JP2006238695A - プラズマ発生用電源装置 - Google Patents

Abstract

【課題】単位容量の増大及び出力リップルの低減を図るプラズマ発生用電源装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生用電源装置は、ブリッジダイオードBDで整流され、コンデンサC で平滑化された直流電圧を高周波交流電圧に変換する第１の単相ＰＷＭインバータ111 と、第１の交流リアクタ112 と、巻線比に応じて高周波交流電圧を必要な電圧に変圧する第１の変圧器113 と、交流電圧を直流電圧に整流する第１の整流器114 とを有する第１の出力部110 と、インバータ111 に並列接続され、異なる位相で動作する第２の単相ＰＷＭインバータ121 と、第２の交流リアクタ122 と、第２の変圧器123 と、第２の整流器124 とを有する第２の出力部120 と、整流器114 に並列接続されたコンデンサC1と、コンデンサC1に直列接続され、整流器124 に並列接続されたコンデンサC2と、整流器114 に直列接続されたリアクタL とを有するＣ−Ｌフィルタ部とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、プラズマ発生用電源装置に関し、より詳しくは、負荷の増大による大容量化の電源装置を構成するにあたって、複数の単相ＰＷＭ（Ｐｕｌｓｅ Ｗｉｄｔｈ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ、以下「ＰＷＭ」という）インバータの入力端を並列接続して、異なる位相に切換え制御を行い、複数の単相ＰＷＭインバータにそれぞれ直列接続された複数の整流器の各出力端を直列及び並列接続して、電源装置の出力量を増大させることにより、単位容量の増大及び出力リップルの低減を図る装置に関する。

プラズマ電源装置は、物質の第４の状態と呼ばれるプラズマの発生及び保持のための電源装置として、その応用範囲は極めて多岐にわたっている。例えば、半導体工程等においては、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｏｎ）、ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、コーティング、スパッタリング、金属の窒化処理、炭化結晶成長、ダイヤモンド合成等の各種の処理に用いられている。

このような従来のプラズマ発生用電源装置は、製品の表面処理のための工程において、電力を供給する役割をするものであり、図１に示すように、外部から交流電源が印加されると、ブリッジダイオードＢＤで整流され、コンデンサＣで平滑化された直流電圧を高周波交流電圧に変換するインバータ１０と、前記インバータ１０の出力端に接続され、垂下特性を維持する交流リアクタＬｒと、前記インバータ１０からの高周波交流電圧を特定の巻線比に応じて必要な電圧に変圧する変圧器２０と、前記変圧器２０にて変圧された交流電圧を直流電圧に整流する整流器３０と、前記整流器３０にて整流された電圧を整流器３０に並列接続されたコンデンサＣ１を介して蓄積し、その蓄積された電圧を整流器３０に直列接続されたリアクタＬを介して負荷端に出力するＣ−Ｌフィルタ４０と、から構成されている。

しかしながら、最近のプラズマ発生用電源装置は、負荷端での負荷増大のために大容量化が要求されている。大容量化を実現するためには、大容量半導体素子が必要となる。しかしながら、最近、開発された高速用大容量半導体素子ＩＧＢＴ（Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ Ｇａｔｅ Ｂｉｐｏｌａｒ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を用いる場合、２０ｋＨｚ以下の制御周波数を有するようになる。

この場合、プラズマ発生用電源装置の大きさの増大はもとより、出力のリップル低減のために大きな容量のＣ−Ｌフィルタが必要となる。その結果、電源装置のＣ−Ｌに蓄積されるエネルギーが増大し、負荷端でのアーク（ショート状態）の発生時、大きなエネルギーが負荷端に加えられるようになり、プラズマを不安定にするという問題があった。これは、応用負荷の特性と品質を低下させ、システムを不安定にする要因となる。

したがって、プラズマ発生用電源装置の蓄積エネルギーを減らし、出力リップルを減らすためには、高周波スイッチング半導体素子を用いなければならないが、現在までの開発された半導体素子では、容量に限界がある。

