KR100773014B1 - 고해상도 패턴 형성 방법, 유기 발광 소자 제조용 공정 및 전계-효과 트랜지스터 제조용 공정 - Google Patents
고해상도 패턴 형성 방법, 유기 발광 소자 제조용 공정 및 전계-효과 트랜지스터 제조용 공정 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 인쇄 기법에 의해 유기 및/또는 비유기 또는 생물학적 분자를 패터닝하는 방법에 관한 것으로, 이는 이들 층을 사용하는 반도체 소자, 회로, 센서, 생물학적 패턴, 바이오칩 및 디스플레이를 위한 것이다. 하나 이상의 유기 분자, 올리고머 또는 미세 입자의 종류 또는 혼합물(22)을 상 변화 전달 재료(24)에 추가한다. 얻어낸 혼합물(20) 또는 그 일부는 상 변화 재료의 용해 온도까지 가열하고 예를 들어 풀-컬러 디스플레이용 박막 트랜지스터와 같은 기판 상으로 증착한다. 이 가열한 혼합물(21)은 기판에 도달하는 즉시 응고된다. 그 후, 상 변화 재료를 승화에 의해 제거하며 유기 및/또는 비유기 또는 생물학적 분자는 기판 상에 남는다. 이 증착은 서로의 상부에 복수의 층을 주조하기 위해 반복할 수 있다.
Description
본 발명은 응용 재료 및 상 변화 전달 재료를 포함하는 혼합물의 증착에 의해 표면 상에 패턴을 형성하는 방법과 표면 패터닝용 혼합물에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 유기 발광 소자(OLED) 제조용 공정에 관한 것으로, 특히 RGB 디스플레이용 고해상도 패터닝에 관한 것이다.
유기 발광 소자(OLED)는 지지 기판상의 제 1 전극, 여러 유기 및 비유기층과 제 2 전극과 같은 서로의 상부에 증착되는 층들의 시퀀스로서 공통적으로 제조한다. 지금까지, OLED 기술은 소형 모듈을 위한 RGB 디스플레이용 고해상도 패터닝 방법이 없었다. 지금까지 개발된 소형 모듈을 위한 증착 기술은 대형 디스플레이 대량 생산에 대해서는 한계를 보여왔다.
종래에는, 유기 층을 형성하는 물리적 증착 방법으로서 진공 증발을 채택하여 왔다. 예를 들어, 풀-컬러 디스플레이의 적색, 녹색 및 청색 방출 서브-픽셀용의 유기층의 공통적 패터닝 방법은 섀도우 마스크(shadow mask) 기법이다. 그러나, 이 기법은 크기, 패널 해상도 및 픽셀의 개별 충진 요소(fill-factor)에 제한을 갖는다. 예를 들어, 섀도우 마스크 기술은 특히 소형의 특별한 크기에 대해 극히 복잡해 진다. 공정 동안의 이 재료 증착은 정기적 마스크 세정 단계를 요구하는데 이는 제조를 지연시킨다. 증착 동안 마스크의 열적 팽창은 정밀도와 개구 비율을 제한한다. 또한, 마스크 정렬이 반복적으로 필요하므로 시간이 소비되며 수율을 감소시킨다.
폴리머 발광 소자를 패터닝하는 데 이용되는 방법은, 미국 특허 6,087,196에 개시된 바와 같이, 용해된 폴리머의 잉크-젯 인쇄(ink-jet printing)이다. 액체 용액을 투여하는 이 방법은 소형 모듈에 기초하는 다층 OLED용으로는 적합하지 않은데, 왜냐하면 먼저 증착된 층들이 상이한 용액으로부터의 다층의 순차적 증착에 의해 다시 용해되고 섞이기 때문이다.
전술한 바로부터, 이 기술 분야에서, 유기 및/또는 비유기 활성 또는 생물학적 층을 이용하는 반도체 소자, 센서, 바이오칩 및 디스플레이의 제조를 위한 구조의 패터닝을 개선할 필요성이 여전히 존재함을 알 수 있다.
본 발명은 유기 및/또는 비유기 활성 또는 생물학적 층을 이용하는 반도체 소자, 회로, 센서, 생물학적 패턴, 바이오칩 및 디스플레이 제조를 가능하게 한다. 이 방법은 상 변화 인쇄 기법에 의해 전달 재료에 추가되는 분자, 올리고머(oligomers) 또는 미세 입자의 증착과 유기 발광 소자, 컬러 디스플레이 및 기타 반도체 소자의 제조를 포함한다.
