KR100753057B1 - 약액 세정 영역의 세척 장치 및 방법 - Google Patents
약액 세정 영역의 세척 장치 및 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 각각의 처리조 사이의 격벽 상에 설치되는 약액 세정 영역의 세척 장치로서,상기 격벽 상에 안착되고 세척액이 유동하는 유로가 내부에 길이 방향으로 형성되고 하단면에 상기 유로와 연통하는 하단 분사공이 형성된 본체를 포함하는 것을 특징으로 하는 세척 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 본체의 상부면은 좌우로 하향 형성된 경사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 세척 장치.
- 청구항 1에 있어서, 적어도 상기 본체의 상부면은 소수성 처리된 것을 특징으로 하는 세척 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 격벽과 면하는 상기 본체에는 이들 사이를 소정거리 이격되도록 스페이서가 형성된 것을 특징으로 하는 세척 장치.
- 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 본체의 일측 상단에 형성되어 상기 처리조의 후방에 설치된 흄 커버를 향하여 세척액을 분사하는 후방 분사기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세척 장치.
- 청구항 5에 있어서, 상기 후방 분사기는 상기 유로와 연통되게 설치된 수직 파이프와 상기 수직 파이프의 상단에서 그와 연통되며 수평 연장 형성된 수평 파이프를 포함하고, 상기 수평 파이프에는 상기 흄 커버를 향하여 세척액을 분사하기 위한 후방 분사공이 형성된 것을 특징으로 하는 세척 장치.
- 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 본체의 타측 상단에 상기 유로와 연통되도록 형성되어 상기 각각의 처리조가 설치되는 공간의 상기 격벽에 인접한 내벽면으로 세척액을 분사하는 전방 분사공을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세척 장치.
- 청구항 7에 있어서, 상기 내벽면을 향하는 방향을 제외한 상기 전방 분사공의 둘레에는 세척액 안내벽이 형성된 것을 특징으로 하는 세척 장치.
- 청구항 7에 있어서, 상기 전방 분사공은 상기 내벽면을 향하는 방향으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 세척 장치.
- 약액 세정 영역의 세척 방법으로서,세척 장치에 세척액을 공급하는 단계와,기판이 세정되는 동안 또는 기판이 세정된 후, 상기 세척액을 각각의 처리조 사이의 격벽, 상기 처리조에 인접하게 마련된 흄 커버, 격벽에 인접한 내벽면에 분사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세척 방법.
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KR1020060040355A KR100753057B1 (ko) | 2006-05-04 | 2006-05-04 | 약액 세정 영역의 세척 장치 및 방법 |
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KR1020060040355A KR100753057B1 (ko) | 2006-05-04 | 2006-05-04 | 약액 세정 영역의 세척 장치 및 방법 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101394090B1 (ko) * | 2007-10-22 | 2014-05-13 | 주식회사 케이씨텍 | 습식세정장치의 냉각구조 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002355622A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-10 | Tokyo Kakoki Kk | 洗浄装置 |
JP2004202451A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Tamagawa Machinery Co Ltd | 洗浄装置 |
JP2004202435A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Tomoe Engineering Co Ltd | 遠心分離機 |
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2006
- 2006-05-04 KR KR1020060040355A patent/KR100753057B1/ko active IP Right Grant
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KR101394090B1 (ko) * | 2007-10-22 | 2014-05-13 | 주식회사 케이씨텍 | 습식세정장치의 냉각구조 |
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