KR100763284B1 - 마이크로파 유전체 세라믹스 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마이크로파 유전체 세라믹스 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 유전율 및 품질계수가 높고, 공진 주파수의 온도계수가 낮은 우수한 마이크로파 유전특성을 가진다. 이를 위하여 본 발명에 의한 마이크로파 유전체 세라믹스는 Ca[Ti1 -x(Ni1/3Nb2/3)x]O3 (이때, 0＜x≤1) 조성으로 되며, 이때의 마이크로파 유전특성은 x가 0.4~0.6인 조성물 범위에서 유전율(εr)이 63.7~46.5, 품질계수(Q×f)의 값이 9,740~18,620GHz, 공진 주파수의 온도계수(τf)가 ±15ppm/℃으로서 우수한 특성을 가진다. 또한, 본 발명에 의한 마이크로파 유전체 세라믹스는 상기 조성식에 2Li2O-B2O3를 첨가하는 조성을 포함할 수 있고, 이때의 상기 첨가량은 2~10 wt%로 될 수 있다. 이때의 마이크로파 유전특성은 소결온도가 925℃의 저온에서 유전율(εr)이 32.47~50.10, 품질계수(Q×f)의 값이 6,800~8,500GHz이고, 공진 주파수의 온도계수(τf)가 -2.6~+11.4ppm/℃으로서 저온소결이 가능하면서도 마이크로파 유전특성이 우수하다.
마이크로파유전체세라믹스, 유전율, 품질계수, 공진주파수의온도계수, Q×f

Description

마이크로파 유전체 세라믹스 및 그 제조방법 {MICROWAVE DIELECTRIC CERAMICS AND THE MANUFACTURING METHOD THEREOF}
도 1은 실시예 1~6에 있어서 Ti+4의 양(x몰)에 따른 유전율(Dielectric Constant:εr)의 변화 그래프.
도 2는 실시예 1~6에 있어서 Ti+4의 양(x몰)에 따른 품질계수(Q×f) 값의 변화 그래프.
도 3은 실시예 1~6에 있어서 Ti+4의 양(x몰)에 따른 공진 주파수의 온도계수(TCF(Temperature Coefficient Factor): τf)의 변화 그래프.
도 4는 실시예 7~26에 있어서 2Li2O-B2O3의 첨가량(y wt%)에 따른 유전율(εr)의 변화 그래프(이때, 도 4의 (a)는 상기 첨가량이 2wt%일 때를, (b)는 4wt%일 때를, (c)는 6wt%일 때를, (d)는 8wt%일 때를, (e)는 10wt%일 때를 각각 나타낸다).
도 5는 실시예 9, 13, 17, 21, 25에 있어서 2Li2O-B2O3의 첨가량(wt%)에 따른 품질계수(Q×f) 값의 변화 그래프.
도 6은 실시예 9, 13, 17, 21, 25에 있어서 2Li2O-B2O3의 첨가량(wt%)에 따른 공진 주파수의 온도계수(TCF: τf)의 변화 그래프.
도 7은 실시예 17의 시편에 대한 EDS 분석 결과 데이터.
본 발명은 마이크로파 유전체 세라믹스 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 유전율 및 품질계수가 높고, 공진 주파수의 온도계수가 낮은 우수한 마이크로파 유전특성을 갖는 마이크로파 유전체 세라믹스 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 개인 휴대용 단말기 등의 이동통신과 유비쿼터스를 표방하는 블루투스 시장의 확대와 함께, 이들 기기를 구성하는 핵심부품인 마이크로파 필터(microwave filter), 듀플렉서(duplexer), 공진기(resonator), 집적회로기판 등 고주파 소자의 소형화, 고경량화, 표면 실장화가 가능한 적층화의 요구가 증가하고 있다.
이러한 고주파 소자의 재료로서는 유전체 세라믹스가 사용되며, 유전체 세라믹스의 마이크로파 유전특성은 기본적으로 다음의 필수조건이 충족되어야 한다.
