KR100730637B1

KR100730637B1 - 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템

Info

Publication number: KR100730637B1
Application number: KR1020050122340A
Authority: KR
Inventors: 서민근; 김운수; 박명호
Original assignee: 디엠아이텍 주식회사
Priority date: 2005-12-13
Filing date: 2005-12-13
Publication date: 2007-06-21
Also published as: KR20070062675A

Abstract

본 발명은, 폴리이미드필름을 공급하면서, 특정공정이 실시되는 공정실행장치와 수세를 실시하는 수세장치로 구성되는 탈지, 에칭, 중화, 커플링, 촉매부가, 하부도금, 도금 등의 공정을 순차적으로 실시하여 필름(폴리이미드필름)의 단면 또는 양면에 전도성 금속을 도금시키고, 전도성 금속이 도금된 필름을 건조장치부에 의해 건조시키며, 건조된 전도성금속도금필름을 권취장치부에 의해 권취롤에 감아주도록 된 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템에 관한 것으로서, 각 공정을 실시할 때에 필름을 액상물질에 침지시킨 상태에서 통과시키고 세척수로 세척시키면서 세척수에 침전 및 인출시키는 습식방법에 의해 실시하므로 박리강도 등의 물성을 개선시킬 수 있고, 각 공정에서 소정의 액상물질에 침전된 필름을 압착롤러에 의해 스퀴징하므로 액상물질을 균일한 두께로 도포시킬 수 있으며, 필름을 공급시키는 권출공정과 배출시키는 권취공정을 실시할 때에 고정롤러의 사이에 설치되는 움직롤러를 상하로 이동시켜 장력을 조절하므로 필름이 꼬이거나 뒤틀리지 않고 이송되도록 하며, 공정부의 소정위치에 하나 이상의 보조구동장치를 이격시켜 설치하므로 폴리이미드기판을 원활하게 이송시킬 수 있다.

필름. 권출장치. 공정실행장치. 수세장치. 권취장치.

Description

무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템{A ELECTROLESS METHOD TYPE METAL PLATING SYSTEM TO FILM}

도 1은 본 발명에 따른 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템의 공정도.

도 2 내지 도 7은 본 발명에 따른 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템의 요부를 각각 발췌하여 보인 부분확대도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1: 무전해방식 필름 금속도금장치시스템 2: 권출공정부

3: 권취공정부 5: 필름 6.8: 박리지

7: 전도성금속필름 10: 탈지공정부 20: 에칭공정부

30: 중화공정부 40: 커플링공정부 50: 촉매부가공정부

60: 하부도금공정부 70: 도금공정부 80: 건조공정부

90: 보조구동부 100: 권출장치하우징 200: 기능실행장치

300: 수세장치 400: 권취장치 500: 보조구동장치

본 발명은 롤 상으로 감겨 있는 필름(폴리이미드필름)의 단면 또는 양면에 전도성 금속을 습식방법에 의해 도금시켜 주도록 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템에 관한 것이다.

이를 좀 더 상세히 설명하면, 롤 상으로 감겨 있는 필름(폴리이미드필름)을 공급하면서, 특정공정이 실시되는 공정실행장치와 수세를 실시하는 수세장치로 구성되는 탈지공정, 에칭공정, 중화공정, 커플링공정, 촉매부가공정, 하부도금공정, 도금공정을 순차적이고 연속적으로 실시하여 필름(폴리이미드필름)의 단면 또는 양면에 전도성 금속을 습식방법에 의해 도금시키고, 전도성 금속이 도금된 필름(폴리이미드필름)을 건조장치에 의해 건조시키며, 건조된 도금필름(폴리이미드필름)을 권취장치에 의해 권취롤에 감아주도록 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템을 제공하려는 것이다.

전도성 금속 도금 필름(폴리이미드필름)은 연성회로기판(Flexible Printed Circuit: 이하 'FPC'라 칭함)을 제조하는데 가장 핵심적인 재료로서, 그 대표적인 것으로는 연성동박적층필름(Flexible Copper Clad Laminate: 이하 'FCCL'이라 칭함)을 들 수 있다.

보편적으로 FPC에서는 폴리에스테르, 폴리이미드, 액정풀리머, 불소수지필름 등을 절연필름층으로 사용되고 있으나, 그 중에서도 내열성과 치수 안정성 및 납땜성이 우수한 폴리이미드필름을 주로 선호하고 있다.

상기 절연필름층(폴리이미드필름)의 외면에 적층되는 전도성 금속재료서는 전기저항이 낮으면서 전도도가 우수한 금, 구리 등을 들 수 있으며, 가격 면에서 유리한 구리가 주로 사용되고 있다.

한편, FCCL은 폴리이미드막층과 그 외면에 적층되는 전도성 금속층(구리박막층)으로 이루어지는데, 폴리이미드막층과 전도성 금속층(구리박막층)의 적층방법의 관점에서 볼 때에, 폴리이미드막층·접착층·전도성 금속층(구리박막층)으로 구성된 3층타입 FCCL과, 폴리이미드막층·전도성 금속층(구리박막층)으로 구성된 2층타입 FCCL의 두가지로 크게 대별된다.

그러나, 상기 3층타입 FCCL은 물성적인 측면에서 볼 때에 회로 완성 후에 미세패턴을 형성하는데 어려움이 있고, 굴곡성이 떨어지는 문제가 있으며, 뿐만 아니라 접착제의 낮은 내열성으로 인하여 납땜과 같은 고온공정을 실시할 수 없는 문제가 있으며, 이러한 문제들로 인하여 2층타입 FCCL이 선호되고 있는 실정이다.

FCCL을 제조하는 방법으로는 적층제조방법, 캐스팅제조방법, 도금제조방법 등이 알려져 있다.

상기에서 적층제조방법은, 폴리이미드필름 상에 접착제를 도포시키고, 오븐에 구워 접착제를 고정시키며, 접착제의 외측에 구리박막을 위치시킨 후에 프레스로 압착하여 적층된 FCCL을 제조하는 방법이다.

캐스팅제조방법은, 구리박막 상에 액상 폴리이미드를 도포시키고, 캐스팅가공하여 적층된 FCCL을 제조하는 방법이다.

도금제조방법은, 도금환경에서 폴리이미드필름 상에 구리층을 형성하여 FCCL을 제조하는 방법이다.

상기와 같은 FCCL의 제조방법에서, 적층제조방법 및 캐스팅제조방법은 각 방법에 사용될 수 있는 폴리이미드필름과 접착제의 종류가 제한적인 문제가 있다.

이에 반하여, 도금제조방법은 사용화된 구리박막을 필요로 하지 않을 뿐만 아니라 도금을 실시할 때에 구리박막의 두께를 조절하면서 제조할 수 있는 잇점이 있다.

그러나, 현재까지 알려진 도금방법에 의해 제조되는 FCCL는 그 박리강도 등의 물성이 다른 방법으로 제조되는 FCCL들의 박리강도 등의 물성보다 떨어지는 문제가 있는바, 박리강도 등의 물성이 개선된 FCCL 즉, 전도성 도금 폴리이미드기판이 간절히 요구되고 있는 실정이다.

본 발명은 상기와 같이 문제를 해소하여 물성이 현저히 개선된 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템을 제공하려는 것이다.

본 발명은, 롤 형상으로 감겨 있는 필름(폴리이미드필름)을 공급하면서, 특정공정이 실시되는 공정실행장치와 수세를 실시하는 수세장치로 구성되는 탈지공정부, 에칭공정부, 중화공정부, 커플링공정부, 촉매부가공정부, 하부도금공정부, 도금공정부를 순차적이면서 연속적으로 실시하여 폴리이미드필름의 단면 또는 양면에 전도성 금속을 도금시키고, 전도성 금속이 도금된 도금필름을 건조장치부에 의해 건조시키며, 건조된 도금필름을 권취장치부에 의해 권취롤에 감아주도록 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템을 제공하려는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은, 공급되는 필름(폴리이미드필름)을 이동시키면서 탈지공정부, 에칭공정부, 중화공정부, 커플링공정부, 촉매부가공정부, 하부도금공정부, 도금공정부에서 소정의 액상물질을 통과시킨 후에 수세를 각각 실시할 때에, 세척수를 분사시키면서 세척하여 액상물질의 침전상태에서 필름(폴리이미드필름)을 통과시키고 다시 침전 및 인출시키는 과정을 반복적으로 실시하면서 수세시키는 습식방법을 실시함으로서, 박리강도 등의 물성이 개선된 2층타입의 FCCL을 제조할 수 있도록 된 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템을 제공하려는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 필름(폴리이미드필름)을 이동시키면서 탈지공정부, 에칭공정부, 중화공정부, 커플링공정부, 촉매부가공정부, 하부도금공정부, 도금공정부에서 소정의 액상물질에 침전시켜 통과시킬 때에 각 공정의 특성에 따라 침전시간(통과시간)을 짧게 하거나 길게 실시하여 각 공정의 특성을 효율적으로 실시할 수 있고, 액상물질에서 인출되어 수세과정으로 이동하는 필름(폴리이미드필름)을 압착롤러에 의해 양면을 스퀴징하여 줌으로서 액상물질을 균일한 두께로 도포시킬 수 있도록 된 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템을 제공하려는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 필름(폴리이미드필름)을 공급시키는 권출공정과 배출시키는 권취공정을 실시할 때에 고정롤러의 사이에 설치되는 움직롤러를 상하로 이동시키면서 장력을 조절하여 줌으로서 필름(폴리이미드필름)이 꼬이거나 뒤틀리지 않고 이송되도록 하며, 공정부의 소정위치에 하나 이상의 보조구동장치를 이격시켜 설치하여 줌으로서 필름(폴리이미드필름)을 원활하게 이송시킬 수 있도록 된 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템을 제공하려는데 있다.

