KR100706579B1 - 전자기파 차폐용 필터 - Google Patents

전자기파 차폐용 필터 Download PDF

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임명덕
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Abstract

본 발명은, 중앙부에 배치된 메쉬선의 폭이 균일하고, 그 메쉬선이 교차하는 교차부의 폭이 메쉬선보다 넓지 않으며, 제조비용이 저감되는 전자기파 차폐용 필터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은:
기판; 및 상기 기판의 일면에 부착된 전자기파 차폐층;을 구비한 전자기파 차폐용 필터로서,
상기 전자기파 차폐층은 부착필름, 상기 부착필름의 중앙부에 부착된 도전성 메쉬층, 및 상기 부착필름의 주변부에 부착되고 상기 도전성 메쉬층과 전기적으로 연결되며 노출된 도전층을 구비하고,
상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층은 주변부의 단위면적 중 1/30 내지 1/3 의 면적을 차지하고, 그 두께는 1㎛ 보다 큰 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터를 제공한다.

Description

전자기파 차폐용 필터 {EMI Filter}
도 1 은 플라즈마 디스플레이 장치를 도시하는 분해사시도이고,
도 2 는 종래의 전자기파 차폐용 필터를 도시하는 단면도이고,
도 3 은 종래의 전자기파 차폐용 필터의 전자기파 차폐층을 도시하는 평면도이고,
도 4 는 도금공정에 의하여 도전층이 주변부 전체에 걸쳐서 형성된 전자기파 차폐층을 도시하는 평면도이고,
도 5 는 도 4 에 도시된 전자기파 차폐층의 도금층을 형성하는 도금공정을 도시하는 개략도이고,
도 6 은 도 5 에 도시된 도금공정에 의하여 형성된 도금층을 도시하는 단면도이고,
도 7 은 본 발명에 따른 전자기파 차폐용 필터를 제조하는 방법 중 포토레지스트층 형성단계가 완료된 상태를 도시하는 단면도이고,
도 8 은 포토레지스트층 형성단계에 후속하는 도금단계를 도시하는 단면도이고,
도 9 는 도금단계에 의하여 형성된 도금층을 도시하는 단면도이고,
도 10 은 도금단계에 후속하는 포토레지스트층 제거단계가 완료된 상태를 도 시하는 단면도이고,
도 11 은 포토레지스트층 제거단계에 후속하는 도금층 분리단계를 도시하는 단면도이고,
도 12 는 도금층 분리단계에 후속하는 평탄화층 형성단계가 완료된 상태를 도시하는 단면도이고,
도 13 은 평탄화층 형성단계에 후속하는 전자기파 차폐층 부착단계가 완료된 상태를 도시하는 단면도이고,
도 14 는 전자기파 차폐층 부착단계에 후속하는 반사방지층 및 광흡수층 부착단계가 완료된 상태를 도시하는 단면도이고,
도 15 는 본 발명에 따른 전자기파 차폐용 필터의 전자기파 차폐층을 도시하는 사시도이고,
도 16 은 본 발명의 제1실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터 중 도 15 의 A 부분을 도시하는 확대도이고,
도 17 은 본 발명의 제2실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터 중 도 15 의 A 부분을 도시하는 확대도이고,
도 18 은 본 발명의 제3실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터 중 도 15 의 A 부분을 도시하는 확대도이고,
도 19 는 본 발명의 제4실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터 중 도 15 의 A 부분을 도시하는 확대도이고,
도 20 은 본 발명의 제5실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터 중 도 15 의 A 부분을 도시하는 확대도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100: 전자기파 차폐용 필터 110: 표시부
120: 비표시부 130: 기판
140: 반사방지층 150: 광흡수층
200: 전자기파 차폐층 210: 전자기파 차폐층의 주변부
211a: 도전층
211b, 211c, 211d, 211e, 211f, 211g: 도전층의 메쉬선
220: 전자기파 차폐층의 중앙부 221a: 메쉬층
221b: 메쉬층의 메쉬선 230: 부착필름
231: 부착필름의 주변부 231A: 내측주변부
231B: 외측주변부 232: 부착필름의 중앙부
240: 평탄화층
본 발명은 전자기파 차폐용 필터에 관한 것으로서, 더 상세하게는 메쉬층의 메쉬선의 폭이 균일한 전자기파 차폐용 필터에 관한 것이다.
도 1 에 도시된 플라즈마 디스플레이 장치는, 중앙에 윈도우(12)가 형성된 전방캐비넷(10), 상기 전방캐비넷과 내부공간을 한정하는 후방캐비넷(70), 상기 전 방캐비넷의 내측에 배치되고 상기 윈도우를 덮는 전자기파 차폐용 필터(100), 상기 전자기파 차폐용 필터를 전방캐비넷의 주변부(11)에 대해 가압하고 나사(35)에 의하여 필터홀더 장착부(13)에 고정되는 필터홀더(30), 상기 전자기파 차폐용 필터의 후방에 배치된 플라즈마 디스플레이 패널(50), 상기 플라즈마 디스플레이 패널을 구동하는 회로부(62), 상기 회로부와 플라즈마 디스플레이 패널을 연결하는 케이블(61), 및 상기 플라즈마 디스플레이 패널과 회로부를 지지하는 섀시(60)를 구비한다. 상기 전자기파 차폐용 필터는 필터홀더와의 직접적 접촉에 의하여 접지된다.