본 발명에 따르면, 응용 재료와 상 변화 전달 재료를 포함하는 혼합물의 증착에 의해 표면상에 패턴을 형성하는 방법을 제공한다. 이 방법은 혼합물을 가열하여 융해물을 생성하는 단계와, 상 변화 인쇄 기법을 이용하여 용해된 혼합물을 표면상에 증착하여, 용해된 혼합물이 표면에 도달하는 즉시 응고되는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 양태에 따르면, 유기 발광 소자(OLED) 제조용 공정 방법이 제공된다. 이 공정 방법은 유기 재료와 상 변화 전달 재료를 포함하는 혼합물을 가열하여 융해물을 생성하는 단계와, 상 변화 인쇄 기법에 의해 용해된 혼합물을 표면상으로 증착하여, 용해된 혼합물이 표면에 도달하는 즉시 응고되는 단계와, 유기 재료는 표면상에 남기며, 승화에 의해 전달 재료를 제거하는 단계를 포함한다.
일반적으로, 본 발명은, 예를 들어 유기 분자를 갖는 층들의 고해상도 패터닝에 관한 것인데, 왁스 인쇄 기법로도 불리는 상 변화 인쇄 기법에 의해 수행되며, 반도체 소자, 센서 또는 컬러 디스플레이에서 사용된다. 응용 재료로 각각 불리는 하나 이상의 유기 분자, 올리고머 또는 미세 입자 종류 또는 혼합물을 전달 재료에 추가하는데, 이는 정상 상태에서는 "왁스(wax)"이다. 바람직하게는, 전달 재료는 약 0℃에서 고체이며 200℃ 아래의 대기압 하에서 용해된다. 바람직하게는 감소된 압력 하에서, 이 전달 재료는 200℃ 아래의 온도에서 고체에서 기체로 승화된다. 전달 재료의 예로는 사이클로도데칸(cyclododecane) 및 그 유도체가 될 수 있다. 전달 재료 사이클로도데칸은 실온에서 고체이고, 약 60℃에서 용해되며, 진공 상태에서는 액체 상태로 변하지 않고 사라지는 전달 재료이다. 또한, 이것은 소수성(hydrophobic)이므로 OLED 재료와 혼합하기에 이상적이다. 이 재료는 유기 숙주(organic host) 또는 기생-숙주(guest-host)가 첨가될 수 있는 왁스로서 이용될 수 있다.
증착 이전에, 왁스인 전달 재료의 혼합물과 응용 재료 또는 그 일부를 전달 재료의 용해 온도로 가열하고, 예를 들어 풀-컬러 디스플레이용 박막 트랜지스터 어레이와 같은 기판 또는 표면상에 증착된다. 용해된 혼합물의 증착은 열적 상 변화 인쇄 기법에 의해 수행할 수 있다. "왁스" 혼합물과 응용 재료는 기판에 도달하는 즉시 응고된다. 상 변화 재료인 전달 재료는 승화에 의해 제거할 수 있으며 활성 재료의 패터닝된 층은 기판 상에 남는다. 이 승화는 기판을 가열하거나 진공 상태로 하면 가속될 수 있다. 증착은 서로의 상부 상에 복수의 층을 주조하기 위해 반복할 수 있다. 저압과 저온 모두가 합쳐지면 가장 효율적일 것이다. 전달 재료가 액체를 형성하지 않고 고체 상태에서 기체 상태로 승화하게 되면 증착된 구조는 원하는 바대로 정확히 남게되며 패턴이 번지지 않으므로 유리하다.
복수의 층을 증착하기 위해 공정 방법의 단계를 반복할 수 있는데, 즉, 3개 이상의 층을 쉽게 형성할 수 있다. 또한, 먼저 원하는 응용 재료층의 전부 또는 일부를 증착하고 다음으로 여러 층의 각 전달 재료를 한번에 제거하는 것이 유리할 수도 있다.
