KR100720247B1 - Bonding apparatus of display panel - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 차광 마스크에 드는 비용을 저렴하게 하는 것을 가능하게 한 디스플레이 패널의 접합 장치를 제공한다.The present invention provides a bonding apparatus for a display panel that makes it possible to reduce the cost of the light shielding mask.
2장의 광투과성 기판(7, 7) 사이에 끼워진 자외선 경화성 접착제(8)에 자외선을 조사하여, 상기 2장의 광투과성 기판(7, 7)을 접합시키는 디스플레이 패널의 접합 장치로서, 광투과성 기판에 상기 자외선 경화성 접착제(8)에 대응하는 투광부 (32)를 남기고 차광부(31)를 형성한 차광 마스크(3)와, 자외선을 투과하는 부재로 형성되고, 차광 마스크(3)를 유지하는 마스크 유지 수단(2)과, 차광 마스크(3)보다 큰 개구부(1a)를 갖고, 마스크 유지 수단(2)을 유지하는 마스크 스테이지(1)를 구비하는 것을 특징으로 하며, 종래의 차광 마스크의 기능을 차광 마스크(3)와 마스크 유지 수단(2)으로 분할함으로써, 전체적으로 접합 장치의 비용을 저감화할 수 있다.A bonding apparatus of a display panel for irradiating ultraviolet-curable adhesives 8 sandwiched between two light-transmissive substrates 7 and 7 to bond the two light-transmissive substrates 7 and 7 to a light-transmissive substrate. A mask formed of a light shielding mask 3 having a light shielding portion 31 leaving the light transmitting portion 32 corresponding to the ultraviolet curable adhesive 8 and a member that transmits ultraviolet light, and holds the light shielding mask 3. And a mask stage (1) having a holding means (2) and an opening (1a) larger than the light shielding mask (3), and holding the mask holding means (2). By dividing into the light shielding mask 3 and the mask holding means 2, the cost of the bonding apparatus can be reduced as a whole.
Description
도 1은 제1 실시 형태의 발명의 디스플레이 패널의 접합 장치의 구성의 일부를 도시하는 사시도,BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The perspective view which shows a part of structure of the bonding apparatus of the display panel of this invention of 1st Embodiment.
도 2는 제1 실시 형태의 발명의 디스플레이 패널의 접합 장치의 구성을 도시하는 정면 단면도,2 is a front sectional view showing a configuration of a bonding apparatus of a display panel of the invention according to the first embodiment;
도 3은 제2 실시 형태의 발명의 디스플레이 패널의 접합 장치의 구성을 도시하는 정면 단면도,3 is a front sectional view showing a configuration of a bonding apparatus for a display panel of the second embodiment;
도 4는 제3 실시 형태의 발명의 디스플레이 패널의 접합 장치의 구성의 일부를 도시하는 사시도,4 is a perspective view showing a part of a configuration of a bonding apparatus of a display panel of the third embodiment;
도 5는 제3 실시 형태의 발명의 디스플레이 패널의 접합 장치의 구성을 도시하는 정면 단면도,5 is a front sectional view showing a configuration of a bonding apparatus for a display panel of the invention according to the third embodiment;
도 6은 종래 기술의 디스플레이 패널의 접합 장치의 구성을 도시하는 정면 단면도,6 is a front sectional view showing a configuration of a bonding apparatus of a display panel of the prior art;
도 7은 제1 실시 형태의 발명의 디스플레이 패널의 접합 장치의 구성의 일부를 도시하는 정면 단면도이다.FIG. 7 is a front sectional view showing a part of a configuration of a bonding apparatus of a display panel of the first embodiment. FIG.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>
1 : 마스크 스테이지 1a : 마스크 스테이지의 개구부1: mask stage 1a: opening of mask stage
2 : 마스크 유지 수단 3 : 차광 마스크2: mask holding means 3: shading mask
31 : 차광부 32 : 투광부31: light shielding portion 32: light transmitting portion
4 : 흡착판(또는 흡착 패드) 5 : 진공 배관4: adsorption plate (or adsorption pad) 5: vacuum piping
6 : 워크 스테이지 7 : 유리 기판6: work stage 7: glass substrate
8 : 시일제 9 : 광 조사부8: sealant 9: light irradiation part
10 : 광원(램프) 11 : 마스크 유지 수단10: light source (lamp) 11: mask holding means
111 : 진공실(감압실) 112 : 진공 흡착 구멍111: vacuum chamber (decompression chamber) 112: vacuum suction hole
12 : 위치결정 핀 13 : 고정 기구12: positioning pin 13: fixing mechanism
본 발명은, 디스플레이 패널의 조립 공정에서, 2장의 광투과성 기판을 광경화형의 접착제로 접합시키는 디스플레이 패널의 접합 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the joining apparatus of the display panel which joins two light transmissive board | substrates with a photocurable adhesive agent in a display panel assembly process.