상기 플라즈마 디스플레이 장치는 예시적인 것으로서, 본 발명에 따른 전자기파 차폐용 필터는 다른 종류의 디스플레이 장치에도 사용될 수 있다.
도 2 에 도시된 종래의 전자기파 차폐용 필터는 기판(130), 상기 기판의 후방에 부착된 전자기파 차폐층(200), 상기 전자기파 차폐층의 후방에 부착된 광흡수층(150), 및 상기 기판의 전방에 부착된 반사방지층(140)을 구비한다. 한편 상기 전자기파 차폐용 필터는 그 평면상의 위치에 따라서 표시부(110)와 비표시부(120)로 구분될 수 있는데, 상기 표시부는 플라즈마 디스플레이 패널의 화상이 통과하는 영역을 의미하고, 상기 비표시부는 전방캐비넷의 주변부(11)에 가려서 사용자에게 보이지 않는 부분을 의미한다. 도 2 에 도시된 바와 같이, 전자기파 차폐층의 주변부(210)는 광흡수층(150)에 의하여 덮이지 않고 노출되어 있어서, 필터홀더(30)와 직접적으로 접촉할 수 있다. 따라서 상기 전자기파 차폐층(200)에 의하여 포획된 전자기파는 필터홀더(30)를 거쳐서 외부로 방출된다.
도 3 에는 상기 전자기파 차폐층(200)의 평면도가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이, 전자기파 차폐층(200)은 중앙부(220)와 주변부(210)로 구분된다. 상기 중앙부에는 전자기파를 포획하기 위한 메쉬층(221)이 형성되어 있고, 주변부에는 아무런 패턴이 형성되지 않은 도전층(211)이 형성되어 있다.
종래에는 상기 전자기파 차폐층(200), 특히 메쉬층(221)이 에칭공정에 의하여 형성되었는데, 에칭공정에 의하여 형성된 메쉬층의 메쉬선 폭은 균일하지 않다는 문제가 있다. 특히 메쉬선이 교차하는 교차부(222)의 폭은 에칭공정에 의하여 메쉬선이 단선되지 않도록 하기 위하여 넓게 되어야 하는데, 이 경우에는 플라즈마 디스플레이 패널로부터 방출된 빛을 많이 차폐한다는 문제가 있다. 나아가 상기 에칭공정은 그 공정단계가 많아서, 전자기파 차폐용 필터의 제조비용이 높게 된다는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하여, 중앙부에 배치된 메쉬선의 폭이 균일하고, 그 메쉬선이 교차하는 교차부의 폭이 메쉬선보다 넓지 않으며, 제조비용이 저감되는 전자기파 차폐용 필터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은:
기판; 및 상기 기판의 일면에 부착된 전자기파 차폐층;을 구비한 전자기파 차폐용 필터로서,
상기 전자기파 차폐층은 부착필름, 상기 부착필름의 중앙부에 부착된 도전성 메쉬층, 및 상기 부착필름의 주변부에 부착되고 상기 도전성 메쉬층과 전기적으로 연결되며 노출된 도전층을 구비하고,
상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층은 주변부의 단위면적 중 1/30 내지 1/3 의 면적을 차지하고, 그 두께는 1㎛ 보다 큰 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터를 제공한다.
상기 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층과 부착필름의 주변부에 부착된 도전층은 도전성 금속으로 형성된다.
상기 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층과 부착필름의 주변부에 부착된 도전층은 도금에 의하여 형성되는 것이 바람직하다.
상기 부착필름의 중앙부에 부착된 도전성 메쉬층은 평탄화층에 의하여 덮이는 것이 바람직하다.
상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층의 두께는 3㎛ 내지 4㎛인 것이 바람직하다.
상기 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬 피치는 250㎛ 내지 350㎛이고, 그 메쉬선 폭은 5㎛ 내지 15㎛이며, 메쉬선 두께는 3㎛ 내지 15㎛인 것이 바람직하다.
상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층은 메쉬 형상으로 형성될 수 있다.
상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층의 메쉬 피치는 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬 피치와 동일할 수 있다.
상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층의 메쉬선 폭은 부착필름의 중앙부 에 부착된 메쉬층의 메쉬선 폭과 동일할 수 있고, 그 보다 클 수도 있다.
상기 부착필름의 주변부는 다단으로 구획되고, 최내측에 있는 주변부에 부착된 도전층의 메쉬선 폭은 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬선 폭보다 크며, 내측에 있는 주변부에 부착된 도전층의 메쉬선 폭은 외측에 있는 주변부에 부착된 도전층의 메쉬선 폭보다 작은 것이 바람직하다.