本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、複数の単相ＰＷＭインバータの入力端を並列接続して、異なる位相に切換え制御を行い、複数の単相ＰＷＭインバータにそれぞれ直列接続された複数の整流器の各出力端を直列及び並列接続して電源装置の出力量を増大させ、高周波用半導体素子であるＦＥＴ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｆｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を用いた単相ＰＷＭインバータの直並列制御による最小のＣ−Ｌフィルタで、出力リップルを最小化する、単位容量の増大及び出力リップルの低減のための装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明のプラズマ発生用電源装置は、ブリッジダイオードで整流され、コンデンサで平滑化された直流電圧を高周波交流電圧に変換する第１の単相ＰＷＭインバータと、前記第１の単相ＰＷＭインバータの出力端に接続された第１の交流リアクタと、前記高周波交流電圧を特定の巻線比に応じて必要な電圧に変圧する第１の変圧器と、前記第１の変圧器にて変圧された交流電圧を直流電圧に整流する第１の整流器とを有する第１の出力部と、前記第１の単相ＰＷＭインバータに並列接続され、前記第１の単相ＰＷＭインバータと異なる位相で動作する第２の単相ＰＷＭインバータと、第２の交流リアクタと、第２の変圧器と、第２の整流器とが互いに直列連結された第２の出力部と、前記第１の整流器に並列連結された第１のコンデンサと、前記第１のコンデンサに直列連結され、前記第２の整流器に並列連結された第２のコンデンサと、前記第１の整流器に直列連結されたリアクタとを有するＣ−Ｌフィルタ部と、を備える。

また、本発明のプラズマ発生用電源装置は、ブリッジダイオードで整流され、コンデンサで平滑化された直流電圧を高周波交流電圧に変換する第１の単相ＰＷＭインバータと、前記第１の単相ＰＷＭインバータの出力端に接続された第１の交流リアクタと、前記高周波交流電圧を特定の巻線比に応じて必要な電圧に変圧する第１の変圧器と、前記第１の変圧器にて変圧された交流電圧を直流電圧に整流する第１の整流器とを有する第１の出力部と、前記第１の単相ＰＷＭインバータに並列接続され、前記第１の単相ＰＷＭインバータと異なる位相で動作する第２の単相ＰＷＭインバータと、第２の交流リアクタと、第２の変圧器と、第２の整流器とが互いに直列連結された第２の出力部と、前記第１の整流器に並列連結された第１のコンデンサと、前記第１のコンデンサに直列連結され、前記第２の整流器に並列連結された第２のコンデンサと、前記第１の整流器に直列連結されたリアクタとを有する第１のＣ−Ｌフィルタ部とを備える第１の出力手段と、前記第１及び第２の単相ＰＷＭインバータに並列接続され、該第１及び第２の単相ＰＷＭインバータと異なる位相で動作する第３の単相ＰＷＭインバータと、第３の交流リアクタと、第３の変圧器と、第３の整流器とを有する第３の出力部と、前記第３の単相ＰＷＭインバータに並列接続され、前記第１乃至第３の単相ＰＷＭインバータと異なる位相で動作する第４の単相ＰＷＭインバータと、第４の交流リアクタと、第４の変圧器と、第４の整流器とを有する第４の出力部と、前記第３の整流器に並列連結された第３のコンデンサと、前記第３のコンデンサに直列連結され、前記第４の整流器に並列連結された第４のコンデンサと、前記第３の整流器に直列連結されたリアクタとからなる第２のＣ−Ｌフィルタ部とを備える第２の出力手段と、を備え、前記第１及び第２の出力手段の各Ｃ−Ｌフィルタ部の出力端子が並列接続される。

上述したような本発明のプラズマ発生用電源装置によれば、複数の単相ＰＷＭインバータの入力端を並列接続して、異なる位相に切換え制御を行い、複数の単相ＰＷＭインバータにそれぞれ直列接続された複数の整流器の各出力端を直列及び並列接続して、電源装置の出力量を増大させることを可能にすることにより、単位容量の増大によって、プラズマ電源装置の大容量化を実現し、複数の単相ＰＷＭインバータの制御によって出力リップル電圧を低減させる効果がある。

