KR100723011B1 - Method for manufacturing an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode - Google Patents

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Abstract

본 발명은 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 유리 기판 위에 투명 전극을 형성하고, 투명 전극이 있는 기판 전면에 층간 절연막을 형성하고 유기 전기발광 디스플레이의 발광영역과 보조 전극이 형성될 예정의 투명 전극이 드러나도록 층간 절연막을 식각해서 개구부를 형성하고, 층간 절연막 상부에 발광영역과 보조 전극을 분리하기 위한 격벽막을 형성하고, 발광영역의 개구부에 해당하는 투명 전극 상부에 유기 발광막을 형성한 후에, 유기 발광막 상부에 대항 전극과 보조 전극의 개구부에 해당하는 투명 전극 상부에 보조 전극을 동시에 형성한다. 그러므로, 본 발명은 유기 전기발광 소자의 제조 공정중에 대항전극을 형성할 때 보조 전극도 함께 형성할 수 있어 별도의 보조 전극 제조 공정을 생략할 수 있어 전체 제조 공정을 단순화할 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode, and more particularly, to form a transparent electrode on a glass substrate, to form an interlayer insulating film on the entire surface of the substrate having the transparent electrode, and to emit light and an auxiliary electrode of the organic electroluminescent display The interlayer insulating film is etched to expose the transparent electrode to be formed, an opening is formed, a partition film is formed on the interlayer insulating film to separate the light emitting region and the auxiliary electrode, and an organic layer is formed on the transparent electrode corresponding to the opening of the light emitting region. After the light emitting film is formed, the auxiliary electrode is simultaneously formed on the transparent electrode corresponding to the opening of the counter electrode and the auxiliary electrode on the organic light emitting film. Therefore, the present invention can be formed together with the auxiliary electrode when forming the counter electrode during the manufacturing process of the organic electroluminescent device can omit a separate auxiliary electrode manufacturing process can simplify the entire manufacturing process.

Description

보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 제조 방법{METHOD FOR MANUFACTURING AN ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DISPLAY HAVING AN AUXILIARY ELECTRODE}The manufacturing method of the organic electroluminescent display which has an auxiliary electrode {METHOD FOR MANUFACTURING AN ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DISPLAY HAVING AN AUXILIARY ELECTRODE}

도 1은 종래 기술에 의한 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 레이아웃도,1 is a layout diagram of an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode according to the prior art,

도 2는 도 1의 A-A'선에 의한 디스플레이의 수직 단면도,FIG. 2 is a vertical sectional view of the display by the line AA ′ of FIG. 1;

도 3a 내지 도 3f는 종래 기술의 일 실시예에 의해 유기 전기발광 디스플레이의 보조 전극을 제조하는 공정을 순차적으로 나타낸 수직 단면도들,3A to 3F are vertical cross-sectional views sequentially illustrating a process of manufacturing an auxiliary electrode of an organic electroluminescent display according to one embodiment of the prior art;

도 4a 내지 도 4f는 종래 기술의 다른 실시예에 의해 유기 전기발광 디스플레이의 보조 전극을 제조하는 공정을 순차적으로 나타낸 디스플레이의 수직 단면도들,4A to 4F are vertical cross-sectional views of a display sequentially showing a process of manufacturing an auxiliary electrode of an organic electroluminescent display by another embodiment of the prior art,

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 레이아웃도,5 is a layout view of an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode according to an embodiment of the present invention;

도 6a 및 도 6b는 도 5의 B-B'선과 C-C'선에 의한 수직 단면도들,6A and 6B are vertical cross-sectional views taken along lines B-B 'and C-C' of FIG. 5;

도 7은 본 발명에 따른 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 투명 전극의 저항값을 계산하기 위한 도면,7 is a view for calculating the resistance value of the transparent electrode of the organic electroluminescent display having an auxiliary electrode according to the present invention,

도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전기발광 디스플레이 의 보조 전극을 제조하는 공정을 순차적으로 나타낸 수직 단면도들,8A to 8D are vertical cross-sectional views sequentially illustrating a process of manufacturing an auxiliary electrode of an organic electroluminescent display according to an embodiment of the present invention;

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 레이아웃도,9 is a layout view of an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode according to another embodiment of the present invention;

도 10a 및 도 10b는 도 9의 D-D'선과 E-E'선에 의한 디스플레이의 수직 단면도들.10A and 10B are vertical cross sectional views of the display by lines D-D 'and E-E' of FIG. 9;

＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞<Description of the code | symbol about the principal part of drawing>

10, 100 : 유리 기판 12, 102 : 투명 전극10, 100: glass substrate 12, 102: transparent electrode

14, 112 : 보조 전극 16, 104 : 층간 절연막14, 112: auxiliary electrode 16, 104: interlayer insulating film

18, 106 : 격벽막 20, 20a, 108, 108a : 유기 발광막18, 106: partition film 20, 20a, 108, 108a: organic light emitting film

22, 22a, 110, 110a : 대항 전극 107a : 발광영역의 개구부22, 22a, 110, 110a: counter electrode 107a: opening of light emitting area

107b : 보조 전극의 개구부 a : 발광영역107b: opening of auxiliary electrode a: emitting region

b : 보조 전극 영역 b: auxiliary electrode region

본 발명은 유기 전기발광 디스플레이(organic electroluminescent display)의 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 투명 전극의 높은 저항으로 인해 디스플레이의 구동시 전압 강하가 일어나서 휘도가 저하되는 것을 방지하고자 투명 전극에 보조 전극을 추가한 기술에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an organic electroluminescent display. In particular, an auxiliary electrode is added to a transparent electrode in order to prevent a decrease in luminance due to a voltage drop when driving the display due to the high resistance of the transparent electrode. It's about technology.