첫째, 유전체 세라믹스 내부의 마이크로파 파장은 유전율의 1/2승에 반비례하여 단축되므로, 고주파 소자의 소형화를 위해서는 유전율(Dielectric Constant:εr)이 커야하고, 둘째, 고효율의 동작을 위해서는 작동 주파수대에서의 유전손실이 작아 품질계수(Quality factor: Q)의 값이 커야하며, 셋째, 동작 주파수의 정밀한 작동을 위해서는 공진 주파수의 온도계수(TCF(Temperature Coefficient Factor): τf)가 가능한 0 근처로 되어야 한다. 또한, 통상적으로 상기 품질계수는 이의 값과 해당 공진 주파수의 곱인 Q×f의 값으로서 그 우열이 평가된다.
현재까지 개발된 대표적인 마이크로파 유전체 세라믹스의 몇몇 예를 들면, Ba(M+2 1/3,M+5 2/3)O3 (M+2=Mg,Zn, M+5=Ta,Nb)계 세라믹스, Ba2Ti9O20계 세라믹스, (Zr,Sn)TiO4계 세라믹스, BaO-PbO-Nd2O3-TiO2계 세라믹스, (Pb,Ca)ZrO3계 세라믹스, CaTiO3계 세라믹스 등이 알려져 있다. 특히, CaTiO3계 세라믹스의 경우, CaTi1-x(Fe1 /2Nb1 /2)xO3계에 ZnO를 첨가하여 1,500℃의 온도에서 10시간 동안 소결하여 유전율이 59.5, 품질계수가 3,870GHz이고, 공진 주파수의 온도계수가 0ppm/℃인 얻었다는 보고가 있다(S. Kucheiko, J. Appl. Phys. 36 (1997) 198-202).
한편, 현재 고주파 소자의 적층화를 구현하기 위하여 유전체 세라믹스의 그린시트에 도체의 패턴을 인쇄하여 적층한 후 이를 소결하는 기술 등이 개발되고 있다. 이는 인덕터, 캐패시터, 저항 등을 하나의 모듈 내에 별도의 리드선 없이 구현할 수 있으므로, 패키지의 부피를 현저히 줄일 수 있게 된다.
그런데, 내부 도체로서는 도전성이 우수한 Ag나 Cu 등을 사용하므로, 이러한 도체와의 동시 소결이 불가피하게 되어, 결국 높은 품질계수와 낮은 공진 주파수의 온도계수를 지니면서도 950℃이하의 저온에서 소결이 가능한 저온 동시소결 세라믹스(Low Temperature Co-Fired Ceramics: LTCC)가 강력히 요구되고 있다.
이를 위하여, 최근까지 저온소결이 가능한 유전체 세라믹스가 개발되고 있으나, 대부분이 저온소결시 치밀화가 불충분하거나, 소결제의 첨가에 따른 유전율의 저하, 품질계수의 저하 및 공진 주파수의 온도계수의 상승 등 마이크로파 유전특성이 크게 저하되는 것이 큰 문제점으로 되고 있다.
특히, CaTiO3계 세라믹스의 경우, 본 출원인은 CaTi1 /2(Fe1 /2Nb1 /2)1/2O3＋xB2O3 (1≤x≤5 wt%)의 조성으로써 유전율이 48.7, 품질계수가 8,460GHz, 그리고 공진주파수의 온도계수가 +5.6ppm/℃인 우수한 특성의 유전체 세라믹스를 출원하여 공개된 바 있다(특허공개 제10-2005-0113764호, 2005.12.5 공개).
