KR100725748B1

KR100725748B1 - 유리기판의 에지 검사용 테이블

Info

Publication number: KR100725748B1
Application number: KR1020050053083A
Authority: KR
Inventors: 김성화
Original assignee: (주)미래컴퍼니
Priority date: 2005-06-20
Filing date: 2005-06-20
Publication date: 2007-06-08
Also published as: KR20060133300A

Abstract

유리기판의 에지 검사용 테이블이 개시된다. 유리기판의 에지 검사를 위하여 상기 유리기판이 위에 놓여지는 테이블에 있어서, 유리기판의 중앙부가 놓여지는 주 받침부와, 주 받침부의 주변에 위치하며, 유리기판의 가장자리 부분이 놓여지는 보조 받침부를 포함하되, 보조 받침부는 빛을 투과시키는 재질을 포함하는 유리기판의 에지 검사용 테이블은, 다양한 크기의 MMG(multi model glass)에 대응하여 테이블의 교체 없이 유리기판의 에지를 검사할 수 있어 생산효율이 향상된다.

유리기판, 에지검사, 투명 테이블

Description

유리기판의 에지 검사용 테이블{Table for inspecting the edge of glass panel}

도 1은 종래기술에 따른 유리기판의 에지 검사용 테이블을 나타낸 단면도.

도 2는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사용 테이블을 나타낸 단면도.

도 3은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사용 테이블을 나타낸 사시도.

도 4은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사용 테이블을 나타낸 단면도.

도 5는 본 발명의 바람직한 제3 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사용 테이블을 나타낸 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 유리기판 2 : 테이블

10 : 주 받침부 20 : 보조 받침부

30 : 광원 40 : 카메라

본 발명은 테이블에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유리기판의 에지 검사용 테이블에 관한 것이다.

일반적으로 액정 표시 장치(LCD, Liquid crystal display)는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상 정보에 따른 데이터 신호를 개별적으로 공급하여 그 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다.

상기 액정 표시 장치는 대면적의 모기판에 박막 트랜지스터 어레이 기판(TFT, Thin Film Transistor)들을 형성하고 별도의 모 기판에 컬러 필터 기판(CF, Color Filter)들을 형성한 다음 두개의 모 기판을 합착함으로써 액정 패널들을 동시에 형성하여 수율 향상을 도모하고 있으므로 단위 유리기판으로 절단하는 공정이 요구된다.

통상 단위 유리기판의 절단은 유리에 비해 경도가 높은 휠로 모기판의 표면에 절단 예정홈을 형성하고 그 절단 예정홈을 따라 크랙이 전파되도록 하는 공정을 통해 실시된다.

상기와 같이 단위 유리기판이 분리되면, 절단 공정을 통해 잘려진 에지(edge)면에 버(burr), 깨짐(broken), 칩(chip), 크랙(crack) 및 회로 패턴 손상 등의 결함이 발생될 수 있다. 이러한 결함이 발생하게 되면 후속공정인 액정 패널의 제조 공정에 심각한 불량을 야기시킬 수 있기 때문에 유리기판을 분리하기 위한 절단 공정 후 유리기판의 에지면을 검사하게 된다.

도 1은 종래기술에 따른 유리기판의 에지 검사용 테이블을 나타낸 단면도이다. 유리기판의 에지면을 카메라로 검사하기 위해 종래에는 유리기판(1)의 크기에 따라 테이블(3)을 교체하여 검사하였다. 즉, 유리기판(1) 에지 부분이 테이블(3)의 외측으로 돌출될 수 있는 크기의 테이블(3) 위에 유리기판(1)을 올려놓고, 광원(30)으로부터 에지 부분에 조사된 빛을 카메라(40)에서 수광하여 에지의 결함 유무 등을 검사하는 것이다.

그러나 이와 같은 교체방법으로는 MMG(multi model glass)에 대응하기 어렵고, 테이블의 평탄도가 저하되거나 및 유리기판에 처짐이 발생하여 검사 오류가 다량 발생하며, 교체작업에 소요되는 시간으로 인해 생산량 저하를 초래하고 있다. 더욱이 대형 기판의 검사를 위한 대형 테이블의 경우에는 취급이 용이하지 않아 작업효율이 현저하게 저하되는 실정이다.

