KR100694796B1 - 평면표시패널 처리챔버의 기액 분리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 챔버에서 발생되는 가스와 액체를 동시에 배출하는 드레인 배관과 모집된 가스와 액체를 분리하는 기액분리기가 구성되는 평면표시패널 처리챔버의 기액 분리장치를 제공한다.

본 발명은 챔버와 상기 챔버 내부 처리조 하부에 구성되며, 가스와 액체를 동일한 배관으로 배출하는 제1 드레인배관과 상기 제1 드레인배관과 연결되어 내부에 모집되는 가스와 액체를 분리하는 기액분리기 및 상기 기액분리기 일측에 가스를 배기하는 제3 드레인배관과 액체를 배수하는 제4 드레인배관이 구성된다.

챔버, 세정챔버, 배기부, 드레인배관, 기액분리장치

Description

평면표시패널 처리챔버의 기액 분리장치{Apparatus for separating gas and liquid in chamber for treating flat display panel}

도 1은 종래기술의 평면표시패널 처리챔버를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 2는 도 1의 단면을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도 3은 본 발명의 평면표시패널 처리챔버를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 4는 도 3의 처리챔버의 절단면을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도 5는 도 3의 정면을 개략적으로 나타낸 정면도이다.

도 6은 도 5의 기액분리기를 확대한 부분 확대도이다.

도 7은 도 6의 기액분리탱크를 절단한 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 챔버 122 : 처리조

200 : 기액분리기 202 : 제1 드레인배관

204 : 제2 드레인배관 206 : 제3 드레인배관

208 : 제4 드레인배관 210 : 결합부

212 : 제1 결합너트 300 : 기액분리탱크

302 : 제1 격벽 304 : 제2 격벽

306 : 제3 격벽 308 : 제4 격벽

310 : 제1 고정부 314 : 액체

316 : 가스

본 발명은 평면표시패널 처리챔버의 기액 분리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가스와 액체를 동시에 배출하고 가스와 액체를 분리하는 기액분리기가 구성되는 평면표시패널 처리챔버의 기액 분리장치에 관한 것이다.

일반적으로, 전계발광표시장치(ELD; electro luminescent display), 액정표시장치(LCD; liquid crystal display), 플라즈마표시패널(PDP; plasma display panel)등을 평판표시장치(FPD; flat panel display)라고 하며, 평판표시장치는 음극선관에 비하여 두께가 얇으므로 노트북컴퓨터, 벽걸이 TV, 휴대폰, 전자수첩 등의 전자제품에 주로 사용한다.

액정표시소자는 교차 배치되어 주사신호 및 데이터 신호를 각 화소에 전달하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 두 배선의 교차 지점에 형성되어 화소전극에 전압을 걸어주거나 차단해주는 스위칭 소자와, 빛을 투과시키는 영역으로 액정층에 신호전압을 걸어주는 화소전극이 형성되어 있는 어레이 기판으로 구성된다.

또한, 화소전극과의 전압 차이에 의해 액정층에 전압을 걸어주는 공통전극과, 색채를 표현하고 빛을 선택적으로 투과시키는 컬러필터층과, 액정 배열을 제어할 수 없는 부분의 빛을 차단하는 블랙 매트릭스가 형성되어 있는 컬러필터 기판 과, 상기 어레이 기판 및 컬러필터 기판 사이에 형성된 액정층으로 구성된다.

이처럼, 소자를 동작시키기 위해서는 복수의 다양한 패턴들이 형성되어야 하는데, 이들을 형성하기 위해서는, 포토식각기술(photolithography)을 적용한다.

포토식각기술은 기판에 형성된 막질에 감광 물질인 포토레지스트를 도포하고, 상기 포토레지스트에 포토 마스크를 씌운 후 포토 마스크에 형성된 패턴대로 노광시키고, 노광된 포토레지스트를 현상하여 패터닝한 뒤, 상기 포토레지스트를 마스크로 하여 막질을 식각하여 패터닝하고, 스티리퍼(stripper)를 이용하여 상기 포토레지스트를 막질로부터 제거하는 일련의 과정으로 이루어진다.

이러한 포토레지스트 도포공정, 노광공정, 현상공정, 식각공정, 스트립 공정으로 이루어진다.