최근, 액정 표시 소자의 제조 방법으로서, 일본국 특개평 9-73096호 공보에도 개시되어 있는 바와 같이, 적하 공법(One Drop Fill)이 채용되고 있다.In recent years, as a manufacturing method of a liquid crystal display element, as described also in Unexamined-Japanese-Patent No. 9-73096, the dropping method (One Drop Fill) is employ | adopted.
이 공법은, 먼저, 광투과성 기판(유리 기판) 상에, 자외선 경화 수지인 시일제에 의해 둘러싸고, 그 속에 액정을 적하한다. 액정이 적하된 유리 기판 상에 별도의 유리 기판을 얹어놓고, 이 유리 기판 너머로, 시일제에 자외선을 조사하여 시일제를 경화시켜, 2장의 유리 기판을 접합시키는 것이다. 시일제에 자외선을 조사할 때, 액정에 자외선이 조사되면, 액정이 분해나 특성 변화를 일으키므로, 시일제 이외의 액정에 자외선이 조사되지 않도록 자외선 조사 장치의 광원과 유리 기판의 사이에 차광 마스크를 설치하여, 자외선을 조사하고 있다.This method first encloses a sealing compound which is ultraviolet curable resin on a light transmissive substrate (glass substrate), and adds a liquid crystal to it. Another glass substrate is mounted on the glass substrate in which liquid crystal was dripped, the ultraviolet-ray is irradiated to a sealing compound, this sealant is hardened | cured, and two glass substrates are bonded together over this glass substrate. When ultraviolet light is irradiated to the sealing compound, when ultraviolet light is irradiated to the liquid crystal, the liquid crystal decomposes or changes in properties, so that a light shielding mask is provided between the light source of the ultraviolet irradiation device and the glass substrate so that ultraviolet light is not irradiated to liquid crystals other than the sealing compound. Is installed to irradiate ultraviolet rays.
도 6은, 종래 기술의 디스플레이 패널의 접합 장치의 일례를 도시하는 도면이다.It is a figure which shows an example of the bonding apparatus of the display panel of a prior art.
이 도면에 나타낸 바와 같이, 이 접합 장치는, 워크 스테이지 상에 시일제를 사이에 끼워 형성된 2장의 유리 기판을 얹어놓고, 그 상부에서, 상기 시일제에 위치하는 개소는 투광부로 형성하고, 상기 시일제로 둘러싸여 액정이 충전되는 개소에 상당하는 개소는 차광부로 형성한 차광 마스크를, 마스크 스테이지의 하측에서 진공 흡착에 의해 유지하고, 또한 이 차광 마스크의 상부에 배치된 광 조사부의 광원(램프)으로부터, 차광 마스크의 투광부를 개재하여 시일제에 자외선을 조사하는 것이다.As shown in this figure, this bonding apparatus puts two glass substrates formed on both sides of the sealing agent on the work stage, and in the upper part, the position located in the sealing agent is formed by a light transmitting portion, and the seal The portion corresponding to the place surrounded by the zero and filled with the liquid crystal is a light-shielding mask formed by the light-shielding portion by vacuum suction at the lower side of the mask stage, and from the light source (lamp) of the light irradiation portion disposed above the light-shielding mask, Ultraviolet ray is irradiated to a sealing compound through the light transmission part of a light shielding mask.
도 7은, 차광 마스크의 유지 수단으로서, 도 6에서의 차광 마스크를 마스크 스테이지의 하측에서 진공 흡착하여 유지하는 것을 대신하여, 마스크 스테이지 상에 차광 마스크를 얹어놓는 경우의 예를 도시하는 도면이다.FIG. 7: is a figure which shows the example in the case where a light shielding mask is put on a mask stage instead of carrying out vacuum suction of the light shielding mask in FIG. 6 as a holding means of a light shielding mask.
상술한 바와 같이, 차광 마스크는, 시일제에 대응하는 개소만 자외선이 투과하는 투광부로 형성하고, 그 이외의 부분을 차광부로 형성하며, 이 차광부는, 통상, 석영판에 크롬 도금함으로써 만들어지는데, 최근, 액정 유리 기판은 해마다 대형화하고 있어, 액정 유리 기판의 대형화에 따라 상기 차광 마스크도 대형화하고 있다. As described above, the light shielding mask is formed of a light-transmitting portion through which ultraviolet rays are transmitted only at a portion corresponding to the sealing agent, and other portions are formed of light-shielding portions, and the light-shielding portion is usually made by chromium plating on a quartz plate. In recent years, the liquid crystal glass substrate is enlarged year by year, and the said light-shielding mask is also enlarged with the enlargement of a liquid crystal glass substrate.