현재 전자수첩, 노트북 컴퓨터, 모니터 등에 널리 사용되고 있는 평판 디스 플레이(Flat Panel Display) 소자로서 많은 디스플레이용 소자가 제안되고 있는데, 그 중에서 가장 각광을 받고 있는 것은 LCD(Liquid Crystal Display) 방식의 소자이다. 그러나, LCD는 제조 방법이 복잡하고 양산용 장비가 고가라는 단점을 갖고 있다.Currently, many display devices have been proposed as flat panel display devices widely used in electronic notebooks, notebook computers, monitors, etc. Among them, liquid crystal display (LCD) type devices are attracting the most attention. However, LCDs have disadvantages of complicated manufacturing methods and expensive production equipment.

최근에는 이러한 LCD 문제점을 해소한 소자로서 유기 전기발광소자가 부상하고 있다. 유기 전기발광소자는 전압을 가하면 스스로 발광하는 유기 발광물질 특성을 이용해서 원하는 문자와 영상 등을 표시하는 디스플레이이다. 더욱이 5인치 이하의 소형 제품시장에 그 수요가 집중되기 시작하면서 각광받고 있는 유기 전기발광소자는 LCD에 비해 빠른 응답속도와 컬러필터 없이도 자체 발광하므로 휘도가 우수한 특성을 갖는다. 그리고, 별도의 광원이 필요없기 때문에 전력소모가 낮아 휴대형 디스플레이장치로 적합하다.In recent years, organic electroluminescent devices have emerged as devices that solve such LCD problems. An organic electroluminescent device is a display that displays desired characters, images, and the like using characteristics of an organic light emitting material that emits self by applying a voltage. In addition, organic electroluminescent devices, which are in the spotlight as the demand is concentrated in the small product market of less than 5 inches, have excellent luminance because they emit light without the response speed and the color filter. In addition, since a separate light source is not required, power consumption is low, making it suitable as a portable display device.

이러한 유기 전기발광소자의 기본 구조는 유리 기판 상부에 한 쌍의 투명 전극(Indium-Tin-Oxide)과 대항 전극(cathode)을 적층하고 그 전극들 사이에 유기 발광막(organic layer)이 삽입된 구조로 이루어진다. 여기서, 유기 발광막은 전자(electron)와 정공(hole)을 운반하고 빛이 발광하도록 정공 주입막, 정공 수송막, 발광막, 전자 수송막 등을 적층한 구조로 제조할 수 있다. 투명 전극과 대항 전극에 소정의 전압을 인가하면, 유기 발광막에 정공(hole) 및 전자(electron)를 주입하고 재결합시킴으로써 여기자(exciton)를 생성시키고, 이 여기자가 불활성화(deactivation)될 때 특정 파장의 빛이 방출(형광·인광)된다.The basic structure of the organic electroluminescent device is a structure in which a pair of transparent electrodes (Indium-Tin-Oxide) and a counter electrode are stacked on a glass substrate, and an organic light emitting layer is inserted between the electrodes. Is made of. Here, the organic light emitting film may be manufactured in a structure in which a hole injection film, a hole transporting film, a light emitting film, an electron transporting film and the like are stacked so as to transport electrons and holes and emit light. When a predetermined voltage is applied to the transparent electrode and the counter electrode, excitons are generated by injecting and recombining holes and electrons into the organic light emitting film, and when the excitons are deactivated, Light of wavelength is emitted (fluorescence, phosphorescence).

그런데, 유기 전기발광 디스플레이에 있어서, 투명 전극으로 사용되는 ITO(Indium-Tin-Oxide)는 저항이 커서 디스플레이 구동시에 전압 강하가 일어나서 충분한 전류가 흐르지 못하게 되고 이로 인해 휘도가 불균일하게 된다. 이를 해소하기 위하여 투명 전극의 저항을 낮추기 위한 보조 전극을 추가하고 있다. However, in an organic electroluminescent display, indium tin oxide (ITO), which is used as a transparent electrode, has a large resistance so that a voltage drop occurs when driving a display, so that sufficient current does not flow, resulting in uneven luminance. In order to solve this problem, an auxiliary electrode for lowering the resistance of the transparent electrode is added.

도 1은 종래 기술에 의한 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 레이아웃도이다. 도 1을 참조하면 종래의 유기 전기발광 디스플레이의 레이아웃은 다음과 같다. 이때, 디스플레이는 빛이 발광되는 픽셀이 매트릭스 구조로 이루어져 있다.1 is a layout diagram of an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode according to the prior art. Referring to FIG. 1, the layout of a conventional organic electroluminescent display is as follows. In this case, the display has a matrix structure in which light is emitted.

