KR100729782B1 - 액정 표시 장치 제조용 기판 가열 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정 표시 장치 제조용 기판 가열 장치에 관한 것으로, 기판에 균일하게 열을 공급하기 위하여, 기판 상부에서 열을 공급하는 방식으로 기판을 가열한다. 본 발명에 따른 액정 표시 장치 제조용 기판 가열 장치에서는, 지지부가 기판을 지지하고 있고, 핫 플레이트가 지지부에 지지될 기판의 상부에 위치하여 기판에 열을 공급하도록 구성되어 있다. 여기서, 지지부는 스테이지 및 스테이지에 설치되어 기판을 직접 지지하는 푸셔 핀을 포함할 수 있고, 푸셔 핀은 그 높이가 조절되는 것이 바람직하다.

기판 가열, 지지부, 핫 플레이트

Description

액정 표시 장치 제조용 기판 가열 장치{SUBSTRATE HEATING APPARATUS FOR FABRICATING LIQUID CRYSTAL DISPLAY}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치 제조용 기판 가열 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.

본 발명은 액정 표시 장치 제조용 기판 가열 장치에 관한 것이다.

현재 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나인 액정 표시 장치는 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 구성되어 있고, 이들 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 액정층에 투과되는 빛의 양을 조절하는 방식으로 화상을 표시한다.

통상의 박막 트랜지스터 액정 표시 장치는 게이트선 및 데이터선과 같은 다수의 배선, 화소 전극 및 화소 전극에 전달되는 화상 신호를 제거하는 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판과 박막 트랜지스터 기판의 화소 전극과 마주하는 공통 전극 및 적(R), 녹(G), 청(B)의 컬러 필터가 형성되는 있는 컬러 필터 기판으로 구성되어 있다.

이러한 액정 표시 장치를 제작하는 과정에서, 기판에 박막 패턴을 형성하기 위하여 사진 식각 공정이 필요하다. 사진 식각 공정은 박막 패턴용 피식각층 위에 감광막을 도포하고 선택적으로 노광하는 노광 작업, 노광된 감광막을 현상하여 감광막 패턴을 형성하는 현상 작업, 노광 및 현상을 통하여 마련된 감광막 패턴을 베이크하는 베이크(bake) 작업, 베이크 작업을 통하여 마련된 감광막 패턴을 마스크로하여 피식각층을 선택적으로 식각하여 박막 패턴을 형성하는 식각 작업, 박막 패턴 위에 있는 감광막 패턴을 벗겨내어 박막 패턴을 드러내는 스트립(strip) 작업으로 진행된다. 여기서, 피식각층 위에 감광막을 도포한 후, 여분의 물질을 제거하기 위하여 소프트 베이크 작업을 실시할 수 있다.

이러한 사진 식각 공정에서, 베이크 작업시에, 기판에 열을 공급하기 위하여 핫 플레이트(hot plate)가 사용된다. 통상적인 경우, 핫 플레이트가 기판의 하부에 위치하여 기판을 지지하면서 기판에 열을 공급한다.

핫 플레이트는 평면 플레이트에 푸셔 핀(pusher pin), 진공홀, 프록시미티 핀(proximity pin)등이 형성되어 있는데, 이들 모두가 기판을 지지하면서 열을 공급하기 때문에 기판 전면에 열을 고르게 공급할 수 없는 문제가 발생한다. 이는 푸셔 핀, 진공홀, 프록시미티 핀이 접촉되는 부분이 그렇지 않은 부분에 비하여 열을 빠르게 전달하기 때문이다. 이러한 열 공급의 불균일 때문에 기판 전면에 도포된 감광막은 소포트 베이크 후에는 부분적으로 두께에 차이가 난다.