상기 메쉬층의 메쉬선, 제1주변부에 부착된 도전층의 메쉬선, 및 제2주변부에 부착된 도전층의 메쉬선이 연결된 메쉬선의 두께와 폭은 연속적으로 변화하는 것이 바람직하다.
상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층의 메쉬 피치는 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬 피치보다 작을 수 있다.
상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층의 메쉬선 폭은 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬선 폭과 동일할 수 있다.
상기 부착필름의 주변부는 다단으로 구획되고, 최내측에 있는 주변부에 부착된 도전층의 메쉬 피치는 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬 피치보다 작으며, 내측에 있는 주변부에 부착된 도전층의 메쉬 피치는 외측에 있는 주변부에 부착된 도전층의 메쉬 피치보다 큰 것이 바람직하다.
상기 전자기파 차폐용 필터는 상기 전자기파 차폐층의 중앙부에 부착된 광흡수층을 더 구비하는 것이 바람직하다.
상기 전자기파 차폐용 필터는, 기판을 사이에 두고 전자기파 차폐층의 반대쪽에 부착된 반사방지층을 더 구비하는 것이 바람직하다.
도 4 내지 도 6을 참조하여 도금공정에 의하여 형성되는 전자기파 차폐용 필터의 메쉬층(221a)과 도전층(211)에 관하여 설명한다.
도 4 에 도시된 전자기파 차폐층(200)은 종래의 에칭에 의하여 형성된 전자기파 차폐층과 유사한 형태를 갖지만, 메쉬층(221a)이 도금에 의하여 형성되었기 때문에 메쉬층의 메쉬선 폭이 균일하고, 메쉬선이 교차하는 교차부(222a)의 폭이 메쉬선 보다 넓지 않다. 다만 도전층(211)의 두께가 상기 메쉬층(221a)의 두께보다 현저히 얇은데, 그 이유는 도 5 와 도 6 을 참조하여 설명한다.
도 5 에 도시된 전자기파 차폐층의 도금층(메쉬층(221a)과 도전층(211)을 포함한다)을 형성하는 도금공정에 있어서, 도금을 위한 제1전극판(310)과 제2전극판(320) 간에는 소정의 전압이 인가됨으로써 제1전극판(310) 상의 포토레지스트층(330)이 형성되지 않은 부분에 도금층이 형성된다. 그러나 이와 같이 도금공정을 수행하면, 포토레지스트층(330)이 형성된 제1전극판(310)의 중앙부(312)에는 두꺼운 도금층이 형성되고, 포토레지스트층이 형성되지 않은 제1전극판의 주변부(311)에는 얇은 도금층이 형성된다. 이는 포토레지스트층에 의하여 상당부분이 덮여진 중앙부(312)의 전류밀도가 포토레지스트층에 의하여 덮여지지 않은 주변부(311)의 전류밀도보다 높기 때문이다.
결국 상기 도금층은 도 6 에 도시된 바와 같은 두께로 형성된다. 즉 포토레제스트층(330) 사이에 도금된 메쉬층(221a)의 두께는 충분히 두꺼운데 반하여, 주변부(311)에 도금된 도전층(211)의 두께는 상대적으로 현저히 얇은 두께를 갖는다. 예를 들어 상기 메쉬층의 메쉬 피치가 300㎛이고, 메쉬선 폭이 10㎛, 이며 메쉬선의 두께가 10㎛라고 하면, 도전층의 두께는 메쉬층 두께의 1/30, 즉 1/3㎛가 된다.
그러나 상기와 같이 도전층(211)의 두께가 1/3㎛ 정도이면, 필터홀더(30)와 접촉하는 도전층의 접촉영역이 국부적인 응력에 의하여 파손되어, 전자기파의 전달이 원활하게 되지 않을 수 있다는 문제가 있다. 또한 후술하는 도금층 분리단계에서 메쉬층과 도전층이 분리될 수 있다는 문제가 있다.
전술된 문제가 없도록 하기 위하여는 상기 도전층의 두께가 1㎛ 이상이 되어야 하는데, 이를 위하여 도금공정의 시간을 3배로 하면 상기 메쉬층의 두께가 30㎛ 정도로 지나치게 두꺼워지고, 또한 도금되는 금속(예를 들어 구리)의 소모량이 많아져서 제조비용이 상승된다는 문제가 있다. 한편 제1전극판의 주변부(311)에 중앙부(312)보다 많은 전류를 공급하는 방안도 있으나, 이는 구조가 복잡한 별도의 도금장비를 필요로 하여 제조비용이 상승된다는 문제가 있다.
이하에서는 종래의 전자기파 차폐용 필터의 문제점과, 바로 앞에서 설명된 종래의 전자기파 차폐층(200)과 유사한 패턴을 갖는 도금층을 구비한 전자기파 차폐용 필터의 문제점이 해결된 전자기파 차폐용 필터에 관하여 상세히 설명한다.