또한, 도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 차광 마스크를 마스크 스테이지에 유지할 때는, 차광 마스크에「유지 부분」을 형성할 필요가 있으므로, 차광 마스크를 접합을 행하는 유리 기판보다, 보다 한층 크게 형성할 필요가 있다. 또, 차광 마스크는, 상기의「유지 부분」을 확보하기 위해 유리 기판의 사이즈보다 크게 할 필요가 있는 동시에, 자중에 의한 휨을 방지하기 위해 두께도 두껍게 할 필요가 있다.In addition, as shown in FIG. 6 and FIG. 7, when holding the light shielding mask on the mask stage, it is necessary to form a "holding part" in the light shielding mask, so that the light shielding mask is formed larger than the glass substrate on which the light shielding mask is bonded. Needs to be. In addition, the light shielding mask needs to be larger than the size of the glass substrate in order to secure the above-mentioned "holding part", and also needs to be thick in order to prevent warping due to its own weight.
그 결과, 예를 들면 유리 기판 사이즈가, 680 ×880mm인 경우, 차광 마스크의 크기는 800 ∼ 850 ×1050 ∼ 1100mm이고 두께는 5 ∼ 10 mm 정도의 크기가 필요하게 된다.As a result, for example, when the glass substrate size is 680x880mm, the size of the light shielding mask is 800 to 850x1050 to 1100mm and the thickness is about 5 to 10 mm.
또, 차광 마스크는, 반도체의 노광 장치에 사용되는 마스크(레티클)와 마찬가지로, 자외선을 효율적으로 투과시키기 위해 석영이 사용되나, 석영은 유리 소재 중에서도 고가인 것이다. 또한, 차광 마스크는, 크롬 도금을 행하는 면의 평면도를 좋게하기 위해 높은 가공 정밀도가 필요하다.In addition, similar to the mask (reticle) used for the exposure apparatus of a semiconductor, as a light shielding mask, quartz is used in order to transmit an ultraviolet-ray efficiently, but quartz is expensive among glass materials. In addition, in order to improve the flatness of the surface which chromium-plats, the light shielding mask requires high processing precision.
상기한 것과 같은 큰 면적의 석영 표면을 높은 정밀도로 가공하기 위해서는, 대형의 가공 장치와 장시간을 요하여, 마스크에 드는 비용이 대단히 커진다. 또한, 차광 마스크는, 유리 기판에 형성하는 패턴 수만큼 필요해지므로, 차광 마스크의 비용만으로, 접합 장치의 가격이 대단히 고가인 것이 되어 버린다.In order to process a large surface quartz surface with high precision as mentioned above, a large processing apparatus and a long time are required and the cost for a mask becomes very large. Moreover, since only the number of patterns formed in a glass substrate is needed for a light shielding mask, only the cost of a light shielding mask will become the price of a bonding apparatus very expensive.
또, 차광 마스크가 대형화하면, 차광 마스크용의 석영 기판에 크롬을 증착하기 위한 장치가 없고, 또 증착한 크롬을 에칭하여 차광부의 패턴을 형성하기 위한 장치도 없는 등, 차광 마스크에 패턴을 형성하기 위해 필요한 여러가지 장치가 없 다. 이 때문에, 이들 장치를 만든 후 차광 마스크를 만들려고 하면 차광 마스크의 가격이 대단히 높아져 버린다.If the light shielding mask is enlarged, a pattern is formed on the light shielding mask, such as no device for depositing chromium on the quartz substrate for the light shielding mask, and no device for etching the deposited chromium to form a pattern of the light shielding portion. There are many different devices needed to do this. For this reason, the price of a light shielding mask will become very high when it tries to make a light shielding mask after making these devices.
본 발명의 목적은, 상기의 여러가지 문제점을 감안하여, 차광 마스크에 드는 비용을 저렴하게 하는 것을 가능하게 한 디스플레이 패널의 접합 장치를 제공하는 것에 있다.Disclosure of Invention An object of the present invention is to provide a bonding apparatus for a display panel that enables to reduce the cost of a light shielding mask in view of the various problems described above.
본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해서, 다음과 같은 수단을 채용하였다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM This invention employ | adopts the following means in order to solve the said subject.