본 발명의 상기 및 기타 목적은,

필름(5)을 공급하면서 외면에 전도성 금속을 피복시키는 것에 있어서,

기판롤(111)에 감겨진 필름(5)을 박리지(6)와 분리시키면서 장력을 조절하여 이송시키는 권출장치(100)가 구비된 권출공정부(2);

권출공정부(2)에서 공급되는 필름(5)의 표면을 탈지장치(11)와 수세장치(12)에 의해 탈지하고 수세시켜 이물질을 제거하는 탈지공정부(10);

이물질이 제거되어 이송되는 필름(5)의 표면을 제1에칭장치(23) 및 제2에칭장치(25)와 수세장치(24)(26)에 의해 반복적으로 에칭 및 수세시키는 에칭공정부(20);

표면이 에칭되어 이송되는 필름(5)을 중화장치(31)와 수세장치(32)에 의해 중화하고 수세시키는 중화공정부(30);

중화되어 이송되는 필름(5)의 표면을 커플링장치(41)와 산세장치(42)에 의해 커플링제와 산에 의해 커플링하고 세척하는 커플링공정부(40);

표면이 커플링되어 이송되는 필름(5)에 활성화장치(51)와 수세장치(52)에 의해 촉매를 흡착시키고 수세시키는 촉매부가공정부(50);

촉매가 흡착되어 이송되는 필름(5)을 하부도금장치(61)와 수세장치(62)에 의해 제 1 전도성 금속막을 표면에 형성하고 수세시키는 하부도금공정부(60);

제1전도성 금속막이 표면에 형성되어 이송되는 필름(5)을 전류가 인가되는 도금장치(71)와 수세장치(72)에 의해 제 2 전도성 금속막을 형성하는 도금공정부 (70);

제 2 전도성 금속막이 형성되어 이송되는 필름(5)을 건조장치(400)에 의해 건조시키는 건조공정부(80);

소정 공정부의 중간에 보조구동장치(600)를 설치하여 이송되는 필름(5)에 이송력을 부가시키는 보조구동부(90);

제 2 전도성 금속막이 완전히 건조되어 형성되는 전도성금속도금필름(7)을 권취장치(400)에 의해 박리지(8)를 부가시키고 장력을 조절하면서 권취롤(460)에 감아 주는 권취공정부(3);가 포함되는 것을 특징으로 하는 무전해방식 필름 금속도금장치시스템(1)에 의해 달성된다.

본 발명의 상기 및 기타 목적과 특징은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명에 의해 더욱 명확하게 이해할 수 있을 것이다.

첨부된 도면 도 1 내지 도 7은 본 발명에 따른 무전해방식 필름 금속도금장치시스템(1)을 보인 예시도로서, 도 1은 본 발명을 보인 공정도이고, 도 2 내지 도 7은 본 발명의 요부를 각각 발췌하여 보인 부분확대도이다.

본 발명에 따른 무전해방식 필름 금속도금장치시스템(1)은, 기판롤(111)에 감겨진 필름(5)을 이송(공급)시키는 권출공정부(2); 이송되는 필름(5)의 표면을 탈지하는 탈지공정부(10); 탈지된 필름(5)의 표면을 반복적으로 에칭시키는 에칭공정부(20); 표면이 에칭된 필름(5)을 중화시키는 중화공정부(30); 중화된 필름(5)을 커플링하는 커플링공정부(40); 표면이 커플링된 필름(5)에 촉매를 흡착시키는 촉매부가공정부(50); 촉매가 흡착된 필름(5)에 의해 제 1 전도성 금속막을 표면에 형성하는 하부도금공정부(60); 제1전도성 금속막이 형성된 필름(5)에 제 2 전도성 금속막을 형성하는 도금공정부(70); 제 2 전도성 금속막이 형성된 필름(5)을 건조시키는 건조공정부(80); 소정 공정부의 중간에 설치되어 이송되는 필름(5)에 이송력을 부가시키는 보조구동부(90); 건조 형성된 전도성금속도금필름(7)를 권취롤(460)에 감아 주는 권취공정부(3);를 순차적으로 형성하였다.

기판롤(111)에 감겨진 필름(5)을 공급시키는 권출공정부(2).

상기 권출공정부(2)는 도 2에 예시된바와 같이 권출장치(100)로 형성하였고, 상기 권출장치(100)는 다음과 같이 형성하였다.

권출장치틀(101)을 직육면체의 형상으로 형성하되 내부에 공간이 형성되도록 하였고, 밑판의 저면 각 모서리에는 통상의 받침다리(102)와 캐스터(103)를 각각 설치하여 용이하게 운반 및 고정 설치할 수 있도록 하였다.

권출장치틀(101)의 내부에서 입구측에는 기판롤장착대(110)를 설치하고, 기판롤장착대(110)의 상측과 하측에는 필름(5)에서 박리되는 박리지(6)를 감아 회수하는 박리지회수롤(112)과, 필름(5) 및 박리지(6)가 연접되어 감겨진 기판롤(111)를 착탈시킬 수 있도록 설치하였다.

권출장치틀(101)의 내부 중간에는 테이블(131)을 설치하였고, 테이블(131)의 상측에는 공급유도롤(120)과 선 공급되는 단부연결장치(170) 및 방향전환롤(130)을 순차적으로 설치하였으며, 내부 하측에는 기동모터(113)를 설치하여 구체적으로 도 시하지는 아니하였으나 풀리와 벨트 또는 스프로켓과 체인을 이용하여 기판롤(111)이 장착되는 회전축을 회전시켜 기판롤(111)에 감겨진 필름(5)을 풀어 차기공정부로 공급시킬 수 있도록 하였다.

상기 공급유도롤(120)에 의해서는 기판롤(111)에서 공급되는 필름(5)을 유도하였고, 단부연결장치(170)에 의해서는 선행 공급되는 필름(5)의 후단과 후행 공급되는 필름(5)의 선단을 일체형으로 융착시킬 수 있도록 하였으며, 방향전환롤(130)에 의해서는 공급되는 필름(5)을 상향으로 방향 전환시켜 공급시킬 수 있도록 하였다.

권출장치틀(101)의 내부 후반에는 필름(5)의 장력을 조정하여 장력조정장치를 설치하였는데, 상측에는 복수 개의 고정롤러(140)를 등 간격으로 이격시켜 축으로 설치하였고, 고정롤러(140)의 사이에는 움직롤러(150)를 상하로 이동시킬 수 있도록 설치하되, 움직롤러(150)를 이동대(151)에 굴대 설치하고 이동대(151)의 양측에 가이드레일(160)을 수직으로 설치하여 이동대(151)를 가이드레일(160)에 결합시켰으며, 이동대(151)를 상하로 이동시켜 움직롤러(150)의 높낮이를 조정(이동)하면서 고정시킬 수 있도록 하였다.

필름(5)의 표면을 탈지시키는 탈지공정부(10).

탈지공정부(10)는 필름(5)의 표면에 부착되거나 형성된 불순물(오염물, 유지분, 사람의 지문 등)을 제거하여 주는 공정으로서, 필름(5)의 표면에 부착된 불순물을 제거시켜 주지 않으면 FCCL의 박리강도(Peel Strength)가 저열하게 되므로 이 를 방지하기 위한 것이다.

도 3에 예시된 바와 같이, 필름(5)의 표면에 부착된 불순물(오염물, 유지분, 사람의 지문 등)을 제거하여 주는 탈지장치(11)와, 탈지된 필름(5)을 세척수에 의해 수세시키는 수세장치(12)로 형성하였다.

탈지장치(11)의 기능장치틀(200)과 수세장치(12)의 수세장치틀(300)은 분리하여 형성하거나 도시된바와 같이 일체형으로 형성할 수 있다.

밑판의 저면 각 모서리에는 통상의 받침다리(201)와 캐스터(202)를 각각 설치하여 용이하게 운반 및 고정 설치할 수 있도록 하였고, 장치틀의 중간을 분할벽(203)에 좌우로 분할하여 탈지장치(11)와 수세장치(12)로 분할하였으며, 분할벽(203)의 상단과 기능장치틀(200) 및 수세장치틀(300)의 상측 선/후단에 커버(207)로 씌워지는 전이롤러(205)를 각각 설치하여 필름(5)의 인입 또는 배출을 유도할 수 있도록 하였다.

탈지장치(11)는, 기능장치틀(200)의 내부 상측부에 상측으로 개방되는 액상조(210)를 받침대(204)에 의해 받쳐 설치하였고, 액상조(210)에는 액상물질(250)로서 탈지액을 충진시켰으며, 액상조(210)의 내부에는 이송롤러(211)를 등간격으로 유지시키면서 상하로 분할하여 설치하되 탈지액에 충분히 잠기도록 설치하여 필름(5)이 탈지액의 내부에서 상하 지그재그로 유도되면서 이송되도록 하였다.

최종 후단에 위치하는 이송롤러(211)의 상측에서 탈지액의 상부에는 한 쌍의 롤러(231)로 구성된 스퀴징부(230)를 설치하여 필름(5)이 롤러(231)의 사이로 통과시켜 줌으로서 필름(5)의 외면에 접착된 탈지액을 스퀴징시킬 수 있도록 하였다.