투명 전극(12)과 격벽막(18)이 서로 교차되어 있고 교차된 픽셀 부분에 빛이 발광되는 발광영역(a)이 있으며 발광영역(a)을 제외한 격벽막(18) 사이를 층간 절연막(16)이 채우고 있다. 그리고, 투명 전극(12) 상부의 발광영역(a)에는 유기 발광막(20)과 대항 전극(22)이 채워져 있다. 또한, 투명 전극(12)의 가장 자리에 평행하게 배치된 보조 전극(14)이 형성되어 있다.The transparent electrode 12 and the partition film 18 intersect with each other, and there is a light emitting area (a) in which light is emitted in the intersected pixel portion, and the interlayer insulating film 16 is interposed between the partition film 18 except for the light emitting area (a). ) Is filling. The organic light emitting film 20 and the counter electrode 22 are filled in the light emitting region a above the transparent electrode 12. Moreover, the auxiliary electrode 14 arrange | positioned in parallel with the edge of the transparent electrode 12 is formed.

도 2는 도 1의 A-A'선에 의한 디스플레이의 수직 단면도로서, 이를 참조하면 종래 기술의 유기 전기발광 디스플레이 수직 구조는 다음과 같다.FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of the display by the line AA ′ of FIG. 1. Referring to this, the vertical structure of the organic electroluminescent display of the prior art is as follows.

빛이 투과하는 유리 기판(10) 상부에 투명 전극(12)과 유기 발광막(20) 및 대항 전극(22)이 적층된 유기 전기발광소자가 형성되어 있다. 유리 기판(10) 상부에 투명 전극(12)의 가장 자리에 배치된 보조 전극(14)이 형성되어 있다. 그리고, 유기 전기발광소자를 층간 절연하는 층간 절연막(16)이 형성되어 있고 층간 절연막(16) 상부에 발광영역(a)을 분리하는 격벽막(18)이 형성되어 있다. 이때, 격벽막(18) 상부에도 유기 발광막(20a)과 대항 전극(22a)이 적층되어 있다. The organic electroluminescent device in which the transparent electrode 12, the organic light emitting film 20, and the counter electrode 22 are stacked is formed on the glass substrate 10 through which light is transmitted. An auxiliary electrode 14 disposed on the edge of the transparent electrode 12 is formed on the glass substrate 10. Then, an interlayer insulating film 16 for insulating the organic electroluminescent element is formed, and a partition film 18 for separating the light emitting region a is formed on the interlayer insulating film 16. At this time, the organic light emitting film 20a and the counter electrode 22a are stacked on the partition film 18.                         

한편, 유기 전기발광 디스플레이의 보조 전극을 형성하는 방법으로 일반적으로 2가지가 있다. 첫째 보조 전극용 도전체 증착, 포토레지스트 도포-노광-포토레지스트 현상- 도전체 식각-포토레지스트 제거 등과 같은 방법이 있으며 둘째 포토레지스트 도포-노광-포토레지스트 현상-보조 전극용 도전체 증착-포토레지스트 제거 등과 같은 리프트 오프(lift-off) 방법이 있다.On the other hand, there are generally two methods for forming the auxiliary electrode of the organic electroluminescent display. First, there is a method of depositing the auxiliary electrode, photoresist coating-exposure-photoresist development-conductor etching-photoresist removal, and so on. Second photoresist coating-exposure-photoresist development-conductor deposition for auxiliary electrode-photoresist There is a lift-off method such as removal.

도 3a 내지 도 3f는 종래 기술의 일 실시예에 의해 유기 전기발광 디스플레이의 보조 전극을 제조하는 공정을 순차적으로 나타낸 수직 단면도들이다. 이를 참조하여 상기와 같이 구성된 종래 기술의 유기 전기발광 디스플레이내 보조 전극은 다음과 같이 제조된다.3A to 3F are vertical cross-sectional views sequentially illustrating a process of manufacturing the auxiliary electrode of the organic electroluminescent display according to one embodiment of the prior art. The auxiliary electrode in the organic electroluminescent display of the prior art configured as described above with reference to this is manufactured as follows.

먼저 도 3a에 도시된 바와 같이, 유리 기판(10) 상부에 투명 전극(12)을 패터닝한다. 그리고 도 3b에 도시된 바와 같이, 투명 전극(12)이 형성된 기판 전면에 보조 전극(14)용 도전물질을 증착한다. 도 3c 및 도 3d에 도시된 바와 같이, 기판 전면에 포토레지스트(15)를 도포하고 이를 노광 및 현상 공정으로 패터닝한다. 그 다음 도 3e에 도시된 바와 같이 포토레지스트 패턴(15)에 맞추어 도전 물질을 식각해서 보조 전극(14)을 패터닝한다. 그리고나서 도 3f에 도시된 바와 같이, 포토레지스트 패턴(15)을 제거한다.First, as shown in FIG. 3A, the transparent electrode 12 is patterned on the glass substrate 10. 3B, a conductive material for the auxiliary electrode 14 is deposited on the entire surface of the substrate on which the transparent electrode 12 is formed. As shown in FIGS. 3C and 3D, the photoresist 15 is applied to the entire surface of the substrate and patterned by an exposure and development process. Next, as illustrated in FIG. 3E, the conductive material is etched to fit the photoresist pattern 15 to pattern the auxiliary electrode 14. Then, as shown in FIG. 3F, the photoresist pattern 15 is removed.

도 4a 내지 도 4f는 종래 기술의 다른 실시예에 의해 유기 전기발광 디스플레이의 보조 전극을 제조하는 공정을 순차적으로 나타낸 디스플레이의 수직 단면도들이다.4A to 4F are vertical cross-sectional views of a display sequentially showing a process of manufacturing an auxiliary electrode of an organic electroluminescent display according to another embodiment of the prior art.