평판표시장치는 생산성 향상 및 대량생산을 위하여 넓은 면적의 기판에 동일한 패턴을 일전하게 배열하여 다수 형성한 다음, 각각 패턴이 형성된 셀(cell)을 하나씩 절단하여 구동회로와 연결 사용한다.

기판을 각 패턴이 형성된 셀로 나누어 절단한 후에는 절단면의 날카로움 및 거스러미를 제거하기 위하여 연마를 행하며, 연마시에 발생하는 기판의 입자나 연마입자 등의 오염물질을 제거하기 위한 세정작업을 행한다.

세정공정은 각종 화학약품(약액) 등을 처리한 후 ELD, LCD, PDP 및 FPD 표면에 흡착된 오염물질을 제거하는 것으로서, 오염물질제거는 초순수(D-i water)와 세제 및 공기와 N2가스 등을 선택적으로 강제 공급함에 따라서 이루어진다.

도 1은 종래기술의 평면표시패널 처리챔버를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 단면을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 평면표시패널 처리챔버는 복수의 셀이 일정한 간격으로 배열되어 적재되는 카세트(20)가 장착되는 트레이(10)와, 소정의 속도로 트레이(10)를 이송하는 이송부(80)를 구비한다.

그리고, 이송부(80)에 의하여 이송되는 트레이(10)에 적재된 셀을 포함하는 챔버(30)와 트레이(10)에 적재된 셀에 세정용 액체를 분사하는 제1노즐(32)과 챔버(30) 내부를 저습도로 유지하기 위한 가스를 분사하는 제2노즐(34)이 내부에 설치된다.

또한, 챔버(30)의 양 옆에 설치되고 내부에 세정용 액체를 분사하는 보조노즐(54)이 구성되는 한 쌍의 보조챔버(50)와, 챔버(30)의 상부에 설치되고 제2노즐(34)로부터 분사되는 세정용 가스를 배기시키기 위한 배기부(40)를 구비한다.

그리고 배기부(40)는 내부에 발생되는 세정용 가스를 외부로 배출하며, 그 배기부(40)에는 가스를 필터링하는 필터(42)가 설치된다.

또한, 챔버(30)의 하부에는 분사된 액체를 수집하는 수납조(90)가 구비되며, 수납조(90) 하부에는 모집된 액체를 배출하는 드레인배관(95)이 구비된다.

이송부(80)의 이송방향 앞뒤에는 적재부(60) 및 하역부(70)가 구비되며, 　이송부(80)의 이송방향 앞쪽의 상기한 보조챔버(50) 옆에는 트레이(10)를 이송부(80)에 올려놓는 적재부(60)를 설치한다.

또한, 이송부(80)의 이송방향 뒤쪽의 보조챔버(50) 옆에는 트레이(10)를 이송부(80)로부터 내려놓는 하역부(70)가 설치된다.

그러나 가스를 배출하는 배기부는 챔버 상부에 구성되고, 액체를 배출하는 드레인 배관은 챔버 내부 하부에 구성되어 있으므로, 가스와 액체가 소량으로 배출되는 챔버에서는 자재비가 상승하여 경제적으로 제품단가가 상승되는 문제점이 있다.

또한, 챔버에는 배기부와 드레인배관이 각각 구비되어야 하므로, 각각의 배관이 복잡하게 연결되어 장비를 유지보수 하는데 비용과 인력이 더 많이 투자되어 제품의 원가를 상승시키는 문제점이 있다.

또한, 챔버에 배기용 배기부와 배수용 드레인 베관을 설치하기 위하여 다수의 구멍이 천공되므로, 장비의 밀폐성이 떨어지는 문제점이 있다.

이에 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 가스와 액체를 분리하여 배출시킬 수 있는 평면표시패널 처리챔버의 기액분리장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 평면표시패널 처리챔버의 기액분리장치는, 챔버와 상기 챔버 내부 처리조 하부에 구성되며, 가스와 액체를 동일한 배관으로 배출하는 제1 드레인배관와 상기 제1 드레인배관과 연결되어 내부에 모집되는 가스와 액체를 분리하는 기액분리기 및 상기 기액분리기 일측에 가스를 배기하는 제3 드레인배관과 액체를 배수하는 제4 드레인배관을 포함한다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 통하여 보다 상 세하게 설명하고자 한다.

도 3은 본 발명의 평면표시패널의 챔버를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 챔버의 절단면을 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 5는 도 3의 정면을 개략적으로 나타낸 정면도이다.