본 발명의 또 다른 양태에서는, 표면을 패터닝하는 혼합물을 제공한다. 혼합물 또는 상태 변화 잉크로도 불릴 수 있는 혼합물은 패턴 형성용 응용 재료와 소정 작용에 의해 패터닝 후에 승화되는 상 변화 전달 재료를 포함한다. 이 작용은 가열, 저압 인가 및 그 조합일 수 있다. 물리적 효과를 포함하는 작용은 전달 재료를 제거하기 위해 정의된 파장을 갖는 빛의 인가를 포함할 수도 있다. 이는 전달 재료 제거 공정을 용이하게 할 것이다.
표면에 전달되고 고정되는 재료로서 왁스를 이용하는 종래 상 변화 또는 왁스 프린터와는 대조적으로, 여기서 전달 재료, 즉, 왁스는, 예를 들어 유기 분자를 갖는 응용 재료가 내부에 포함되는 전달 매체로서 이용한다.
혼합물은 분말일 수 있다. 이는 다른 성분과 쉽게 혼합될 수 있으며 응용 재료와 전달 재료간의 농도를 적응시키고 변화시킬 수 있다는 장점을 갖는다. 바람직한 예에서, 응용 재료와 전달 재료간의 농도는 1:100이다. 다른 예에서, 이 비율은 1:1 또는 심지어 1:10,000보다 클 수 있다. 이는 애플리케이션과 애플리케이션 영역에 의존하는데, 예를 들어 생물학적 재료의 이용은 미세 입자를 이용하는 비율과는 상이한 비율을 요구할 것이다.
상 변화 인쇄에 의해 생성되는 각 층의 두께는 응용 재료와 전달 재료 사이의 비율에 의해 정의할 수 있다.
혼합물 또는 혼합물에 대한 응용 재료와 전달 재료의 혼합은 분말을 혼합함으로써 수행할 수 있다. 다른 실시예에서는, 전달 재료를 그 용해점까지 가열하고 응용 재료를 추가한다. 또한, 혼합물을 표면에 증착할 때까지 응용 재료와 전달 재료를 함께 혼합하지 않는 것이 유리할 수 있다. 이는, 혼합물 증착이 발생하기 직전에, 애플리케이션을 위해 이 재료들을 혼합하고 가열한다는 것을 의미한다. 이렇게 함으로써, 2개 이상의 개별 용기를 이용하여 개별적으로 충진할 수 있다.
전달 재료는 전달 공정을 향상시키는 하나 이상의 성분을 포함할 수 있다. 예를 들어, 재료를 형성하는 왁스를 분자들이 우수한 용해도를 갖는 재료와 결합할 수 있다.
응용 재료는 유기 재료, OLED 재료, 생물학적 분자, 미세-입자 또는 그 조합 중 하나를 포함할 수 있다.
박막 전계-효과 트랜지스터로도 불리는 전계-효과 트랜지스터는, 기판상에 소스와 드레인 컨택트를 형성하는 단계와, 유기 재료와 상 변화 전달 재료를 포함하는 혼합물을 가열하여 융해물을 생성하는 단계와, 상 변화 인쇄 기법에 의해 소스와 드레인 컨택트를 갖는 기판상으로 용해된 혼합물을 증착하여, 용해된 혼합물이 기판에 도달하는 즉시 응고되는 단계와, 유기 반도체층으로서 유기 재료는 표면에 남기며, 승화에 의해 전달 재료를 제거하는 단계와, 유기 반도체층상에 절연층을 형성하는 단계와, 절연층상에 게이트 컨택트를 형성하는 단계를 포함한다.
또한, 상 변화 인쇄 기법에 의해 절연층 외에도 소스, 드레인, 게이트 컨택트를 형성할 수도 있다. 이는 개시된 상 변화 인쇄 기법에 의해 전체 소자를 제조할 수 있다는 장점을 갖는다.
예시를 위해 다음의 개략적인 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명할 것이다.
도 1a-e는 응용 재료 및 상태 변화 전달 재료를 포함하는 혼합물의 증착에 의해 표면 상에 패턴을 형성하는 단계를 도시하고 있다.
도 2a,b는 유기 발광 소자의 형성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2c는 RGB 디스플레이의 형성에 대하 개략적인 도면을 도시하고 있다.
도 3은 전계-효과 트랜지스터의 형성에 대한 개략적인 도면을 도시하고 있다.
도 4는 상 변화 인쇄 원리를 도시하고 있다.
도면은 단지 예시를 위한 것이며 반드시 본 발명의 실제 예의 규격을 나타내는 것은 아니다.
