을 유발하여 작업 능률과 생산성을 저하시킬 수 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 소면적은 물론이거니와 사이즈가 큰 대면적의 기판을 진공 압력이 작용하는 챔버 분위기에서 간편하게 건조할 수 있으며, 특히 챔버 내부에 작용하는 진공 압력 편차를 대폭 줄인 상태로 건조 작업을 진행할 수 있는 진공건조장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,

건조 작업을 진행하기 위한 챔버를 구비한 건조용기;

상기 건조용기를 형성하는 외부면에서 상기 챔버와 연통한 상태로 설치되는 배기포트;

상기 배기포트와 연결되며 이 배기포트를 통하여 상기 챔버 내부에 건조를 위한 진공 압력을 발생하는 진공펌프;

상기 챔버의 윗면으로부터 아래쪽을 향하여 상기 챔버의 공간을 점유하는 상태로 돌출 형성되는 압력조절벽을 구비하고 이 압력조절벽에 대응하는 상기 챔버 영역의 배기 유속을 상승시켜서 진공 압력을 줄이기 위한 압력조절수단;

을 포함하는 진공건조장치를 제공한다.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 본 발명의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.

따라서, 본 발명의 실시예들은 여러가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공건조장치의 전체 구조를 나타내는 도면으로서, 도면 부호 2는 건조용기를 지칭한다.

상기 건조용기(2)는 직사각형의 박스 형태로 이루어질 수 있으며, 평탄한 작업대(T) 위에 도 1에서와 같이 고정 설치할 수 있다.

상기 건조용기(2)의 재질은 예를들어, 스테인레스 스틸과 같이 내구성 및 내부식성이 우수한 금속류 중에서 사용할 수 있다.

상기 건조용기(2) 내부에는 기판(G)의 건조를 위한 챔버(C)가 마련된다.

이 챔버(C)는 상기 건조용기(2) 내부에서 기판(G)이 수평한 상태로 수용될 수 있는 크기의 면적을 가지며 도 1을 기준으로 할 때 좌,우측으로 길이가 긴 직사 각형의 공간을 갖도록 형성할 수 있다.

상기 챔버(C)에는 받침대(4)를 설치할 수 있으며, 이 받침대(4)는 상기 챔버(C) 내부에서 도 1에서와 같이 기판(G)을 수평한 자세로 로딩할 수 있도록 고정 설치할 수 있다.

상기 기판(G)은 통상의 도포 작업을 거치면서 포토레지스트와 같은 도포액(G1)을 도포한 상태로 상기 챔버(C) 내부에 위치된다.

그리고, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 챔버(C)를 외부로부터 개방하거나 차단할 수 있도록 상기 건조용기(2)측에 도어를 설치하여 이 도어를 통하여 기판(G)을 상기 챔버(C) 내부에 로딩하거나 언로딩할 수 있다.

상기 건조용기(2)에는 상기 챔버(C)와 연통하는 배기포트(P)가 연결된다.

이 배기포트(P)는 상기 챔버(C)를 형성하는 윗면을 제외한 측면 또는 저면을 통하여 통상의 측방(側方) 배기 또는 하방(下方) 배기가 가능하게 이루어질 수 있다.

이를 위하여 본 실시예에서는 도 1에서와 같이 통상의 진공펌프(P1)와 연결된 2개의 배기포트(P)를 상기 챔버(C)를 사이에 두고 상기 건조용기(2)의 양측면에 연결하여 상기 각 배기포트(P)를 통하여 측방 배기가 가능하도록 하고 있다.

상기 2개의 배기포트(P)는 상기 챔버(C) 내부에 위치한 기판(G)의 높이와 동일한 지점에 형성할 수 있다.

그리고, 상기 각 배기포트(P)와 연결하는 진공펌프(P1)는 통상의 저진공 펌프를 사용할 수 있다.

상기 진공펌프(P)는 도 1에서와 같이 상기 배기포트(P)와 통상의 방법으로 연결하여 이 배기포트(P)를 통하여 상기 챔버(C) 내부를 진공 압력으로 배기할 수있도록 셋팅된다.

상기 챔버(C)는 상기 진공펌프(P1)의 구동시 도 2에서와 같이 상기 배기포트(P)와 근접한 외곽공간영역(S1)과 이들 외곽공간영역(S1) 안쪽에 형성되는 중앙공간영역(S2) 사이에 압력 편차가 발생한다.

