KR100692170B1 - In-line type organic electroluminescence manufacturing device - Google Patents
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Abstract
(과제) 막형성 품질을 향상시키는 것과 아울러, 생산 효율이 높은 인라인식 유기 일렉트로루미네선스 제조장치를 제공한다. (Problem) The present invention provides an inline organic electroluminescent production apparatus with high production efficiency while improving film forming quality.
(해결 수단) 인라인식 유기 일렉트로루미네선스 제조장치에 있어서, 마스크가 일체화된 홀더를 사용하여 기판을 지지하고, 기판에 냉각판을 배치함으로써, 기판의 온도 상승을 억제하고 연속적으로 반송한다. 그리고, 장치 내부에 차동 배기부 (D1∼D4) 를 형성하여, 진공도가 다른 처리실 사이에서 기판을 정지시키지 않고 연속 반송이 가능한 구성으로 한다. (Solution means) In the in-line type organic electroluminescent production apparatus, by using a holder in which a mask is integrated, by holding a substrate and placing a cooling plate on the substrate, temperature rise of the substrate is suppressed and continuously conveyed. And the differential exhaust parts D1-D4 are formed in an inside of a apparatus, and it can be set as the structure which can carry out continuously without stopping a board | substrate between process chambers with different vacuum degrees.
Description
도 1 은 본 발명에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치에서 사용되는 홀더의 실시형태의 일례를 나타내는 도면이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows an example of embodiment of the holder used by the inline type organic electroluminescent manufacturing apparatus which concerns on this invention.
도 2 는 본 발명에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치에서 사용되는 홀더의 실시형태의 다른 일례를 나타내는 도면이다. It is a figure which shows another example of embodiment of the holder used by the inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on this invention.
도 3 은 도 1 및 2 에 나타내는 홀더를 수용하는 카세트를 나타내는 도면이다. FIG. 3 is a view showing a cassette for housing the holder shown in FIGS. 1 and 2.
도 4 는 본 발명에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치에서 사용되는 반송장치의 실시형태의 일례를 나타내는 도면이다. It is a figure which shows an example of embodiment of the conveying apparatus used by the inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on this invention.
도 5 는 본 발명에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치에서 사용되는 복사열 흡수 수단의 실시형태의 일례를 나타내는 도면이다. It is a figure which shows an example of embodiment of the radiant heat absorption means used by the inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on this invention.
도 6 은 도 5 에 나타낸 복사열 흡수 수단의 효과를 비교하는 그래프이다. FIG. 6 is a graph comparing the effects of the radiant heat absorbing means shown in FIG. 5.
도 7 은 본 발명에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치에서 사용되는 냉각 부재, 열전도 부재의 실시형태의 일례를 나타내는 도면이다. It is a figure which shows an example of embodiment of the cooling member and heat conductive member used in the inline organic electroluminescent manufacturing apparatus which concerns on this invention.
도 8 은 도 7 에 나타낸 열전도 부재의 효과를 비교하는 그래프이다. FIG. 8 is a graph comparing the effects of the heat conductive members shown in FIG. 7.
도 9 는 본 발명에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치의 실시형태의 일례를 나 타내는 평면도이다. 9 is a plan view showing an example of an embodiment of an inline organic EL production apparatus according to the present invention.
도 10 은 종래의 클러스터형 유기 EL 제조장치의 개략도이다.10 is a schematic diagram of a conventional cluster type organic EL manufacturing apparatus.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>
1, 1A, 1B : 홀더1, 1A, 1B: Holder
6 : 카세트6: cassette
8a, 8b : 위치 결정 부재 8a, 8b: positioning member
10a, 10b : 크라이오 (cryo) 패널10a, 10b: cryo panel
11 : 유(柔)구조물11: oil structure
12 : 냉각판 12: cooling plate
D1, D2, D3, D4 : 차동 배기부 D1, D2, D3, D4: Differential Exhaust
본 발명은, 기판을 연속적으로 반송하고, 유기 재료 등의 증발 재료를 증착시켜, 유기 일렉트로루미네선스 (이하, EL 이라 함) 소자를 형성하는 인라인식 유기 EL 제조장치에 관한 것이다. The present invention relates to an inline organic EL production apparatus which continuously conveys a substrate, deposits evaporation materials such as organic materials, and forms an organic electroluminescent (hereinafter referred to as EL) element.