수세장치(12)는, 수세장치틀(300)의 내부 상측부에 받침대(302)(301)를 상하로 이격시켜 설치하였고, 받침대(302)의 상측에는 칸막이벽체(314)에 의해 내부가 다수개의 제1ㆍ제2ㆍ제3수세실(311)(312)(313)로 분할된 수세조(310)를 설치하였으며, 받침대(301)의 상측에는 펌핑모터(350)를 설치하여 수세조(310)에 세척수를 공급시켜 줌으로서 세척수를 일정하게 유지시킬 수 있도록 하였다.

상기 제1ㆍ제2ㆍ제3수세실(311)(312)(313)의 내부에는 세척롤러(320)를 각각 설치하되 충진되는 세척수(340)에 충분히 잠기도록 설치하였고, 칸막이벽체(314)의 상측에는 탈수롤러(330)를 각각 설치하였으며, 필름(5)이 세척롤러(320)를 통과할 때에 세척되고 탈수롤러(330)를 통과할 때에 탈수되는 과정이 반복으로 실시되도록 하였다.

특히, 제1수세실(311)과 제3수세실(313)에는 분사세척장치(360)와 스퀴징장치(370)를 각각 설치하였다.

상기 제1수세실(311)에 설치되는 분사세척장치(360)는, 세척롤러(320)의 전방에서 세척수의 상측에는 분사노즐(361)(362)을 대향 하게 장착시켰고, 제1수세실(311)로 인입되는 필름(5)을 분사노즐(361)(362)의 사이로 통과시켜 필름(5)의 양면에 부착된 탈지용액을 분사노즐(361)(362)에서 분사되는 세척수에 의해 세척하도록 하였다.

또한 제3수세실(313)에 설치되는 스퀴징장치(370)는, 세척롤러(320)의 후방에서 세척수의 상측에는 한 쌍의 스퀴징롤러(371)(372)를 경사지면서 대향되도록 장착하되, 스퀴징롤러(371)(372)는 스폰지 또는 발포수지와 같은 탄성력이 있는 연 질로 형성하였으며, 세척롤러(320)의 상측으로 통과하는 필름(5)을 연질로 된 스퀴징롤러(371)(372)의 사이로 통과시켜 필름(5)의 외면에 부착된 세척수를 흡수하여 완전히 제거하도록 하였다.

상기에서 액상조(210)에 충진되는 액상물질(250)의 탈지액은 그 성분이 크게 제한되지 않으나 보편적으로 알칼리 린스 또는 샴푸를 들 수 있고, 탈지는 20 내지 28℃의 온도범위에서 약 5분간 실시하는 것이 바람직한데, 20℃ 이하에서 탈지를 실시하게 되면 탈지액의 비활성화로 탈지효과를 충분히 얻을 수 없고, 반면에 28℃ 이상에서 탈지를 실시하게 되면 공정처리시간의 조절에 어려움이 있다.

탈지된 필름(5)의 표면을 에칭하는 에칭공정부(20).

상기 에칭공정부(20)는 에칭용액으로 에칭을 실시하여 필름(5)의 표면을 개질 처리시키는 공정으로서, 제1에칭공정부(21)와 제2에칭공정부(22)로 형성하였고, 제1에칭공정부(21)와 제2에칭공정부(22)는 제1에칭장치(23)와 수세장치(24) 및 제2에칭장치(25)와 수세장치(26)로 각각 형성하였다.

상기 제1에칭공정부(21)의 제1에칭장치(23)와 제2에칭공정부(22)의 제2에칭장치(25) 및 각 수세장치(24)(26)는 도 3에 예시된 바와 같이 탈지공정부(10)의 탈지장치(11) 및 수세장치(12)와 동일한 구조로 형성하였으므로, 이들 구성(구조)에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

상기 제1에칭장치(23)와 제2에칭장치(25)의 각 액상조(210)에 충진되는 액상물질(250)로서의 에칭용액으로는 크롬(무수크롬산), 황산, 알칼리(KOH, 에틸렌글리 콜 및 KOH 혼합용액)등을 들 수 있다.

특히, 제1에칭장치(23)에 충진되는 제1에칭용액은 도 4에 예시된 바와 같이, 액상조(210)의 내부에 설치되는 이송롤러(211)를 다른 장치들보다 월등하게 많이 설치하여 에칭용액에 의해 에칭이 충분히 실시되도록 하였다.

에칭공정은 45 내지 50℃ 의 온도범위에서 5 내지 7분간 에칭용액에 침지하여 실시하는 것이 바람직한데, 에칭공정의 온도가 45℃ 이하인 경우에는 에칭용액의 횔성이 낮아 에칭효과를 충분히 달성할 수 없고, 뿐만 아니라 장시간의 반응으로 인해 폴리이미드필름(5)의 막상에 분분적으로 손상이 발생할 수 있으며, 50℃ 이상인 경우에는 에칭이 급격이 진행되면서 필름(5)의 표면 전체에 대한 균일성이 떨어지고 연속성의 속도조절에 어려움이 있다.

본 에칭공정부(20)에 의해 에칭을 실시함으로서 필름(5)의 표면은 차후에 도금공정을 실시할 때에 도금층과 폴리이미드층과의 밀착을 극대화하여 박리강도를 증대시킬 수 있고, 폴리이미드의 이미드링이 개열되어 아미드기( - CONH) 또는 카르복실기( - COOH)로 전환되면서 반응성을 증가(향상)시킬 수 있다.

표면이 에칭된 필름(5)을 중화시키는 중화공정부(30).

본 중화장치부(30)는 에칭공정부(20)에 의해 표면이 개선된 필름(5)의 표면을 중화처리하는 공정으로서, 중화용액이 충진되어 중화가 실시되는 중화장치(31)와, 중화용액을 수세시키는 수세장치(32)로 형성하였다.

상기 중화장치(31) 및 수세장치(32)는 도 3에 예시된 바와 같이 탈지공정부 (10)의 탈지장치(11) 및 수세장치(12)와 동일한 구조로 각각 형성하였으므로, 이들 구성에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

상기 중화장치(31)의 액상조(210)에 충진되는 액상물질(250)로서의 중화용액은, 에칭공정부(20)에서 사용된 에칭용액이 알칼리인 경우에는 산성중화용액을 충진시켜 중화시키고, 에칭용액이 산성인 경우에는 알칼리중화용액을 충진시켜 중화시키며, 특히 10 ~ 30℃ 온도 범위로 온도를 유지시키면서 실시하는 것이 바람직하다.

중화장치(31)의 중화용액에 의해 중화를 실시하게 되면, 에칭공정부(20)를 실시하여 존재하는 아미드기( - CONH) 또는 카르복실기( - COOH)에 상호 작용하여 존재할 수 있는 K⁺ 이온 또는 Cr³⁺ 이온을 산성용액의 H⁺으로 치환시켜 제거하게 된다.

만약 필름(5)의 표면에 K⁺ 이온 또는 Cr³⁺ 이온이 잔류하게 되면, 후 공정인 커플링공정(극성부여공정)을 실시할 때에 잔류하는 K⁺ 이온 또는 Cr³⁺ 이온이 극성을 부여하기 위한 커플링이온과 경쟁하여 커플링이온이 아미드기 또는 카르복실기와 반응하는 것을 방해하게 되는 것이다.

특히, 중화를 실시할 때에 중화용액의 온도를 10℃ 이하로 유지하게 되면 반응액의 활성이 낮아져 목적하는 중화효과를 효과적으로 달성할 수 없을 뿐만 아니라 필름(5)이 부분적으로 손상되는 현상이 현저하게 나타나게 되고, 반면에 중화용액의 온도를 30℃ 이상으로 유지하게 되면 반응이 급격하게 이루어지면서 전체적인 균일성 및 연속성의 조절이 어려워지게 된다.

중화된 필름(5)을 커플링하는 커플링공정부(40).

본 공정은 중화공정부(30)에서 개질된 필름(5)의 표면에 커플링용액으로 반응시켜 극성을 부여하는 공정으로서, 차후의 도금공정의 진행을 원활하게 하고, 제품의 박리강도를 향상시키게 된다.

커플링공정부(40)는, 에칭공정부(20)에 의해 필름(5)의 표면에 형성된 이미드링이 개열된 곳에 커플링이온을 결합시켜 필름(5)상에 극성을 부여하는 커플링장치(41)와, 커플링된 필름(5)을 산성용액으로 세척하는 산세장치(42)로 형성하였다.

상기 커플링장치(41) 및 산세장치(42)는 도 3에 예시된 바와 같이 탈지공정부(10)의 탈지장치(11) 및 수세장치(12)와 동일한 구조로 각각 형성하였으므로, 이들 구성에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

상기 커플링장치(41)의 액상조(210)에는 액상물질(250)의 커플링용액으로서 실란계 커플링제 또는 아민계 커플링제를 충진시켰다.

아민계 커플링제로서는 수산화나트륨 및 모노메탈아민을 혼합시켜 제조되는 알칼리계 커플링제와, 에틸렌디아민 및 염산을 혼합시켜 제조되는 산계 커플링제를 들수 있다.

본 커플링공정은 사용되는 커플링제의 특성에 따라 그 반응조건이 달라지게 되며, 실란계 커플링제를 사용할 경우에는 대체로 25 내지 30℃의 온도에서 5 내지 7분간 침지시켜 수행하는 것이 바람직하다.

또한 상기 커플링장치(41)에 의해 커플링(구성이 부여)된 필름(5)을 산세장치(42)에 의해 상온으로 유지되는 산(산성)용액으로 세척(침지세척)하여 표면의 개열부위에 결합되지 않은 커플링이온을 제거하게 된다.

산세장치(42)에 의해 산세를 실시할 때에, 공정이 길어지거나 또는 산성용액이 지나치게 강한 산성용액인 경우에는 결합된 커플링이온도 제거될 수 있으므로, 반응조건을 조절하여 적절하게 유지시켜 주는 것이 바람직하다.

