KR100757851B1 - 웨이퍼 이송용 로봇암 및 이를 구비하는 웨이퍼 이송 장치 - Google Patents

웨이퍼 이송용 로봇암 및 이를 구비하는 웨이퍼 이송 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 이송용 로봇암 및 이를 구비하는 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다. 로봇암은 스윙암(swing arm)으로, 몸체 상부 일측에 웨이퍼가 안착되고, 웨이퍼가 안착되는 몸체 하부면에 히터가 저항체의 회로 패턴으로 형성된다. 또 로봇암은 히터의 주변에 구비되어 안착되는 웨이퍼의 온도를 측정하는 센서를 구비한다. 히터와 센서는 각각 전원 공급 및 신호 전달을 위해 몸체 하부면에 다수의 회로 패턴으로 형성된 다수의 연결 패턴과, 연결 패턴 각각에 대응하여 형성되는 다수의 접속 단자들을 통하여 전기적으로 연결된다. 따라서 본 발명에 의하면, 몸체에 형성된 연결 패턴을 이용하여 히터와 센서를 전기적으로 접속시킴으로써, 전기적인 단선이 제거되며 유지 보수가 용이하다.
반도체 제조 설비, 웨이퍼 이송 장치, 로봇암, 스윙암, 패턴, 프로브 핀

Description

웨이퍼 이송용 로봇암 및 이를 구비하는 웨이퍼 이송 장치{SWING ARM AND WAFER TRANFER APPARATUS INCLUDING THEREOF}
도 1은 일반적인 웨이퍼 이송용 스윙암의 구성을 도시한 사시도;
도 2는 도 1에 도시된 스윙암의 하부를 나타내는 도면;
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 스윙암의 구성을 도시한 도면; 그리고
도 4는 본 발명에 따른 스윙암을 구비하는 웨이퍼 이송 장치의 구성을 도시한 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 스윙암 102 : 몸체
104 : 홈 110 : 히터
112 : 회로 패턴 114 : 연결 패턴
116 : 접속 단자 120 : 센서
122 : 연결 패턴 124 : 접속 단자
130 : 체결홀 140 : 웨이퍼 안착부
150 : 프로브 핀들 160 : 전원부
170 : 제어부 180 : 구동부
본 발명은 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 히터를 구비하는 스윙암 및 이를 구비하는 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 설비는 다양한 공정을 진행하기 위하여 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 장치를 구비한다. 예를 들어, 세정 설비의 웨이퍼 이송 장치는 세정 공정을 위해 이송 로봇이 웨이퍼를 픽업한 후, 웨이퍼를 세정 처리 장치로 로딩하고, 세정이 완료되면 다시 웨이퍼를 세정 처리 장치로부터 언로딩한다.
이러한 웨이퍼 이송 장치는 일 예로, 도 1에 도시된 스윙암(swing arm)(2)을 구비한다. 스윙암(2)은 2 층의 구조 패널로 형성된 몸체(10) 앞단에 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 안착부(12)와, 뒷단에 스윙암(2)을 구동시키는 구동부(미도시됨)와 결합되는 다수의 체결홀들(14)을 포함한다.
구체적으로 스윙암(2)은 웨이퍼 안착부(12)의 하부면에 저항체의 회로 패턴으로 형성된 히터(16)와, 히터(16)와 전기적으로 연결되어 전원을 공급하는 다수의 와이어들(40) 및, 히터(16)와 와이어들(40)이 직접 연결되는 접속 단자(18)들을 구비한다. 접속 단자(18)들은 실버 페이스트(silver paste) 처리하고 와이어(40)들과 납땜으로 연결된다. 또 스윙암(2)은 하단면 중앙에 길이 방향을 따라 형성되는 홈(15)을 가지며, 홈(15) 내부에 온도를 감지하는 센서(20)와, 센서(20)를 전기적으로 연결되어 신호를 전달하는 다수의 와이어들(40)을 포함한다. 그리고 이 와이어들(40)은 일부 또는 전부가 고정부재(30)에 의해 스윙암(2) 하단면의 일측에 고 정된다. 예를 들어, 고정부재(30)는 절연 재질의 실리콘, 세라믹 등이 포함된다.