도 4a에 도시된 바와 같이, 유리 기판(10) 상부에 투명 전극(12)을 패터닝한 다. 그리고 도 4b에 도시된 바와 같이, 투명 전극(12)이 형성된 기판 전면에 포토레지스트(13)를 도포한다. 그 다음 도 4c에 도시된 바와 같이, 보조 전극의 영역을 정의하는 마스크를 이용한 노광 공정을 진행한다. 그리고 도 4d에 도시된 바와 같이, 노광된 포토레지스트를 현상해서 포토레지스트 패턴(13)을 형성한다. 그 다음 도 4e에 도시된 바와 같이, 포토레지스트 패턴(13)이 있는 기판(10)에 보조 전극용 도전 물질(14)을 형성한다. 그리고나서 도 4f에 도시된 바와 같이, 포토레지스트 패턴(13) 상부의 도전 물질을 제거한 후에 포토레지스트 패턴(13)을 제거하여 투명 전극(12)의 가장 자리에 연결된 보조 전극(14)을 형성한다.As shown in FIG. 4A, the transparent electrode 12 is patterned on the glass substrate 10. As shown in FIG. 4B, the photoresist 13 is coated on the entire surface of the substrate on which the transparent electrode 12 is formed. Next, as shown in FIG. 4C, an exposure process using a mask defining an area of the auxiliary electrode is performed. As shown in FIG. 4D, the exposed photoresist is developed to form the photoresist pattern 13. Then, as shown in FIG. 4E, the conductive material 14 for the auxiliary electrode is formed on the substrate 10 having the photoresist pattern 13. Then, as shown in FIG. 4F, after removing the conductive material on the photoresist pattern 13, the photoresist pattern 13 is removed to form the auxiliary electrode 14 connected to the edge of the transparent electrode 12. .

종래 기술에 의한 유기 전기발광 디스플레이의 제조 방법은 상술한 실시예들의 공정과 같이, 투명 전극(12)을 패터닝하고 보조 전극(14)을 형성한 후에 유기 발광막(20a)과 대항 전극(22a)을 형성하고 있다. The organic electroluminescent display according to the related art is manufactured in the organic light emitting display 20a and the counter electrode 22a after the transparent electrode 12 is patterned and the auxiliary electrode 14 is formed, as in the processes of the aforementioned embodiments. To form.

그러나, 보조 전극을 채택한 유기 전기발광 디스플레이의 제조 공정은 별도의 보조 전극의 제조 공정을 추가하고 있기 때문에 전체 공정수가 증가하게 된다. 이러한 추가 공정은 생산 설비와 그 운영에 따른 제품의 단가 상승, 생산 싸이클의 증가, 제품 생산시 관리해야할 공정의 파라메타 증가 등 여러 가지 문제점이 야기하게 된다. However, since the manufacturing process of the organic electroluminescent display employing the auxiliary electrode adds a separate manufacturing process of the auxiliary electrode, the total number of processes increases. This additional process leads to various problems such as the increase in the cost of the product according to the production facility and its operation, the increase in the production cycle, and the increase in the parameters of the process to be managed during the production of the product.

본 발명의 목적은 층간 절연막에 발광영역의 개구부(open region)를 형성할 때 보조 전극의 개구부도 함께 형성하고 발광영역의 개구부에 대항 전극을 형성할 때 보조 전극도 함께 형성함으로써 전체 제조 공정을 단순화할 수 있는 보조 전극 을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 제조 방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to simplify the entire manufacturing process by forming an opening of an auxiliary electrode when forming an opening region of a light emitting region in an interlayer insulating film and also forming an auxiliary electrode when forming an electrode opposite to an opening of an emitting region. It is to provide a method of manufacturing an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode capable of.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 유리 기판위에 투명 전극/유기 발광막/대항 전극이 순차 적층되고 투명 전극과 연결되는 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 제조 방법에 있어서, 유리 기판 위에 투명 전극을 형성하는 단계와, 투명 전극이 있는 기판 전면에 층간 절연막을 형성하고 유기 전기발광 디스플레이의 발광영역과 보조 전극이 형성될 예정의 투명 전극이 드러나도록 층간 절연막을 식각해서 개구부를 형성하는 단계와, 층간 절연막 상부에 발광영역과 보조 전극을 분리하기 위한 격벽막을 형성하는 단계와, 발광영역의 개구부에 해당하는 투명 전극 상부에 유기 발광막을 형성하는 단계와, 유기 발광막 상부에 대항 전극과 보조 전극의 개구부에 해당하는 투명 전극 상부에 보조 전극을 동시에 형성하는 단계를 포함한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a method of manufacturing an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode in which a transparent electrode / organic light emitting film / counter electrode is sequentially stacked on a glass substrate and connected to a transparent electrode. Forming an interlayer insulating film on the entire surface of the substrate having the transparent electrode, etching the interlayer insulating film to form an opening so that the light emitting region of the organic electroluminescent display and the transparent electrode on which the auxiliary electrode is to be formed are exposed; Forming a barrier film for separating the light emitting region and the auxiliary electrode on the insulating layer, forming an organic light emitting layer on the transparent electrode corresponding to the opening of the light emitting region, and openings of the counter electrode and the auxiliary electrode on the organic light emitting layer. And simultaneously forming an auxiliary electrode on an upper portion of the transparent electrode.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명하고자 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 레이아웃도이다.5 is a layout diagram of an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode according to an embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 유리 전기발광 디스플레이의 레이아웃은 투명 전극(102)과 격벽막(106)이 서로 교차되어 있고 교차된 픽셀 부분에 빛이 발광되는 발광영역(a)이 있으며 발광영역(a)을 제외한 격벽막(106) 사이를 층간 절연막(104)이 채우고 있다. 그리고, 미도시되어 있지만 투명 전극(102) 상부의 발 광영역(a)에는 유기 발광막과 대항 전극이 채워져 있다. 또한, 격벽막(106) 영역 아래의 투명 전극(102) 상부에는 투명 전극(102)과 교차되게 배치된 보조 전극(112)이 형성되어 있다.As shown in FIG. 5, the layout of the glass electroluminescent display of the present invention includes a light emitting area a in which the transparent electrode 102 and the partition film 106 cross each other and light is emitted at the intersected pixel portion. The interlayer insulating film 104 fills between the partition films 106 except for the light emitting region a. Although not shown, the organic light emitting film and the counter electrode are filled in the light emitting region a above the transparent electrode 102. In addition, an auxiliary electrode 112 disposed to intersect the transparent electrode 102 is formed on the transparent electrode 102 under the barrier film 106.