필름(5)에 촉매를 흡착시키는 촉매부가공정부(50).

본 공정부는 상기 커플링공정부(40)에 의해 커플링(극성부여)된 필름(5)을 촉매용액에 침지시켜 필름(5)의 표면에 금속촉매를 흡착시켜 주는 공정이다.

촉매부가공정부(50)는 필름(5)의 표면에 촉매용액을 흡착시켜 주는 활성화장치(51)와 활성화물질을 수세시키는 수세장치(52)로 형성하였는데, 상기 활성화장치(51) 및 수세장치(52)는 도 3에 예시된 바와 같이 탈지공정부(10)의 탈지장치(11) 및 수세장치(12)와 동일한 구조로 각각 형성하였으므로, 이들 구성에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

상기 활성화장치(51)의 액상조(210)에는 액상물질(250)의 촉매용액으로서 염화파라듐(PdCl₂)과 염화제일주석(SnCl2)를 염산에 1:1의 부피비율로 희석하여 충진시킨다.

촉매부가공정을 실시할 때에 액상조(210)에 설치되는 이송롤러(211)를 너무 작게 설치하여 반응시간이 지나치게 짧아지게 되면 필름(5)의 표면에 촉매용액의 흡착률이 낮아 목적하는 촉매효과를 얻을 수 없게 되고, 이송롤러(211)를 너무 많이 설치하여 반응시간이 지나치게 길어지게 되면 공정액 중에서 염산에 의해 필름(5)의 표면이 부식되는 역효과가 발생하게 되며, 따라서 이송롤러(211)를 적절하게 설치하여 반응시간을 가장 효율적으로 유지시켜 주는 것이 바람직하다.

필름(5)의 표면에 제 1 전도성 금속막을 형성하는 하부도금공정부(60).

본 공정부는 촉매가 부가된 필름(5)을 하부도금용액에 침지시켜 제1전도성 금속막을 도금시키는 공정이다.

본 하부도금공정부(60)는 침지법에 의해 필름(5)의 표면에 하부도금용액을 도금시켜 주는 하부도금장치(61)와 도금이 실시된 후에 수세시켜 주는 수세장치(62)로 형성하였으며, 상기 하부도금장치(61) 및 수세장치(62)는 도 3에 예시된 바와 같이 탈지공정부(10)의 탈지장치(11) 및 수세장치(12)와 동일한 구조로 각각 형성하였으므로, 이들 구성에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

상기 하부도금장치(61)의 액상조(210)에는 액상물질(250)의 하부도금용액으로, EDTA수용액과 가성소다수용액과 포르말린수용액 및 황상동수용액을 혼합시켜 제조된 황상동하부도금수용액, 차아인산나트륨과 구연산나트륨과 암모니아 및 황산니켈수용액을 혼합시켜 제조된 황산니켈하부도금수용액을 충진시켜 준다.

하부도금수용액에 광택제성분 및 안정제성분을 첨가시켜 금속물성을 극대화시킬 수 있으며, 이와 같이 첨가되는 광택제 및 안정제는 하부도금용액을 재활용하 고 장기간 보존할 수 있게 하여 준다.

하부도금수용액으로 황산동하부도금수용액을 사용하는 경우에는, 전류를 인가시키지 않고 38 내지 42℃의 온도범위에서 25 내지 30분간 촉매가 부가된 필름(5)을 침지시켜 수행하는 무전해도금방식으로 실시할 수 있는데, 하부도금의 두께는 도금시간을 조절함으로서 하부도금막(제1전도성 금속막)의 두께를 적절하게 형성시킬 수 있다.

상기와 같이 하부도금을 실시할 때에 반응온도가 대체로 38℃이하인 경우에는 도금용액의 활성이 낮아(활발하지 못하여)미도금이 발생하거나 도금이 부분적으로 진행되어 하부도금충을 형성할 수 없게 되고, 반면에 42℃이상인 경우에는 도금이 급격하게 진행되어 하부도금막(제1전도성 금속막)이 균일하지 않고 밀착성도 떨어지게 된다.

또한, 하부도금수용액으로 황산니켈하부도금수용액을 사용하는 경우에는, 촉매가 부가된 필름(5)을 35 내지 40℃의 온도범위에서 약 2분간 침지시켜 수행하게 된다.

본 공정은 차후 도금공정을 원활하게 수행할 수 있도록 하기 위한 하부도금으로서, 대체로 0.1 ㎛ 내지 0.2 ㎛의 두께로 하부도금막(제1전도성 금속막)을 수행하는 것이 바람직하며, 미도금부분이 없어질 정도로 수행하여도 무방하다.

제1전도성 금속막이 형성된 필름(5)에 제2전도성 금속막을 형성하는 도금공정부(70).

본 공정은 하부도금막(제1전도성 금속막)이 형성된 필름(5)을 도금용액에 침지시키고, 전류를 인가시키면서 도금을 실시하여 제2전도성 금속막을 증착(형성)시켜 주는 공정으로서, 도금이 실행되는 전해도금장치(71)와, 도금용액을 수세시키는 수세장치(72)로 형성하였다.

상기 전해도금장치(71)와 수세장치(72)는 도 3에 예시된 바와 같이 탈지공정부(10)의 탈지장치(11) 및 수세장치(12)와 동일한 구조로 각각 형성하였으므로, 이들 구성에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

상기 전해도금장치(71)의 액상조(210)에는 액상물질(250)의 도금용액으로, 시중품도금용액(Enthone OMI, 희성금속, NMP 등)을 충진시키거나, 또는 황산구리수용액(CuSO₄-H₂O)과 황산(H₂SO₄) 및 염산(HCL)혼합용액을 물(이온교환수)로 희석시켜 제조한 도금용액을 충진시킬 수 있으며, 이러한 도금용액에 광택제 및 참가제를 소량 첨가시킬 수 있다.

상기 전해도금장치(71)에 의해 필름(5)을 도금용액에 침지시켜 제 2전도성 도금막을 도금시킬 때에 약 40 내지 45℃의 온도범위에서 2A/dm²의 전류를 가하면서 약 30분간 도금을 수행하여 구리도금막(제2전도성 도금막)이 도금된 폴리이미드필름(5)이 형성된다.

상기와 같이 도금을 실시할 때에 전해도금장치(71)의 도금용액을 활발히 교반시켜 도금용액의 농도를 균일하게 유지시켜 주는 것이 바람직하고, 도금조건은 수득하고자 하는 구리도금막(제2전도성 금속막)의 두께에 따라 적절하게 조절할 수 있다.

제2전도성 금속막이 형성된 필름(5)을 건조시키는 건조공정부(80).

본 공정은 도금공정부(70)에 의해 구리도금막(제2전도성 금속막)이 도금(증착)된 필름(5)을 건조장치(400)에 의해 건조시켜 최종 목적물인 전도성금속도금필름(7) 즉, 2층구조의 FCCL을 얻는 공정이다.

상기 건조장치(400)는 도 6에 예시된 바와 같이 형성하였다.

건조장치틀(401)을 직육면체의 형상으로 형성하였고, 건조장치틀(401)의 상부 양단에는 인입용 전이롤러(404)와 배출용 전이롤러(405)를 각각 장착하여 전도성금속도금필름(7)을 건조장치틀(401)의 내부로 인입시키고 내부에서 외부(차기공정)로 배출시킬 수 있도록 하였으며, 건조장치틀(401)의 밑판 저면 모서리에는 통상의 받침다리(402)와 캐스터(403)를 각각 설치하여 건조장치틀(401)을 용이하게 이동(운반) 및 고정 설치할 수 있도록 하였다.

건조장치틀(401)의 내부 중간과 그 상측에는 히팅실(410)과 건조실(420)을 형성하여, 히팅실(410)에는 구체적으로 도시하지 아니하였으나 전열기와 같은 히팅장치를 설치하였고, 건조실(420)의 내부에는 이송롤러(421)를 등 간격으로 유지시키면서 상하 반복적으로 설치하되 다른 장치들의 이송롤러(211)보다 많이 설치하여 인입용 전이롤러(404)에서 인입되는 전도성금속도금필름(7)을 상하 지그재그로 통과시키면서 완전히 건조시킬 수 있도록 하였으며, 완전히 건조된 전도성금속도금필름(7)은 배출용 전이롤러(405)를 통하여 외부(차기공정)로 배출시킬 수 있도록 하 였다.

소정 공정부의 중간에 설치되어 이송되는 필름(5)에 이송력을 부가시키는 보조구동부(90).

상기와 같이 구성되는 탈지공정부(10) 내지 건조공정부(80)에서 소정의 위치에 설치하여 이송되는 필름(5)에 보조동력을 가하여 필름(5)을 원활하게 이송시켜 주도록 하였다.

상기 보조구동부(90)는 도 5에 구체적으로 예시된 바와 같이, 하나의 기동롤러(610)와 복수개의 연동롤러(620)를 장치틀의 상측에 굴대 설치하여 필름(5)을 지그재그로 걸어 주도록 하였고, 기동롤러(610)의 축을 보조구동모터(630)의 회전축에 연결하여 기동롤러(610)를 회전시킬 수 있도록 하였으며, 기동롤러(610)가 회전하면서 이송시키는 필름(5)에 의해 연동롤러(620)들이 회전하면서 필름(5)이 뒤틀리지 않고 평행상태를 유지하면서 이송되도록 하였다.