본 발명은 매우 다양한 분야에 적용 가능하지만, 유기 전자발광 소자, 즉, 유기 발광 소자(OLED) 및 전계-효과 트랜지스터로의 적용에 초점을 맞추어 설명할 것이며, 우선은 일반적인 공정을 설명한다. 동일한 참조 번호는 동일한 부분 등을 가리키는 데 이용된다.
도 1a-e는 응용 재료(22)와 상 변화 전달 재료(24)를 포함하는 혼합물(20)의 증착에 의해 표면(10) 상에 패턴을 형성하는 단계를 도시하고 있다. 간단히 하기 위해, 이 도면은 물방울로 간단히 표현하였다. 이들의 2개 이상이 패턴을 형성하고 층을 다중화하는 것으로 고려된다. 도 1a는 응용 재료(22)와 전달 재료(24)를 혼합하여 혼합물(20)을 만드는 단계를 도시하고 있다. 도 1b에 도시된 바와 같이, 혼합물(20)을 가열하여 융해물(21)을 만든다. 그 후, 도 1c에 도시된 바와 같이, 용해된 혼합물(21)을 상 변화 인쇄에 의해 표면(10) 상에 증착한다. 이에 의해, 용해된 혼합물(21)은 표면(10)에 도달하면 순간적으로 응고된다. 혼합물(20) 또는 위상-변화 잉크는 요소를 가열하여 용해하고, 예를 들어, 피에조 요소(도시 생략)를 통해 증착한다. 최종적으로, 도 1d에 도시된 바와 같이, 응고 또는 증착된 혼합물(20)에 저압을 가하여 전달 재료(24)를 승화에 의해 제거한다. 도 1e에 도시된 바와 같이, 표면(10) 상에 응용 재료(22)가 남는다. 복수 또는 다양한 응용 재료 층을 증착하기 위해, 이 공정 단계를 반복한다. 응용 재료(22)와 전달 재료(24)는 표면에 증착되는 혼합물에 따라 함께 혼합할 수도 있다. 이는, 혼합물의 증착이 일어나기 직전에 용도를 위해 재료를 혼합하고 가열한다는 것을 의미한다. 이는 개별적으로 사용되고 변경되고 충진될 수 있는 2개 이상의 분리된 용기(containers)를 사용하게 한다. 도 1a-e에서, 기호 "x"는 응용 재료(22) 성분을 나타내고, 기호 "o"는 고체 형태의 전달 재료(24) 성분을 나타내며, 기호 "-"는 용해된 형태의 전달 재료(24) 성분을 나타낸다.
도 2a 내지 도 2c는 유기 발광 소자(OLED) 형성에 대한 개략적인 도면을 도시하고 있다. 적어도 몇몇 경우, OLED는 캐소드와 애노드 사이의 적합한 유기 재료로 구성되는 얇은 층을 포함한다. 이 OLED의 하나의 적합한 예가 도 2a에 도시되어 있다. 기판(100)의 적합한 표면 상에, PVD, CVD, 스핀 코팅(spin coating) 또는 스퍼터링과 같은 종래 방법에 의해, 또는 상 변화 인쇄 기법에 의해 제 1 전극(애노드, 102)(금속, ITO, 도전 폴리머)을 제공한다. 기판(100)은 유리, 실리콘, 폴리머 또는 그 조합으로 구성될 수 있으며, 사전-패터닝된 박막 트랜지스터 어레이일 수도 있다. 또한, OLED는 홀 전송층(106)과 전자 전송/방출층(110') 및 제 2 전극(캐소드, 112)(금속)을 포함한다. 도 2b에 도시된 바와 같이, 기타 OLED 다층 소자가 추가 층을 포함할 수 있다. 홀 전송층(106) 외에도, 홀 주입층(104)이 포함될 수 있다. 결합된 전자 전송/재결합층을 전자 전송층(110)과 방출층(108)으로 분리할 수 있다. 이들 층 모두는 여러 재료의 혼합물일 수 있으며, 특히 방출층은 하나 또는 여러 숙주 및 염료(dye) 재료의 혼합물일 수 있다. 따라서, 이러한 다층 OLED는 도 1a-e 및 도 4를 참조하여 설명한 상 변화 인쇄 방법에 의한 개별 층의 연속적 주물(casting)로 적합한 표면 상에 형성할 수 있다.