예를들어, 상기 2개의 배기포트(P)로 상기 챔버(C) 내부를 진공 배기할 때 상기 외곽공간영역(S1)의 배기 유속보다 상기 중앙공간영역(S2)의 배기 유속이 작으므로 이러한 배기 유속의 차이에 의해 상기 중앙공간영역(S2)측에 순간 진공 압력이 더 크게 작용할 수 있다.

한편, 상기 건조용기(2) 내부에는 압력조절수단(6)이 위치한다. 이 압력조절수단(6)은 상기 배기포트(P)의 진공 배기 작용시 상기 챔버(C) 내부의 배기 유속을 변화시켜서 위치에 따른 진공 압력 편차를 줄일 수 있게 이루어진다.

이를 위하여 본 실시예에서는 도 3에서와 같이 상기 챔버(C)의 양측면에 위치한 배기포트(P)를 사이에 두고 상기 챔버(C)의 윗면에서 아래쪽 공간을 점유하는 상태로 압력조절벽(W)을 돌출 형성하여 이 압력조절벽(W)에 의해 배기 유속을 변화시켜서 압력 편차를 줄일 수 있도록 하고 있다.

상기 압력조절벽(W)은 도 3을 기준으로 할 때 상기 챔버(C)의 윗면에서 상기 중앙공간영역(S2)을 향하여 돌출된 유속상승구간(L1)과, 이 유속상승구간(L1)을 사이에 두고 좌,우측을 향하여 위쪽으로 경사지게 연장된 유속완화구간(L2)을 갖도록 돌출 형성할 수 있다.

상기한 압력조절수단(6)은 상기 챔버(C) 내부에서 외곽공간영역(S1)을 사이에 두고 위치하는 중앙공간영역(S2)을 상기 압력조절벽(W)의 유속상승구간(L1)에 의해 공간을 점유하는 형태로 형성된다.

상기 유속상승구간(L1)은 통상의 베르누이 원리에 의해 상기 중앙공간영역(S2)에 작용하는 배기 유속(流速)을 상승시킬 수 있으며, 배기 유속 상승에 의해 압력을 낮출 수 있다.

따라서, 상기 챔버(C) 내부에서 기판(G)의 건조를 위한 진공 배기 작업을 진행할 때 상기 2개의 배기포트(P)와 근접한 외곽 영역(S1)들보다 상대적으로 순간 진공 압력이 높게 형성되는 상기 중앙공간영역(S2)의 배기 유속을 상승시켜서 상기 챔버(C) 내부에서 외곽공간영역(S1)과 중앙공간영역(S)의 압력 편차를 줄일 수 있다.

이와 같이 압력조절수단(6)을 구비한 챔버(C)는 종래의 진공건조장치와 같이 위치에 따라 진공 압력 편차가 발생하는 챔버 분위기로 건조 작업을 진행할 때 압력이 상대적으로 높게 작용하는 챔버 영역에 위치하는 기판(G) 표면에 발생하는 일명 얼룩무늬 현상을 방지할 수 있다.

상기한 실시예에서는 상기 챔버(C)를 사이에 두고 상기 건조용기(2)의 양측면에 각각 배기포트(P)를 형성하여 측방 배기가 가능하게 이루어지는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니다.

예를들어, 도 4에서와 같이 상기 건조용기(2)의 어느 한쪽 측면에 1개의 배 기포트(P)를 설치할 수도 있다.

이때, 상기 압력조절수단(6) 즉, 압력조절벽(W)은 상기 1개의 배기포트(P)와 연통된 챔버(C)의 반대편 공간영역(S3)을 점유하는 상태로 도 4에서와 같이 유속상승구간(L1)과 유속완화구간(L2)을 형성할 수 있다.

그리고, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 챔버(C)를 형성하는 4개의 측면에 대응하여 상기와 같은 구조로 복수개의 배기포트(P)를 각각 연결할 수도 있다.

상기한 실시예에서는 측방 배기 방식으로 기판(G)을 건조하는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이 또한 본 발명에 상기한 구조에 한정되는 것은 아니다.

예를들어, 도 5에서와 같이 상기 건조용기(2)의 저면에서 상기 챔버(C) 바닥면과 연통하도록 배기포트(P)를 설치하여 통상의 하방(下方) 배기가 가능하게 형성할 수 있다.

이와 같은 하방 배기시 상기 압력조절벽(W)은 상기 챔버(C)에서 기판(G)의 테두리지점을 벗어난 외곽공간영역(S1)보다 압력이 높게 작용하는 중앙공간영역(S2)의 배기 유속을 상승시켜서 압력을 낮출 수 있도록 도 5에서와 같이 유속상승구간(L1)과 유속완화구간(L2)을 형성할 수 있다.