이에, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 본 발명의 목적은 Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3계 세라믹스를 개발하여 유전율 및 품질계수가 높고, 공진 주파수의 온도계수가 낮은 우수한 마이크로파 유전특성을 가지는 마이크로파 유전체 세라믹스 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명은 상기 Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3계 세라믹스에 저온소결용 첨가제를 첨가하여 저온소결이 가능한 저온 동시소성용 마이크로파 유전체 세라믹스 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징으로서, 본 발명의 일 관점에 의한 마이크로파 유전체 세라믹스는 Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3 (이때, 0＜x≤1) 조성을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 일 관점에 의한 마이크로파 유전체 세라믹스는 상기 조성식에 2Li2O-B2O3를 첨가하는 조성을 포함할 수 있다. 이때, 상기 첨가량은 2 내지 10 wt%로 될 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 일 관점에 의한 마이크로파 유전체 세라믹스의 제조방법은 CaCO3, TiO2, NiO, Nb2O5의 시료를 조성식 Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3 (이때, 0＜x≤1)에 따라 혼합, 분쇄한 후 건조하여 하소하는 단계와, 상기 하소된 시료를 다시 혼합, 분쇄한 후 건조하는 단계와, 상기 건조된 시료를 성형하고 소결하는 단계를 포함할 수 있다. 이때, 상기 소결온도는 1,200 내지 1,400℃의 온도범위로 될 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 일 관점에 의한 마이크로파 유전체 세라믹스의 제조방법은 CaCO3, TiO2, NiO, Nb2O5, Li2O, B2O3의 시료를 조성식 Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3 ＋ y(2Li2O-B2O3) (단, 0＜x≤1몰, 2≤y≤10 wt%)에 따라 혼합, 분쇄한 후 건조하여 하소하는 단계와, 상기 하소된 시료를 다시 혼합, 분쇄한 후 건조하는 단계와, 상기 건조된 시료를 성형하고 소결하는 단계를 포함할 수 있다. 이때, 상기 소결온도는 875 내지 925℃의 온도범위로 될 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 다만, 본 발명이 하술하는 실시예는 본 발명의 전반적인 이해를 돕기 위하여 제공되는 것이며, 본 발명은 하기 실시예로만 한정되는 것은 아니다.
실시예 1~6
실시예 1~6에 있어서, CaTiO3계 세라믹스를 Ca(Ni1 /3Nb2 /3)O3계 세라믹스와 고용시킨 Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3계 세라믹스를 기본조성으로 하였다. 식 1은 본 실시예 1~6에서의 조성식을 나타낸다.
Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3 (단, 0＜x≤1) (식 1)
먼저 출발 물질인 CaCO3, TiO2, NiO, Nb2O5 (순도: 99.9%, 평균 입경: 1㎛)를 식 1에 따른 조성비로 칭량하여 24시간 동안 3~10mm 직경의 지르코니아 볼(zirconia ball)과 D.I. water(DeIonized water)를 써서 습식 혼합 후 80℃의 오븐에서 건조하였다.
그리고, 상기 과정을 거친 분말을 1150℃에서 4시간 동안 하소하여 페롭스카이트(perovskite) 구조를 갖는 고용체를 합성하였다.
이렇게 합성된 분말은 다시 볼밀(ballmill)로 24시간 습식 분쇄하였다.
상기 과정을 통해 얻어진 분말에 2% PVA(poly Vinyl Alcohol) 바인더(binder) 수용액을 첨가하여 직경 10mm, 두께 5~6mm의 원기둥 시편 형태로 1ton/cm2의 압력을 가하여 성형하였다. 그리고, 상기 성형된 시편의 유기 바인더는 400℃의 온도에서 1시간 동안 열처리하여 제거하여 성형 시편을 준비하였다.
이 성형 시편은 1,200~1,400℃의 온도에서 4시간 동안 대기 중에서 소결하였다. 본 실시예에서는 1,300℃에서 4시간 소성한 시편에서 가장 좋은 상대밀도를 얻었다.
그리고, 상기 소결된 시편의 양면을 연마지(SiC paper, #1,000~1,500)로 연마한 후, 두 평형 도체판(copper) 사이에 넣고 유전체 공진기법(dielectric post- resonator technique)으로 유전율(εr), 품질계수(Q×f) 값 및 공진 주파수의 온도계수(τf)를 측정하였다. 이때, 온도계수의 측정 범위는 25~80℃로 하였다. 각 시편의 마이크로파 유전 특성은 다음 표 1과 같다.