도 10 에, 현재 일반적으로 사용되고 있는 유기 EL 제조장치를 나타낸다. 10, the organic EL manufacturing apparatus currently generally used is shown.
도 10 에 나타내는 장치는, 이른바 클러스터 (cluster) 형이라고 불리는 장치로서, 로봇 핸드를 갖는 반송실을 다각형 형상으로 형성하고, 반송실 주위에 복수의 처리실을 설치한 것이다. 도 10 에 나타내는 바와 같이, 유기 EL 제조장 치 (40) 의 경우, 막형성 공정 유닛 (41) 은, 각 처리실에 기판을 반송하는 반송실 (42) 과, 기판을 반입하는 기판 반입구 (43) 와, 기판을 세정하는 세정실 (44) 과, 기판 위에 막을 형성하는 막형성실 (45, 46, 47) 을 갖고, 복수의 게이트 밸브 (48) 를 통해 반송실 (42) 주위에 이들 처리실이 배치된다. 유기 EL 소자는 전극층을 포함하여 복수의 박막에 의해 구성되기 때문에, 유기 EL 제조장치 (40) 에는, 박막별 처리실이 되는 막형성실 (45, 46, 47) 이 설치되어 있다 (「유기 EL 이야기」, 일간공업신문사, p98, 도 53 으로부터).The apparatus shown in FIG. 10 is what is called a cluster type | mold, A conveyance chamber which has a robot hand is formed in polygonal shape, and several process chambers are provided around a conveyance chamber. As shown in FIG. 10, in the case of the organic
기판 위에 막을 형성하는 경우에는, 기판 반입구 (43) 로 반입된 기판을, 게이트 도어 (48) 를 열어 처리실 (예를 들어, 막형성실 (45)) 로 반입하고, 게이트 도어 (48) 를 닫아 진공도를 조정한 후, 기판 위에 첫 번째 층을 막형성한다. 그리고, 첫 번째 층의 막형성이 종료된 후, 다시 게이트 도어 (48) 를 열어 기판을 막형성실 (45) 로부터 반출시키고 다음 처리실 (예를 들어, 막형성실 (46)) 로 기판을 반입하여 두 번째 층의 막형성을 동일한 방법으로 실시한다. 이렇게 해서 막이 형성된 기판은, 수수(授受)실 (49) 을 통하여 공정 유닛 (50) 으로 반송되고, 공정 유닛 (51, 52) 에서 하처리된 커버 유리와 접착되어, FPD (플랫 패널 디스플레이) 가 되는 유기 EL 소자의 완성품이 제작된다. In the case of forming a film on the substrate, the substrate carried in the
(특허문헌 1) 일본 공개특허공보 2002-348659호(Patent Document 1) Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-348659
(특허문헌 2) 일본 공개특허공보 2003-157973호(Patent Document 2) Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-157973
유기 EL 소자를 사용한 FPD 에 있어서 제조 비용을 줄이는 것은 금후의 커다 란 과제이다. 이를 위해서는, 기판 1 장 당 제조 시간의 단축, 재료의 이용 효율의 향상이 필수 사항이 된다. 그런데, 도 10 에 나타낸 클러스터형 유기 EL 제조장치에 있어서는, 박막별로 독립된 처리실을 가지고 처리실마다 기판을 반입 및 반출할 필요가 있을 뿐 아니라, 처리실별로 진공도를 조정하기 때문에 기판 1 장 당 제조 시간이 길다는 문제가 있다.Reducing manufacturing costs in FPDs using organic EL devices is a big problem in the future. For this purpose, shortening of the manufacturing time per board | substrate and improvement of the utilization efficiency of a material become essential. By the way, in the cluster type organic EL manufacturing apparatus shown in Fig. 10, it is not only necessary to bring in and take out substrates for each processing chamber with independent processing chambers for each thin film, but also because the vacuum degree is adjusted for each processing chamber, the manufacturing time per sheet is long. there is a problem.