본 발명은 다양한 크기의 MMG에 대응할 수 있고, 검사 오류를 절감하며, 테이블 교체시간을 단축하여 생산효율을 향상시킬 수 있는 유리기판의 에지 검사용 테이블을 제공하는 것이다.

본 발명의 일측면에 따르면, 유리기판의 에지 검사를 위하여 상기 유리기판이 위에 놓여지는 테이블에 있어서, 유리기판의 중앙부가 놓여지는 주 받침부와, 주 받침부의 주변에 위치하며, 유리기판의 가장자리 부분이 놓여지는 보조 받침부를 포함하되, 보조 받침부는 빛을 투과시키는 재질을 포함하는 유리기판의 에지 검 사용 테이블이 제공된다.

주 받침부도 빛을 투과시키는 재질을 포함할 수 있다. 빛을 투과시키는 재질은 유리 또는 투명한 합성수지인 것이 바람직하다. 주 받침부와 보조 받침부는 일체로 형성될 수 있다.

주 받침부와 보조 받침부는 별도로 형성되며, 주 받침부의 상면과 보조 받침부의 상면은 실질적으로 동일 평면 내에 존재하는 것이 바람직하다. 보조 받침부는 주 받침부의 양측에 배치되는 것이 바람직하다.

주 받침부의 크기는 유리기판보다 작고, 테이블의 크기는 유리기판보다 큰 것이 바람직하다. 주 받침부 또는 보조 받침부의 상면에는 공기를 흡입하여 유리기판을 고정시키는 하나 이상의 흡착부가 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 본체와, 본체에 결합되는 회전축과, 회전축을 중심으로 회전 가능하게 결합되며, 유리기판이 놓여지는 테이블을 포함하되, 테이블은 유리기판의 중앙부가 놓여지는 주 받침부와, 주 받침부의 주변에 위치하며 유리기판의 가장자리 부분이 놓여지는 보조 받침부를 포함하고, 보조 받침부는 투명한 재질로 이루어지는 유리기판의 에지 검사장치가 제공된다.

이하, 본 발명에 따른 유리기판의 에지 검사용 테이블의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

본 발명은 유리기판의 절단 공정 후 발생하는 버인(Burr in), 버아웃(Burr out), 깨짐(Broken), 칩핑(Chipping) 등과 같은 결합을 카메라를 사용하여 미세 검사함과 아울러 유리기판의 외곽치수와 기준면으로부터 에지면까지의 치수 등을 검사하는 유리기판용 에지 검사장치에 있어서, 유리기판이 올려지는 테이블의 전부 또는 일부를 투명한 재질로 함으로써 테이블을 교체하지 않고도 다양한 크기의 유리기판을 검사할 수 있도록 한 것이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사용 테이블을 나타낸 단면도이다. 도 2를 참조하면, 유리기판(1), 에지(11), 테이블(2), 주 받침부(10), 보조 받침부(20), 광원(30), 카메라(40)가 도시되어 있다.

유리기판(1)의 에지(11) 검사는 광원(30)으로부터 에지(11) 부분에 빛을 조사하고, 이를 카메라(40)에서 촬영함으로써 이루어진다. 이와 같이 유리기판의 에지를 촬영하기 위해 종래에는 유리기판의 에지가 테이블의 외측으로 돌출되도록 유리기판을 테이블 위에 거치시켰으며, 따라서 유리기판의 크기에 따라 테이블을 교체해야 했다.

본 발명은 이와 같이 테이블을 교체하지 않고도 다양한 크기의 유리기판의 에지를 검사할 수 있도록 하기 위해 유리기판의 에지 부분에 대응하는 테이블의 부분을 투명한 재질로 함으로써 광원으로부터 방사된 빛이 테이블을 투과하여 에지 부분에 조사될 수 있도록 한 것이다.

즉, 본 발명 유리기판의 에지 검사용 테이블은 유리기판(1)의 중앙부가 놓여지는 주 받침부(10)와 유리기판(1)의 가장자리 부분이 놓여지는 보조 받침부(20)를 포함하며, 보조 받침부(20)는 빛을 투과시킬 수 있는 투명한 재질로 이루어진다.