표 1
실시예 x (몰) 소결온도 (℃) 소결밀도 (g/cc) 유전율 (εr) 품질계수 (Q×f: GHz) 공진 주파수의 온도계수 (τf: ppm/℃)
1 0.2 1,300 4.07 94.8 5,270 +49.8
2 0.4 1,300 4.27 63.7 9,740 +12.7
3 0.5 1,300 4.30 53.1 17,000 -9.1
4 0.6 1,300 4.39 46.5 18,620 -11.4
5 0.8 1,300 4.52 34.6 19,710 -37.9
6 1.0 1,300 4.71 27.0 25,570 -47.6
또한, 실시예 1~6에 있어서 Ti+4의 양(x몰)에 따라, 도 1은 유전율(εr)의 변화를, 도 2는 품질계수(Q×f) 값의 변화를, 도 3은 공진 주파수의 온도계수(τf)의 변화를 각각 나타낸다.
도 1을 참조하면, Ti+4의 양이 감소할수록 유전율이 크게 감소함을 볼 수 있으며, 이는 높은 유전율을 갖는 CaTiO3(εr＝169)와 이에 비해 상대적으로 낮은 유전율을 갖는 Ca(Ni1 /3Nb2 /3)O3(εr＝26)가 혼합 고용체를 형성해가기 때문이다.
또한, 도 2를 참조하면, Ti+4의 양이 증가함에 따라 품질계수값이 증가함을 볼 수 있다. 소결 시편의 품질계수는 소결밀도, 입계, 불순물, 이차상 또는 석출물 과 같은 외인적 요인과 결정구조의 변화에 따른 내인적 요인을 가진다. 특히, 상기 내인적 요인의 경우, 양이온의 규칙화, 결정구조와 같은 이온결합에너지 등에 영향을 받게 된다. 마이크로파 영역에서의 유전손실을 ABO3 구조에서 B 사이트의 규칙구조로부터 계산할 때, 규칙구조가 불규칙 구조보다 격자 에너지가 낮으며 유전손실도 낮아지게 된다.
또한, 도 3을 참조하면, Ti+4의 양이 감소할수록 공진 주파수의 온도계수가 작아지며, 이는 상기 유전율에 대해 상술한 바와 같이 높은 온도계수를 갖는 CaTiO3(τf＝+800ppm/℃)와 낮은 온도계수를 갖는 Ca(Ni1 /3Nb2 /3)O3(τf＝-78ppm/℃)의 혼합에 따른 고용체 효과에 기인한다. 또한, ABO3 페롭스카이트 화합물에서 B 사이트 이온의 치환에 따른 관용도(tolerance factor)의 변화로 결정구조 내부에서 산소팔면체의 틸팅(tilting)에 영향을 준 것에도 기인한다. 실시예 1~6에서는 x가 0.5일 때 공진 주파수의 온도계수가 0에 가장 가까웠다.
이상과 같이, 실시예 1~6에서 특히 x가 0.4~0.6인 조성물 범위에서 유전율(εr)이 63.7~46.5이며, 품질계수(Q×f)의 값이 9,740~18,620GHz이고 공진 주파수의 온도계수(τf)가 ±15ppm/℃인 마이크로파 유전특성을 얻을 수 있었다.
실시예 7~26
실시예 7~26에 있어서는, 상기 식 1과 같은 실시예 1~6의 조성식에 2Li2O- B2O3 첨가제를 가하여 식 2와 같은 조성식을 가진다.
Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3 ＋ y(2Li2O-B2O3) (단, 0＜x≤1몰, 2≤y≤10 wt%) (식 2)
실시예 7~26에서의 시료준비단계는 실시예 1~6에 있어서 시료분말의 제조로부터 성형시편의 제조까지의 제조공정과 동일하고, 다만 상기 식 2를 시료분말의 조성으로 하였으며 소결온도만 다르게 하였다. 실시예 7~26에서는 875~925℃에서 2시간 동안 대기 중에서 소결하여 제조하였다.