그러나, 이러한 불균일한 두께를 가지는 감광막을 사용하여 감광막 패턴을 형성하고, 또 그런 감광막 패턴을 사용하여 기판의 박막 패턴을 형성하기 때문에, 최종 공정 후에 완성되는 박막 패턴은 오차 범위를 벗어나는 불량 패턴이 되어, 그 결과, 소자 불량을 유발한다.

본 발명은 기판에 균일하게 열을 공급하는 액정 표시 장치 제조용 기판 가열 장치를 제공하고자 한다.

이러한 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에서는 기판 상부에서 열을 공급하여 기판을 가열한다.

상세하게 본 발명에 따른 액정 표시 장치 제조용 기판 가열 장치는 기판의 제1 면을 지지하는 지지부와 제1 면과 마주하는 기판의 제2 면에 인접하게 위치하여 기판에 열을 공급하는 핫 플레이트를 포함한다.

여기서, 지지부는 스테이지 및 스테이지에 설치되어 기판을 직접 지지하는 푸셔 핀을 포함할 수 있고, 푸셔 핀은 그 높이가 조절되는 것이 바람직하다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치 제조용 기판 가열 장치를 개략적으로 나타낸 것이다.

도면에 보인 본 발명에 따른 기판 가열 장치는 기판(100)의 하면을 지지하는 지지부(10)와 하면과 마주하는 기판의 상면에 인접하게 위치하여 기판(100)에 열을 공급하는 핫 플레이트(20)를 포함한다.

지지부(10)는 기판 예를 들어, 감광막이 전면에 도포된 액정 표시 장치용 기 판(100)을 기판(100) 하부에서 지지하고 있다. 지지부(10)는 스테이지(11)와 스테이지(11)에 설치되어 기판(100)을 직접 지지하는 푸셔 핀(12)을 포함하고 있다. 이러한 지지부(10)의 상부에 기판(100)이 위치하고 있으며, 이 기판(100)은 푸셔핀(12)에 접촉되어 지지되어 있다.

그리고, 기판(100)의 상부에는 소정 간격을 두고 핫 플레이트(20)가 위치하고 있어서, 기판(100)에 열을 공급하고 있다. 핫 플레이트(20)는 기판(100)의 상면과 평행하게 위치하고, 그 표면이 전체에 걸쳐 동일한 높이를 가지고 있어서 기판(100)에 고르게 열을 공급할 수 있다. 그리고, 이러한 핫 플레이트(20)을 암(arm)부(25)가 지지하고 있다.

이 때, 푸셔핀(12)의 높이를 조절함으로써, 핫 플레이트(20)와 기판(100)의 간격을 조절할 수 있다. 이와 같이, 핫 플레이트(10)와 기판(100)과의 간격이 조절됨에 따라 핫 플레이트(20)가 기판(100)에 가하는 열량을 조절할 수 있어서, 기판(100)의 가열 온도를 조절할 수 있다는 특징이 있다.

이상과 같이 본 발명에서는, 핫 플레이트(20)가 액정 표시 장치용 기판(100)의 상부에 기판(100)과 평행하게 위치하여 기판(100)에 열을 고르게 공급하는 방식으로 기판(100)을 가열한다.

본 발명에 따른 액정 표시 장치 제조용 기판 가열 장치는 기판 상부에 기판 상면과 평행하게 핫 플레이트를 위치시켜 기판 전면에 열을 고르게 공급하기 때문에 기판 전면을 균일하게 가열할 수 있다.

Claims (3)

1. 스테이지,

   상기 스테이지 위에 형성되어 있으며 상하로 움직여 높이 조절이 가능한 푸셔핀,

   상기 푸셔핀 위에 탑재된 기판, 및

   상기 기판 상부 표면에 인접하게 위치하여 기판에 열을 공급하는 핫 플레이트

   를 포함하는 액정 표시 장치 제조용 기판 가열 장치.
2. 제1항에서,

   상기 핫 플레이트를 지지하는 암(arm)부를 더 포함하는 액정 표시 제조용 기판 가열 장치.
3. 삭제

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