도 7 내지 도 16 을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터에 관하여 설명한다. 본 실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터는 도 13 에 도시된 바와 같이, 유리와 같이 투명한 재료로 제작된 기판(130)과 상기 기판의 일면에 부착된 전자기파 차폐층(200)을 구비한다.
상기 전자기파 차폐층은 PET와 같이 투명한 부착필름(230), 상기 부착필름의 중앙부(232)에 부착된 도전성 메쉬층(221a), 및 상기 부착필름의 주변부(231)에 부착되고 상기 도전성 메쉬층과 전기적으로 연결되며 노출된 도전층(211a)을 구비한다.
상기 부착필름의 중앙부(플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 화상이 표시되는 영역; 232)에 부착된 메쉬층의 메쉬 피치는 대략 250㎛ 내지 350㎛이고, 그 메쉬선 폭은 대략 5㎛ 내지 15㎛이며, 메쉬선 두께는 3㎛ 내지 15㎛이다. 통상적으로, 상기 메쉬층의 메쉬 피치는 대략 300㎛이고, 메쉬선의 폭은 대략 10㎛이며, 메쉬선의 두께는 대략 10㎛이지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 부착필름의 주변부(플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 화상이 표시되지 않는 영역; 231)에 부착된 도전층(211a)은 주변부의 단위면적(1cm2) 중 1/30 내지 1/3 의 면적을 차지하도록 형성된다. 상기 도전층(211a)이 주변부의 단위면적 중 1/30 보다 적은 면적을 차지하게 되면, 도전층(211a)을 형성하는 도전선(도 16 참조, 211b)의 폭(W0)이 두께(H0) 보다 작게 되어 구조적 안정성이 저하된다. 한편 상기 도전층(211a)이 주변부의 단위면적 중 1/3 보다 큰 면적을 차지하게 되면, 도전층(211a)을 형성하는 도전선(211b)의 두께(H0)가 지나치게 얇게 되어, 전술된 바와 같이 필터홀더(30)와의 접촉에 의한 국부적인 응력에 의하여 상기 도전선(211b)이 파손되거나, 또는 도금층 분리단계에서 메쉬층(221a)과 도전층(211a)이 분리될 수 있다는 문제가 있다.
상기 부착필름의 중앙부(232)에 부착된 메쉬층(221a)과 부착필름의 주변부(231)에 부착된 도전층(211a)은 도전성 금속, 예를 들어 구리로 형성된다. 상기 메쉬층(221a)과 도전층(211a)은 도 8 에 도시된 바와 같은 장치에 의하여 제1전극판(310) 상에 도금됨으로써 소정의 패턴으로 형성된다. 상기 제1전극판 상에 도금된 메쉬층(221a)과 도전층(211a)을 "도금층"이라고 부를 수 있는데, 이 도금층은 상기 부착필름(230)에 부착되어 제1전극판으로부터 분리된다. 이에 관한 상세한 사항은 후술한다.
상기 부착필름의 중앙부(232)에 부착된 도전성 메쉬층(221a)은 도 13 에 도시된 바와 같이 평탄화층에 의하여 덮이는 것이 바람직한데, 이는 메쉬에 의한 광간섭을 최소화하고, 또한 도전성 메쉬층(221a)의 파손을 방지하기 위한 것이다. 부착필름의 주변부(231)에 부착된 도전층(211a)은 필터홀더(30)와 접촉됨으로써 외부와 접지되어야 하므로 평탄화층에 의하여 덮이지 않고 노출된다. 상기 평탄화층은 UV경화제 등으로 형성된다.
상기 부착필름의 주변부(231)에 부착된 도전층(211a)은 메쉬층(221a)과 같이 메쉬 형상으로 형성된다. 특히 본 실시예에 있어서는, 도 16 에 도시된 도전층(211a)의 메쉬 피치(P0)가 메쉬층(221a)의 메쉬 피치와 동일하고, 도전층의 메쉬선 폭(W0)은 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층(221a)의 메쉬선 폭과 동일하다.
본 발명에 따른 전자기파 차폐용 필터의 기본적인 기능은 전자기파의 차폐이므로, 전자기파 차폐층(200)을 필수적으로 구비한다. 다만, 전자기파 차폐용 필터 는 부가적인 기능을 수행하기 위하여 도 14 에 도시된 바와 같이, 상기 전자기파 차폐층(200)의 중앙부(220) 후방에 부착된 광흡수층(150)과, 기판(130)을 사이에 두고 전자기파 차폐층의 반대쪽, 즉 기판의 전방에 부착된 반사방지층(140)을 더 구비할 수 있다. 상기 광흡수층(150)은 디스플레이 패널(50)로부터 방출되는 가시광선이 아닌 빛을 흡수하는 층인데, 주로 적외선을 흡수한다. 상기 반사방지층(140)은 외광이 전자기파 차폐용 필터(100)에 의하여 반사되는 것을 방지한다.