제1 수단은, 2장의 광투과성 기판 사이에 끼워진 자외선 경화성 접착제에 자외선을 조사하여, 상기 2장의 광투과성 기판을 접합시키는 디스플레이 패널의 접합 장치로서, 광투과성 기판에 상기 자외선 경화성 접착제에 대응하는 투광부를 남기고 차광부를 형성한 차광 마스크과, 자외선을 투과하는 부재로 형성되고, 상기 차광 마스크를 유지하는 마스크 유지 수단과, 상기 차광 마스크보다 큰 개구부를 갖고, 상기 마스크 유지 수단을 유지하는 마스크 스테이지를 구비하는 것을 특징으로 한다.A 1st means is a bonding apparatus of the display panel which irradiates an ultraviolet curable adhesive sandwiched between two light-transmissive substrates, and bonds the two light-transmissive substrates, and transmits light which corresponds to the said ultraviolet-curable adhesive agent to a light-transmissive substrate. And a mask stage formed of a member which transmits the light shield, leaving a portion, a mask holding means for holding the light shielding mask, an opening larger than the light shielding mask, and a mask stage for holding the mask holding means. It is characterized by.
제2 수단은, 제1 수단에 있어서, 상기 마스크 유지 수단은, 상기 차광 마스크를 이 차광 마스크의 차광부에서 유지하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.2nd means is a 1st means WHEREIN: The said mask holding means is comprised so that the said light shielding mask may be hold | maintained in the light shielding part of this light shielding mask.
본 발명의 제1 실시 형태를 도 1 및 도 2를 사용하여 설명한다.A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
도 1은 본 실시 형태의 발명의 디스플레이 패널의 접합 장치의 구성의 일부를 도시하는 사시도, 도 2는 이 장치의 구성을 도시하는 정면 단면도이다.1 is a perspective view showing a part of a configuration of a bonding apparatus for a display panel of the present invention, and FIG. 2 is a front sectional view showing a configuration of this apparatus.
이들 도면에서, 1은 마스크 유지 수단을 지지하는 마스크 스테이지, 1a는 마 스크 스테이지의 개구부, 2는 투명 부재(석영)로 형성되어, 차광 마스크를 유지하는 마스크 유지 수단, 3은 흡착판(또는 흡착 패드)을 개재하여 마스크 유지 수단(2)에 유지되는 차광 마스크, 31은 차광 마스크(3)에서의 차광부, 32는 차광 마스크(3)에서의 투광부, 4는 마스크 유지 수단(2)의 하면에 설치되어, 진공 배관에 접속되는 차광 마스크(3)를 면 흡착하는 흡착판(또는 흡착 패드), 5는 자외선에 내성을 갖는, 예를 들면 스테인리스 등의 금속으로 이루어지는 진공 배관, 6은 유리 기판을 얹어놓는 워크 스테이지, 7은 접합을 행하는 유리 기판, 8은 2장의 유리 기판(7, 7) 사이에 형성된 시일제, 9는 차광 마스크(3)의 투광부(32)를 개재하여 시일제(8)에 자외선을 조사하는 광 조사부, 10은 자외선을 방사하는 광원(램프)이다.In these figures, 1 is a mask stage for supporting a mask holding means, 1a is an opening of a mask stage, 2 is formed of a transparent member (quartz), mask holding means for holding a light shielding mask, and 3 is an adsorption plate (or an adsorption pad). ) Is a light shielding mask held by the
본 실시 형태에서는, 마스크 유지 수단(2)으로서, 차광 마스크(3) 전체를 흡착하는 큰 것은 필요 없고, 도 1에 도시하는 바와 같이 분할된 다수의 봉 형상의 것을 사용해도 되고, 또 일체로 형성된 것을 사용해도 된다. 그 결과, 마스크 유지 수단(2)으로서, 1장의 가공 정밀도가 높은 큰 석영판을 사용할 필요가 없으므로, 부재가 소형화되어, 비용을 저감시키는 것이 가능해진다.In the present embodiment, the
이 장치에서, 진공 배관(5)에 의해, 광원(램프)(10)과 차광 마스크(3) 사이에 불투명한 배관이 존재하게 되나, 마스크 유지 수단(2)에 진공 흡착 구멍을 형성하는 위치를 차광 마스크(3)의 차광부(31)의 위치가 되도록 배치하고, 배관은 진공 흡착 구멍의 위치로부터 수직으로 가능한 한 광원(램프)(10)의 가까이까지 일으켜 세우고, 이 후 굽혀 장치 밖으로 연장되도록 한다. 이렇게 배관함으로써, 일으켜 세운 부분의 그림자는, 차광부(31)에 숨겨지므로 문제가 없고, 또 굽어져 장치 밖으로 연장되는 부분의 그림자는, 광원(램프)(10)에 가깝다는 것과, 광원(램프)(10)으로부터의 광이 발산광이라는 것에 의해 전체가 희미해져, 거의 영향을 주지 않는다.In this apparatus, an opaque piping exists between the light source (lamp) 10 and the light shielding mask 3 by the vacuum piping 5, but the position where the vacuum suction hole is formed in the mask holding