또한, 실시예 7~26에서는 실시예 1~6에서와 동일한 방법으로 각각 시편을 연마하고 유전율(εr), 품질계수(Q×f) 값 및 공진 주파수의 온도계수(τf)를 측정하였다. 그 결과를 다음 표 2에 나타내며, 이때 실시예 7~26 모두에 있어서 식 2의 조성식의 x는 0.5몰로 일정하게 고정하였다.
표 2
실시예 y (wt%) 소결온도 (℃) 소결밀도 (g/cc) 유전율 (εr) 품질계수 (Q×f: GHz) 공진 주파수의 온도계수 (τf: ppm/℃)
7 2 875 3.20 32.47 - -
8 2 900 3.45 35.68 - -
9 2 925 3.58 38.84 6,800 -2.6
10 2 950 3.74 40.22 - -
11 4 875 3.55 38.49 - -
12 4 900 3.75 42.25 - -
13 4 925 3.96 46.28 7,700 +2.4
14 4 950 4.16 50.10 - -
15 6 875 4.05 46.75 - -
16 6 900 4.15 48.35 - -
17 6 925 4.18 49.34 8,500 +5.7
18 6 950 4.19 48.04 - -
19 8 875 4.07 42.14 - -
20 8 900 4.17 44.24 - -
21 8 925 4.17 46.64 8,200 +8.2
22 8 950 4.19 42.18 - -
23 10 875 4.07 40.52 - -
24 10 900 4.15 42.45 - -
25 10 925 4.13 39.28 7,900 +11.4
26 10 950 4.17 36.14 - -
또한, 도 4는 실시예 7~26에 있어서 2Li2O-B2O3의 첨가량(y wt%)에 따른 유전율(εr)의 변화를 나타내며, 도 4의 (a)는 상기 첨가량이 2wt%일 때를, (b)는 4wt%일 때를, (c)는 6wt%일 때를, (d)는 8wt%일 때를, (e)는 10wt%일 때를 각각 나타낸다. 또한, 소결온도가 925℃일 때, 즉 실시예 9, 13, 17, 21, 25에 있어서 2Li2O-B2O3의 첨가량(wt%)에 따라, 도 5는 품질계수(Q×f) 값의 변화를, 도 6은 공진 주파수의 온도계수(τf)의 변화를 각각 나타낸다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 소결온도 925℃에서 소결제인 2Li2O-B2O3를 6wt% 첨가했을 때, 유전율뿐만 아니라 품질계수도 우수한 값을 얻을 수 있었다. 이는 낮은 공융점을 갖는 2Li2O-B2O3가 액상을 형성함으로써 결정립계에 액상으로 존재하여 치밀화를 증진시키기 때문이며, 2Li2O-B2O3가 6wt% 이상 첨가시 비정질인 상기 액상의 양이 증가하여 오히려 유전손실이 증가하고 품질계수가 감소하게 된다.
또한, 도 6을 참조하면, 2Li2O-B2O3의 첨가량이 증가함에 따라 공진 주파수의 온도계수가 양의 값으로 다소 증가함을 볼 수 있으며, 이는 2Li2O-B2O3가 양의 온도계수를 가지므로, 이의 첨가량이 늘어남에 따라 공진 주파수의 온도계수가 양의 값으로 증가하기 때문이다. 실시예 7~26에 있어서 낮은 공융점을 갖는 2Li2O-B2O3가 액상을 형성하고 결정립계에 존재하는데, 일반적으로 대다수 비정질 유리의 경우 온도 상승에 따라 이온의 분극성 변화는 미소하나 양 이온의 이동도가 커지므로, 유전상수가 변하게 되어 이에 따라 온도계수가 증가하게 된다.