이하에서는 상기 제1실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터의 제조방법에 관하여 도 7 내지 도 14 를 참조하여 설명한다.
도 7 은 본 발명에 따른 전자기파 차폐용 필터를 제조하는 방법 중 포토레지스트층 형성단계가 완료된 상태를 도시하는 단면도이다. 포토레지스트층 형성단계는 포토레지스트층을 제1전극판(310) 상에 전면적으로 형성하고, 이를 소정의 패턴으로 노광한 후, 현상함으로써 수행된다. 결과적으로 도금용 제1전극판(310)의 중앙부(312)와 주변부(311) 상에 포토레지스트층(330)이 소정의 패턴으로 형성된다.
도 8 은 포토레지스트층 형성단계에 후속하는 도금단계를 도시하는 단면도이다. 본 단계에 의하여 구리와 같은 도전성 금속이 상기 제1전극판 상의 포토레지스트층이 형성되지 않은 부분에 도금된다. 본 단계에 있어서, 제1전극판의 주변부(311)에 공급되는 전류의 양은 중앙부(312)에 공급되는 전류의 양과 동일하다. 따라서 메쉬층(221a)의 두께와 도전층(211a)의 두께의 비율은, 각각 제1전극 판(310)의 중앙부(312)의 단위면적 중 포토레지스트층이 형성되지 않은 면적의 비율과, 제1전극판(310)의 주변부(311)의 단위면적 중 포토레지스트층이 형성되지 않은 면적의 비율에 따라서 정해진다.
도 9 는 도금단계에 의하여 형성된 도금층을 도시하는 단면도이다. 본 실시예에서는 제1전극판(310)의 중앙부(312)의 단위면적 중 포토레지스트층이 형성되지 않은 면적의 비율과, 제1전극판(310)의 주변부(311)의 단위면적 중 포토레지스트층이 형성되지 않은 면적의 비율이 동일하여 메쉬층(221a)의 두께와 도전층(211a)의 두께가 동일하게 된다.
메쉬층(221a)과 도전층(211a)이 상기 제1전극판(310) 상에 도금된 후에는, 포토레지스트층(330)을 제거하는 포토레지스트층 제거단계가 수행된다. 도 10 에는 포토레지스트층 제거단계가 완료된 상태가 도시되어 있다.
포토레지스트층(330)이 제거된 후에는 도금층(211a 및 221a)을 분리하는 도금층 분리단계가 수행된다. 도 11 에 도시된 바와 같이, 상기 도금층은 하면(230a)에 접착제가 도포된 부착필름(230)에 부착되어 제1전극판(310)으로부터 분리된다.
상기와 같이 분리되어 부착필름의 하면(230a)에 부착된 메쉬층(221a)은 평탄화층(240)에 의하여 덮인다. 상기 평탄화층이 메쉬층 상에 형성됨으로써, 디스플레이 패널(50)로부터 방출되는 빛이 메쉬층에 의하여 간섭되는 것이 최소화되고, 제조공정 중에 메쉬층(221a)이 손상되는 것이 방지된다. 상기 평탄화층은 UV경화제 등으로 형성된다. 부착필름의 주변부(231)에 부착된 도전층(211a)은 필터홀더(30)와 접촉되어야 하므로 평탄화층에 의하여 덮이지 않고 노출된다. 도 12 에는 평탄화층 형성단계가 완료된 상태가 도시되어 있다.
상기와 같은 단계들을 거쳐서 완성된 전자기파 차폐층(200)은 도 13 에 도시된 바와 같이 기판(130)에 부착된다. 전자기파 차폐층은 다양한 수단에 의하여 기판에 의하여 부착될 수 있다. 일 예로서, 전자기파 차폐층은 부착필름의 상면(230b)에 도포된 접착제에 의하여 부착될 수 있다. 본 전자기파 차폐층 부착단계가 완료되면, 전자기파의 차단이라는 기본적인 기능을 수행하는 전자기파 차폐용 필터(100)가 완성된다.
상기 완성된 전자기파 차폐용 필터에 부가적인 기능을 추가하기 위하여, 도 14 에 도시된 바와 같이 외광의 반사를 방지하는 반사방지층(140)을 기판(130)의 전방에 부착시키고, 가시광선이 아닌 빛(주로 적외선)을 흡수하는 광흡수층(150)을 전자파 차폐층(200)의 후방에 부착시킬 수 있다.
도 15 와 도 16 을 참조하여 본 실시예에 따른 전자기파 차단용 필터의 전자파 차폐층(200)에 관하여 상세히 설명한다. 도 15 에 도시된 전자기파 차폐층(200)의 부착필름은 중앙부(232)와 주변부(231)로 구분되는데, 상기 중앙부는 전자기파의 차폐를 위하여 메쉬층(221a)이 형성된 부분이고, 주변부는 필터홀더(30)와 접촉되는 도전층(211a)이 형성된 부분이다.