이에 대하여, 제조 시간의 단축을 위해 인라인식이라고 불리는 유기 EL 제조장치가 제안되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1, 특허문헌 2).On the other hand, in order to shorten manufacturing time, the organic EL manufacturing apparatus called an inline type is proposed (for example,
인라인식의 유기 EL 제조장치는, 유기 EL 소자를 위한 복수의 막형성실이 동일한 진공 용기 내에 직선적으로 배치되고, 이들 막형성실 사이의 게이트 밸브가 배제된 구성을 갖는다. 막형성시에는, 기판이 복수의 막형성실의 상방에서 연속적으로 반송되면서 막이 형성됨으로써, 기판의 반송 및 진공도 조정에 수반되는 시간을 단축하여 제조 시간의 단축을 도모하고자 하는 것이다. The inline organic EL manufacturing apparatus has a structure in which a plurality of film forming chambers for organic EL elements are arranged linearly in the same vacuum container, and the gate valve between these film forming chambers is excluded. At the time of film formation, a film is formed while the substrate is continuously conveyed above the plurality of film formation chambers, thereby shortening the time involved in conveying the substrate and adjusting the degree of vacuum, thereby shortening the manufacturing time.
그러나, 유기 EL 제조장치는, 유기 EL 소자의 막을 형성하는 막형성실 이외에도 분위기 (진공도) 가 다른 복수의 처리실 (예를 들어, 도 10 에서의 세정실 (44), 전극 막형성실 (47) 등) 을 갖는 것이고, 유기 EL 소자의 막을 형성하기 위한 막형성실만을 동일 진공 용기 내에 배치하더라도, 다른 처리실과의 사이에는 여전히 게이트 밸브가 필요하다. 따라서, 이들 처리실 사이에서 기판을 반송하는 경우에는 반송할 때마다 게이트 밸브를 개폐할 필요가 있고, 게이트 밸브를 개폐할 때마다 각각의 처리실에서 진공도를 조정할 필요가 있다. 그 중에는, 진공도 조정실을 설치하여 진공도 조정실에서 진공도를 조정한 후, 처리실로 기판을 반송 하는 것도 있지만, 실질적으로는 연속 반송이 불가능한 상태일 뿐 아니라, 진공도 조정을 위한 시간이 걸리기 때문에, 제조 시간의 단축에 한계가 있어 생산 효율의 향상을 기대할 수 없다. However, the organic EL manufacturing apparatus includes a plurality of processing chambers (for example, the
또, 인라인식의 유기 EL 제조장치에서는, 유기 EL 소자의 막을 형성하기 위한 막형성실에서 기판이 연속적으로 반송되기 때문에, 막형성실의 증발원의 온도의 영향을 연속적으로 받게 되어 기판 온도가 상승하기 쉽다. 기판 온도의 상승은, 박막의 재증발을 초래하여 박막의 품질을 악화시키는 원인이 된다. 특히, 막형성 속도를 올리기 위해서는, 무효 증기를 저감시킬 수 있기 때문에 증발원을 기판에 근접시키는 것이 바람직하지만, 기판 온도가 보다 증발원의 영향을 받기 쉬워져, 막형성 속도의 향상과 막형성 품질의 향상을 양립시킬 수 없다. 또, 증발원을 기판으로부터 멀리 하여 기판 온도를 적절하게 유지하도록 한 경우, 막형성 품질은 향상되지만, 무효 증기가 많아지고, 막형성 속도가 지연되어, 역시 막형성 속도의 향상과 막형성 품질의 향상을 양립시킬 수 없다. 즉, 상기 인라인식의 유기 EL 제조장치에서는, 막형성 품질의 향상을 도모하는 동시에 제조 시간을 단축하기가 어려워, 생산 효율의 향상을 기대할 수 없었다. In the inline organic EL manufacturing apparatus, since the substrate is continuously conveyed in the film forming chamber for forming the film of the organic EL element, the substrate temperature is continuously affected by the influence of the temperature of the evaporation source of the film forming chamber. easy. Increasing the substrate temperature causes re-evaporation of the thin film and causes deterioration of the quality of the thin film. In particular, in order to increase the film formation rate, it is preferable to bring the evaporation source closer to the substrate because the reactive vapor can be reduced, but the substrate temperature is more susceptible to the influence of the evaporation source, thereby improving the film formation speed and improving the film formation quality. Cannot be compatible. In addition, when the evaporation source is kept away from the substrate so as to maintain the substrate temperature properly, the film formation quality is improved, but the amount of reactive vapor is increased and the film formation speed is delayed, which also increases the film formation speed and the film formation quality. Cannot be compatible. That is, in the above-described inline organic EL production apparatus, it is difficult to shorten the production time while improving the film formation quality, and an improvement in production efficiency could not be expected.