상기 보조구동장치(90)는 도 1 및 도 5에 예시된 바와 같이 중화공정부(30)의 수세장치(32)와 커플링공정부(40)의 커플링장치(41)와의 사이에 설치하거나, 도금공정부(70)의 수세장치(72)와 건조공정부(70)의 건조장치(400)와의 사이에 설치할 수 있고, 또한 구체적으로 도시하지 아니하였으나 위치에 구애받지 않고 다른 장치부에 설치할 수 있다.

건조 형성된 전도성금속도금필름(7)을 권취롤(460)에 감아 주는 권취공정부 (3).

상기 공정은 건조장치(400)를 통과하면서 완전히 건조되어 최종 목적물로 형성된 전도성금속도금필름(7)을 권취장치(500)에 의해 권취롤(560)에 감아 주는 공정이다.

상기 권취장치(500)는 도 7에 예시된바와 같이 형성하였다.

권취장치틀(501)을 직육면체형으로 형성하였고, 밑판의 저면 각 모서리에는 통상의 받침다리(502)와 캐스터(503)를 각각 설치하여 용이하게 이동 및 고정 설치할 수 있도록 하였다.

권취장치틀(501)의 내부에서 입구 상측부에는 복수개의 이송롤러(510)를 상하로 반복 설치하여 인입되는 전도성금속도금필름(7)이 꼬이거나 뒤틀리지 않고 안정된 상태를 유지하도록 하였다.

이송롤러(510)의 배출측(내측)에는 전도성금속도금필름(7)의 장력을 조정하는 장력조정장치를 설치하였는데, 상측에는 한 쌍의 고정롤러(520)를 이격시켜 축으로 설치하였고, 고정롤러(520)의 사이에는 움직롤러(530)를 상하로 이동시킬 수 있도록 설치하되, 움직롤러(530)를 이동대(531)에 굴대 설치하고 이동대(531)의 양측에 가이드레일(540)을 수직으로 설치하여 이동대(531)를 가이드레일(540)에 결합시켰으며, 이동대(531)를 상하로 이동시켜 움직롤러(530)의 높낮이를 조정(이동)하면서 고정시킬 수 있도록 하였다.

상기 장력조절장치의 배출측에 테이블(552)을 설치하되, 테이블(552)의 상면 양측에는 방향전환롤러(550)와 배출롤러(551)를 설치하였다.

방향전환롤러(550)와 배출롤러(551)이 설치된 테이블(552)의 외측에는 권취롤장착대(560)를 설치하였고, 권취롤장착대(560)의 상측과 하측에는 박리지(8)를 공급하는 박리지공급롤(580)과 상기 박리지(8) 및 전도성금속도금필름(7)을 연접시켜 함께 권취시키는 권취롤(570)을 착탈시킬 수 있도록 설치하였다.

테이블(552)의 내부 하측에는 기동모터(553)를 설치하여 구체적으로 도시하지는 아니하였으나 풀리와 벨트 또는 스프로켓과 체인 등과 같은 전동수단을 이용하여 상기 권취롤(570)을 회전시킬 수 있도록 하였다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 무전해방식 필름 금속도금장치시스템(1)의 작동원리를 설명한다.

본 발명에 따른 무전해방식 필름 금속도금장치시스템(1)은 도 2에 예시된 바와 같이, 권출공정부(2)의 권출장치(100)에서 기판롤장착대(110)에는 박리지(6)를 회수하여 권취시킬 수 있는 박리지회수롤(112)과 박리지(6)와 필름(5)이 연접되어 회권된 기판롤(111)을 장착시킨다.

기판롤(111)를 회전시켜 필름(5)을 풀어주면서 공급유도롤(120)과 방향전환롤(130)을 거쳐 고정롤(140)과 움직롤러(150)에 순착적으로 걸어주고, 박리되는 박리지(6)는 박리지회수롤(112)에 감아준다.

상기와 같이 권출장치(100)에 걸어진 필름(5)은 에칭공정부(20)와, 중화공정부(30), 커플링공정부(40), 촉매부가공정부(50), 하부도금고정부(60), 도금공정부(70), 건조공정부(80), 건조공정부(80)의 건조장치(400), 권취공정부(3)의 권취장 치(500)에 순차적으로 걸어 준다.

특히, 작동을 개시하기 전(초기)에는 권취장치(500)에서는 권치롤장착대(570)의 상측에 장착된 박리지공급롤(580)에서 박리지(8)를 공급시켜 전도성금속도금필름(7)과 연접시키면서 권취롤(570)에 권취시켜 준다.

상기와 같이 필름(5)을 각 공정부를 따라 순차적으로 걸어준 상태에서, 권출장치(100)의 이동대(151)와 권취장치(500)의 이동대(531)를 상하로 이동시키면서 움직롤러(150)(530)의 위치를 조정하여 필름(5) 또는 전도성금속도금필름(7)의 장력을 조절하며, 장력조절이 완료되면 작동을 개시한다.

메인스위치(구체적으로 도시하지 아니함)를 ON시키면, 권출공정부(2)의 기동모터(113)가 작동하여 기판롤(111)을 회전시켜 필름(5)을 풀어주면서 박리지회수롤(112)을 회전시켜 필름(5)에서 분리(박리)되는 박리지(6)를 감아주게 되고, 각 보조구동부(90)의 보조구동모터(630)가 작동하면서 기동롤러(610)를 회전시켜 이송되는 필름(5)에 이송력을 부가시켜 주며, 권취공정부(3)의 기동모터(553)가 작동하면서 권취롤(570)을 회전시켜 연접되는 박리지(8)와 전도성금속도금필름(7)을 당겨 주면서 권취롤(570)에 회권시켜 주게된다.

권출공정부(2)의 권출장치(100)는, 기판롤(111)에서 풀어지는 필름(5)은 테이블(131)에 설치된 공급유도롤(120)에서 수평으로 유도되면서 단부연결장치(170)를 통과하여 방향전환롤(130)에서 상측으로 방향이 전환된 후에 고정롤러(140)와 움직롤러(150)를 상하 지그재그로 통과하여 탈지부(10)의 탈지장치(11)로 공급되며, 이와 동시에 기판롤(111)에서 풀려지는 박리지(6)는 박리지회수롤(112)에 감겨 지면서 회수된다.

도 3에 예시된 바와 같이, 탈지공정부(10)의 탈지장치(11)로 인입되는 필름(5)은, 전이롤러(205)를 통과하면서 액상물질(250)로서 탈지액(알칼리 린스 또는 샴푸)이 충진된 액상조(210)의 내부로 유입되고, 액상조(210)의 내부로 유입되는 필름(5)은 액상물질(250)의 내부에 침전되어 있는 이송롤러(211)를 따라 상하 지그재그로 통과하면서 필름(5)의 외면에 부착되어 있는 불순물(오염물, 유지분, 지문 등)이 제거된다.

불순물이 제거된 필름(5)가 탈지액의 상측으로 상승하면서 스퀴징부(230)를 형성하는 롤러(231)의 사이를 통과하게 되고, 필름(5)이 롤러(231)의 사이를 통과할 때에 스퀴징되면서 외면에 묻어있는 탈지액이 제거되며, 불순물이 제거되고 탈지액이 제거된 필름(5)은 전이롤러(206)를 거쳐 수세장치(12)로 인입된다.

수세장치(12)로 인입되는 탈지된 필름(5)은 수세조(310)의 각 제1수세실(311)과 제2수세실(312) 및 제3수세실(313)에서 세척수(340)에 수장되어 있는 세척롤러(320)와 칸막이벽체(314)의 상측에 설치된 탈수롤러(330)를 따라 반복적으로 침전/인출되면서 수세 된다.

특히, 수세장치(12)의 제1수세실(311)로 인입되는 필름(5)은 분사세척장치(360)의 분사노즐(361)(362) 사이로 통과할 때에 분사노즐(361)(362)에서 분사되는 세척수에 의해 필름(5)의 양면에 부착된 탈지용액이 완전하게 세척된다.

또한, 제3수세실(313)에서 세척롤러(320)를 통과하여 상승하는 필름(5)은 설치되는 스퀴징장치(370)의 스퀴징롤러(371)(372) 사이를 통과하면서 수분이 제거 되는데, 이들 스퀴징롤러(371)(372)가 스펀지 또는 발포수지와 같은 탄성력이 있는 연질로 형성되어 있으므로, 스퀴징롤러(371)(372)의 사이를 통과할 때에 필름(5)의 외면에 부착된 세척수(수분)가 스펀지 또는 발포수지로 된 스퀴징롤러(371)(372)에 흡수되어 완전하게 제거된다.

수세 된 필름(5)은 전이롤러(380)를 통하여 차기 에칭공정부(20)로 전이(이송)된다.

상기 에칭공정부(20)는 제1에칭공정부(21)와 제2에칭공정부(22)로 형성되어 있고, 각 제1에칭공정부(21)와 제2에칭공정부(22)에는 도 3에 예시된 바와 같은 제1ㆍ제2에칭장치(23)(25)와 수세장치(24)(26)가 각각 설치되어 있으며, 본 실시 예에서는 제1에칭장치(23)의 액상조(210)에는 액상물질(250)로서 1차 에칭액을 충진시키고 제2에칭장치(25)의 액상조(210)에는 액상물질(250)로서 2차 에칭액을 충진시켜, 에칭을 이중으로 실시하도록 하였다.

탈지공정부(10)의 수세장치(12)에서 인입되는 탈지되어 수세된 필름(5)은 제1에칭공정부(21)의 제1에칭장치(23)와 수세장치(24)에 순차적으로 인입된다.