이러한 스윙암(2)은 공정 진행에 따라 와이어(40)가 단선되거나 접속 단자(18) 접촉 불량 등이 발생되면, 히터(16) 또는 센서(20)와 와이어(40) 및 접속 단자(18)들을 직접 납땜해야 하므로 유지 보수 시간이 많이 소요된다. 또 접촉 불량에 따라 센서(20)에서 측정되는 온도 편차가 크게 발생되는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 히터 및 센서의 전기적인 접속을 개선하기 위한 웨이퍼 이송용 로봇암을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 유지 보수 시간을 줄일 수 있는 웨이퍼 이송용 로봇암을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 히터가 구비된 로봇암을 포함하는 웨이퍼 이송 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇암은 히터와 센서의 전기적인 연결을 위해 회로 패턴을 형성하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 로봇암은 몸체에 형성된 연결 패턴을 이용하여 히터와 센서를 전기적으로 접속시킴으로써, 전기적인 단선이 제거되며 유지 보수가 용이하다.
본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇암은, 몸체와; 상기 몸체에 회로 패턴으로 형성되어 상기 로봇암 일측에 안착되는 웨이퍼의 온도를 조절하는 히터와; 상기 몸체에 구비되어 상기 안착된 웨이퍼의 온도를 감지하는 센서와; 상기 몸체에 회로 패 턴으로 형성되어 일단이 상기 히터 및 상기 센서와 각각 전기적으로 연결하는 다수의 연결 패턴들 및; 상기 연결 패턴들 타단에 구비되어 상기 연결 패턴들과 각각 전기적으로 연결되는 접속 단자들을 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 히터는 상기 웨이퍼가 안착되는 상기 몸체의 하부면에 형성된다. 상기 연결 패턴들 및 상기 접속 단자들은 상기 몸체의 하부면에 형성되며, 상기 접속 단자들은 상기 히터로 공급되는 전원과, 상기 센서와 신호를 전달한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 스윙암을 포함하는 웨이퍼 이송 장치가 제공된다. 이와 같은 본 발명의 웨이퍼 이송 장치는, 로딩된 웨이퍼의 온도를 조절하는 히터와, 상기 로딩된 웨이퍼의 온도를 측정하는 센서를 구비하고, 상기 히터와 상기 센서가 각각 전기적으로 연결되는 다수의 연결 패턴들과, 상기 다수의 연결 패턴들에 각각 전기적으로 연결되는 다수의 접속 단자들이 회로 패턴으로 형성된 스윙암과; 상기 스윙암과 결합되어 상기 스윙암을 구동하는 구동부와; 상기 다수의 접속 단자들에 대응하여 각각 구비되는 다수의 프로브 핀들과; 상기 프로브 핀들을 통해 상기 히터로 전원을 공급하는 전원부 및; 상기 프로브 핀들을 통해 상기 센서와 상호 신호를 전송하여 상기 로딩된 웨이퍼의 온도를 판별하는 제어부를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 웨이퍼 이송 장치는; 상기 히터의 접속 단자들이 상기 프로브 핀들과 접속되면, 상기 히터의 연결 패턴들을 통하여 상기 전원부로부터 상기 히터로 전원을 공급하고, 상기 센서의 접속 단자들이 상기 프로브 핀들과 접속되면, 상기 센서의 연결 패턴들을 통하여 상기 제어부와 상호 신호를 전송한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 웨이퍼 이송 장치는; 상기 스윙암에 웨이퍼가 로딩되면, 상기 구동부가 상기 접속 단자들 각각이 상기 프로브 핀들과 전기적으로 연결되도록 상기 스윙암을 아래로 이동시키고, 상기 스윙암에 웨이퍼가 언로딩되면, 상기 구동부가 상기 접속 단자들 각각이 상기 프로브 핀들과 전기적으로 단락되도록 상기 스윙암을 위로 이동시킨다.