또한, 상기 인라인식 유기 EL 제조장치에서는, 유기 EL 소자의 막을 형성하기 위한 막형성실에서, 예를 들어, 벨트식 반송장치 위에서 기판이 연속적으로 반송되면서 막이 형성되기 때문에, 기판 위치의 위치 어긋남을 일으키기 쉽고, 또, 특히 대형의 기판인 경우, 기판 자체가 휘어지는 문제도 있어, 막형성 불량을 일으키기 쉬웠다. Further, in the in-line type organic EL manufacturing apparatus, in the film forming chamber for forming the film of the organic EL element, for example, the film is formed while the substrate is continuously conveyed on the belt transfer apparatus, whereby the position shift of the substrate position is prevented. In the case of a large-sized board | substrate especially, it is also easy to produce | generate, and the board | substrate itself also has a problem of bending, and it was easy to produce the film formation defect.
상기 서술한 바와 같이, 상기 인라인식 유기 EL 제조장치에는, 양산성을 고려한 경우, 막형성 품질, 생산 효율 등의 점에서 해결해야 할 과제가 많이 남아 있다.As described above, in the in-line type organic EL manufacturing apparatus, many problems to be solved remain in view of film formation quality, production efficiency, etc. when mass production is considered.
본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 막형성 품질을 향상시키는 것과 함께, 생산 효율이 높은 인라인식 유기 EL 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. This invention is made | formed in view of the said subject, Comprising: It aims at providing the inline type organic electroluminescent manufacturing apparatus with high production efficiency while improving film formation quality.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 1 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, An in-line organic EL manufacturing apparatus according to
독립적으로 분위기 및 진공도를 제어가능한 복수의 처리실과, A plurality of process chambers capable of independently controlling the atmosphere and the degree of vacuum;
상기 복수의 처리실로 기판을 연속적으로 반송하는 반송 수단을 갖고, It has a conveying means for conveying a board | substrate continuously to the said some process chamber,
상기 복수의 처리실에서의 소정 처리를 거쳐, 상기 기판에 유기 EL 소자를 형성하는 인라인식 유기 EL 제조장치로서, An inline organic EL manufacturing apparatus which forms an organic EL element in the said board | substrate through the predetermined process in the said several process chamber,
상기 기판에 막형성되는 박막의 패턴이 형성된 마스크를 구비하는 것과 함께, 휨을 방지하여 상기 기판을 지지하는 지지 수단을 갖고, It has a mask in which the pattern of the thin film formed into a film is formed in the said board | substrate, Comprising: It has the support means which supports the said board | substrate by preventing curvature,
상기 반송 수단은, 상기 지지 수단을 사용하여, 상기 복수의 처리실로 상기 기판을 연속적으로 반송하는 것을 특징으로 한다.The said conveying means uses the said support means, and conveys the said board | substrate continuously to the said some process chamber, It is characterized by the above-mentioned.
패터닝을 위한 마스크와 기판을 지지하는 지지 수단을 일체화하여 구성함으로써 지지 수단에 기판의 마스크 기능을 부여할 수 있어, 제조장치로 마스크 단일체를 개별적으로 반송하거나 제조장치에서 마스크를 기판에 장착하는 것 등이 불필 요해져, 마스크에 관련된 공정 시간을 단축하는 것이 가능하다. 또, 지지 수단에 의해 기판을 유지하기 때문에, 자체 중량 등으로 인한 기판의 휨을 방지할 수 있다.By integrating the mask for patterning and the supporting means for supporting the substrate, the supporting means can be provided with the mask function of the substrate, so that the mask unit is individually conveyed to the manufacturing apparatus, or the mask is mounted on the substrate in the manufacturing apparatus. This is unnecessary, and it is possible to shorten the process time associated with the mask. In addition, since the substrate is held by the support means, the warpage of the substrate due to its own weight or the like can be prevented.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 2 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, The inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on the 2nd of this invention which solves the said subject,
독립적으로 분위기 및 진공도를 제어가능한 복수의 처리실과, A plurality of process chambers capable of independently controlling the atmosphere and the degree of vacuum;
상기 복수의 처리실로 기판을 연속적으로 반송하는 반송 수단을 갖고, It has a conveying means for conveying a board | substrate continuously to the said some process chamber,
상기 복수의 처리실에서의 소정 처리를 거쳐, 상기 기판에 유기 EL 소자를 형성하는 인라인식 유기 EL 제조장치로서, An inline organic EL manufacturing apparatus which forms an organic EL element in the said board | substrate through the predetermined process in the said several process chamber,
상기 기판에 막형성되는 유기 박막의 패턴이 형성된 마스크를 구비하고, 휨을 방지하여 상기 기판을 지지하는 제 1 지지 수단과, A first support means having a mask having a pattern of an organic thin film formed on the substrate, the first supporting means supporting the substrate by preventing bending;
상기 기판에 막형성되는 전극 박막의 패턴이 형성된 마스크를 구비하고, 휨을 방지하여 상기 기판을 지지하는 제 2 지지 수단과, A second support means having a mask on which a pattern of an electrode thin film formed on the substrate is formed, and supporting the substrate by preventing bending;
장치 내부에서 상기 제 1 지지 수단으로부터 상기 제 2 지지 수단으로 상기 기판을 옮겨 장착하는 교환 수단을 갖고, Having exchange means for moving the substrate from the first support means to the second support means within the apparatus,
상기 반송 수단은, 상기 제 1 지지 수단 또는 상기 제 2 지지 수단을 사용하여 상기 복수의 처리실로 상기 기판을 연속적으로 반송하는 것을 특징으로 한다.The said conveying means is characterized by continuously conveying the said board | substrate to the said some process chamber using the said 1st support means or the said 2nd support means.