흡착판(4)으로는, 다수의 진공 흡착 구멍을 형성한 플레이트를 사용하나, 다공질의 소결체를 사용한 것이 시판되어 있어, 이것을 이용하는 것이 가능하다. 다공질의 소결체를 사용하면, 일반적으로 진공 흡착 구멍을 형성한 것보다, 개구율을 크게 할 수 있어, 큰 흡착력(마스크의 유지력)을 얻을 수 있다. 또 흡착판(4)에 의해 차광 마스크(3)의 어느 정도의 면적을 유지할 수 있도록 할 수 있기 때문에, 진공 배관(5)의 개수를 비교적 적게 할 수 있다.As the adsorption plate 4, although the plate which provided many vacuum adsorption holes is used, what used the porous sintered compact is commercially available, and can use this. When a porous sintered compact is used, the opening ratio can be made larger than that in which vacuum suction holes are generally formed, and a large adsorption force (holding force of a mask) can be obtained. Moreover, since the area of the light shielding mask 3 can be maintained by the adsorption plate 4, the number of the vacuum piping 5 can be made relatively small.
또한, 차광 마스크는, 대부분이 차광부로 형성되므로, 이 부분을 이용하여 차광 마스크를 유지할 수 있기 때문에, 차광 마스크가 얇아도 휨이 적은 상태로 유지하는 것이 가능해진다.In addition, since most of the light shielding masks are formed by the light shielding portion, the light shielding mask can be held using this portion, so that even if the light shielding mask is thin, it can be maintained in a state of less warpage.
또, 이들 도면에 도시하는 바와 같이, 이 접합 장치에서는, 워크 스테이지(6) 상에 시일제(8)를 사이에 끼고 형성된 2장의 유리 기판(7)의 상부에, 시일제(8)에 위치하는 개소는 투광부(32)로 형성되고, 시일제(8)로 둘러싸여 액정이 충전된 개소에 상당하는 개소는 차광부(31)로 형성된 차광 마스크(3)가 마스크 유지 수단(2)에 의해 진공 흡착에 의해 유지되고, 차광 마스크(3)의 상부에 배치된 광 조사부(9)의 광원(램프)(10)으로부터, 차광 마스크(3)의 투광부(32)를 개재하여 시일제(8)에 자외선이 조사됨으로써, 시일제(8)가 자외선 경화되어, 2장의 유리 기 판(7)을 접합할 수 있다.Moreover, as shown in these figures, in this bonding apparatus, it is located in the sealing agent 8 on the upper part of the two glass substrates 7 formed through the sealing agent 8 on the work stage 6 in between. The light-shielding mask 3 formed by the light-shielding
다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태를 도 3을 사용하여 설명한다.Next, 2nd Embodiment of this invention is described using FIG.
도 3은, 본 실시 형태의 발명의 디스플레이 패널의 접합 장치의 구성을 도시하는 정면 단면도이다.3 is a front sectional view showing a configuration of a bonding apparatus for a display panel of the present invention.
이 도면에서, 11은 제1 실시 형태에 나타낸 마스크 유지 수단(2)과 다른 형태를 갖는, 투명 부재(석영)로 형성된 마스크 유지 수단, 111은 마스크 유지 수단(11) 내에 형성된 진공실(감압실), 112는 진공실(감압실)(111)로 연결되어 차광 마스크(3)를 흡착하기 위해 형성된 다수의 진공 흡착 구멍이다.In this figure, 11 is a mask holding means formed of a transparent member (quartz) having a form different from the mask holding means 2 shown in the first embodiment, and 111 is a vacuum chamber (decompression chamber) formed in the mask holding means 11. Reference numeral 112 denotes a plurality of vacuum suction holes which are connected to the vacuum chamber (decompression chamber) 111 and formed to adsorb the light shielding mask 3.