빛을 투과시킬 수 있는 재질은 불투명 재질에 다수의 홀 또는 슬릿을 천공하거나 망사 또는 격자 형상으로 된 재질을 사용할 수 있으나, 보다 바람직하게는 유리 또는 투명 아크릴과 같은 합성수지 계열의 재질을 사용하는 것이 좋다.

다만, 본 발명에 따른 보조 받침부(20)는 검사 대상이 되는 유리기판(1)을 올려놓을 수 있고, 광원(30)에서 방사된 빛이 투과되어 에지(11)에 조사되어야 하므로, 그에 따라 요구되는 구조성능 및 광투과성을 구비해야 함은 당업자에게 자명하다.

보조 받침부(20)를 투명한 재질로 형성하고, 주 받침부(10)는 그와 다른 재질로 형성할 경우, 주 받침부(10)와 보조 받침부(20)의 결합부위는 검사대상이 되는 유리기판(1)을 안정적으로 올려놓고 검사할 수 있도록, 구조성능 및 검사면의 평활도가 확보되어야 한다.

한편, 주 받침부(10)도 빛을 투과시키는 재질로 구성할 수 있다. 이 경우, 주 받침부(10)와 보조 받침부(20)를 동일한 재질로 형성할 수 있으며, 그에 따라 후술하는 것과 같이 주 받침부와 보조 받침부를 일체로 형성할 수도 있다.

도 2에서와 같이 본 발명에 따라 유리기판(1)의 에지(11)를 검사하기 위해서는 유리기판(1)의 에지(11) 부분이 테이블(2)의 외측으로 돌출되지 않아도 된다. 즉, 테이블(2)의 크기가 유리기판(1)의 크기보다 크더라도 에지 검사가 가능하다. 이는 유리기판(1)의 에지(11)가 위치하게 되는 테이블(2)의 보조 받침부(20)가 투명한 재질로 되어 있기 때문이다.

따라서, 테이블(2)의 교체없이 다양한 크기의 유리기판(1)을 올려놓고 검사하기 위해서는 테이블(2)의 크기가 충분히 커야하며, 유리기판(1)의 에지(11)가 위치하는 부분은 투명한 재질로 되어 있어야 한다.

이를 위해 본 발명에 따른 테이블(2)의 주 받침부(10)의 크기는 유리기판(1)의 크기보다 작고, 보조 받침부(20)를 포함한 전체 테이블(2)의 크기는 유리기판(1)의 크기보다 크거나 같은 것이 바람직하다. 검사대상이 되는 유리기판(1) 중 가장 작은 유리기판보다 주 받침부(10)의 크기가 작고, 가장 큰 유리기판보다 보조 받침부(20)를 포함한 테이블(2)의 크기가 클 경우 하나의 테이블을 사용하여 검사대상이 되는 모든 크기의 유리기판을 검사할 수 있다.

한편, 전술한 바와 같이 주 받침부(10)도 투명한 재질로 형성하게 되면, 검사대상이 되는 유리기판(1) 중 가장 크기가 큰 경우에 대해서만 고려하면 된다. 본 발명이 유리기판(1)의 에지 검사를 위해 반드시 테이블(2)의 크기가 유리기판(1)보다 큰 것에 한정되는 것은 아니므로, 가장 크기가 큰 유리기판의 에지를 검사할 수 있는 범위 내에서, 그보다 약간 작게 하여 유리기판(1)의 에지(11) 부분이 돌출되도록 테이블(2)의 크기를 결정하는 것이 효율적이다.

또는, 검사대상이 되는 유리기판을 크기에 따라 대, 중, 소 등과 같이 그룹핑하고, 각 그룹에 가장 효율적으로 사용될 수 있도록 테이블을 제작하는 것도 바람직하다.

한편, 본 발명에 따른 테이블(2)은 상면에 거치된 유리기판(1)의 에지 검사를 위해 유리기판(1)을 고정시키는 역할도 하므로, 유리기판(1)의 고정을 위한 수 단을 구비하는 것이 좋다. 이를 위해 테이블의 상면에 공기를 흡입하여 유리기판(1)을 고정시키는 하나 이상의 흡착부(미도시)를 형성하는 것이 바람직하다.