도 6a 및 도 6b는 도 5의 B-B'선과 C-C'선에 의한 수직 단면도들로서, 이를 참조하면 본 발명에 따른 유기 전기발광 디스플레이 수직 구조는 다음과 같다.6A and 6B are vertical cross-sectional views taken along lines B-B 'and C-C' of FIG. 5. Referring to this, the organic electroluminescent display vertical structure according to the present invention is as follows.

도 6a에 도시된 바와 같이, 빛이 투과하는 유리 기판(100) 상부에는 투명 전극(102)과 유기 발광막(108) 및 대항 전극(110)이 적층된 유기 전기발광소자가 형성되어 있다. 그리고, 유기 전기발광소자를 층간 절연하는 층간 절연막(104)이 형성되어 있고 층간 절연막(104) 상부에 발광영역(a)을 분리하는 격벽막(106)이 형성되어 있다. 이때, 격벽막(106) 상부에도 유기 발광막(108a)과 대항 전극(110a)이 적층되어 있다.As shown in FIG. 6A, an organic electroluminescent device in which the transparent electrode 102, the organic emission layer 108, and the counter electrode 110 are stacked is formed on the glass substrate 100 through which light is transmitted. Then, an interlayer insulating film 104 for insulating the organic electroluminescent element is formed, and a partition film 106 for separating the light emitting region a is formed on the interlayer insulating film 104. At this time, the organic light emitting film 108a and the counter electrode 110a are stacked on the partition film 106.

도 6b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의해 형성된 보조 전극(112)은 보조 전극(b) 영역에 해당하는 투명 전극(102) 상부에 형성되어 있다.As shown in FIG. 6B, the auxiliary electrode 112 formed by the present invention is formed on the transparent electrode 102 corresponding to the region of the auxiliary electrode b.

한편, 도 7은 본 발명에 따른 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 저항값을 계산하기 위한 도면이다. 도 7에 도시된 도면 부호 ℓ1은 보조 전극(112)이 형성되어 있지 않은 투명 전극(102)의 폭이고 ℓ은 보조 전극(112)이 형성되는 투명 전극의 폭이다. 여기서는 보조 전극(112)이 형성되는 폭을 각 픽셀내 투명 전극(102)의 1/10으로 가정한 것이다. 즉, ℓ1= 10ℓ이다. 투명 전극(102)의 비저항 ρ1은 100ρ과 같다. 보조 전극(112)의 비저항(ρ)을 투명 전극(102)의 1/100배 로 가정한 것이다. 보조 전극(112)의 두께를 투명 전극(102)의 두께와 같다고 가정하면, A는 보조 전극(112)이 없을 때 전류 경로의 단면적을 나타내고 2A는 보조 전극(112)이 있을 때 전류 경로의 단면적을 나타낸 것이다. On the other hand, Figure 7 is a view for calculating the resistance value of the organic electroluminescent display having an auxiliary electrode according to the present invention. The reference numeral 1 shown in FIG ℓ 7 is a width of the transparent electrode 102 that is not secondary electrode 112 is formed, and ℓ is the width of the transparent electrode is an auxiliary electrode 112 is formed. It is assumed here that the width at which the auxiliary electrode 112 is formed is 1/10 of the transparent electrode 102 in each pixel. That is, l 1 = 10 l. The specific resistance p 1 of the transparent electrode 102 is equal to 100 p. It is assumed that the specific resistance ρ of the auxiliary electrode 112 is 1/100 times that of the transparent electrode 102. Assuming that the thickness of the auxiliary electrode 112 is equal to the thickness of the transparent electrode 102, A represents the cross-sectional area of the current path in the absence of the auxiliary electrode 112 and 2A represents the cross-sectional area of the current path in the presence of the auxiliary electrode 112. It is shown.