제1에칭장치(23)의 액상조(210)로 인입되는 필름(5)은 1차 에칭액에 침전되어 있는 이송롤러(211)를 따라 상하 반복적으로 이동하면서 일차로 에칭되고, 스퀴징부(230)의 롤러(231)사이를 통과하면서 스퀴징되면서 1차 에칭액은 균일한 상태를 유지하게 된다.

에칭되고 스퀴징 된 필름(5)은 수세장치(24)로 인입되면서 세척수(340)가 충진되어 있는 수세조(310)의 각 제1수세실(311)과 제2수세실(312) 및 제3수세실 (313)의 세척롤러(320)와 칸막이벽체(314)의 상측에 설치된 탈수롤러(330)를 따라 반복적으로 침전/인출되면서 수세된다.

특히, 수세장치(24)의 제1수세실(311)로 인입되는 일차 에칭된 필름(5)은 분사세척장치(360)의 분사노즐(361)(362) 사이로 통과할 때에 분사노즐(361)(362)에서 분사되는 세척수에 의해 필름(5)의 양면에 부착된 탈지용액이 완전하게 세척된다.

또한, 제3수세실(313)에서 세척롤러(320)를 통과하여 상승하는 일차 에칭된 필름(5)은 설치되는 스퀴징장치(370)의 스퀴징롤러(371)(372) 사이를 통과하면서 수분이 제거되는데, 이들 스퀴징롤러(371)(372)가 스펀지 또는 발포수지와 같은 탄성력이 있는 연질로 형성되어 있으므로, 스퀴징롤러(371)(372)의 사이를 통과할 때에 일차 에칭된 필름(5)의 외면에 부착된 세척수(수분)가 스펀지 또는 발포수지로 된 스퀴징롤러(371)(372)에 흡수되어 완전하게 제거된다.

상기와 같이 일차 에칭된 필름(5)은 전이롤러(380)를 통하여 제2차에칭공정부(22)로 이동(이송)한다.

제2차에칭공정부(22)로 전이(이송)되는 일차 에칭된 필름(5)은, 제2에칭장치(25)의 액상조(210)에서 2차 에칭액에 침전되어 있는 이송롤러(211)를 따라 상하 반복적으로 이동하면서 이차로 에칭되고, 스퀴징부(230)의 롤러(231)사이를 통과하면서 스퀴징되면서 2차 에칭액은 균일한 상태를 유지하게 된다.

이차 에칭된 필름(5)은 수세장치(26)로 인입되면서 세척수(340)가 충진되어 있는 수세조(310)의 각 제1수세실(311)과 제2수세실(312) 및 제3수세실(313)의 세척롤러(320)와 칸막이벽체(314)의 상측에 설치된 탈수롤러(330)를 따라 반복적으로 침전/인출되면서 수세 됨으로써 에칭을 완료하게 된다.

특히, 수세장치(26)의 제1수세실(311)로 인입되는 이차 에칭된 필름(5)은 분사세척장치(360)의 분사노즐(361)(362) 사이로 통과할 때에 분사노즐(361)(362)에서 분사되는 세척수에 의해 이차 에칭된 필름(5)의 양면에 부착된 일차 에칭용액이 세척된다.

또한, 제3수세실(313)에서 세척롤러(320)를 통과하여 상승하는 이차 에칭된 필름(5)은 설치되는 스퀴징장치(370)의 스퀴징롤러(371)(372) 사이를 통과하면서 수분이 제거되는데, 이들 스퀴징롤러(371)(372)가 스펀지 또는 발포수지와 같은 탄성력이 있는 연질로 형성되어 있으므로, 스퀴징롤러(371)(372)의 사이를 통과할 때에 이차 에칭된 필름(5)의 외면에 부착된 세척수(수분)가 스펀지 또는 발포수지로 된 스퀴징롤러(371)(372)에 흡수되어 완전하게 제거된다.

제2차에칭공정부(22)에서 에칭이 완료된 필름(5)은 도 3에 예시된 바와 같은 중화장치(31)와 수세장치(32)로 구성된 중화공정부(30)로 인입된다.

중화장치(31)로 인입되는 이차 에칭된 필름(5)은, 중화장치(31)의 액상조(210)에서 액상물질(250)인 산성 또는 알칼리성 중화용액에 침전되어 있는 이송롤러(211)를 따라 상하 반복적으로 이동하면서 중화되고, 스퀴징부(230)의 롤러(231)사이를 통과하면서 스퀴징되면서 중화용액은 균일한 분포상태를 유지하게 된다.

중화된 필름(5)은 수세장치(32)로 인입되면서 세척수(340)가 충진되어 있는 수세조(310)의 각 제1수세실(311)과 제2수세실(312) 및 제3수세실(313)의 세척롤러(320)와 칸막이벽체(314)의 상측에 설치된 탈수롤러(330)를 따라 반복적으로 침전/인출되면서 수세 됨으로써 중화를 완료하게 된다.

특히, 수세장치(32)의 제1수세실(311)로 인입되는 중화된 필름(5)은 분사세척장치(360)의 분사노즐(361)(362) 사이로 통과할 때에 분사노즐(361)(362)에서 분사되는 세척수에 의해 필름(5)의 양면에 부착된 중화용액이 세척된다.

또한, 제3수세실(313)에서 세척롤러(320)를 통과하여 상승하는 중화된 필름(5)은 설치되는 스퀴징장치(370)의 스퀴징롤러(371)(372) 사이를 통과하면서 수분이 제거되는데, 이들 스퀴징롤러(371)(372)가 스펀지 또는 발포수지와 같은 탄성력이 있는 연질로 형성되어 있으므로, 스퀴징롤러(371)(372)의 사이를 통과할 때에 필름(5)의 외면에 부착된 세척수(수분)가 스펀지 또는 발포수지로 된 스퀴징롤러(371)(372)에 흡수되어 완전하게 제거된다.

중화된 필름(5)은 보조구동부(90)에 의해 동력이 부가되면서 도 3에 예시된 바와 같은 커플링장치(41)와 산세장치(42)로 구성되어 극성이 부여되는 커플링공정부(40)로 인입된다.

커플링공정부(40)로 인입되는 중화된 필름(5)은, 커플링장치(41)의 액상조(210)에서 액상물질(250)인 실란계 커플링제용액 또는 아민계 커플링제용액에 침전되어 있는 이송롤러(211)를 따라 상하 반복적으로 이동하면서 극성이 부여되고, 스 퀴징부(230)의 롤러(231)사이를 통과하면서 스퀴징되면서 커플링제용액은 균일한 상태를 유지하게 된다.

극성이 부여되는 필름(5)은 산세장치(42)로 인입되면서 산성용액(340)이 충진되어 있는 산세조(310)의 각 제1산세실(311)과 제2산세실(312) 및 제3산세실(313)의 산세롤러(320)와 칸막이벽체(314)의 상측에 설치된 탈세롤러(330)를 따라 반복적으로 침전/인출되면서 산세 됨으로써 커플링공정을 완료하게 된다.

특히, 산세장치(42)의 제1수세실(311)로 인입되는 극성이 부여된 필름(5)은 분사세척장치(360)의 분사노즐(361)(362) 사이로 통과할 때에 분사노즐(361)(362)에서 분사되는 세척수에 의해 필름(5)의 양면에 부착된 산세용액이 세척된다.

또한, 제3수세실(313)에서 세척롤러(320)를 통과하여 상승하는 극성이 부여된 필름(5)은 설치되는 스퀴징장치(370)의 스퀴징롤러(371)(372) 사이를 통과하면서 수분이 제거되는데, 이들 스퀴징롤러(371)(372)가 스펀지 또는 발포수지와 같은 탄성력이 있는 연질로 형성되어 있으므로, 스퀴징롤러(371)(372)의 사이를 통과할 때에 필름(5)의 외면에 부착된 세척수(수분)가 스펀지 또는 발포수지로 된 스퀴징롤러(371)(372)에 흡수되어 완전하게 제거된다.

극성이 부여된 필름(5)은 도 3에 예시된 바와 같은 활성화장치(51)와 수세장치(52)로 구성된 촉매부가공정부(50)로 인입된다.

촉매부가공정부(50)로 인입되는 극성이 부여된 필름(5)은, 활성화장치(51)의 액상조(210)에서 액상물질(250)인 촉매용액에 침전되어 있는 이송롤러(211)를 따라 상하 반복적으로 이동하면서 금속촉매가 흡착되고, 스퀴징부(230)의 롤러(231)사이를 통과하여 스퀴징되면서 촉매용액은 균일한 상태를 유지하게 된다.

촉매가 흡착된 필름(5)은 수세장치(32)로 인입되면서 세척수(340)가 충진되어 있는 수세조(310)의 각 제1수세실(311)과 제2수세실(312) 및 제3수세실(313)의 세척롤러(320)와 칸막이벽체(314)의 상측에 설치된 탈수롤러(330)를 따라 반복적으로 침전/인출되면서 수세됨으로써 촉매부가공정즉, 활성화공정을 완료하게 된다.

특히, 수세장치(52)의 제1수세실(311)로 인입되는 촉매가 흡착된 필름(5)은 분사세척장치(360)의 분사노즐(361)(362) 사이로 통과할 때에 분사노즐(361)(362)에서 분사되는 세척수에 의해 필름(5)의 양면에 부착된 촉매용액이 세척된다.

또한, 제3수세실(313)에서 세척롤러(320)를 통과하여 상승하는 활성화된 필름(5)은 설치되는 스퀴징장치(370)의 스퀴징롤러(371)(372) 사이를 통과하면서 수분이 제거되는데, 이들 스퀴징롤러(371)(372)가 스펀지 또는 발포수지와 같은 탄성력이 있는 연질로 형성되어 있으므로, 스퀴징롤러(371)(372)의 사이를 통과할 때에 필름(5)의 외면에 부착된 세척수(수분)가 스펀지 또는 발포수지로 된 스퀴징롤러(371)(372)에 흡수되어 완전하게 제거된다.