본 발명의 일 실시예에서, 챔버(100)는 세정챔버(104), 이송부(120), 처리조(122), 배기부(200)를 포함한다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 평판표시패널 처리챔버는 도포공정, 노광공정, 현상공정, 식각공정, 세정공정, 스트립공정 등을 수행할 수 있으며, 각각의 공정을 수행하기 위해 다수의 챔버(100)를 구비한다.

챔버(100)는 복수의 셀이 일정한 간격으로 배열 및 적재되는 카세트(112)가 장착되는 트레이(110)와, 소정의 속도로 트레이(110)를 이송하는 이송부(120)를 구비한다.

세정챔버(104)는 이송부(120)에 의하여 이송되는 트레이(110)가 적재된 셀을 포함하고, 그 트레이(110)에 적재된 셀에 세정용 약액을 분사하는 제1노즐(118)과 세정챔버(104) 내부를 저습도로 유지하기 위한 가스를 분사하는 제2노즐(116)이 내부 일측에 설치된다.

상기에서 세정챔버(104)의 양 옆에 설치되고 내부에 세정용 약액을 분사하는 보조노즐(114)이 구성되는 한 쌍의 보조챔버(102)가 구성된다.

또한, 이송부(120)는 이송방향 앞뒤에 적재부(106) 및 하역부(108)각 각각 구성된다.

상기에서 적재부(106)는 이송부(120)의 이송방향 앞쪽의 보조챔버(102) 전방에 구성되며, 트레이(110)를 이송부(120)에 올려놓는 작업을 한다.

그리고 하역부(108)는 이송부(120)의 이송방향 뒤쪽의 보조챔버(102) 후방에 구성되며, 트레이(110)를 이송부(120)로부터 내려놓는 작업을 한다.

챔버(100)는 분사된 액체를 모집하는 처리조(122)가 하부에 구성되며, 처리조(122) 하부에는 모집된 가스와 액체를 동시에 배출하는 제1 드레인배관(202)과 제2 드레인배관(204)이 각각 구성된다.

드레인배관(202.204) 하부에는 배출되는 가스(316)와 액체(314)를 저장하고, 그 가스(316)와 액체(314)를 각각 분리하는 기액분리기(200)가 구성된다.

상기에서 기액분리기(200)는 가스(316)와 액체(314)를 저장할 수 있는 공간이 구성되는 기액분리탱크(300)와 가스(316)와 액체(314)를 각각 분리해서 배출하는 제3 드레인배관(206)과 제4 드레인배관(208)이 일측에 각각 구성된다.　

또한, 세정챔버(104)의 후면에는 제2노즐(116)로부터 분사되는 세정용 가스를 배기시키기 위한 배기부(200)가 구성된다.

배기부(200)는 챔버(100) 후면 일측에 구성되며, 내부에 발생되는 세정용 가스를 외부로 배출하며, 약액이 세정용 가스와 배출되지 못하도록 필터(202)를 포함하는 배기관(204)이 수평으로 구성된다.

상기에서 배기관(204) 하부 일측에는 제1 드레인 배관(208)이 상부에서 하부로 구성되며, 하부 타단은 처리조(122)와 연결된다.

또한 필터(202) 하부 일측과 제1 드레인 배관(208) 일측에는 제2 드레인 배 관(206)이 각각 연결된다.

도 6은 도 5의 기액분리기를 확대한 부분확대도이고, 도 7은 도 6의 기액분리탱크를 절단한 단면도이다.

본 발명의 일 실시예에서, 기액분리기(200)는 기액분리탱크(300), 드레인배관(202,204,206,208), 격벽(302,304,30,6308)을 포함한다.

도 6 내지 도 7을 참조하면, 기액분리기(200)는 중앙 일측에는, 상부에서 드레인 되는 가스(316)와 액체(316)를 보관하고 배출시키는 사각형상의 기액분리탱크(300)가 구성된다.

기액분리탱크(300) 상부에는 제1 드레인배관(202)이 제1 결합너트(212)와 연결되고, 제3 드레인배관(206)이 제2 결합너트(214)에 결합된다.

제1 드레인배관(202) 상부에 구성되는 처리조(122)는 분사된 액체(314)와 가스(316)를 모집하며, 하부 일측면에는 제4 결합너트(218)와 제5 결합너트(220)가 구성된다.