다만, 본 발명이 반드시 흡착부에 의한 유리기판의 고정에 한정되는 것은 아니며, 유리기판을 테이블에 올려놓고 에지에 빛을 조사하여 안정적으로 검사를 수행할 수 있는 범위 내에서 다른 종류의 고정수단이 사용될 수 있음은 물론이다.

본 실시예에서 보조 받침부(20)만을 유리나 투명아크릴과 같은 투명한 재질로 형성하여, 보조 받침부(20)에 흡착부와 같은 유리기판(1)의 고정수단을 형성하기 곤란할 경우에는, 주 받침부(10)에만 흡착부 등을 형성하고 보조 받침부(20)에는 고정수단을 형성하지 않거나, 다른 종류의 고정수단을 형성하는 것이 좋다.

도 3은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사용 테이블을 나타낸 사시도이다. 도 3을 참조하면, 유리기판(1), 에지(11), 테이블(2), 주 받침부(10), 보조 받침부(20), 테두리부(22), 지지다리(24a, 24b, 24c, 24d), 광원(30)이 도시되어 있다.

본 발명에 따른 에지 검사용 테이블은 유리기판(1)의 가장자리가 놓여지는 부분을 보조 받침부(2)로 하고 이를 투명한 재질로 함으로써, 테이블(2)보다 작은 크기의 유리기판(1)의 에지(11)를 검사할 경우에도 테이블의 교체없이 다양한 크기의 유리기판을 검사할 수 있도록 한 것이다.

다만, 본 발명이 반드시 보조 받침부 전체를 투명한 재질로 형성하는 것으로 한정하는 것은 아니며, 유리기판의 에지검사를 위해 요구되는 범위 내에서 보조 받침부의 일부만 투명한 재질로 형성할 수 있음은 물론이다.

도 3은 보조받침부(20)의 테두리부(22)를 철재와 같은 불투명한 재질로 감싸고 테두리부(22)에 지지다리(24a, 24b, 24c, 24d)를 결합함으로써 테이블(2)의 단부에서의 처짐현상을 방지할 수 있도록 한 것이다. 투명한 유리나 아크릴과 같은 재질의 경우 크기가 커짐에 따라 단부에서의 처짐이 증가할 수 있으며, 이는 유리기판(1)의 에지검사에 있어서 검사오류를 야기할 수 있는 부분이다. 이를 방지하기 위해 도 3과 같이 테이블(2)의 테두리부(22)에 지지다리(24a, 24b, 24c, 24d)를 결합하였다.

지지다리와 테이블(2)의 결합방법은 테이블(2)을 지지한 상태에서 테두리부(22)와 지지다리(24a)를 결합하는 방법, 테이블(2)을 지지한 상태에서 테두리부(22)를 천공하여 지지다리(24b, 24d)를 결합하는 방법, 지지다리(24c)가 테두리부(22)의 일부가 되도록 결합하는 방법 등 당업자에게 자명한 범위 내에서 다양한 방법으로 결합할 수 있다.

이와 같이 지지다리와 테이블과의 다양한 결합방법에 따라 테이블(2)의 테두리부(22)를 보조 받침부(20)와 같은 투명한 재질로 형성하거나, 보조 받침부(20)와는 다른 재질로 형성할 수도 있다. 도 3의 경우 지지다리(24a, 24c)의 경우에는 테두리부(22)를 보조 받침부(20)와 다른 재질로 형성한 경우를 전제한 것이며, 지지다리(24b, 24d)의 경우에는 테두리부(22)를 보조 받침부(20)와 동일한 재질로 형성한 경우를 전제한 것이다.

다만, 본 발명이 지지다리와 테이블의 결합방법에 따라 테두리부의 재질을 한정하는 것은 아니며, 당업자에게 자명한 범위 내에서 도 3에 도시된 것과 다른 지지다리와 테이블의 결합방법 및 테두리부의 재질을 포함함은 물론이다.

도 3은 지지다리(24a, 24b, 24c, 24d)와 테이블(2)의 결합방법을 다양하게 도시하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 것이며, 제작의 용이성을 고려하면 지지다리와 테이블의 결합방법을 한 가지 방법으로 하는 것이 바람직하다.