도 2c에 도시된 바와 같은 디스플레이를 형성할 수 있다. 적색(302), 녹색(304) 및 청색(306) OLED 픽셀을 상 변화 인쇄에 의해 수신 기판(300) 상에 인쇄할 수 있다. 이와 달리, 적색, 녹색 및 청색 OLED를 서로의 상부에 인쇄하여 다색상 적층 OLED 소자를 구성할 수 있다.
전계-효과 트랜지스터 형성의 일례가 도 3에 도시되어 있다. 유리, 실리콘, 폴리머 또는 그 조합을 포함할 수 있는 절연 기판(400)의 표면 상에 소스와 드레인(402)으로 불리는 2개의 전기 컨택트를 형성한다. PVD, CVD, 스퍼터링 등의 종래 기술에 의해 소스와 드레인(402)을 형성할 수 있으나, 상 변화 인쇄에 의해 소스와 드레인(402)을 형성할 수도 있다. 후자에 있어서, 예를 들어, 절연 기판(400)의 표면에 인가되는 혼합물에 상 변화 전달 재료와 혼합될 응용 재료로서 금 미세 입자(gold nanoparticle)도 적합하다. 또한, 소스와 드레인 컨택트 사이의 상 변화 인새에 의해 유기 반도체층(404)이 적용되어 이들 컨택트(402)를 덮는다. 여기서, 응용 재료용 유기 분자로서 펜타세네(pentacene) 또는 알파-섹시티오페네(alpha-sexithiophene)를 사용할 수 있다. 그 후, 절연층(406)을 반도체층(404) 위에 형성하여, 절연층(406)은 혼합물 또는 합성물을 형성하는 응용 재료의 미세 입자로서 SiO2 또는 Al2O3을 포함할 수 있다. 최종적으로, 제 3 전극(408), 게이트 전극을 절연층(406)의 상부에 형성한다. 제 3 전극(408)은 소스와 드레인(402)과 같이 형성할 수 있으며 역시 금 미세 입자를 포함할 수 있다. 위상-변화 인쇄를 전계-효과 트랜지스터의 모든 또는 여러 층에 적용할 수 있다.
실제로, 전술한 OLED 또는 박막 트랜지스터와 같이, 각 응용 재료와 전달 재료로 각각 충진되는 여러 용기를 갖는 하나의 인쇄기를 이용하여 완전한 소자를 제조할 수 있다.
도 4는 상 변화 인쇄 원리와 그 유닛을 도시하고 있다. 용기 또는 저장기일 수 있는 재료 로더(loader, 40)는 프린트 헤드(44)에 인접하여 배치된다. 예를 들어 모세 혈관 현상을 적용함으로써 직접 접속도 가능하다. 재료 로더(40)는 가열 구성요소(41)를 포함하고 혼합물 또는 합성물(20)을 함유한다. 프린트 헤드(44)는 재료 제트(material jets, 46)를 포함하는데, 이는 예를 들어 피에조 구성요소(도시 생략)와 동작하여 용해된 재료(21)를 배출한다. 응용 재료(20)를 표면에 적용하기 위해, 프린트 헤드(44)를 표면(10) 위에 이동시키거나 프린트 헤드(44)는 고정하고 표면(10)을 갖는 기판(11)을 임의의 방식으로 이동시켜 표면(10)을 적합하게 패터닝한다. 동작에서, 가열 구성요소(41)는 재료 로더(40)의 한 단부에서 혼합물(20)을 용해시킨다. 용해된 혼합물(21)은 프린트 헤드(44)에 배출하거나 떨어뜨리는데, 바람직하게는 이것도 가열한다. 재료 제트(46)를 통해, 용해된 재료(21)을 표면(1)을 가져와서 용애된 혼합물(21)은 즉시 응고된다. 다른 실시예에서, 재료 로더(40)와 프린트 헤드(44)는 함께 단일 유닛을 형성할 수도 있다. 다른 실시예에서는, 상이한 응용 재료(22)를 포함하는 혼합물 또는 합성물로 각각 충진되는 복수의 재료 로더(40)가 프린트 헤드(44)를 지원하는 데 이용될 수 있다.
전술한 임의의 실시예도 하나 또는 여러 다른 실시예와 조합될 수 있다. 또한, 이는 실시예들의 하나 이상의 특징에 대해서도 가능하다.