본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 스윙암의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3을 참조하면, 스윙암(100)은 웨이퍼 이송을 위한 로봇암으로, 2 층의 구조 패널이 결합된 형태의 몸체(102)와, 몸체(102) 앞단에 웨이퍼(W)가 안착되는 웨이퍼 안착부(도 4의 140)와, 뒷단에 스윙암(100)을 상하 좌우로 이동되도록 구동시키는 구동부(도 4의 180)와 결합되는 다수의 체결홀들(130)을 포함한다.
또 스윙암(100)은 웨이퍼 안착부(140)의 하부면에 저항체의 회로 패턴(112)으로 형성된 히터(110)와, 몸체 하부면에 형성되어 일단이 히터(110)와 전기적으로 연결되어서 히터(110)의 전원을 공급하는 연결 패턴(114) 및, 연결 패턴(114)의 타단에 형성되는 접속 단자(116)들을 구비한다. 접속 단자(116)들은 실버 페이스트(silver paste) 또는 골드 페이스트(gold paste) 처리하고 각각이 서로 다른 프로브 핀(도 4의 150)에 접속되도록 구비한다.
또 스윙암(2)은 하단면 중앙에 길이 방향을 따라 형성되는 홈(104)을 가지며, 홈(104) 내부 일측 즉, 히터(110)가 형성된 부분에 온도를 감지하는 센서(120)와, 홈(104) 내부에 형성되어 일단이 센서(120)와 전기적으로 연결되며 온도 감지 전원 및 신호를 전달하는 다수의 연결 패턴들(122)을 포함한다. 그리고 이 연결 패턴들(122)은 각각 타단에 접속 단자(124)들이 형성된다. 접속 단자(124)들 또한 실버 페이스트(silver paste) 또는 골드 페이스트(gold paste) 처리하고 각각이 서로 다른 프로브 핀(150)에 접속되도록 구비한다. 여기서 센서(120)는 측온 저항체(RTD : Resistance Temperature Detector)로 구비된다.
따라서 본 발명의 스윙암(100)은 히터(110)와 센서(120)의 전기적인 연결을 위하여 다수의 연결 패턴(114, 122) 및 접속 단자(116, 124)들을 몸체에 형성하여 접속 저항 편차를 최소화하고, 히터(110)의 전원 공급과 센서(120)의 신호 전송을 위한 와이어가 필요 없으므로 유지 보수가 용이하다.
구체적으로 본 발명의 스윙암(100)을 구비하는 웨이퍼 이송 장치(200)는 도 4에 도시된 바와 같이, 스윙암(100)과, 다수의 프로브 핀들(150)과, 체결홀(130)들에 결합되어 스윙암(100)을 구동하는 구동부(180)와 스윙암(100)의 히터(도 3의 110) 및 센서(도 3의 120)로 전원을 공급하는 전원부(160) 및, 센서(120)로부터 측 정된 온도 정보를 받아서 스윙암(100)에 안착된 웨이퍼(W)의 온도를 판별하고 이에 대응하여 히터(110)를 제어하는 제어부(170)를 포함한다.
따라서 웨이퍼 이송 장치(200)는 스윙암(100)의 웨이퍼 안착부(140)에 웨이퍼(W)가 로딩되면, 웨이퍼(W)의 무게에 의해 구동부(180)는 스윙암(100)을 아래로 이동시킨다. 그 결과, 스윙암(100)의 히터(110) 및 센서(120)와 전기적으로 연결되는 접속 단자들(116, 124) 각각은 다수의 프로브 핀들(150)에 전기적으로 접속된다. 따라서 스윙암(100)의 히터(110)와 센서(120)는 각각 접속된 브로브 핀(150)을 통해 전원부(160) 및 제어부(170)와 전기적으로 연결된다. 또 스윙암(100)은 웨이퍼 안착부(140)로부터 웨이퍼(W)가 언로딩되면, 구동부(180)는 스윙암(100)을 위로 이동시켜서 접속 단자들(116, 124) 각각은 다수의 프로브 핀들(150)과 전기적으로 단락된다.