예를 들어, 유기 박막을 막형성하는 처리실과 전극 박막을 막형성하는 처리실 사이에 교환 수단을 형성하고, 유기 박막의 막형성 종료 후에 제 1 지지 수단으로부터 제 2 지지 수단으로 기판을 옮겨 장착하도록 한다. For example, an exchange means is formed between the process chamber in which the organic thin film is formed and the process chamber in which the electrode thin film is formed, and the substrate is transferred from the first support means to the second support means after mounting of the organic thin film. .
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 3 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, An inline organic EL manufacturing apparatus according to
독립적으로 분위기 및 진공도를 제어가능한 복수의 처리실과, A plurality of process chambers capable of independently controlling the atmosphere and the degree of vacuum;
상기 복수의 처리실로 기판을 연속적으로 반송하는 반송 수단을 갖고, It has a conveying means for conveying a board | substrate continuously to the said some process chamber,
상기 복수의 처리실에서의 소정 처리를 거쳐, 상기 기판에 유기 EL 소자를 형성하는 인라인식 유기 EL 제조장치로서, An inline organic EL manufacturing apparatus which forms an organic EL element in the said board | substrate through the predetermined process in the said several process chamber,
서로 진공도가 다른 처리실 사이에 형성되고, 각 처리실에서의 진공도의 중간의 진공도를 독립적으로 제어가능한 차동 배기부를 갖고, It is formed between process chambers with different vacuum degrees from each other, and has a differential exhaust part which can independently control the vacuum degree intermediate | middle of the vacuum degree in each process chamber,
상기 반송 수단은, 상기 진공도가 다른 처리실 사이를, 상기 차동 배기부를 통하여, 상기 기판을 연속적으로 반송하는 것을 특징으로 한다.The said conveying means conveys the said board | substrate continuously through the said differential exhaust part between the process chambers with which the said vacuum degree differs, It is characterized by the above-mentioned.
예를 들어, 유기 박막을 막형성하는 처리실과 전극 박막을 막형성하는 처리실 사이에 차동 배기부를 형성함으로써, 게이트 밸브를 필요로 하지 않고, 기판을 정지시키는 일 없이 연속적으로 반송할 수 있어, 기판의 반송을 효율적으로 실시할 수 있다. 또, 차동 배기부를 통하여 각 처리실이 접속되기 때문에, 각 처리실의 진공도가 처리실 서로간에 영향을 주는 일이 없다. For example, by forming a differential exhaust portion between the processing chamber in which the organic thin film is formed and the processing chamber in which the electrode thin film is formed, it is possible to convey the substrate continuously without the need for a gate valve and without stopping the substrate. The conveyance can be carried out efficiently. In addition, since each processing chamber is connected through the differential exhaust unit, the vacuum degree of each processing chamber does not affect each other.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 4 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, The inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on Claim 4 of this invention which solves the said subject,
독립적으로 분위기 및 진공도를 제어가능한 복수의 처리실과, A plurality of process chambers capable of independently controlling the atmosphere and the degree of vacuum;
상기 복수의 처리실로 기판을 연속적으로 반송하는 반송 수단을 갖고, It has a conveying means for conveying a board | substrate continuously to the said some process chamber,
상기 복수의 처리실에서의 소정 처리를 거쳐, 상기 기판에 유기 EL 소자를 형성하는 인라인식 유기 EL 제조장치로서, An inline organic EL manufacturing apparatus which forms an organic EL element in the said board | substrate through the predetermined process in the said several process chamber,
상기 기판의 온도 상승을 억제하는 냉각 부재를 갖고, It has a cooling member which suppresses the temperature rise of the said board | substrate,
상기 반송 수단은, 상기 복수의 처리실로, 상기 냉각 부재와 함께 상기 기판을 연속적으로 반송하는 것을 특징으로 한다. The said conveying means is a conveyance of the said board | substrate continuously with the said cooling member to the said some process chamber, It is characterized by the above-mentioned.