이상과 같이, 2Li2O-B2O3가 2~10wt% 첨가될 때, 소결온도가 925℃의 저온에서 유전율(εr)이 32.47~50.10이며, 품질계수(Q×f)의 값이 6,800~8,500GHz이고, 공진 주파수의 온도계수(τf)가 -2.6~+11.4ppm/℃인 마이크로파 유전특성을 얻었다. 특히 2Li2O-B2O3가 6wt% 첨가된 경우(실시예 17), 소결온도가 925℃의 저온에서 유전율(εr)이 49.34이며, 품질계수(Q×f)의 값이 8,500GHz이고 공진 주파수의 온도계수(τf)가 +5.7ppm/℃인 우수한 마이크로파 유전특성을 얻을 수 있었다. 이로부터, 마이크로파 유전특성의 지나친 열등화 없이 소결온도가 925℃로 낮은 저온소결이 가능하므로, Ag나 Cu 등의 내부도체와의 동시소성이 가능해진다.
도 7은 실시예 17의 시편에 대한 EDS(Energy Dispersive Spectroscopy) 분석결과이며, 이는 저온 동시소성 세라믹스(LTCC: Low Temperature Co-fired Ceramics) 소자용 유전체로의 응용성을 보기 위한 것이다.
즉, 이를 위하여 실시예 17의 조성 세라믹스에 은 페이스트(Ag paste)로 전극을 인쇄하여 표 2에 기재한 바와 같이 925℃에서 2시간 동안 소결한 후, 상기 Ag 전극의 계면 확산 여부를 EDS 분석으로 살펴보았다. 도 7을 참조하면, 시편과 Ag 계면에서의 Ag 원소 프로파일(profile)이 잘 구분되고 시편 세라믹 내부로의 확산 구배(scope)는 뚜렷하게 관찰되지 않으므로 925℃에서 동시 소결시 확산이 거의 일어나지 않았음을 확인할 수 있었다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명에 의한 Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3계 세라믹스 (단, 0＜x≤1)는 유전율과 품질계수 및 공진 주파수의 온도계수 등의 마이크로파 유전특성이 우수하므로, 마이크로파 유전체로서 유망하다.
또한, 본 발명에 있어서 상기 Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3계 세라믹스(단, 0＜x≤1)에 2Li2O-B2O3를 첨가함으로써 마이크로파 유전특성의 큰 열등화없이 저온소결이 가능해져 저온 동시소성 세라믹스 소자용 유전체로서 유망하다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3계 세라믹스 (단, 0＜x≤1)는 유전율과 품질계수 및 공진 주파수의 온도계수 등의 마이크로파 유전특성이 우수하므로, 마이크로파 유전체로서 유망하다.
또한, 본 발명에 의하면, 상기 Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3계 세라믹스(단, 0＜x≤1)에 저온 소결제인 2Li2O-B2O3를 첨가함으로써 마이크로파 유전특성의 큰 열등화없이 875~925℃의 온도 범위로 저온소결이 가능해져 내부도체와의 소성이 가능한 저온 동시소성 세라믹스 소자용 유전체로서 유망하다.
아울러 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가 등이 가능할 것이고, 이러한 수정, 변경, 부가 등은 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 한다.

Claims (7)

  1. 다음의 조성식으로 표현되는 조성을 포함하는 것을 특징으로 하는 유전체 세라믹스 조성물.
    Ca[Ti1-x(Ni1/3Nb2/3)x]O3 ＋ y(2Li2O-B2O3) (단, 0＜x≤1몰, 2≤y≤10 wt%)
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. CaCO3, TiO2, NiO, Nb2O5, Li2O, B2O3의 시료를 조성식 Ca[Ti1 -x(Ni1 /3Nb2 /3)x]O3 ＋ y(2Li2O-B2O3) (단, 0＜x≤1몰, 2≤y≤10 wt%)에 따라 혼합, 분쇄한 후 건조하여 하소하는 단계와;
    상기 하소된 시료를 다시 혼합, 분쇄한 후 건조하는 단계와;
    상기 건조된 시료를 성형하고 소결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유전체 세라믹스 조성물의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 소결온도는 875 내지 925℃의 온도범위로 되는 것을 특징으로 하는 유전체 세라믹스 조성물의 제조방법.
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