이상에서, 본 발명에 따른 히터를 구비하는 웨이퍼 이송용 스윙암 및 이를 구비하는 웨이퍼 이송 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 웨이퍼 이송용 스윙암은 몸체에 형성된 연결 패턴을 이용하여 히터와 센서를 전기적으로 접속시킴으로써, 와이어 및 와이어 고정부재가 필요없으며, 이로 인해 전기적인 단선이 제거된다.
또 스윙암은 히터와 센서 및 연결 패턴을 이용하여 전기적인 접속을 구현함 으로써, 스윙암의 유지 보수가 용이하다.
또한, 본 발명의 스윙암을 구비하는 웨이퍼 이송 장치는 스윙암의 몸체에 형성된 연결 패턴들 및 연결 패턴들에 대응하여 각각 구비되는 프로브 핀들을 이용하여 히터와 센서와 전원부 및 제어부를 각각 전기적으로 연결함으로써, 접속 저항을 최소화할 수 있으며, 온도 편차를 줄일 수 있다.

Claims (7)

  1. 웨이퍼 이송용 로봇암에 있어서:
    몸체와;
    상기 몸체에 회로 패턴으로 형성되어 상기 로봇암 일측에 안착되는 웨이퍼의 온도를 조절하는 히터와;
    상기 몸체에 구비되어 상기 안착된 웨이퍼의 온도를 감지하는 센서와;
    상기 몸체에 회로 패턴으로 형성되어 일단이 상기 히터 및 상기 센서와 각각 전기적으로 연결하는 다수의 연결 패턴들 및;
    상기 연결 패턴들 타단에 구비되어 상기 연결 패턴들과 각각 전기적으로 연결되는 접속 단자들을 포함하는 웨이퍼 이송용 로봇암.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 히터는 상기 웨이퍼가 안착되는 상기 몸체의 하부면에 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 연결 패턴들 및 상기 접속 단자들은 상기 몸체의 하부면에 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 접속 단자들은 상기 히터로 공급되는 전원과, 상기 센서와 신호를 전달하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암.
  5. 웨이퍼 이송 장치에 있어서:
    로딩된 웨이퍼의 온도를 조절하는 히터와, 상기 로딩된 웨이퍼의 온도를 측정하는 센서를 구비하고, 상기 히터와 상기 센서가 각각 전기적으로 연결되는 다수의 연결 패턴들과, 상기 다수의 연결 패턴들에 각각 전기적으로 연결되는 다수의 접속 단자들이 회로 패턴으로 형성된 스윙암과;
    상기 스윙암과 결합되어 상기 스윙암을 구동하는 구동부와;
    상기 다수의 접속 단자들에 대응하여 각각 구비되는 다수의 프로브 핀들과;
    상기 프로브 핀들을 통해 상기 히터로 전원을 공급하는 전원부 및;
    상기 프로브 핀들을 통해 상기 센서와 상호 신호를 전송하여 상기 로딩된 웨이퍼의 온도를 판별하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 이송 장치는;
    상기 히터의 접속 단자들이 상기 프로브 핀들과 접속되면, 상기 히터의 연결 패턴들을 통하여 상기 전원부로부터 상기 히터로 전원을 공급하고, 상기 센서의 접속 단자들이 상기 프로브 핀들과 접속되면, 상기 센서의 연결 패턴들을 통하여 상 기 제어부와 상호 신호를 전송하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 이송 장치는;
    상기 스윙암에 웨이퍼가 로딩되면, 상기 구동부가 상기 접속 단자들 각각이 상기 프로브 핀들과 전기적으로 연결되도록 상기 스윙암을 아래로 이동시키고, 상기 스윙암에 웨이퍼가 언로딩되면, 상기 구동부가 상기 접속 단자들 각각이 상기 프로브 핀들과 전기적으로 단락되도록 상기 스윙암을 위로 이동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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