예를 들어, 냉각 부재는, 방열성이 좋은 것 또는 열용량이 큰 것으로 하고, 기판으로부터 냉각 부재로 열전도시킴으로써 기판의 온도 상승을 억제하여, 기판의 반송 속도를 높인 상태에서도 기판에 대하여 연속적으로 막형성을 가능하게 하여, 생산 효율의 향상을 도모할 수 있다. For example, the cooling member has a good heat dissipation property or a large heat capacity, and thermally conducts from the substrate to the cooling member to suppress the temperature rise of the substrate, and continuously form the film with respect to the substrate even when the conveyance speed of the substrate is increased. It is possible to improve the production efficiency.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 5 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, The inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on Claim 5 of this invention which solves the said subject,
상기 인라인식 유기 EL 제조장치에 있어서, In the inline organic EL manufacturing apparatus,
서로 진공도가 다른 처리실 사이에 형성되고, 각 처리실에서의 진공도의 중간의 진공도를 독립적으로 제어가능한 차동 배기부를 갖고, It is formed between process chambers with different vacuum degrees from each other, and has a differential exhaust part which can independently control the vacuum degree intermediate | middle of the vacuum degree in each process chamber,
상기 반송 수단은, 상기 진공도가 다른 처리실 사이를, 상기 차동 배기부를 통하여, 상기 지지 수단, 상기 제 1 지지 수단 또는 상기 제 2 지지 수단을 사용하여 상기 기판을 연속적으로 반송하는 것을 특징으로 한다. The said conveying means is a conveyance of the said board | substrate continuously using the said support means, the said 1st support means, or the said 2nd support means between the process chambers with which the said vacuum degree differs through the said differential exhaust part.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 6 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, The inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on
상기 인라인식 유기 EL 제조장치에 있어서, In the inline organic EL manufacturing apparatus,
상기 기판의 온도 상승을 억제하는 냉각 부재를, 상기 지지 수단, 상기 제 1 지지 수단 또는 상기 제 2 지지 수단에 형성하고, The cooling member which suppresses the temperature rise of the said board | substrate is formed in the said support means, the said 1st support means, or the said 2nd support means,
상기 반송 수단은, 상기 복수의 처리실로, 상기 지지 수단, 상기 제 1 지지 수단 또는 상기 제 2 지지 수단을 사용하여 상기 기판을 연속적으로 반송하는 것을 특징으로 한다.The said conveying means is a conveyance of the said board | substrate continuously using the said support means, the said 1st support means, or the said 2nd support means to the said several process chamber, It is characterized by the above-mentioned.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 7 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, The inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on Claim 7 of this invention which solves the said subject,
상기 인라인식 유기 EL 제조장치에 있어서, In the inline organic EL manufacturing apparatus,
상기 기판의 온도 상승을 억제하는 냉각 부재를, 상기 지지 수단, 상기 제 1 지지 수단 또는 상기 제 2 지지 수단에 형성하고, The cooling member which suppresses the temperature rise of the said board | substrate is formed in the said support means, the said 1st support means, or the said 2nd support means,
상기 반송 수단은, 상기 진공도가 다른 처리실 사이를, 상기 차동 배기부를 통하여, 상기 지지 수단, 상기 제 1 지지 수단 또는 상기 제 2 지지 수단을 사용하여 상기 기판을 연속적으로 반송하는 것을 특징으로 한다. The said conveying means is a conveyance of the said board | substrate continuously using the said support means, the said 1st support means, or the said 2nd support means between the process chambers with which the said vacuum degree differs through the said differential exhaust part.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 8 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, The inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on Claim 8 of this invention which solves the said subject,
상기 인라인식 유기 EL 제조장치에 있어서, In the inline organic EL manufacturing apparatus,
상기 지지 수단, 상기 제 1 지지 수단 또는 상기 제 2 지지 수단을 세정하는 세정 수단을 형성하고, Forming cleaning means for cleaning the support means, the first support means or the second support means,
상기 지지 수단, 상기 제 1 지지 수단 또는 상기 제 2 지지 수단을 재이용가능하게 한 것을 특징으로 한다. And the support means, the first support means or the second support means are made reusable.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 9 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장 치는, In-line type organic EL production site according to
상기 인라인식 유기 EL 제조장치에 있어서, In the inline organic EL manufacturing apparatus,
상기 반송 수단은, 상기 지지 수단, 상기 제 1 지지 수단 또는 상기 제 2 지지 수단의 위치를 결정하는 위치 결정 부재를 갖는 것을 특징으로 한다. The said conveying means has a positioning member which determines the position of the said support means, the said 1st support means, or the said 2nd support means, It is characterized by the above-mentioned.