また、本発明によれば、負荷端でのアーク発生時にも、単位容量の増大によるアークエネルギーが増加しないことにより、システムが安定化するという効果がある。

以下、本発明の好ましい実施の形態を、添付図面に基づいて詳しく説明する。
図２は、本発明の一実施の形態に係るプラズマ発生用電源装置を示す回路構成図である。図示のように、このプラズマ発生用電源装置は、第１の単相ＰＷＭインバータ１１１と、第１の交流リアクタ１１２と、第１の変圧器１１３と、第１の整流器１１４とを有する第１の出力部１１０と、第２の単相ＰＷＭインバータ１２１と、第２の交流リアクタ１２２と、第２の変圧器１２３と、第２の整流器１２４とを有する第２の出力部１２０と、第１の整流器１１４に並列接続され、第１の整流器１１４から出力された電圧を蓄積するコンデンサＣ１（第１のコンデンサ）と、コンデンサＣ１に直列接続され、第２の整流器１２４から出力された電圧を蓄積するコンデンサＣ２（第２のコンデンサ）と、第１の整流器１１４に直列接続され、前記コンデンサＣ１、Ｃ２に蓄積された電圧を負荷端（図示せず）に出力するリアクタＬとを有するＣ−Ｌフィルタ１３０とを備える。

第１の出力部１１０の第１の単相ＰＷＭインバータ１１１は、ブリッジダイオードＢＤで整流され、コンデンサＣで平滑化された直流電圧を高周波交流電圧に変換して、第１の変圧器１１３に出力する。この際、ブリッジダイオードＢＤには、交流電源が外部の電圧源から供給される。

第１の変圧器１１３は、第１の単相ＰＷＭインバータ１１１から出力された高周波交流電圧を特定の巻線比に応じて必要な電圧に変圧して、第１の整流器１１４に出力する。ここで、第１の単相ＰＷＭインバータ１１１と第１の変圧器１１３との間には、垂下特性を維持するための第１の交流リアクタ１１２が直列接続されている。第１の整流器１１４は、第１の変圧器１１３にて変圧された交流電圧を直流電圧に整流する。

第２の出力部１２０の第２の単相ＰＷＭインバータ１２１は、第１の単相ＰＷＭインバータ１１１に並列接続され、第１の単相ＰＷＭインバータ１１１と９０°の位相差で動作する。第２の単相ＰＷＭインバータ１２１は、ブリッジダイオードＢＤで整流され、コンデンサＣで平滑化された直流電圧を高周波交流電圧に変換して、第２の変圧器１２３に出力する。

第２の変圧器１２３は、第２の単相ＰＷＭインバータ１２１から出力された高周波交流電圧を特定の巻線比に応じて必要な電圧に変圧して、第２の整流器１２４に出力する。第２の単相ＰＷＭインバータ１２１と第２の変圧器１２３との間には、垂下特性を維持するための第２の交流リアクタ１２２が直列接続されている。第２の整流器１２４は、第２の変圧器１２３にて変圧された交流電圧を直流電圧に整流する。

前記第１及び第２の単相ＰＷＭインバータ１１１，１２１には、高周波用半導体スイッチング素子としてＦＥＴが用いられており、双方の単相ＰＷＭインバータ１１１，１２１は、図４に示すように、９０°の位相差で動作が切換えられる。

なお、第１の単相ＰＷＭインバータ１１１と第１の交流リアクタ１１２と第１の変圧器１１３と第１の整流器１１４とを有する第１の出力部１１０と、第２の単相ＰＷＭインバータ１２１と第２の交流リアクタ１２２と第２の変圧器１２３と第２の整流器１２４とを有する第２の出力部１２０は、一つの単位モジュールで構成されてもよい。

前記Ｃ−Ｌフィルタ部１３０は、コンデンサＣ１、Ｃ２及びリアクタＬに蓄積されたプラズマ発生のための電力を負荷端（例えば、プラズマ発生部）（図示せず）に出力する。プラズマ発生部では、発生させたプラズマを用いて該当工程を行うようになる。