본 발명은 하나의 검사용 테이블(2)로 다양한 크기의 유리기판(1)의 에지(11)를 검사할 수 있도록 한 것이므로, 도 3과 같이 에지검사를 위한 광원(30)이 이동할 수 있도록 충분한 크기의 테이블(2)을 형성하고 보조 받침부(20)에 유리기판(1)의 에지(11) 부분이 위치하도록 거치시킴으로써 다양한 크기의 유리기판(1)의 에지(11)를 검사할 수 있다.

도 4은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사용 테이블을 나타낸 단면도이다. 도 4을 참조하면, 유리기판(1), 에지(11), 테이블(2), 회전축(5), 본체(6), 주 받침부(10a), 보조 받침부(20), 광원(30), 카메라(40)가 도시되어 있다.

본 실시예에서는 전술한 바와 같이 주 받침부(10a)와 보조 받침부(20)를 일체로 형성하였다. 즉, 주 받침부(10a)도 보조 받침부(20)와 동일하게 투명한 재질로 하여 테이블(2) 전체를 일체로 형성하는 것이다.

주 받침부(10a)와 보조 받침부(20)를 일체로 형성하게 되면 유리기판(1)을 올려놓기 위해 요구되는 결합부위의 구조성능이 개선될 수 있다. 또한, 테이블(2)의 크기를 결정하기 위해 검사대상이 되는 가장 큰 유리기판의 크기만을 고려하면 된다는 장점이 있다.

도 5는 본 발명의 바람직한 제3 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사용 테이블을 나타낸 단면도이다. 도 5를 참조하면, 유리기판(1), 에지(11), 테이블(2), 회전축(5), 본체(6), 주 받침부(10), 보조 받침부(20a), 광원(30), 카메라(40)가 도시되어 있다.

본 실시예에서는 주 받침부(10)와 보조 받침부(20a)가 별도로 형성되며, 보조 받침부(20a)가 주 받침부(10)에 대해 이동 가능하도록 결합되어 있다. 본 발명은 하나의 테이블(2)로서 다양한 크기의 유리기판(1)을 위에 올려놓고 에지를 검사하기 위한 것이므로, 제1, 제2 실시예에서는 테이블을 충분히 크게 제작하고 그 재질을 투명하게 한 경우를 설명하였으나, 본 실시예는 테이블의 크기를 유리기판의 크기에 대응하여 변경할 수 있도록 한 것이다.

도 5에서는 보조 받침부(20a)가 주 받침부(10)에 대해 슬라이드 이동이 가능하도록 결합되어 있으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 당업자에게 자명한 범위 내에서 보조 받침부(20a)가 이동 가능하도록 하는 구성이 포함됨은 물론이다. 보조 받침부의 이동을 위한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

보조 받침부(20a)가 주 받침부(10)에 대해 이동 가능하도록 결합될 경우 주 받침부(10)의 상면과 보조 받침부(20a)의 상면은 동일한 평면을 형성하는 것이 좋다. 이는 주 받침부(10)와 보조 받침부(20a)가 결합하여 형성하는 테이블(2) 위에 검사 대상이 되는 유리기판(1)을 안정적으로 올려놓기 위함이다.

따라서, 주 받침부(10)의 상면과 보조 받침부(20a)의 상면이 반드시 수학적 의미에서 동일한 평면을 형성해야 하는 것은 아니며, 유리기판(1)을 안정적으로 올 려놓고 에지(11)를 검사할 수 있는 범위 내에서 실질적으로 동일한 평면을 형성하면 된다.

검사 대상이 되는 유리기판(1)의 크기가 변화하는 것은 결국 유리기판(1)의 가로길이와 세로길이가 변화하는 것이므로, 이에 대응하여 테이블(2)의 크기가 변화하도록 구성할 경우 보조 받침부(20a)는 주 받침부(10)의 양측에 위치하도록 배치하는 것이 좋다. 한 쌍의 보조 받침부(20a)가 주 받침부(10)의 좌, 우방향의 측면에 위치할 경우 유리기판(1)의 가로길이가 변화함에 대응하여 테이블(2)의 가로길이 변경될 수 있으며, 한 쌍의 보조 받침부가 주 받침부의 상, 하방향의 측면에 위치할 경우 유리기판의 세로길이가 변화함에 대응하여 테이블의 세로길이도 변경될 수 있다. 나아가, 유리기판의 상, 하, 좌, 우의 4 방향의 측면에 보조 받침부가 위치하도록 할 수 있음은 물론이다.