상기 메쉬층(221a)의 메쉬 피치는 대략 250㎛ 내지 350㎛이고, 그 메쉬선 폭은 대략 5㎛ 내지 15㎛이며, 메쉬선 두께는 3㎛ 내지 15㎛이다. 통상적으로, 상기 메쉬층의 메쉬 피치는 대략 300㎛이고, 메쉬선의 폭은 대략 10㎛이며, 메쉬선의 두 께는 대략 10㎛이지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
도 16 에는 도 15 에 도시된 A부분의 확대도가 도시되어 있는데, 이에 도시된 도전층(211a)은 메쉬 형태로 형성되어 있으며, 도전층(211a)을 형성하는 메쉬선(211b)은 상기 메쉬층(221a)의 메쉬 피치와 동일한 메쉬 피치(P0), 메쉬층의 메쉬선 폭과 동일한 메쉬선 폭(W0), 및 메쉬층의 메쉬선 두께와 동일한 두께(H0)를 갖는다.
도 17을 참조하되 제1실시예와 상이한 사항을 중심으로 본 발명의 제2실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터에 관하여 설명한다. 도 17 에는 본 실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터의 일 부분이 도시되어 있고, 이 부분은 도 15 의 A 부분에 해당하는 부분이다.
본 실시예가 제1실시예와 상이한 것은, 부착필름의 주변부(231)에 부착된 도전층의 메쉬선(211c)의 폭(W1)은 부착필름의 중앙부(232)에 부착된 메쉬층의 메쉬선 폭(W0)보다 크다는 것이다. 도전층의 메쉬선(211c)의 폭(W1)이 메쉬층의 메쉬선 폭(W0)보다 크게 되면, 도금공정에서의 전류밀도와 관련된 이유로 인하여, 도전층의 메쉬선(211c)의 두께(H1)는 메쉬층의 메쉬선의 두께(H0)보다 얇게 되고, 결국 메쉬층의 메쉬선의 두께/폭 비율 보다는 도전층의 메쉬선(211c)의 두께/폭 비율이 작아지므로, 도전층의 메쉬선(211c)의 구조적 안정성이 향상된다. 이와 같이 도전층의 메쉬선(211c)의 구조적 안정성이 향상되므로, 도전층의 메쉬선(211c)이 필터홀더(30)에 의하여 가압되어도 손상되지 않을 수 있다. 다만 상기 메쉬선(211c)의 두께는 1㎛ 보다는 커야 한다. 도전층의 메쉬 피치(P1)는 메쉬층의 메쉬 피치(P0)와 같다.
상기와 같은 사항을 감안하여 결정되는 도전층의 메쉬선(211c)의 최적 두께는 3㎛ 내지 4㎛ 정도인데, 이렇게 되기 위하여 부착필름의 주변부(231)에 부착된 도전층(211a)이 주변부의 단위면적 중에 차지할 최적의 면적은 대략 1/10 정도인 것이 바람직하다.
본 실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터의 도전층의 메쉬선(211c)을 상기와 같이 형성하기 위하여는, 제1실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터의 제조방법을 따르되, 포토레지스트층 형성단계에서 제1전극판(310)의 주변부(311)의 단위면적당 포토레지스트층이 차지하는 면적의 비율을 제1전극판의 중앙부(312)의 단위면적당 포토레지스트층이 차지하는 면적보다 작게 하면된다.
도 18 을 참조하되 제2실시예와 상이한 사항을 중심으로 본 발명의 제3실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터에 관하여 설명한다. 도 18 에는 본 실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터의 일 부분이 도시되어 있고, 이 부분은 도 15 의 A 부분에 해당하는 부분이다.
본 실시예가 제2실시예와 상이한 점은, 부착필름의 주변부가 내측에 있는 제1주변부(231A)와 외측에 있는 제2주변부(231B)로 구획되고, 상기 제1주변부에 부착된 도전층의 메쉬선(211d)의 폭(W2)은 부착필름의 중앙부(232)에 부착된 메쉬층의 메쉬선(221b)의 폭(W0)보다 크며, 상기 제2주변부에 부착된 도전층의 메쉬선(211e)의 폭(W3)보다 작다는 것이다. 이렇게 되면, 부착필름의 주변부(231)의 단위면적당 메쉬층이 차지하는 면적이 주변부(231)의 외측으로 갈수록 단계적으로 넓어진다.
예를 들어, 상기 중앙부(232)에 부착된 메쉬층의 메쉬선(221b)의 폭(W0)이 10㎛, 상기 제1주변부에 부착된 도전층의 메쉬선(211d)의 폭(W2)이 20㎛, 상기 제2주변부에 부착된 도전층의 메쉬선(211e)의 폭(W3)이 30㎛일 수 있다. 상기 폭들(W0, W2, W3)이 상기와 같은 비율로 정해지면, 메쉬층의 메쉬선의 두께(H0), 제1주변부에 부착된 도전층의 메쉬선 두께(H2), 및 제2주변부에 부착된 도전층의 메쉬선의 두께(H3)는 3:2:1 의 비율을 갖게 된다.