上述したような本発明の一実施の形態は、プラズマ発生用電源装置での単位容量を増大させるための装置であって、第１の単相ＰＷＭインバータ１１１に直列接続された第１の整流器１１４と、第２の単相ＰＷＭインバータ１２１に直列接続された第２の整流器１２４のそれぞれは、インバータ周波数の２倍の周波数リップルを有するＤＣ成分を出力し、第１の出力部１１０のインバータ−整流器間と第２の出力部１２０のインバータ−整流器間とが、図４に示すように、９０°の位相差で動作することにより、最終の負荷出力では、単位容量が増大された状態で、出力リップルは、インバータ周波数の４倍周波数の極小のリップルを有するようになる。

図３は、本発明の他の実施の形態に係るプラズマ発生用電源装置の構成を示す回路構成図である。図示のように、このプラズマ発生用電源装置は、第１の出力部１１０と第２の出力部１２０と第１のＣ−Ｌフィルタ部１３０とを有する第１の出力手段１００と、第３の出力部２１０と第４の出力部２２０と第２のＣ−Ｌフィルタ部２３０とを有する第２の出力手段２００とを備える。

以下、本実施の形態を説明するにあたって、第１の出力手段１００の第１の出力部１１０、第２の出力部１２０及び第１のＣ−Ｌフィルタ部１３０の具体的な構成及び動作原理は、上述した図２に示す実施の形態と同様であるので、その詳細な説明は省略する。

第３の出力部２１０は、第３の単相ＰＷＭインバータ２１１と第３の交流リアクタ２１２と第３の変圧器２１３と第３の整流器２１４とを有し、第４の出力部２２０は、第４の単相ＰＷＭインバータ２２１と第４の交流リアクタ２２２と第４の変圧器２２３と第４の整流器２２４とを有し、第２のＣ−Ｌフィルタ部２３０は、第３の整流器２１４と並列接続され、第３の整流器２１４から出力された電圧を蓄積するコンデンサＣ３（第３のコンデンサ）と、コンデンサＣ３と直列接続され、第４の整流器２２４から出力された電圧を蓄積するコンデンサＣ４（第４のコンデンサ）と、前記コンデンサＣ３、Ｃ４に蓄積された電圧を負荷端に出力するリアクタＬとを含み、前記リアクタＬは、第３の整流器２１４に直列接続される。

また、前記第１及び第２の出力手段１００、２００は、各第１及び第２のＣ−Ｌフィルタ部１３０、２３０の出力端子が並列接続されて負荷端と連結される。
第１の出力部１１０の第１の単相ＰＷＭインバータ１１１は、ブリッジダイオードＢＤで整流され、コンデンサＣで平滑化した直流電圧を高周波交流電圧に変換し、第１の変圧器１１３に出力する。

また、第２の出力部１２０の第２の単相ＰＷＭインバータ１２１は、第１の単相ＰＷＭインバータ１１１に並列接続され、図４に示すように、第１の単相ＰＷＭインバータ１１１と９０°の位相差で動作する。

また、第３の出力部２１０の第３の単相ＰＷＭインバータ２１１は、第１及び第２の単相ＰＷＭインバータ１１１、１２１に並列接続され、図４に示すように、第１及び第２の単相ＰＷＭインバータ１１１、１２１の各々に対して４５°の位相差で動作する。

第４の出力部２２の第４の単相ＰＷＭインバータ２２１は、第１乃至第３の単相ＰＷＭインバータ１１１、１２１、２１１に並列接続され、図４に示すように、第３の単相ＰＷＭインバータ２２１と９０°の位相差を有する１３５°で動作する。

第１乃至第４の変圧器１１３、１２３、２１３、２２３は、それぞれ第１乃至第４の単相ＰＷＭインバータ１１１、１２１、２１１、２２１からの高周波交流電圧を特定の巻線比に応じて必要な電圧に変圧し、第１及び第４の整流器１１４、１２４、２１４、２２４のそれぞれに出力する。第１乃至第４の単相ＰＷＭインバータ１１１、１２１、２１１、２２１と、第１乃至第４の変圧器１１３、１２３、２１３、２２３との間には、垂下特性を維持するための第１乃至第４の交流リアクタ１１２、１２２、２１２、２２２がぞれぞれ直列接続されている。