또한, 마스크 유지 수단(11)은, 진공 흡착 구멍(112)을 형성하는 측의 면은, 차광 마스크(3)를 좋은 평면도로 흡착할 수 있도록, 높은 평면도로 가공되어 있다. 또, 진공 흡착 구멍(112)은, 광을 투과하지만 렌즈 효과를 방지하기 위해 차광 마스크(3)의 차광부(31)에 위치하도록 형성한다. 그 밖의 구성은 도 2에 나타낸 동일 부호의 구성에 대응하므로 설명을 생략한다.In addition, the mask holding means 11 is processed by the high plan view so that the surface on the side which forms the vacuum suction hole 112 can adsorb | suck the light shielding mask 3 with a good plan view. In addition, the vacuum suction hole 112 is formed so as to be positioned in the
본 실시 형태의 접합 장치에서도, 워크 스테이지(6) 상에 시일제(8)를 사이에 끼고 형성된 2장의 유리 기판(7)의 상부에, 시일제(8)에 위치하는 개소가 투광부(32)로 형성되고, 시일제(8)로 둘러싸여 액정이 충전된 개소에 상당하는 개소가 차광부(31)로 형성된 차광 마스크(3)가 마스크 유지 수단(11)의 진공 흡착 구멍에 의해 흡착 유지되고, 또한 차광 마스크(3)의 상부에 배치된 광 조사부(9)의 광원(램프)(10)으로부터, 차광 마스크(3)의 투광부(32)를 개재하여 시일제(8)에 자외선이 조사됨으로써, 시일제(8)가 자외선 경화되어, 2장의 유리 기판(7)이 접합된다.Also in the bonding apparatus of this embodiment, the position located in the sealing compound 8 in the upper part of the two pieces of glass substrates 7 formed between the sealing compound 8 on the work stage 6 is a light-transmitting part 32 ), And the light shielding mask 3 formed by the
본 실시 형태의 접합 장치는, 제1 실시 형태의 것과 비교하여, 진공 배관을 설치할 필요가 없어지나, 마스크 유지 수단(11)에 진공실(감압실)(111)이 되는 공동(空洞)을 형성하는 가공이 필요해진다.The bonding apparatus of this embodiment does not need to install a vacuum pipe compared with the thing of 1st Embodiment, but the process which forms the cavity which becomes the vacuum chamber (decompression chamber) 111 in the mask holding means 11 is carried out. Is needed.
다음으로, 본 발명의 제3 실시 형태를 도 4 및 도 5를 사용하여 설명한다.Next, 3rd Embodiment of this invention is described using FIG. 4 and FIG.
도 4는 본 실시 형태의 발명의 디스플레이 패널의 접합 장치의 구성의 일부를 도시하는 사시도, 도 5는 이 장치의 구성을 도시하는 정면 단면도이다.4 is a perspective view showing a part of the configuration of the bonding apparatus of the display panel of the present invention, and FIG. 5 is a front sectional view showing the configuration of this apparatus.
이들 도면에서, 12는 마스크 유지 수단(2) 상에 유지된 차광 마스크(3)를 소정의 위치에 위치결정하는 위치결정 핀이다. A부는 마스크 스테이지(1) 상에 마스크 유지 수단(2)의 단부를 얹어놓고 진공 흡착에 의해 고정하는 상태를 나타내고, B부는 마스크 스테이지(1) 상에 마스크 유지 수단(2)의 단부를 얹어놓고 고정 기구(13)에 의해 고정하는 상태를 나타내고, A부 또는 B부 중 어느 하나의 고정 수단이 채용된다.In these figures, 12 is a positioning pin for positioning the light shielding mask 3 held on the mask holding means 2 at a predetermined position. A part shows the state which mounted the edge part of the mask holding means 2 on the mask stage 1, and fixes it by vacuum adsorption, and B part puts the edge part of the mask holding means 2 on the mask stage 1, The state which fixes by the fixing mechanism 13 is shown, and the fixing means of either A part or B part is employ | adopted.
또한, 그 밖의 구성은 도 1 및 도 2에 나타낸 동일 부호의 구성에 대응하므로 설명을 생략한다.In addition, since the other structure corresponds to the structure of the same code | symbol shown in FIG. 1 and FIG. 2, description is abbreviate | omitted.
본 실시 형태에서도, 마스크 유지 수단(2)은, 차광 마스크(3) 전체를 유지하는 큰 것은 필요 없고, 도 4에 도시하는 바와 같이 분할된 다수의 봉 형상의 것을 사용해도 되고, 또 분할되지 않은 일체로 형성된 것을 사용해도 된다. 이에 의해, 마스크 유지 수단(2)으로서 1장의 가공 정밀도가 높은 큰 석영판을 사용할 필요가 없어, 부재가 소형화되어, 비용이 저감된다.Also in this embodiment, the mask holding means 2 does not need to hold | maintain large the light shielding mask 3, and may use the many rod-shaped thing divided | segmented as shown in FIG. You may use the one formed integrally. Thereby, it is not necessary to use one large quartz plate with high processing accuracy as the mask holding means 2, and the member is miniaturized and the cost is reduced.