상기 중앙부(232)의 메쉬층의 메쉬선(221b)은 제1주변부(231A)에 부착된 도전층의 메쉬선(211d), 및 제2주변부(231B)에 부착된 도전층의 메쉬선(211e)과 동일 선 상으로 연결되는데, 이들이 연결되는 부분에서의 메쉬선의 두께 및 높이가 급작스럽게 변화하면 그 부분의 구조적 강도가 취약해 질 수 있다. 그러나 본 실시예와 같이 메쉬선의 두께 및 폭이 단계적으로 변화하면 구조적 강도가 상대적으로 덜 취약해진다. 제1주변부(231A)에 형성된 도전층의 메쉬 피치(P2)와 제2주변부(231B)에 형성된 도전층의 메쉬 피치(P3)는 메쉬층의 메쉬 피치(P0)와 같다.
도 18 에서는 주변부(231)가 2단으로 구획된 것을 도시하였으나, 주변부는 3단이상으로 구획될 수 있다. 나아가 주변부(231)는 무한대의 단으로 구획될 수도 있는데, 이 경우 상기 중앙부(232)에 부착된 메쉬층의 메쉬선, 제1주변부(231A)에 부착된 도전층의 메쉬선, 및 제2주변부(231B)에 부착된 도전층의 메쉬선이 연결된 메쉬선의 두께와 폭은 연속적으로 변화할 수 있게 된다.
본 실시예에서 최외측의 주변부(231B)에 부착된 도전층의 메쉬선 폭(W3)이 30㎛인 것으로 예시하였으나, 이는 필요에 따라서 50㎛일 수 있다.
본 실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터의 도전층의 메쉬선들(211d, 211e)을 상기와 같이 형성하기 위하여는, 제2실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터의 제조방법을 따르되, 포토레지스트층 형성단계에서 제1전극판(310)의 주변부를 다단으로 구획하여 각 단의 주변부의 단위면적당 포토레지스트층이 차지하는 면적의 비율을 단계적으로 변화하게 하면 된다.
도 19 를 참조하되 제3실시예와 상이한 사항을 중심으로 본 발명의 제4실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터에 관하여 설명한다. 도 19 에는 본 실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터의 일 부분이 도시되어 있고, 이 부분은 도 15 의 A 부분에 해당하는 부분이다.
본 실시예는, 부착필름의 주변부(231)의 단위면적당 메쉬층이 차지하는 면적이 주변부(231)의 외측으로 갈수록 단계적으로 넓어진다는 점에서는 제3실시예와 동일하다. 그러나 제3실시예와는 달리, 중앙부(232)에 부착된 메쉬층의 메쉬선, 제1주변부(231A)에 부착된 도전층의 메쉬선, 및 제2주변부(231B)에 부착된 도전층의 메쉬선의 폭은 모두 동일하고, 제1주변부(231A)에는 제1추가메쉬선(211f)이 추가됨으로써 중앙부(232)의 메쉬선 보다 많은 메쉬선이 형성되고, 제2주변부(231B) 에는 제2추가메쉬선(211g)이 추가됨으로써 제1주변부(231A)의 메쉬선보다 많은 메쉬선이 형성된다.
상기 중앙부(232)의 메쉬층의 메쉬선은 제1주변부(231A)에 부착된 도전층의 메쉬선들 중의 일부, 및 제2주변부(231B)에 부착된 도전층의 메쉬선들 중의 일부와 동일선 상으로 연결되는데, 본 실시예에 있어서는 중앙부(232)에 부착된 메쉬층의 메쉬선, 제1주변부(231A)에 부착된 도전층의 메쉬선, 및 제2주변부(231B)에 부착된 도전층의 메쉬선의 폭이 모두 동일하므로, 메쉬선의 폭의 급작스러운 변화로 인한 구조적 강도의 취약을 방지할 수 있다.
다만, 중앙부(232)에 부착된 메쉬층의 메쉬선, 제1주변부(231A)에 부착된 도전층의 메쉬선, 및 제2주변부(231B)에 부착된 도전층의 메쉬선의 두께는 단계적으로 변화하게 된다.
도 19 에는 부착필름의 주변부(231)가 2단으로 구획된 것으로 도시되었으나, 상기 주변부(231)는 3단 이상으로 구획될 수 있다. 주변부(231)가 3단 이상으로 구획되는 경우에는, 최내측에 있는 주변부(231A)에 부착된 도전층의 메쉬 피치는 부착필름의 중앙부(232)에 부착된 메쉬층의 메쉬 피치보다 작으며, 상대적으로 내측에 있는 주변부(231A)에 부착된 도전층의 메쉬 피치는 상대적으로 외측에 있는 주변부(231B)에 부착된 도전층의 메쉬 피치보다 크게 된다.
한편, 상기 부착필름의 주변부(231)가 구획되지 않고, 주변부(231)에 추가메쉬선이 추가됨으로써 중앙부(232)의 메쉬선 보다 많은 메쉬선이 형성될 수도 있다. 이 경우에는 부착필름의 주변부(231)에 부착된 도전층의 메쉬 피치가 부착필름의 중앙부(232)에 부착된 메쉬층의 메쉬 피치보다 작게 된다.