이에 본 발명에 따른 보조 전극(112)을 갖는 유기 전기발광 디스플레이에 있어서, 투명 전극의 한 구간에 걸리는 저항(R')값은 다음 수학식1과 같다.Accordingly, in the organic electroluminescent display having the auxiliary electrode 112 according to the present invention, the resistance (R ') value applied to one section of the transparent electrode is expressed by Equation 1 below.

Figure 112001012549545-pat00001
Figure 112001012549545-pat00001

그러나, 종래 기술과 같이 투명 전극(102) 바로 위에 보조 전극(112)이 없는 유기 전기발광 디스플레이에 있어서, 투명 전극(102)의 한 구간의 저항(R)값은 다음 수학식 2와 같다.However, in the organic electroluminescent display without the auxiliary electrode 112 directly on the transparent electrode 102 as in the prior art, the resistance R value of one section of the transparent electrode 102 is expressed by the following equation (2).

Figure 112001012549545-pat00002
Figure 112001012549545-pat00002

수학식 1과 수학식 2의 비교값,

Figure 112001012549545-pat00003
에 의해 결국 본 발명에 따라 보조 전극(112)이 있는 투명 전극(102)의 저항값(R')이 일반 보조 전극(112)이 없는 투명 전극(102)의 저항값(R)보다 약 9%정도 감소함을 알 수 있다. 이때, 보조 전극(112)이 형성되는 도전 물질의 폭을 늘리거나 비저항이 낮은 금속을 사용하면 투 명 전극(102)의 저항값을 더 낮출 수 있다.Comparison value of Equation 1 and Equation 2,
Figure 112001012549545-pat00003
Thus, according to the present invention, the resistance value R 'of the transparent electrode 102 with the auxiliary electrode 112 is about 9% higher than the resistance value R of the transparent electrode 102 without the general auxiliary electrode 112. It can be seen that the degree decreases. In this case, when the width of the conductive material on which the auxiliary electrode 112 is formed is increased or when a metal having a low specific resistance is used, the resistance value of the transparent electrode 102 may be further lowered.

그러므로, 본 발명은 유기 전기발광 디스플레이에 있어서, 투명 전극(102)의 상부면에 직접 연결되는 보조 전극(112)을 채택하고 있기 때문에 투명 전극(102)의 저항값이 낮아져서 디스플레이의 구동시 투명 전극(102)을 통해 안정된 전압을 공급하고 유기 발광막에 충분한 전류를 흘려서 픽셀의 휘도를 균일하게 한다.Therefore, in the organic electroluminescent display, since the auxiliary electrode 112 directly connected to the upper surface of the transparent electrode 102 is adopted, the resistance value of the transparent electrode 102 is lowered, so that the transparent electrode when the display is driven. A stable voltage is supplied through 102, and sufficient current is flowed through the organic light emitting film to make the luminance of the pixel uniform.

도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전기발광 디스플레이의 보조 전극을 제조하는 공정을 순차적으로 나타낸 수직 단면도들이다. 이를 참조하여 본 발명에 의한 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 제조 방법을 설명한다.8A to 8D are vertical cross-sectional views sequentially illustrating a process of manufacturing an auxiliary electrode of an organic electroluminescent display according to an embodiment of the present invention. With reference to this it will be described a method of manufacturing an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode according to the present invention.

먼저 도 8a에 도시된 바와 같이, 유리 기판(100) 위에 투명 전극(102)을 형성한다. 그리고, 투명 전극(102)이 있는 기판(100) 전면에 층간 절연막(104)을 형성한다. 이때, 층간 절연막(104)은 산화막(SiO2) 또는 질화막(Si3N4) 등의 비감광성 절연막이거나 포토레지스트 물질 등의 감광성 물질일 수 있다.First, as shown in FIG. 8A, the transparent electrode 102 is formed on the glass substrate 100. The interlayer insulating film 104 is formed on the entire surface of the substrate 100 having the transparent electrode 102. In this case, the interlayer insulating film 104 may be a non-photosensitive insulating film such as an oxide film SiO2 or a nitride film Si3N4 or a photosensitive material such as a photoresist material.

그 다음 도 8b에 도시된 바와 같이, 유기 전기발광 디스플레이의 발광영역과 보조 전극이 형성될 예정 영역의 투명 전극(102)이 드러나도록 층간 절연막(104)을 식각해서 각각의 개구부(107a, 107b)를 형성한다. 여기서, 107a는 발광영역에 해당하는 개구부이고 107b는 보조 전극이 형성될 영역의 개구부이다. 이와 같이, 본 발명은 동일한 마스크를 사용하여 보조 전극용 개구부(107b)와 발광영역의 개구부(107a)를 동시에 형성이 가능하므로 보조 전극의 추가 공정이 필요없게 된다. Next, as shown in FIG. 8B, the interlayer insulating layer 104 is etched to expose the transparent electrode 102 of the light emitting region of the organic electroluminescent display and the region where the auxiliary electrode is to be formed, and then the respective openings 107a and 107b. To form. Here, 107a is an opening corresponding to the light emitting region and 107b is an opening of the region where the auxiliary electrode is to be formed. As described above, the present invention can simultaneously form the opening 107b for the auxiliary electrode and the opening 107a of the light emitting area using the same mask, thereby eliminating the need for an additional step of the auxiliary electrode.                     