Claims (15)
- 분자(molecules), 올리고머(oligomers), 미세 입자(nanoparticles) 및 이들의 조합인 응용 재료(22)와 상 변화 전달 재료(24)를 포함하는 혼합물(20)을 증착하여 표면(10) 상에 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 방법으로서, 상기 형성 단계는,b) 상기 혼합물(20)을 가열하여 융해물(a melt)을 생성하는 단계와,c) 상 변화 인쇄 기법을 이용하여 상기 용해된 혼합물(21)을 상기 표면(10) 상에 증착함으로써, 상기 용해된 혼합물(21)이 상기 표면(10)에 도달하는 즉시 응고되도록 하는 단계와,d) 승화(sublimation)에 의해 상기 전달 재료(24)를 제거하는 단계를 포함하는패턴 형성 방법.
- 제 1 항에 있어서,a) 상기 응용 재료(22)와 상기 전달 재료(24)를 상기 혼합물(20)로 혼합하는 단계를 더 포함하는패턴 형성 방법.
- 제 1 항에 있어서,승화에 의해 전달 재료(24)를 제거하는 상기 단계 d)는 상기 증착된 혼합물(20)에 대한 저압 인가 또는 가열 단계를 포함하는패턴 형성 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 단계 b) 내지 d)를 반복하여 복수의 층을 증착하는 단계를 포함하는패턴 형성 방법.
- 유기 발광 소자(OLED)를 제조하는 공정으로서,유기 재료(22)와 상 변화 전달 재료(24)를 포함하는 혼합물(20)을 가열하여 융해물(21)을 생성하는 단계와,상 변화 인쇄 기법에 의해 상기 용해된 혼합물(21)을 표면(10) 상으로 증착하여, 상기 용해된 혼합물(21)이 상기 표면(10)에 도달하는 즉시 응고되도록 하는 단계와,승화에 의해 상기 전달 재료(24)는 제거하고 상기 유기 재료(22)는 상기 표면(10) 상에 남기는 단계를 포함하는유기 발광 소자 제조용 공정.
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- 제 1 항에 있어서,유기 전자 소자, 흑백 또는 컬러 디스플레이, 생물학적 패턴, 바이오칩, 센서, 반도체 소자 및 회로 중 하나를 제조하는 데 이용되는패턴 형성 방법.
- 전계-효과 트랜지스터 제조용 공정으로서,기판(400)의 표면(10) 상에 소스와 드레인 컨택트(402)를 형성하는 단계와,유기 재료(22)와 상 변화 전달 재료(24)를 포함하는 혼합물(20)을 가열하여 융해물(21)을 생성하는 단계와,상 변화 인쇄 기법에 의해 상기 소스와 드레인 컨택트(402)를 갖는 상기 기판(400)의 표면(10) 상으로 상기 용해된 혼합물(21)을 증착하여, 상기 용해된 혼합물(21)이 상기 기판(400)에 도달하는 즉시 응고되도록 하는 단계와,승화에 의해 상기 전달 재료(24)는 제거하고 상기 유기 재료(22)는 유기 반도체층(404)으로서 상기 표면(10)에 남기는 단계와,상기 유기 반도체층(404) 상에 절연층(406)을 형성하는 단계와,상기 절연층(406) 상에 게이트 컨택트(408)를 형성하는 단계를 포함하는전계-효과 트랜지스터 제조용 공정.
- 제 12 항에 있어서,상기 상 변화 인쇄 기법에 의해, 상기 소스/드레인 컨택트(402), 상기 절연층(406) 및 상기 게이트 컨택트(408) 중 적어도 하나는,분자, 올리고머, 미세 입자 및 이들의 조합인 응용 재료(22)와 상 변화 전달 재료(24)를 포함하는 혼합물(20)을 증착하여 표면(10) 상에 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 방법에 의해 생성하며, 상기 패턴을 형성하는 단계는,상기 혼합물(20)을 가열하여 융해물(a melt)을 생성하는 단계와,상 변화 인쇄 기법을 이용하여 상기 용해된 혼합물(21)을 상기 표면(10) 상에 증착함으로써, 상기 용해된 혼합물(21)이 상기 표면(10)에 도달하는 즉시 응고되도록 하는 단계와,승화(sublimation)에 의해 상기 전달 재료(24)를 제거하는 단계를 포함하는전계-효과 트랜지스터 제조용 공정.
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