第１乃至第４の整流器１１４、１２４、２１４、２２４は、第１乃至第４の変圧器１１３、１２３、２１３、２２３にて変圧された交流電圧をそれぞれ直流電圧に整流する。
第１の出力手段１００の第１のＣ−Ｌフィルタ部１３０は、コンデンサＣ１、コンデンサＣ２及びリアクタＬに蓄積されたプラズマ発生のための電力を負荷端に出力し、第２の出力手段２００の第２のＣ−Ｌフィルタ部２３０は、コンデンサＣ３、コンデンサＣ４及びリアクタＬに蓄積されたプラズマ発生のための電力を負荷端に出力する。以降、負荷端に接続されたプラズマ発生部（図示せず）では、発生させたプラズマを用いて、該当工程を行うようになる。

上述したような本発明は、プラズマ発生用電源装置での単位容量を増大させるための他の例示の装置として、第１の出力手段１００では、第１の単相ＰＷＭインバータ１１１に直列接続された第１の整流器１１４と、第２の単相ＰＷＭインバータ１２１に直列接続された第２の整流器１２４のそれぞれは、インバータ周波数の２倍の周波数リップルを有するＤＣ成分を出力し、第１の出力部１１０のインバータ−整流器間と第２の出力部１２０のインバータ−整流器間とは、図４に示すように、互いに９０°の位相差で動作する。

ここで、図３に示した第２の出力手段２００における第３の出力部２１０のインバータ−整流器間と第４の出力部２２０のインバータ−整流器間とは、図４に示すように、それぞれ４５°と１３５°の位相（即ち、９０°の位相差）で動作する。このため、本発明の最終負荷出力では、４個のインバータの異なる位相を制御して単位容量を増大させることにより、出力リップルは、１周期当たりインバータ周波数の８倍周波数の極小のリップルを有するようになる。

前記第１乃至第４の単相ＰＷＭインバータ１１１、１２１、２１１、２２１は、高周波用半導体スイッチング素子としてＦＥＴが用いられている。なお、第１の単相ＰＷＭインバータ１１１と第１の交流リアクタ１１２と第１の変圧器１１３と第１の整流器１２４とを有する第１の出力部１１０と、第２の単相ＰＷＭインバータ１２１と第２の交流リアクタ１２２と第２の変圧器１２３と第２の整流器１２４とを有する第２の出力部１２０は、一つの単位モジュールで構成されてもよい。

さらに、第３の単相ＰＷＭインバータ２１１と第３の交流リアクタ２１２と第３の変圧器２１３と第３の整流器２１４とを有する第３の出力部２１０と、第４の単相ＰＷＭインバータ２２１と第４の交流リアクタ２２２と第４の変圧器２２３と第４の整流器２２４とを有する第４の出力部２２０も同様に、一つの単位モジュールで構成されてもよい。また、本発明は、上述したように各出力部を構成するにあたって、その出力部は、２個と４個を使用している単位モジュールの構成例に限定されることなく、当業者の知識レベルであれば、出力部の増設が可能である。

以上、種々の実施の形態を挙げて本発明をより詳細に説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で、様々な変形が可能である。

従来のプラズマ発生用電源装置の構成を示す回路構成図である。 本発明の一実施の形態に係るプラズマ発生用電源装置を示す回路構成図である。 本発明の他の実施の形態に係るプラズマ発生用電源装置を示す回路構成図である。 本発明に係るプラズマ発生用電源装置における各インバータの動作タイミング、整流器出力、負荷出力を示す図である。

符号の説明

１００ 第１の出力手段
１１０ 第１の出力部
１１１ 第１の単相ＰＷＭインバータ
１１２ 第１の交流リアクタ
１１３ 第１の変圧器
１１４ 第１の整流器
１２０ 第２の出力部
１２１ 第２の単相ＰＷＭインバータ
１２２ 第２の交流リアクタ
１２３ 第２の変圧器
１２４ 第２の整流器
１３０ Ｃ−Ｌフィルタ部、第１のＣ−Ｌフィルタ部
２００ 第２の出力手段
２１０ 第３の出力部
２１１ 第３の単相ＰＷＭインバータ
２１２ 第３の交流リアクタ
２１３ 第３の変圧器
２１４ 第３の整流器
２２０ 第４の出力部
２２１ 第４の単相ＰＷＭインバータ
２２２ 第４の交流リアクタ
２２３ 第４の変圧器
２２４ 第４の整流器
２３０ 第２のＣ−Ｌフィルタ部