이어서 도 8c에 도시된 바와 같이, 층간 절연막(104) 상부에 발광영역(a)과 보조 전극의 영역(b)을 분리하기 위한 격벽막(106)을 형성한다. 이때, 본 실시예에서 격벽막(106) 사이의 공간은 발광 영역의 개구부(107a)와 보조전극 영역(b)의 개구부(107b)의 넓이와 같게 한다.Subsequently, as shown in FIG. 8C, a barrier film 106 is formed on the interlayer insulating film 104 to separate the light emitting region a and the region b of the auxiliary electrode. In this case, the space between the barrier ribs 106 is equal to the width of the opening 107a of the light emitting region and the opening 107b of the auxiliary electrode region b.

그리고 도 8d에 도시된 바와 같이, 발광영역의 개구부(107a)에 해당하는 투명 전극(102) 상부에 유기 발광막(108)을 형성한다. 이때, 발광영역 근방의 층간 절연막(104) 상부에도 유기 발광막(108a)이 형성된다. 그러나, 보조 전극 영역(b)에는 유기 발광막(108)을 형성하지 말아야 한다.As shown in FIG. 8D, an organic emission layer 108 is formed on the transparent electrode 102 corresponding to the opening 107a of the emission region. At this time, the organic light emitting film 108a is also formed on the interlayer insulating film 104 near the light emitting region. However, the organic light emitting film 108 should not be formed in the auxiliary electrode region b.

그리고나서 결과물 전면에 도전 물질을 증착해서 유기 발광막(108) 상부에 대항 전극(110)과 보조 전극 영역(b)의 개구부(107b)에 해당하는 투명 전극(102) 상부에 보조 전극(112)을 동시에 형성한다. 즉, 본 발명의 보조 전극(112)은 대항 전극(110)을 형성할 때 함께 형성하여 유기 전기발광 디스플레이를 제조한다.Then, the conductive material is deposited on the entire surface of the resultant material, and the auxiliary electrode 112 is disposed on the transparent electrode 102 corresponding to the opening 107b of the counter electrode 110 and the auxiliary electrode region b on the organic emission layer 108. Form simultaneously. That is, the auxiliary electrode 112 of the present invention is formed together when forming the counter electrode 110 to manufacture an organic electroluminescent display.

한편, 본 발명은 상술한 일 실시예와 다르게 투명 전극이 일정한 배열을 갖지 않는 형태로 제조될 수도 있다. 즉, 원하는 발광영역이 디자인되도록 투명 전극의 패턴을 임의 형태로 만들 수 있다. 이에 대한 실시예는 다음과 같다. Meanwhile, the present invention may be manufactured in a form in which the transparent electrode does not have a constant arrangement unlike the above-described embodiment. That is, the pattern of the transparent electrode may be made in any shape so that the desired light emitting area is designed. An embodiment thereof is as follows.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 레이아웃도이다. 도 9를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리 전기발광 디스플레이의 레이아웃은 발광 영역(a)이 임의의 불규칙한 형태를 갖고 보조 전극의 영역(b)이 해당 발광 영역(a)의 투명 전극(102)과 연결되도록 배치되어 있다. 이때, 본 실시예에서 보조 전극의 역할을 최대로 활용하기 위하여 격벽 막(106) 사이의 공간은 발광영역(a)과 보조 전극 영역(b)을 정의하는 개구부의 넓이보다 크게 한다. 이로 인해, 격벽막(106)과 상기 개구부 사이에는 층간 절연막(104) 표면이 드러나게 된다.9 is a layout diagram of an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 9, in the layout of the glass electroluminescent display according to another embodiment of the present invention, the light emitting area a has an irregular shape and the area b of the auxiliary electrode is the transparent electrode of the light emitting area a. It is arranged to connect with 102. In this case, in order to maximize the role of the auxiliary electrode in the present embodiment, the space between the barrier ribs 106 is larger than the width of the openings defining the light emitting region a and the auxiliary electrode region b. As a result, the surface of the interlayer insulating film 104 is exposed between the partition film 106 and the opening.

도 10a 및 도 10b는 도 9의 D-D'선과 E-E'선에 의한 디스플레이의 수직 단면도들이다. 도 10a 및 도 10b를 참조하면, 본 발명의 유기 전기발광 디스플레이는 보조 전극 영역(b)에 해당하는 유리 기판(100) 상부에 투명 전극(102)과 보조 전극(112)이 적층되어 있다. 그리고, 그 주변을 둘러싼 층간 절연막(104)이 형성되어 있고 층간 절연막(104) 상부에 발광영역(a)과 보조 전극 영역(b)을 분리하는 격벽막(106)이 형성되어 있다. 10A and 10B are vertical cross-sectional views of the display by the lines D-D 'and E-E' of FIG. 9. 10A and 10B, in the organic electroluminescent display of the present invention, the transparent electrode 102 and the auxiliary electrode 112 are stacked on the glass substrate 100 corresponding to the auxiliary electrode region b. An interlayer insulating film 104 surrounding the periphery is formed, and a partition film 106 for separating the light emitting region a and the auxiliary electrode region b is formed on the interlayer insulating film 104.