따라서 제4 결합너트(218)와 제5 결합너트(220)는 제1 드레인배관(202)과 제2 드레인배관(204)의 상부와 결합되며, 제1 드레인배관(202) 일측에는 결합부(210)가 구성되어 제2 드레인배관(204) 하부가 결합된다.

결합부(210)는 T 형상으로 상부에 적어도 한개 이상 구성되는 처리조(122)에 모집되는 가스(316)와 액체(314)를 기액분리탱크(300)로 유동시키기 위해 구성된다.

상기에서 기액분리탱크(300)는 사각형상으로 챔버(100) 바닥면에 고정하기위 해 측면 하부 일측에 원형상의 관통된 고정부(310,312) 적어도 한 개 이상 구성된다.

또한, 기액분리탱크(300) 상부면에 구성되는 제1 드레인배관(202) 타측에는 가스를 배출하는 제3 드레인배관(206)이 구성된다.

제3 드레인배관(206)은 기액분리탱크(300)에 구성되는 제2 결합너트(214)에 일측이 고정되며, 기액분리탱크(300) 내부에 모집되는 가스(316)를 외부로 배기하며, 가스(316)의 흐름을 빠르고 원활하게 하기 위해 제3 드레인배관(206) 일측이 U 형상으로 구성된다.

또한, 상기에서 기액분리탱크(300) 측면 하부에는 내부에 수납되는 액체(314)를 배출하기 위해 제3 결합너트(216)에 일측이 고정되는 제4 드레인배관(208)이 구성된다.

제4 드레인배관(208)은 기액분리탱크(300) 내부에 모집되는 액체(314)를 외부로 배수하기 위해 기액분리탱크(300) 측면 하부에 구성되어 대기압으로도 원활히 액체(314)가 배수 되도록 구성된다.

또한, 도 7을 참조하면 기액분리탱크(300) 내부를 나타낸 것이며 가스(316)와 액체(314)를 분리하기 위해 적어도 한 개 이상의 격벽(302,304,306,308)이 구성된다.

상기에서 제1 드레인배관(202)을 통해 기액분리탱크(300)로 유입된 가스(316)와 액체(314)는 비중이 높은 액체(314)는 하부에 저장되고, 비중이 높은 가스(316)는 액체(314) 상부표면에 모집된다.

상기에서 제1 격벽(302)은 제1 드레인배관(202)과 제3 드레인배관(206) 중앙에 상부에서 하부로 세로방향으로 구성되며, 제1 격벽(302)은 상부만 기액분리탱크(300) 일측에 고정된다.

또한 제1 격벽(302) 일측에는 제2 격벽(304)과 제3 격벽(306)이 직각으로 세로방향으로 각각 구성되며, 제2 격벽(304)이 상부에 제3 격벽(306)이 하부에 구성된다.

한편 제2 격벽(304)과 제3 격벽(306)이 제1 격벽(302)에 직각으로 구성되며, 제2 격벽(304)이 제3 격벽(306)보다 길이가 길게 형성되는 것이 바람직하다.

각각 구성된 제2 격벽(304)과 제3 격벽(306) 공간 사이에는 일측이 기액분리탱크(300)에 고정되며, 세로방향으로 구성되는 제4 격벽(308)이 구성된다.

제4 격벽(308)은 제2 격벽(304) 및 제3 격벽(306)과 동일한 방향으로 형성되며. 일측 타단이 기액분리탱크(300)에 고정되며, 제2 격벽(304)과 제3 격벽(306) 중간에 구성되는 것이 바람직하다.

상기에서 구성되는 격벽(302,304,306,308)은 기액분리탱크(300) 내부에 모집되는 가스(316)와 액체(314)를 분리하고, 분리된 가스(316)를 제3 드레인배관(206)을 통해 배기 하도록 구성된다.

기액분리탱크(300) 내부에는 유입되는 양만큼의 가스(316)와 액체(314)를 격벽(302,304,306,308)의 구성으로 가스(316)와 액체(314)를 분리하고, 액체(314)는 제4 드레인배관(208)을 통해 연속적으로 배수된다.

그리고 낮아지는 액체(314)의 수면이 제1 격벽(302)의 하면과 공간이 발생하 면, 모집된 가스(316)가 제3 격벽(306)을 통과하고, 다음 제4 격벽(308)을 통과하고, 다음으로 제2 격벽(304)을 통과하고, 다음으로 제3 드레인배관(206)을 통해 외부로 배기된다.