Claims (4)

1. プラズマ発生用電源装置であって、
   ブリッジダイオードで整流され、コンデンサで平滑化された直流電圧を高周波交流電圧に変換する第１の単相ＰＷＭインバータと、前記第１の単相ＰＷＭインバータの出力端に接続された第１の交流リアクタと、前記高周波交流電圧を特定の巻線比に応じて必要な電圧に変圧する第１の変圧器と、前記第１の変圧器にて変圧された交流電圧を直流電圧に整流する第１の整流器とを有する第１の出力部と、
   前記第１の単相ＰＷＭインバータに並列接続され、前記第１の単相ＰＷＭインバータと異なる位相で動作する第２の単相ＰＷＭインバータと、第２の交流リアクタと、第２の変圧器と、第２の整流器とが互いに直列連結された第２の出力部と、
   前記第１の整流器に並列連結された第１のコンデンサと、前記第１のコンデンサに直列連結され、前記第２の整流器に並列連結された第２のコンデンサと、前記第１の整流器に直列連結されたリアクタとを有するＣ−Ｌフィルタ部と、
   を備えることを特徴とするプラズマ発生用電源装置。
2. 前記第１及び第２の単相ＰＷＭインバータには、高周波用半導体スイッチング素子としてＦＥＴが用いられ、前記第２の単相ＰＷＭインバータは、前記第１の単相ＰＷＭインバータに対して９０°の異なる位相で動作することを特徴とする請求項１に記載のプラズマ発生用電源装置。
3. プラズマ発生用電源装置であって、
   ブリッジダイオードで整流され、コンデンサで平滑化された直流電圧を高周波交流電圧に変換する第１の単相ＰＷＭインバータと、前記第１の単相ＰＷＭインバータの出力端に接続された第１の交流リアクタと、前記高周波交流電圧を特定の巻線比に応じて必要な電圧に変圧する第１の変圧器と、前記第１の変圧器にて変圧された交流電圧を直流電圧に整流する第１の整流器とを有する第１の出力部と、前記第１の単相ＰＷＭインバータに並列接続され、前記第１の単相ＰＷＭインバータと異なる位相で動作する第２の単相ＰＷＭインバータと、第２の交流リアクタと、第２の変圧器と、第２の整流器とが互いに直列連結された第２の出力部と、前記第１の整流器に並列連結された第１のコンデンサと、前記第１のコンデンサに直列連結され、前記第２の整流器に並列連結された第２のコンデンサと、前記第１の整流器に直列連結されたリアクタとを有する第１のＣ−Ｌフィルタ部とを備える第１の出力手段と、
   前記第１及び第２の単相ＰＷＭインバータに並列接続され、該第１及び第２の単相ＰＷＭインバータと異なる位相で動作する第３の単相ＰＷＭインバータと、第３の交流リアクタと、第３の変圧器と、第３の整流器とを有する第３の出力部と、前記第３の単相ＰＷＭインバータに並列接続され、前記第１乃至第３の単相ＰＷＭインバータと異なる位相で動作する第４の単相ＰＷＭインバータと、第４の交流リアクタと、第４の変圧器と、第４の整流器とを有する第４の出力部と、前記第３の整流器に並列連結された第３のコンデンサと、前記第３のコンデンサに直列連結され、前記第４の整流器に並列連結された第４のコンデンサと、前記第３の整流器に直列連結されたリアクタとを有する第２のＣ−Ｌフィルタ部とを備える第２の出力手段と、を備え、
   前記第１及び第２の出力手段の各Ｃ−Ｌフィルタ部の出力端子が並列接続されたことを特徴とするプラズマ発生用電源装置。
4. 前記第１乃至第４の単相ＰＷＭインバータには、高周波用半導体スイッチング素子としてＦＥＴが用いられ、前記第３、第２及び第４の単相ＰＷＭインバータは、前記第１の単相ＰＷＭインバータに対してそれぞれ４５°、９０°及び１３５°の位相差で切換え制御されることを特徴とする請求項３に記載のプラズマ発生用電源装置。

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