KR100713194B1 - 단위 용량 증대 및 출력 리플 저감을 위한 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 플라즈마 발생용 전원장치의 구성으로서,브리지 다이오드(BD)를 통해 정류되고 콘덴서(C)를 통해 평활화된 직류전압을 고주파 교류전압으로 변환하는 제1 단상 PWM 인버터와, 상기 제1 단상 PWM 인버터 출력단에 접속된 제1 교류 리액터(Lr)와, 상기 제1 단상 PWM 인버터로부터 고주파 교류전압을 입력받아 특정 권선비에 따라 필요한 전압으로 변압하는 제1 변압기와, 상기 제1 변압기로부터 변압된 교류전압을 직류전압으로 정류하는 제1 정류기를 구비한 제1 출력부;상기 제1 단상 PWM 인버터와 병렬 접속되어 서로 다른 위상으로 동작하는 제2 단상 PWM 인버터와, 제2 교류 리액터(Lr)와, 제2 변압기와, 제2 정류기가 서로 직렬 연결된 제2 출력부; 및상기 제1 정류기와 병렬 연결된 콘덴서(C1), 상기 콘덴서(C1)와 직렬 연결되고 상기 제2 정류기에 병렬 연결되는 콘덴서(C2), 및 상기 제1 정류기에 직렬 연결되는 리액터(L)로 이루어진 C-L 필터부;를 포함하여 구성되는 단위 용량 증대 및 출력 리플 저감을 위한 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 및 제2 단상 PWM 인버터는 고주파용 반도체 스위칭 소자로 FET가 사용되고, 90°의 서로 다른 위상으로 동작하는 것을 특징으로 하는 단위 용량 증대 및 출력 리플 저감을 위한 장치.
- 플라즈마 발생용 전원장치의 구성으로서,브리지 다이오드(BD)를 통해 정류되고 콘덴서(C)를 통해 평활화된 직류전압을 고주파 교류전압으로 변환하는 제1 단상 PWM 인버터와 상기 제1 단상 PWM 인버터 출력단에 접속된 제1 교류 리액터(Lr)와 상기 제1 단상 PWM 인버터로부터 고주파 교류전압을 입력받아 특정 권선비에 따라 필요한 전압으로 변압하는 제1 변압기와 상기 제1 변압기로부터 변압된 교류전압을 직류전압으로 정류하는 제1 정류기를 구비한 제1 출력부와, 상기 제1 단상 PWM 인버터와 병렬 접속되어 서로 다른 위상으로 동작하는 제2 단상 PWM 인버터와 제2 교류 리액터(Lr)와 제2 변압기와 제2 정류기가 서로 직렬 연결된 제2 출력부와, 상기 제1 정류기와 병렬 연결된 콘덴서(C1)와 상기 콘덴서(C1)와 직렬 연결되고 상기 제2 정류기에 병렬 연결되는 콘덴서(C2) 및 상기 제1 정류기에 직렬 연결되는 리액터(L)로 이루어진 제1 C-L 필터부를 구비하는 제1 출력수단; 및상기 제1 및 제2 단상 PWM 인버터와 병렬 접속되어 서로 다른 위상으로 동작하는 제3 단상 PWM 인버터와 제3 교류 리액터(Lr)와 제3 변압기와 제3 정류기를 구비한 제3 출력부와, 상기 제3 단상 PWM 인버터와 병렬 접속되고 상기 제1 내지 제3 단상 PWM 인버터와 서로 다른 위상으로 동작하는 제4 단상 PWM 인버터와 제4 교류 리액터(Lr)와 제4 변압기와 제4 정류기를 구비한 제4 출력부와, 상기 제3 정류기와 병렬 연결된 콘덴서(C3)와 상기 콘덴서(C3)와 직렬 연결되고 상기 제4 정류기에 병렬 연결되는 콘덴서(C4) 및 상기 제3 정류기에 직렬 연결되는 리액터(L)로 이루어진 제2 C-L 필터부를 구비하는 제2 출력수단;을 포함하되,상기 제1 및 제2 출력수단의 각 C-L 필터부의 출력단자가 병렬 접속된 단위 용량 증대 및 출력 리플 저감을 위한 장치.
- 제 3항에 있어서,상기 제1 내지 제4 단상 PWM 인버터는 고주파용 반도체 스위칭 소자로 FET가 사용되고, 상기 제3, 제2, 제4 단상 PWM 인버터는 상기 제1 단상 PWM 인버터에 대해 각각 45°, 90°, 135°의 위상차로 스위칭 제어됨을 특징으로 하는 단위 용량 증대 및 출력 리플 저감을 위한 장치.
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