활성화된 필름(5)은 도 3에 예시된 바와 같은 하부도금장치(61)와 수세장치(62)로 구성된 하부도금공정부(60)로 인입되어 하부도금막(제1전도성 금속막)이 형성된다.

하부도금공정부(60)로 인입되는 필름(5)은, 하부도금장치(61)의 액상조(210) 에서 액상물질(250)인 하부도금용액에 침전되어 있는 이송롤러(211)를 따라 상하 반복적으로 이동하면서 하부도금이 실시되고, 스퀴징부(230)의 롤러(231)사이를 통과하여 스퀴징되면서 하부도금용액은 균일한 상태를 유지하게 된다.

하부도금 된 필름(5)은 수세장치(32)로 인입되면서 세척수(340)가 충진되어 있는 수세조(310)의 각 제1수세실(311)과 제2수세실(312) 및 제3수세실(313)의 세척롤러(320)와 칸막이벽체(314)의 상측에 설치된 탈수롤러(330)를 따라 반복적으로 침전/인출되면서 수세됨으로서 하부도금공정을 완료하게 된다.

특히, 수세장치(62)의 제1수세실(311)로 인입되는 하부도금 된 필름(5)은 분사세척장치(360)의 분사노즐(361)(362) 사이로 통과할 때에 분사노즐(361)(362)에서 분사되는 세척수에 의해 필름(5)의 양면에 부착된 도금용액이 완전하게 세척된다.

또한, 제3수세실(313)에서 세척롤러(320)를 통과하여 상승하는 하부도금 된 필름(5)은 설치되는 스퀴징장치(370)의 스퀴징롤러(371)(372) 사이를 통과하면서 수분이 제거되는데, 이들 스퀴징롤러(371)(372)가 스펀지 또는 발포수지와 같은 탄성력이 있는 연질로 형성되어 있으므로, 스퀴징롤러(371)(372)의 사이를 통과할 때에 필름(5)의 외면에 부착된 세척수(수분)가 스펀지 또는 발포수지로 된 스퀴징롤러(371)(372)에 흡수되어 완전하게 제거된다.

하부도금막(제1전도성 금속막)이 형성된 필름(5)은 도 3에 예시된 바와 같은 도금장치(71)와 수세장치(72)로 구성된 도금공정부(70)로 인입되어 도금막(제2전도 성 금속막)이 형성된다.

도금공정부(70)로 인입되는 필름(5)은, 도금장치(71)의 액상조(210)에서 액상물질(250)인 도금용액에 침전되어 있는 이송롤러(211)를 따라 상하 반복적으로 이동하면서 도금이 실시되고, 스퀴징부(230)의 롤러(231)사이를 통과하여 스퀴징되면서 도포되는 도금용액은 균일한 상태를 유지하게 된다.

도금된 필름(5)은 수세장치(72)로 인입되면서 세척수(340)가 충진되어 있는 수세조(310)의 각 제1수세실(311)과 제2수세실(312) 및 제3수세실(313)의 세척롤러(320)와 칸막이벽체(314)의 상측에 설치된 탈수롤러(330)를 따라 반복적으로 침전/인출되면서 수세 됨으로써 도금공정을 완료하게 된다.

특히, 수세장치(72)의 제1수세실(311)로 인입되는 도금된 필름(5)은 분사세척장치(360)의 분사노즐(361)(362) 사이로 통과할 때에 분사노즐(361)(362)에서 분사되는 세척수에 의해 필름(5)의 양면에 부착된 도금용액이 세척 제거된다.

또한, 제3수세실(313)에서 세척롤러(320)를 통과하여 상승하는 도금된 필름(5)은 설치되는 스퀴징장치(370)의 스퀴징롤러(371)(372) 사이를 통과하면서 수분이 제거되는데, 이들 스퀴징롤러(371)(372)가 스펀지 또는 발포수지와 같은 탄성력이 있는 연질로 형성되어 있으므로, 스퀴징롤러(371)(372)의 사이를 통과할 때에 도금된 필름(5)의 외면에 부착된 세척수(수분)가 스펀지 또는 발포수지로 된 스퀴징롤러(371)(372)에 흡수되어 완전하게 제거된다.

도금이 완료된 전도성금속도금필름(7)은 보조구동부(90)에 의해 동력이 부가 되면서 도 6에 예시된 바와 같은 건조공정부(80)의 건조장치(400)로 인입된다.

전이롤러(404)를 통하여 건조공정부(80)의 건조장치(400)로 인입되는 전도성금속도금필름(7)은 건조실(420)에 상하로 이격 설치된 이송롤러(421)를 따라 상하 지그재그로 이송되면서 건조되는데, 히팅실(410)에 설치된 히팅장치(구체적으로 도시하지 아니함)에서 발생되는 열기가 건조실(420)로 이동하여 이송롤러(421)를 따라 이송되는 전도성금속도금필름(7)을 건조시켜 주게 된다.

건조장치(400)를 통과하면서 완전히 건조된 전도성금속도금필름(7)은 전이롤러(405)를 거쳐 권취공정부(5)의 권취장치(500)로 인입된다.

권취공정부(3)의 권취장치(500)로 인입되는 전도성금속도금필름(7)은 입구에 설치된 복수 개의 이송롤러(510)를 상하 지그재그로 통과하면서 자세(뒤틀림, 또는 변형)가 교정되고, 자세가 교정된 전도성금속도금필름(7)은 고정롤러(520)와 움직롤러(530)를 상하 지그재그로 통과하며, 테이블(552)에 설치된 방향전환롤러(550)와 배출유도롤러(551)를 거쳐 기동모터(553)에 의해 작동(회전)되는 권취롤(560)에 감겨지게 된다.

배출유도롤러(551)를 통과한 전도성금속도금필름(7)이 권취롤(560)에 감겨질 때에 박리지공급롤(580)에 감겨져 있는 박리지(8)가 전도성금속도금필름(7)에 연접되어 권취롤(560)에 감겨지게 된다.

본 발명에 따른 전도성금속도금 폴리이미드필름 제조시스템(1)은 상기와 같이 각 공정부의 장치들이 작동되면서 권출장치(100)로 부터 공급되는 폴리이미드기 판(5)의 외면에 구리도금막이 형성된 전도성금속도금필름(7)을 제조하게 된다.

상기에서 본 발명의 특정한 실시 예를 설명 및 도시하였지만, 당업자에 의해 다양하게 변형하여 실시할 수 있음은 자명한 것이며, 이와 같이 변형될 수 있는 실시 예들은 본 발명의 사상이나 기술적 구성으로부터 개별적으로 이해되서는 안 되며, 본 발명의 특허청구범위에 당연히 속한다 해야 할 것이다.

본 발명에 따른 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템은, 롤 상으로 감겨져 있는 필름(폴리이미드필름)을 공급하면서, 특정공정이 실시되는 공정실행장치와 수세를 실시하는 수세장치로 구성되는 탈지공정부, 에칭공정부, 중화공정부, 커플링공정부, 촉매부가공정부, 하부도금공정부, 도금공정부를 순차적이면서 연속적으로 실시하여 필름의 단면 또는 양면에 전도성 금속을 도금시키고, 전도성 금속이 도금된 필름을 건조장치부에 의해 건조시키며, 건조된 도금필름을 권취장치부에 의해 권취롤에 감아주도록 된 것으로서, 필름을 이동시키면서 각 공정을 실시할 때에 액상물질의 침전상태에서 필름을 통과시키고 세척수에 침전 및 인출시키는 과정을 반복적으로 실시하는 습식방법을 실시함으로서 박리강도 등의 물성이 개선된 2층타입의 FCCL을 제조할 수 있고, 각 공정에서 소정의 액상물질에 침전된 필름을 압착롤러에 의해 스퀴징하므로 액상물질을 균일한 두께로 도포시킬 수 있으며, 필름을 공급시키는 권출공정과 배출시키는 권취공정을 실시할 때에 고정롤러의 사이에 설치되는 움직롤러를 상하로 이동시켜 장력을 조절하여 주므로 필름이 꼬이거나 뒤틀리지 않고 이송되도록 하며, 공정부의 소정위치에 하나 이상의 보조구동장치를 이격시켜 설치하였으므로 필름을 원활하게 이송시킬 수 있는 것이다.