또, 이들 도면에 도시하는 바와 같이, 이 접합 장치에서는, 워크 스테이지(6) 상에 시일제(8)를 사이에 끼고 형성된 2장의 유리 기판(7)의 상부에, 시일제(8)에 위치하는 개소는 투광부(32)로 형성되고, 시일제(8)로 둘러싸여 액정이 충전된 개소에 상당하는 개소는 차광부(31)로 형성된 차광 마스크(3)가 마스크 유지 수단(2) 상에 유지되고, 또한 차광 마스크(3)의 상부에 배치된 광 조사부(9)의 광원(램프)(10)으로부터, 차광 마스크(3)의 투광부(32)를 개재하여 시일제(8)에 자외선을 조사함으로써, 시일제(8)가 자외선 경화되어, 2장의 유리 기판(7)을 접합하는 것이 가능해진다.Moreover, as shown in these figures, in this bonding apparatus, it is located in the sealing agent 8 on the upper part of the two glass substrates 7 formed through the sealing agent 8 on the work stage 6 in between. The light shielding mask 3 formed of the
이상 기술한 바와 같이, 상기 각 실시 형태에 나타낸 디스플레이 패널의 접합 장치는, 종래의 차광 마스크의 기능 중, 소정의 영역에만 광을 조사하는 기능을 차광 마스크에, 마스크를 마스크 스테이지에 평면도 높게 유지하는 기능을 마스크 유지 수단에 분할한 점에 특징을 갖는 것이며, 이렇게 구성함으로써 접합 장치의 비용을 저감하는 것이 가능해지는 것이다.As described above, the display panel bonding apparatus shown in each of the above embodiments maintains the mask on the mask stage with a function of irradiating light only to a predetermined area among the functions of the conventional shading mask. It is characterized by the fact that the function is divided into the mask holding means, and thus the cost of the bonding apparatus can be reduced.
즉, 마스크 유지 수단은, 차광 마스크가 작고 얇게 제작되는 결과, 마스크 스테이지에 유지할 수 없는 크기가 되므로, 또 유지된 상태에서는 휨을 발생시키므로, 차광 마스크를 유지하고, 휘어지게 하지 않는 투명한 차광 마스크의 유지 수단으로서 설치되는 것이다. 마스크 유지 수단을 설치하는 것은, 종래 장치에 비해 새롭게 구성 부품이 증가한 것이 되어, 비용 상승 요인이 된다. 그러나, 마스크 패턴이 변화함에 따라 차광 마스크가 변화해도, 마스크 유지 수단은 그대로 범용적으로 사용하는 것이 가능하므로, 차광 마스크만을 교환하면 되어, 전체적으로 접합 장치를 저비용화하는 것이 가능해진다.That is, the mask holding means has a size that cannot be maintained on the mask stage as a result of making the light shielding mask small and thin, and also causes warping in the retained state, so that the mask holding means holds the light shielding mask and does not bend the holding of the transparent light shielding mask. It is provided as a means. Providing the mask holding means increases the number of components in comparison with the conventional apparatus, and causes a cost increase. However, even if the light shielding mask changes as the mask pattern changes, the mask holding means can be used universally as it is, so that only the light shielding mask needs to be replaced, thereby reducing the overall cost of the bonding apparatus.
또, 상기 각 실시 형태의 차광 마스크는, 종래의 차광 마스크와 같은 고가의 석영을 재료로서 사용할 필요가 없고, 워크용으로 제작된 광투과성 기판과 동일한 광투과성 기판을 사용하는 것이 가능하며, 광투과성 기판에 대해서는, 디스플레이 패널 제조 회사는, 당연히 많은 광투과성 기판을 갖고 있기 때문에, 차광 마스크와 공통으로 사용하는 것이 가능하여, 차광 마스크를 염가로 제조하는 것이 가능하다. 또한, 광투과성 기판(유리 기판)은, 높은 평면 정밀도가 요구되지만, 종래의 차광 마스크 같은「유지 부분」등은 불필요해져, 그 크기는 워크(2장의 유리 기판)와 동일 크기까지 작게 하는 것이 가능하여, 보다 한층 염가로 제작하는 것이 가능해진다.In addition, the light shielding mask of each said embodiment does not need to use expensive quartz like a conventional light shielding mask as a material, and it is possible to use the same light transmissive board | substrate as the light transmissive board | substrate produced for the workpiece | work, and is transparent As for the substrate, the display panel manufacturing company naturally has a large number of light transmissive substrates, so that it can be used in common with the light shielding mask, and the light shielding mask can be manufactured at low cost. In addition, although high planar precision is required for a light transmissive substrate (glass substrate), the "holding part" etc. like a conventional light shielding mask become unnecessary, and the magnitude | size can be made small to the same size as a workpiece (two glass substrates). This makes it possible to produce more inexpensively.
