KR100735193B1 - 박막 트랜지스터 액정표시장치 제조 방법 및 그에사용되는 마스크 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 상부면에 게이트전극선과 연결된 게이트가 형성되고, 상기 게이트전극선과 게이트를 덮도록 형성된 게이트 절연막, 상기 게이트와 대응하는 부분에 형성된 액티브층, 상기 게이트전극선과 직교하는 데이터전극선과 연결되게 액티브층 상에 형성된 소오스/드레인용 금속막이 차례로 형성되는 절연 기판을 제공하는 단계;상기 소오스/드레인용 전극을 덮도록 포토레지스트막을 도포하는 단계;상기 포토레지스트막을 노광 및 현상하여 두께가 감소된 하프 톤 영역과 세미 하프 톤 영역을 포함하되, 상기 하프 톤 영역은 상기 게이트와 대응하여 채널이 형성될 영역 상부에 배치되고, 상기 세미 하프 톤 영역은 소오스/드레인 전극이 형성될 영역의 가장자리 상부에 배치되는 포토레지스트막 패턴을 형성하는 단계;상기 포토레지스트막 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 소오스/드레인 금속막, 채널 층 부분을 식각 하는 단계;식각 마스크로서 상기 포토레지스트막 패턴을 사용하면서, 상기 포토레지스트막 패턴의 하프 톤 영역과 세미 하프 톤 영역을 이용하여, 채널 층이 형성될 영역 상부의 소오스/드레인 금속 막과 도핑된 비정질 실리콘 막을 식각 하는 것에 의해 소오스/드레인 전극과 상기 소오스/드레인 전극 보다 상대적으로 넓은 영역을 채널 층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 포토레지스트막 패턴의 상기 세미 하프 톤 영역의 두께가 상기 하프 톤 영역의 두께보다 같거나 작은 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 포토레지스트막 패턴의 세미 하프 톤 영역은 상기 데이터 전극선의 가장자리 부분과 트랜지스터 가장자리 둘레인 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 액정표시장치의 제조 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 포토레지스트막 패턴의 세미 하프 톤 영역은 게이트 전극과 ITO 전극을 동시에 형성 할때, 상기 하프 톤 영역이 되는 픽셀 지역 부분 외에 상기 게이트 전극선 주변을 따라서 형성하는 것을 특징으로 박막 트랜지스터 액정표시장치의 제조 방법.
- 투명성 석영 기판 상에 형성된 비 투과막;상기 석영 기판 상에 하프 톤 패터닝을 위하여 증착된 제 1투과막;상기 석영 기판 상에 세미 하프 톤 패터닝을 위한 제 2투과막을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제 5항에 있어서,상기 제 2투과막은 제 1투과막에 비해 투과율이 같거나 낮은 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제 5항에 있어서,상기 하프 톤 패터닝 또는 세미 하프 톤 패터닝을 위하여 해상도가 석영 기판보다 낮은 슬릿 바를 이용하는 것을 특징으로 하는 마스크.
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