Claims

필름(5)을 공급하면서 외면에 전도성 금속을 피복시키는 것에 있어서,

기판롤(111)에 감겨진 필름(5)을 박리지(6)와 분리시키면서 장력을 조절하여 이송시키는 권출장치(100)가 구비된 권출공정부(2);

권출공정부(2)에서 공급되는 필름(5)의 표면을 탈지장치(11)와 수세장치(12)에 의해 탈지하고 수세시켜 이물질을 제거하는 탈지공정부(10);

이물질이 제거되어 이송되는 필름(5)의 표면을 제1에칭장치(23) 및 제2에칭장치(25)와 수세장치(24)(26)에 의해 반복적으로 에칭 및 수세시키는 에칭공정부(20);

표면이 에칭되어 이송되는 필름(5)을 중화장치(31)와 수세장치(32)에 의해 중화 및 수세시키는 중화공정부(30);

중화되어 이송되는 필름(5)의 표면을 커플링장치(41)와 산세장치(42)에 의해 커플링제와 산에 의해 커플링하고 세척하는 커플링공정부(40);

표면이 커플링되어 이송되는 필름(5)에 활성화장치(51)와 수세장치(52)에 의해 촉매를 흡착시키고 수세시키는 촉매부가공정부(50);

촉매가 흡착되어 이송되는 필름(5)을 하부도금장치(61)와 수세장치(62)에 의해 제 1 전도성 금속막을 표면에 형성하고 수세시키는 하부도금공정부(60);

제1전도성 금속막이 표면에 형성되어 이송되는 필름(5)을 전류가 인가되는 도금장치(71)와 수세장치(72)에 의해 제 2 전도성 금속막을 형성하는 도금공정부(70);

제 2 전도성 금속막이 형성되어 이송되는 필름(5)을 건조장치(400)에 의해 건조시키는 건조공정부(80);

소정 공정부의 중간에 보조구동장치(600)를 설치하여 이송되는 필름(5)에 이송력을 부가시키는 보조구동부(90);

제 2 전도성 금속막이 완전히 건조되어 형성되는 전도성금속도금필름(7)을 권취장치(500)에 의해 박리지(8)를 부가시키고 장력을 조절하면서 권취롤(460)에 감아 주는 권취공정부(3);를 포함하여 형성한 것을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템.
청구항 1에 있어서, 권출공정부(2)의 권출장치(100)는;

직육면체로 된 권출장치틀(101)의 밑판 저면 모서리에 통상의 받침다리(102)와 캐스터(103)를 각각 설치한 것에 있어서;

권출장치틀(101)의 내부 입구측에 설치된 기판롤장착대(110)의 상측과 하측에는 박리지회수롤(112)과 기판롤(111)를 착탈시킬 수 있도록 설치한 것과;

기판롤장착대(110)의 바닥면에 기동모터(113)를 설치하여 기판롤(111)을 회전시키도록 한 것과;

권출장치틀(101)의 내부 중간에 설치된 테이블(131)의 상측에는 공급유도롤(120)과 단부연결장치(170) 및 방향전환롤(130)을 차례로 설치한 것과;

권출장치틀(101)의 내부 후반에는 필름(5)의 장력을 조정하는 장력조정장치를 설치한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템.
청구항 1에 있어서, 탈지공정부(10)·중화공정부(30)·커플링공정부(40)·촉매부가공정부(50)·하부도금공정부(60)·도금공정부(70)의 각 탈지장치(11), 제1에칭공정부(21)의 제1에칭장치(23), 제2에칭공정부(22)의 제2에칭장치(25), 중화장치(31),커플링장치(41), 활성화장치(51), 하부도금장치(61), 도금장치(71)는;

직육면체로 형성된 기능장치틀(200)의 저면 각 모서리에 통상의 받침다리(201)와 캐스터(202)를 각각 설치한 것에 있어서;

기능장치틀(200)의 내부 상측부에 상측으로 개방되는 액상조(210)를 받침대(204)에 의해 받쳐 설치한 것과;

액상조(210)에는 액상물질(250)을 충진시킨 것과;

액상조(210)의 내부에는 이송롤러(211)를 등간격으로 유지시키면서 상하로 분할 설치하되 액상물질(250)에 잠기도록 설치한 것과;

후단 최종 이송롤러(211)의 선상에서 탈지액의 상측부에는 한 쌍의 롤러(231)로 구성된 스퀴징부(230)를 설치한 것과;

기능장치틀(200)의 상부 양측에는 커버(207)가 씌워지는 전이롤러(205)(206)를 각각 설치한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템.
청구항 1에 있어서, 탈지공정부(10)·제1에칭공정부(21)·제2에칭공정부(22)·중화공정부(30)·커플링공정부(40)·촉매부가공정부(50)·하부도금공정부(60)·도금공정부(70)의 각 수세장치(12)(24)(26)(32)(42)(52)(62)(72)는;

직육면체로 형성되고 내부가 공간부로 형성된 수세장치틀(300)의 저면 각 모서리에는 통상의 받침다리(201)와 캐스터(202)를 각각 설치하여 수세장치틀(300)을 지지하거나 이동할 수 있도록 된 것에 있어서;

상기 수세장치틀(300)의 내부 상측부에는 받침대(302)에 의해 받쳐 지지되는 수세조(310)를 설치하되, 수세조(310)는 칸막이벽체(314)에 의해 내부가 제1ㆍ제2ㆍ제3수세실(311)(312)(313)로 분할하여 세척수(340)를 충진시킨 것과;

받침판(302)의 하측에는 수세조(310)에 세척수를 공급시켜 주는 펌핑모터(350)를 받침대(301)에 의해 받쳐 설치한 것과;

제1·제2·제3수세실(311)(312)(313)의 내부에는 세척롤러(320)를 세척수(340)에 잠기도록 각각 설치하고, 칸막이벽체(314)의 상측에는 탈수롤러(330)를 각각 설치하여, 필름(5)이 세척롤러(320)과 탈수롤러(330)를 반복으로 통과하도록 한 것과;

상기 제1수세실(311)과 제3수세실(313)의 각 인입측과 배출측에는 분사세척장치(360)와 스퀴징장치(370)를 각각 설치한 것과;

수세장치틀(300)의 상부 양측에는 커버(207)(381)가 씌워지는 전이롤러(206)(380)를 각각 설치한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템.
청구항 1에 있어서, 건조공정부(80)의 건조장치(400)는;

직육면체로 형성되고 내부가 공간부로 된 건조장치틀(401)의 저면 각 모서리에는 통상의 받침다리(402)와 캐스터(403)를 각각 설치하여 건조장치틀(401)을 지지하거나 이동시킬 수 있도록 된 것에 있어서;

상기 건조장치틀(401)의 상부 양단에는 인입용 전이롤러(404)와 배출용 전이롤러(405)를 각각 설치한 것과;

건조장치틀(401)의 내부에는 히팅실(410)과 건조실(420)을 형성한 것과;

히팅실(410)에는 히팅장치를 설치하고, 건조실(420)의 내부에는 이송롤러(421)를 등 간격으로 유지시키면서 상하 반복적으로 설치한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템.
청구항 1에 있어서, 권취공정부(3)의 권취장치(500)는;

직육면체형으로 형성된 권취장치틀(501)의 저면 각 모서리에 통상의 받침다리(502)와 캐스터(503)를 각각 설치한 것에 있어서;

권취장치틀(501)의 내부에서 입구 상측부에는 전도성금속도금필름(7)을 안전하게 유지시키는 복수 개의 이송롤러(510)를 상하로 반복 설치한 것과;

이송롤러(510)의 배출 측에는 전도성금속도금필름(7)의 장력을 조정하는 장력조정장치를 설치한 것과;

상기 장력조절장치의 배출측에는 테이블(552)을 설치하고, 그 상면 양측에는 방향전환롤러(550)와 배출롤러(551)를 설치한 것과;

테이블(552)의 외측에는 권취롤장착대(560)를 설치하되, 권취롤장착대(560)의 상측과 하측에는 박리지공급롤(580)과 권취롤(570)을 착탈시킬 수 있도록 설치한 것과;

테이블(552)의 내부 하측에는 기동모터(553)를 설치하여 권취롤(570)을 회전시킬 수 있도록 한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템.
청구항 1에 있어서, 이송되는 필름(5)에 이송력을 부가시키는 보조구동부(90)의 보조구동장치(600)는;

하나의 기동롤러(610)와 복수개의 연동롤러(620)를 장치틀의 상측에 지그재그로 굴대 설치하여 필름(5)을 걸어준 것과;

기동롤러(610)를 보조구동모터(630)의 회전시키도록 한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템.
청구항 2 또는 청구항 6에 있어서, 권출공정부(2)의 권출장치(100)와 권취공정부(3)의 권취장치(500)에 각각 설치되어 필름(5) 또는 전도성금속도금필름(7)의 장력을 조정하는 장력조정장치는;

장치틀의 내부 상측에는 복수 개의 고정롤러(140)(520)를 등 간격으로 이격시켜 축으로 설치한 것과;

고정롤러(140)의 사이에는 움직롤러(150)(530)가 굴대 설치된 이동대(151)(531)를 구비한 것과;

움직롤러(150)(530)가 굴대 설치된 이동대(151)(531)의 양측에는 가이드레일(160)(540)을 수직으로 설치하여 이동대(151)(531)를 가이드레일(160)(540)에 결합시켜 상하 슬라이딩 되도록 한 것과;

이동대(151)(531)와 함께 움직롤러(150)(530)를 상하로 이동시켜 필름(5) 또는 전도성금속도금필름(7)의 장력을 조정하도록 한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템.
청구항 4에 있어서, 제1수세실(311)에 설치되는 분사세척장치(360)는;

세척롤러(320)의 전방에서 세척수의 상측에는 분사노즐(361)(362)을 대향 하게 장착한 것과;

제1수세실(311)로 인입되는 필름(5)을 분사노즐(361)(362)의 사이로 통과시켜 필름(5)의 양면에 부착된 탈지용액을 분사노즐(361)(362)에서 분사되는 세척수에 의해 세척하도록 한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템.
청구항 4에 있어서, 제3수세실(313)에 설치되는 스퀴징장치(370)는;

세척롤러(320)의 후방에서 세척수의 상측에는 한 쌍의 스퀴징롤러(371)(372)를 경사지도록 대향 되게 장착한 것과;

세척롤러(320)를 통과하여 상승하는 필름(5)을 스퀴징롤러(371)(372)의 사이로 통과시켜 필름(5)의 외면에 부착된 세척수를 제거하도록 한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템.
청구항 10에 있어서, 제3수세실(313)의 스퀴징장치(370)에 설치되는 스퀴징롤러(371)(372)는 스폰지 또는 발포수지로 형성한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템.