또한, 광투과성 기판과 동일한 기판을 차광 마스크로서 사용하면, 광투과성 기판용의 증착 장치나 에칭 장치 등의 기존의 장치를 그대로 사용할 수 있기 때문에, 종래의 차광 마스크처럼 이를 위해 제작된 각별한 장치를 필요로 하지 않으므로, 보다 한층 차광 마스크를 염가로 제조하는 것이 가능해진다.In addition, if the same substrate as the light-transmissive substrate is used as the light-shielding mask, existing devices such as a vapor deposition apparatus and an etching apparatus for the light-transmissive substrate can be used as it is, and thus a special apparatus manufactured for this purpose is required like a conventional light-mask. Since it does not make it, it becomes possible to manufacture a light shielding mask more cheaply.
청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 디스플레이 패널의 접합 장치로서, 광투과성 기판에 상기 자외선 경화성 접착제에 대응하는 투광부를 남기고 차광부를 형성한 차광 마스크과, 자외선을 투과하는 부재로 형성되고, 상기 차광 마스크를 유지하는 마스크 유지 수단과, 상기 차광 마스크보다 큰 개구부를 갖고, 상기 마스크 유지 수단을 유지하는 마스크 스테이지를 사용하도록 하였으므로, 마스크 유지 수단은, 마스크 패턴이 변화함에 따라 차광 마스크가 변화해도, 마스크 유지 수단은 그대로 범용적으로 사용할 수 있고, 차광 마스크만을 교환하면 되어, 전체적으로 접합 장치를 저비용화할 수 있다. 또, 차광 마스크로서, 종래의 차광 마스크처럼 고가인 석영을 재료로서 사용할 필요가 없고, 워크용으로 제작된 광투과성 기판과 동일한 광투과성 기판을 사용하는 것이 가능하여, 액정 패널 제조 회사는 많은 광투과성 기판을 갖고 있으므로, 차광 마스크와 공통적으로 사용하는 것이 가능하고, 또한, 종래의 차광 마스크처럼 「유지 부분」등은 불필요하므로, 그 크기는 광투과성 기판(유리 기판)과 같은 크기까지 작게 하는 것이 가능해져, 차광 마스크를 염가로 제조하는 것이 가능하다. 또한, 차광 마스크 상에 크롬 도금으로 이루어지는 패턴을 형성하기 위한 장치로서 기존의 장치를 사용할 수 있으므로, 종래의 차광 마스크처럼 이를 위한 각별한 장치를 필요로 하지 않기 때문에, 한층 차광 마스크를 염가로 제조하는 것이 가능해진다.According to invention of Claim 1, it is formed by the light shielding mask which formed the light shielding part, leaving the light transmission part corresponding to the said ultraviolet curable adhesive agent on the light-transmissive substrate, and the member which permeate | transmits a light-shielding mask as a bonding apparatus of a display panel. Since mask holding means and an opening larger than the light shielding mask are used, and a mask stage for holding the mask holding means is used, the mask holding means is used even if the light shielding mask changes as the mask pattern changes. It can be used universally as it is, only the light shielding mask needs to be replaced, and the bonding apparatus can be reduced in cost as a whole. In addition, as a light shielding mask, it is not necessary to use expensive quartz as a material as a conventional light shielding mask, and it is possible to use the same light-transmissive substrate as the light-transmissive substrate produced for a work, so that a liquid crystal panel manufacturing company has many light transmission properties. Since it has a board | substrate, it can be used in common with a light shielding mask, and since a "holding part" etc. are unnecessary like a conventional light shielding mask, the size can be made small to the same size as a light transmissive substrate (glass substrate). It becomes possible to manufacture a light shielding mask at low cost. In addition, since a conventional device can be used as a device for forming a pattern made of chromium plating on the light shielding mask, it is not necessary to use a special device for the same as a conventional light shielding mask. It becomes possible.
청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 마스크 유지 수단은, 차광 마스크를 이 차광 마스크의 차광부에서 유지하도록 구성하였으므로, 차광 마스크는 많은 부분이 차광부로 형성되어 있기 때문에, 넓은 범위에서 차광 마스크를 유지하는 것이 가능해져, 차광 마스크가 얇아도 평면도 높게 유지하는 것이 가능해진다.According to the invention of
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