그리고, 상기 유속완화구간(L2)은 상기 유속상승구간(L1)의 단부측에서 곡선 또는 직선으로 연장되어 완만한 경사면을 갖도록 형성한다.

이와 같은 구조는 상기 2개의 구간(L1, L2)이 연결되는 경계 지점에서 급격하게 압력 변화가 발생하는 현상을 억제할 수 있다.

예를들어, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 유속상승구간(L1)으로부터 상기 유속완화구간(L2)을 단차지게 형성하면 상기 챔버(C) 내부에 작용하는 압력이 단차진 부분의 경계 영역을 사이에 두고 급격하게 변화할 수 있으며, 이러한 현상은 건조 작업 중에 불량 품질을 발생하는 또 다른 요인이 될 수 있다.

그리고, 상기 압력조절수단(6) 즉, 압력조절벽(W)의 돌출 크기나 넓이는 기판(G)의 사이즈와 진공 배기 시간을 고려하여 이에 부합하도록 형성한다.

예를들어, 일반적으로 20초 이내의 시간 동안 건조를 해야하는 대면적의 기판(G, 가로/세로 사이즈가 2미터 이상)의 경우, 도 6에서와 같이 상기 챔버(C)의 윗면과 기판(G) 사이의 간격(M1)을 100으로 기준할 때, 기판(G) 표면과 상기 유속상승구간(L1) 사이의 간격(M2)이 25 이하의 범위를 유지하도록 상기 압력조절벽(W)을 돌출 형성할 수 있다.

그리고, 상기 기판(G)의 전체 면적(M3)을 100으로 기준할 때, 상기 유속상승구간(L1)의 면적(M4)은 10 이하의 범위를 갖도록 형성할 수 있다. 이외에도 상기 압력조절벽(W)은 기판(G) 사이즈나 작업 여건에 따라 이에 부합하도록 상기한 기준보다 크거나 작게 형성할 수도 있다.

상기 본 발명의 실시예에 따른 진공건조장치는 도 7에서와 같이 온도조절수단(8)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.

이 온도조절수단(8)은 상기 챔버(C) 내부에서 진공 배기 작용을 촉진시키기 위하여 기판(G)의 온도 조절이 가능하게 이루어진다.

이를 위하여 본 실시예에서는 도 7에서와 같이 상기 챔버(C) 내부에 위치한 받침대(4) 내부에 가열부(10)와 냉각부(12)를 각각 형성하여 상기 받침대(4) 위에 놓여지는 기판(G)을 가열하거나 가열 상태를 냉각시키면서 상기 기판(G)의 온도를 제어할 수 있도록 하고 있다.

상기 가열부(10)는 전기를 공급받아서 발열하는 통상의 열선부재을 사용할 수 있으며, 도 8에서와 같이 상기 받침대(4) 내부에서 기판(G)이 얹혀지는 면적에 대응하도록 도면에서와 같이 배열로 배선할 수 있다.

그리고, 상기 가열부(10)는 고온용 열선(H1)과 저온용 열선(H2)을 각각 배선하여 상기 받침대(4) 전체 면적 중에서 2군데 이상의 영역을 각기 다른 발열 온도로 히팅이 가능하게 셋팅할 수 있다.

예를들어, 상기 고온용 열선(H1)은 상기 챔버(C) 내부에서 상기 압력조절벽(W)과 마주하는 영역(A1)에 대응하도록 배선하고, 상기 저온용 열선(H2)은 상기 압력조절벽(W)과 마주하는 영역(A1)을 벗어난 영역(A2)에 대응하도록 각각 배선할 수 있다.(도 8참조)

이러한 구조는 상기 챔버(C) 내부에서 진공 배기 작업을 진행할 때 요구되는 건조 환경에 따라 상기 기판(G) 전체 면적 중에서 상기 압력조절벽(W)과 마주하는 영역(A1) 그리고, 이 영역(A1)을 벗어난 다른 영역(A2)을 각기 다른 온도로 히팅하면서 배기 작용을 촉진시킬 수 있다.

그리고, 상기 냉각부(12)는 냉각용 파이프(H3)를 상기 받침대(4)에서 도 9에서와 같이 배열로 배선할 수 있다.

상기 냉각부(12)는 상기 냉각용 파이프(H3) 내부에 냉각용 유체(Q)를 플로우 시키면서 열 교환 작용에 의해 기판(G)의 온도를 낮출 수 있는 통상의 공랭식 또는 수냉식의 냉각 구조로 이루어질 수 있다.