한편, 유리기판 에지 검사용 테이블이 회전축(5)이 구비된 본체(6)에 회전가능하게 결합될 경우에는 일방향의 양 측면에 한 쌍의 보조 테이블(20a)을 구비하는 것만으로 4 방향의 에지를 모두 검사할 수 있다.

즉, 본 발명에 따른 유리기판의 에지 검사장치는 회전축(5)을 구비한 본체(6)와, 회전축(5)을 중심으로 회전 가능하도록 본체(2)에 결합되는 테이블(2)을 포함하여 구성된다. 상기 테이블(2)은 유리기판(1)의 가장자리 부분이 놓여지는 보조 받침부(20)를 포함하고, 보조 받침부(20)는 투명한 재질로 형성됨은 전술한 바와 같다.

본 발명의 기술 사상이 상술한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상 술한 실시예는 그 설명을 위한 것이지 그 제한을 위한 것이 아니며, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 유리기판 에지 검사용 테이블에 있어서 유리기판의 가장자리 부분이 위치하는 부분을 투명한 재질로 형성함으로써, 다양한 크기의 MMG(multi model glass)에 대응하여 테이블의 교체 없이 유리기판의 에지를 검사할 수 있어 생산효율이 향상된다. 또한, 유리기판의 에지 부분이 테이블의 외측으로 돌출되지 않아도 에지의 검사가 가능하므로, 유리기판을 테이블에 올려놓은 상태에서 에지 부분의 처짐이 발생하지 않아 검사오류를 줄일 수 있다.

Claims

유리기판의 에지 검사를 위하여 상기 유리기판이 위에 놓여지는 테이블에 있어서,

상기 유리기판의 중앙부가 놓여지는 주 받침부와;

상기 주 받침부의 주변에 위치하며, 상기 유리기판의 가장자리 부분이 놓여지는 보조 받침부를 포함하되,

상기 보조 받침부는 빛을 투과시키는 재질을 포함하되,

상기 주 받침부의 상면에는 공기를 흡입하여 상기 유리기판을 고정시키는 흡착부가 형성되는 유리기판의 에지 검사용 테이블.
제1항에 있어서,

상기 주 받침부는 빛을 투과시키는 재질을 포함하는 유리기판의 에지 검사용 테이블.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 빛을 투과시키는 재질은 유리 또는 투명한 합성수지인 유리기판의 에지 검사용 테이블.
제1항에 있어서,

상기 주 받침부와 상기 보조 받침부는 일체로 형성되는 유리기판의 에지 검사용 테이블.
제1항에 있어서,

상기 주 받침부와 상기 보조 받침부는 별도로 형성되며, 상기 주 받침부의 상면과 상기 보조 받침부의 상면은 실질적으로 동일 평면 내에 존재하는 유리기판의 에지 검사용 테이블.
제5항에 있어서,

상기 보조 받침부는 상기 주 받침부의 양측에 배치되는 유리기판의 에지 검사용 테이블.
제1항에 있어서,

상기 주 받침부의 크기는 상기 유리기판보다 작고, 상기 테이블의 크기는 상기 유리기판보다 큰 유리기판의 에지 검사용 테이블.
제1항에 있어서,

상기 보조 받침부의 상면에는 공기를 흡입하여 상기 유리기판을 고정시키는 흡착부가 형성되는 유리기판의 에지 검사용 테이블.
본체와;

상기 본체에 결합되는 회전축과;

상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 결합되며, 유리기판이 놓여지는 테이블을 포함하되,

상기 테이블은 상기 유리기판의 중앙부가 놓여지는 주 받침부와, 상기 주 받침부의 주변에 위치하며 상기 유리기판의 가장자리 부분이 놓여지는 보조 받침부를 포함하고, 상기 보조 받침부는 투명한 재질로 이루어지는 유리기판의 에지 검사장치.