또한, 본 발명의 유기 전기발광 디스플레이는 발광영역(a)에 해당하는 유리 기판(100) 상부에 투명 전극(102)과 유기 발광막(108) 및 대항 전극(110)이 적층된 유기 전기발광소자가 형성되어 있다. 그리고, 유기 전기발광소자를 층간 절연하는 층간 절연막(104)이 형성되어 있고 그 층간 절연막(104) 상부에 발광영역(a)과 보조 전극 영역(b)을 분리하는 격벽막(106)이 형성되어 있다. 이때, 격벽막(106) 상부에도 보조 전극 및 대항 전극(110)의 도전물질(110a)이 적층되어 있다.In addition, the organic electroluminescent display of the present invention is an organic electroluminescent device in which a transparent electrode 102, an organic light emitting layer 108, and an counter electrode 110 are stacked on a glass substrate 100 corresponding to a light emitting region (a). Is formed. An interlayer insulating film 104 is formed to insulate the organic electroluminescent device, and a partition film 106 separating the light emitting region a and the auxiliary electrode region b is formed on the interlayer insulating film 104. have. At this time, the conductive material 110a of the auxiliary electrode and the counter electrode 110 is stacked on the partition film 106.

한편, 상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 다른 실시예에 의한 유기 전기발광 디스플레이의 제조 방법또한 상술한 일실시예의 방법과 동일하다.On the other hand, the manufacturing method of the organic electroluminescent display according to another embodiment of the present invention having the structure as described above is also the same as the method of the embodiment described above.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 층간 절연막에 발광영역의 개구부를 형성할 때 보조 전극의 개구부도 함께 형성하고 발광영역의 개구부에 대항 전극을 형성 할 때 보조 전극도 함께 형성함으로써 유기 전기발광 소자의 제조 공정과 함께 보조 전극을 함께 형성한다.As described above, the present invention provides an organic electroluminescence device by forming an opening of an auxiliary electrode when forming an opening of an emission region in an interlayer insulating film and forming an auxiliary electrode when forming an electrode opposite to an opening of an emission region. The auxiliary electrode is formed together with the process.

그러므로, 본 발명은 별도의 보조 전극 제조 공정이 생략되기 때문에 전체 제조 공정을 단순화할 수 있고 생산 설비와 그 운영에 따른 제품의 단가 상승, 생산 싸이클의 증가, 제품 생산시 관리해야할 공정의 파라메타 증가 등 여러 가지 추가 공정으로 인해 야기되는 문제점을 개선할 수 있다.Therefore, the present invention can simplify the entire manufacturing process because a separate auxiliary electrode manufacturing process is omitted, increase the unit cost of the product according to the production equipment and its operation, increase the production cycle, increase the parameters of the process to be managed during production Problems caused by various additional processes can be ameliorated.

한편, 본 발명은 상술한 실시예에 국한되는 것이 아니라 후술되는 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상과 범주내에서 당업자에 의해 여러 가지 변형이 가능하다.On the other hand, the present invention is not limited to the above-described embodiment, various modifications are possible by those skilled in the art within the spirit and scope of the present invention described in the claims to be described later.

Claims (4)

유리 기판위에 투명 전극/유기 발광막/대항 전극이 순차 적층되고 상기 투명 전극과 연결되는 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 제조 방법에 있어서,In the manufacturing method of the organic electroluminescent display which has a transparent electrode / organic light emitting film / counter electrode laminated on a glass substrate, and has an auxiliary electrode connected to the transparent electrode, 상기 유리 기판 위에 투명 전극을 형성하는 단계;Forming a transparent electrode on the glass substrate; 상기 투명 전극이 있는 기판 전면에 층간 절연막을 형성하고 상기 유기 전기발광 디스플레이의 발광영역과 상기 보조 전극이 형성될 예정의 투명 전극이 드러나도록 층간 절연막을 식각해서 개구부를 형성하는 단계;Forming an interlayer insulating film on an entire surface of the substrate having the transparent electrode, and etching the interlayer insulating film to expose the light emitting area of the organic electroluminescent display and the transparent electrode on which the auxiliary electrode is to be formed; 상기 층간 절연막 상부에 발광영역과 보조 전극을 분리하기 위한 격벽막을 형성하는 단계; Forming a barrier layer on the interlayer insulating layer to separate the emission region from the auxiliary electrode; 상기 발광영역의 개구부에 해당하는 투명 전극 상부에 상기 유기 발광막을 형성하는 단계; 및Forming the organic emission layer on the transparent electrode corresponding to the opening of the emission region; And 상기 유기 발광막 상부에 대항 전극과 상기 보조 전극의 개구부에 해당하는 투명 전극 상부에 상기 보조 전극을 동시에 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 제조 방법.And simultaneously forming the auxiliary electrode on an upper side of the organic light emitting layer and an upper portion of the transparent electrode corresponding to the opening of the auxiliary electrode. 제 1항에 있어서, 상기 격벽막 사이의 공간은 상기 개구부의 넓이와 같게 하는 것을 특징으로 하는 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode according to claim 1, wherein the space between the partition walls is equal to the width of the opening. 제 1항에 있어서, 상기 격벽막 사이의 공간은 상기 개구부의 넓이보다 크게 하는 것을 특징으로 하는 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing an organic electroluminescent display having an auxiliary electrode according to claim 1, wherein the space between the partition walls is larger than the width of the opening. 제 1항에 있어서, 상기 보조 전극은 상기 투명 전극의 패턴에 교차되게 배치되는 것을 특징으로 하는 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 제조방법.The method of claim 1, wherein the auxiliary electrode is disposed to cross the pattern of the transparent electrode.
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