상기한 온도조절수단(8)은 상기 챔버(C) 내부에서 기판(G)의 건조 작업을 진행할 때 상기 가열부(10) 및 냉각부(12)를 이용하여 기판(G)의 온도를 높이거나 낮추면서 원활하게 진공 배기될 수 있도록 온도를 조절할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명은 평판표시소자용 기판 제조시 세정 작업 또는 포토레지스트와 같은 도포액의 도포 작업 후 기판에 존재하는 알코올이나 수분 및 불순물 가스, 기포 등을 진공 배기가 가능한 챔버를 이용하여 제거하면서 건조할 수 있다.

특히, 상기 챔버는 진공 배기시 내부 위치에 따라 압력 편차가 발생하는 것을 줄일 수 있는 압력조절수단을 구비하고, 이 수단은 챔버의 전체 공간에서 압력이 상대적으로 높게 형성되는 일부 영역의 배기 유속을 상승시키면서 압력을 낮추는 이른바 베르누이 원리를 이용하여 간편하게 압력 편차를 줄일 수 있다.

따라서, 소면적 기판은 물론이거니와 사이즈가 큰 대면적 기판의 건조 작업시 챔버 내부의 진공 압력 편차에 의해 얼룩무늬가 발생하는 현상을 억제하여 한층 향상된 작업성 및 생산성을 확보할 수 있다.

Claims (10)

1. 건조 작업을 진행하기 위한 챔버를 구비한 건조용기;

   상기 건조용기를 형성하는 외부면에서 상기 챔버와 연통한 상태로 설치되는 배기포트;

   상기 배기포트와 연결되며 이 배기포트를 통하여 상기 챔버 내부에 건조를 위한 진공 압력을 발생하는 진공펌프;

   상기 챔버의 윗면으로부터 아래쪽을 향하여 상기 챔버의 공간을 점유하는 상태로 돌출 형성되는 압력조절벽을 구비하고 이 압력조절벽에 대응하는 상기 챔버 영역의 배기 유속을 상승시켜서 진공 압력을 줄이기 위한 압력조절수단;

   을 포함하는 진공건조장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 배기포트는, 상기 챔버를 형성하는 내벽면 또는 바닥면에 1개 이상을 설치하는 진공건조장치.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 압력조절벽은, 챔버 윗면에서 아래쪽으로 돌출된 유속상승구간과, 상기 유속상승구간의 단부에서 상기 챔버 윗면을 향하여 경사지게 연결되는 유속완화구간을 포함하는 진공건조장치.
4. 청구항 3에 있어서,

   상기 유속상승구간은, 상기 챔버 내부에 위치하는 기판과 평행한 구간을 가지도록 연장 형성되고,

   상기 유속완화구간은, 상기 유속상승구간의 단부에서 상기 챔버 위쪽을 향하여 직선 또는 곡선의 구간을 가지도록 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 진공건조장치.
5. 청구항 1에 있어서,

   상기 압력조절벽은, 기판의 전체 사이즈를 100으로 기준할 때 10 이하의 넓이를 가지도록 형성하는 것을 특징으로 하는 진공건조장치.
6. 청구항 1에 있어서,

   상기 압력조절벽은, 기판과 상기 챔버 윗면 사이의 간격을 100으로 기준할 때 상기 압력조절벽 저면과 기판 사이의 간격이 25 이하로 유지하도록 돌출 형성하는 것을 특징으로 하는 진공건조장치.
7. 청구항 1에 있어서,

   상기 진공건조장치는, 온도조절수단을 더 포함하며,

   상기 온도조절수단은, 발열선으로 이루어지는 가열부와, 냉각파이프로 이루 어지는 냉각부를 포함하는 진공건조장치.
8. 청구항 7에 있어서,

   상기 발열선은, 상기 챔버 내부에서 기판의 전체 면적 중에서 2군데 이상의 지점을 각기 다른 온도로 가열할 수 있도록 셋팅되는 진공건조장치.
9. 청구항 7에 있어서,

   상기 냉각부는, 냉각파이프 내부에 냉각용 유체가 흐르면서 열 교환 작용에 의해 기판의 온도를 낮출 수 있는 공랭식 또는 수냉식으로 이루어지는 진공건조장치.
10. 청구항 1에 있어서,

    상기 압력조절벽은, 상기 챔버 윗면의 중앙 또는 상기 배기 포트와 떨어져서 어느 한쪽에 형성하는 진공건조장치.

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