따라서 기액분리탱크(300)로 동시에 가스(316)와 액체(314)가 유입되면, 기액분리탱크(300) 내부에 구성되는 격벽(302,304,306,308)을 통해 가스(316)와 액체(314)가 분리되고, 제4 드레인배관(208)을 통해 액체(314)가 배수되고, 제3 드레인배관(206)을 통해 가스(316)가 분리된다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 가스를 배출하는 비와 액체를 배수하는 드레인배관이 한 개의 배관으로 구성되어 부품단가를 줄여주는 경제적인 효과가 있다.

또한, 가스를 배출하는 배기와 액체를 배출하는 배수가 같은 배관으로 사용되어 유지보수 및 부품교환에 사용되는 비용과 인력을 줄여주는 경제적인 효과가 있다.

또한, 기액분리탱크가 구성되어 챔버 후면 상부에 구성되는 배기부를 기액분리박스 일측에 구성하고 챔버 내부로 배기부가 삽입되어 외관 및 공간 사용에 효율이 좋아져 제품 생산단가를 줄여주는 경제적인 효과가 있다.

　　　　　　　　결과적으로, 본 발명을 이용하여 구성되는 제품의 부가가치를 향상시켜 제품의 상품성과 품질을 향상시켜 줄 수 있도록 하였음은 물론이고, 더불어 신뢰성 등을 줄 수 있도록 한 효과를 가지게 되는 것이다.

상술한 바와 같이, 본 고안의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (7)

1. 이송되는 트레이에 약액을 분사하는 세정챔버와 보조노즐에 약액을 분사하는 보조챔버가 양쪽에 구성되는 챔버;

   상기 챔버 내부 처리조 하부에 구성되며, 가스와 액체를 동일한 배관으로 배출하는 제1 드레인배관;

   상기 제1 드레인배관과 연결되어 내부에 모집되는 가스와 액체를 분리하는 기액분리기; 및

   상기 기액분리기 일측에 설치되어 가스를 배기하는 제3 드레인배관과 액체를 배수하는 제4 드레인배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면표시패널 처리챔버의 기액 분리장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 기액분리기는 상부에는 제1 드레인배관을 연결하는 제1 결합너트와, 제3 드레인배관을 연결하는 제2 결합너트와, 제 4드레인배관을 연결하는 제3 결합너트가 각각 구성되는 기액분리탱크를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면표시패널 처리챔버의 기액 분리장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 기액분리탱크는 내부에 가스와 액체를 분리하기 위해 적어도 한 개 이상의 격벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면표시패널 처리챔버의 기액 분리장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 격벽은 제1 드레인배관과 제3 드레인배관 중앙에 상부에서 하부로 세로방향으로 구성되며, 상부만 기액분리탱크 내부 일측에 고정되는 제1 격벽;

   상기 제1 격벽 일측에는 직각으로 세로방향으로 각각 구성되는 제2 격벽과 제3 격벽; 및

   상기 제2 격벽과 제3 격벽 공간 사이에 구성되며, 일측이 기액분리탱크에 내부 일측에 고정되며, 세로방향으로 구성되는 제4 격벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면표시패널 처리챔버의 기액 분리장치.
5. 제 2 항에 있어서, 상기 제1 드레인배관은 일측에 T 형상으로 다른 쪽 일단이 상기 처리조와 결합된 제 2 드레인배관의 일단이 결합되어, 상기 처리조에 모집되는 가스와 액체를 기액분리탱크로 유동시키는 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면표시패널 처리챔버의 기액 분리장치.
6. 제 2 항에 있어서, 상기 기액분리탱크는 사각형상으로 챔버 바닥면에 고정하기위해 측면 하부 일측에 원형상의 관통되고 적어도 한 개 이상 구성되는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면표시패널 처리챔버의 기액 분리장치.
7. 제 2 항에 있어서, 상기 제3 드레인배관은 기액분리탱크 내부에 모집되는 가 스를 외부로 배기하며, 가스의 흐름을 빠르고 원활하게 하기 위해 제3 드레인배관일측이 U 형상으로 구성되는 것을 특징으로 하는 평면표시패널 처리챔버의 기액 분리장치.

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