본 실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터의 도전층의 메쉬선들을 상기와 같이 형성하기 위하여는, 제1실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터의 제조방법을 따르되, 포토레지스트층 형성단계에서 포토레지스트층을 조밀한 패턴으로 형성하면 된다.
도 20 를 참조하되 제1실시예 내지 제4실시예와 상이한 사항을 중심으로 본 발명의 제5실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터에 관하여 설명한다. 도 20 에는 본 실시예에 따른 전자기파 차폐용 필터의 일 부분이 도시되어 있고, 이 부분은 도 15 의 A 부분에 해당하는 부분이다.
본 실시예는, 부착필름의 주변부(231)에 형성된 도전층이 메쉬형상이 아닌 임의의 형상으로 형성된다는 점에서 전술된 실시예들과 상이하다. 상기 부착필름의 주변부에 형성되는 도전층은 전자기파를 잡기 위한 것이 아니라 부착필름의 중앙부(232)에 형성된 메쉬층에 의하여 포획된 전자기파를 필터홀더(30)로 전달하기 위한 부분이므로, 임의의 패턴으로 형성되어도 된다. 다만 도전층을 형성하는 도전선(211h)들이 일부 영역에 집중되어 있으면, 도전선(211h)의 두께가 국부적으로 얇아질 수 있으므로, 상기 도전선들은 도 20 에 도시된 바와 같이 부착필름의 주변부(231)에 골고루 분포되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하여, 중앙부에 배치된 메쉬선의 폭이 균일하고, 그 메쉬선이 교차하는 교차부의 폭이 메쉬선보다 넓지 않으며, 제조비용이 저감되는 전자기파 차폐용 필터가 제공된다.
또한 본 발명에 의하여, 주변부에 배치된 도전층의 두께가 충분히 두꺼워서, 상기 도전층이 필터홀더(30)와의 접촉 등에 의하여 파손되지 않고, 따라서 전자기파를 필터홀더에 원활하게 전달할 수 있는 전자기파 차폐용 필터가 제공된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (17)

  1. 기판; 및
    상기 기판의 일면에 부착된 전자기파 차폐층;을 구비한 전자기파 차폐용 필터에 있어서,
    상기 전자기파 차폐층은 부착필름, 상기 부착필름의 중앙부에 부착된 도전성 메쉬층, 및 상기 부착필름의 주변부에 부착되고 상기 도전성 메쉬층과 전기적으로 연결되며 노출된 도전층을 구비하고,
    상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층은 주변부의 단위면적 중 1/30 내지 1/3 의 면적을 차지하고, 그 두께는 1㎛ 보다 큰 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층과 부착필름의 주변부에 부착된 도전층은 도전성 금속으로 형성된 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층과 부착필름의 주변부에 부착된 도전층은 도금에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 부착필름의 중앙부에 부착된 도전성 메쉬층은 평탄화층에 의하여 덮인 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층의 두께는 3㎛ 내지 4㎛인 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬 피치는 250㎛ 내지 350㎛이고, 그 메쉬선 폭은 5㎛ 내지 15㎛이며, 메쉬선 두께는 3㎛ 내지 15㎛인 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층은 메쉬 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층의 메쉬 피치는 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬 피치와 동일한 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층의 메쉬선 폭은 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬선 폭과 동일한 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층의 메쉬선 폭은 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬선 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 부착필름의 주변부는 다단으로 구획되고, 최내측에 있는 주변부에 부착된 도전층의 메쉬선 폭은 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬선 폭보다 크며, 내측에 있는 주변부에 부착된 도전층의 메쉬선 폭은 외측에 있는 주변부에 부착된 도전층의 메쉬선 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 메쉬층의 메쉬선, 제1주변부에 부착된 도전층의 메쉬선, 및 제2주변부에 부착된 도전층의 메쉬선이 연결된 메쉬선의 두께와 폭은 연속적으로 변화하는 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층의 메쉬 피치는 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬 피치보다 작은 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 부착필름의 주변부에 부착된 도전층의 메쉬선 폭은 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬선 폭과 동일한 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 부착필름의 주변부는 다단으로 구획되고, 최내측에 있는 주변부에 부착된 도전층의 메쉬 피치는 부착필름의 중앙부에 부착된 메쉬층의 메쉬 피치보다 작으며, 내측에 있는 주변부에 부착된 도전층의 메쉬 피치는 외측에 있는 주변부에 부착된 도전층의 메쉬 피치보다 큰 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 전자기파 차폐층의 중앙부에 부착된 광흡수층을 더 구비한 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
  17. 제 1 항에 있어서,
    기판을 사이에 두고 전자기파 차폐층의 반대쪽에 부착된 반사방지층을 더 구비한 것을 특징으로 하는 전자기파 차폐용 필터.
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