따라서, 연속적으로 반송하는 반송 수단에 있어서도, 지지 수단, 제 1 지지 수단 또는 제 2 지지 수단의 위치 결정 정밀도가 향상되기 때문에, 기판 자체의 위치 결정 정밀도도 향상되어 막형성 불량을 방지할 수 있다. Therefore, also in the conveying means which conveys continuously, since the positioning precision of a support means, a 1st support means, or a 2nd support means improves, the positioning accuracy of the board | substrate itself also improves, and the film formation defect can be prevented.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 10 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, The inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on Claim 10 of this invention which solves the said subject,
상기 인라인식 유기 EL 제조장치에 있어서, In the inline organic EL manufacturing apparatus,
상기 지지 수단, 상기 제 1 지지 수단 또는 상기 제 2 지지 수단을 복수 수용가능한 카세트를 갖고, A cassette capable of receiving a plurality of the supporting means, the first supporting means or the second supporting means,
상기 카세트를 사용하여, 소정 처리실에서 진공도를 크게 변경하는 것과 함께, By using the cassette, with the vacuum degree largely changed in a predetermined processing chamber,
상기 반송 수단은, 진공도의 변경 후에, 상기 지지 수단, 상기 제 1 지지 수단 또는 상기 제 2 지지 수단을 상기 카세트로부터 연속적으로 반송하는 것을 특징으로 한다. The conveying means is characterized by continuously conveying the supporting means, the first supporting means or the second supporting means from the cassette after the change of the degree of vacuum.
예를 들어, 막형성을 위한 처리실과 밀봉을 위한 처리실 사이의 처리실에서, 복수의 기판을 수용하는 카세트 주위의 진공도를 고진공도/대기압으로 전환하도록 한다.For example, in the processing chamber between the processing chamber for film formation and the processing chamber for sealing, the degree of vacuum around the cassette containing the plurality of substrates is converted to high vacuum / atmospheric pressure.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 11 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, The inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on
상기 인라인식 유기 EL 제조장치에 있어서, In the inline organic EL manufacturing apparatus,
상기 차동 배기부는, 추가로 진공도가 높은 다른 차동 배기부를 구비하는 것을 특징으로 한다. The said differential exhaust part is further equipped with the other differential exhaust part with high vacuum degree.
예를 들어, 유기 박막을 막형성하는 처리실과 전극 박막을 막형성하는 처리실의 사이 등, 서로 분위기의 영향을 주고 싶지 않은 처리실 사이에는 중간의 진공도를 갖는 차동 배기부를 형성할 뿐만 아니라, 추가로 고진공도의 차동 배기부를 별도로 형성함으로써, 각 처리실의 분위기가 서로의 처리실에 영향을 주지 않도록 하고 있다. For example, a differential exhaust portion having an intermediate degree of vacuum is not only formed between the processing chambers in which the organic thin film is formed and the processing chamber in which the electrode thin film is formed. By separately forming the differential exhaust units in FIG., The atmosphere of each processing chamber is prevented from affecting each other's processing chambers.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 12 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, The inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on
상기 인라인식 유기 EL 제조장치에 있어서, In the inline organic EL manufacturing apparatus,
상기 기판과 상기 냉각 부재 사이에, 상기 기판으로부터의 열을 상기 냉각 부재로 전도하여 확산시키는 열전도 부재를 형성한 것을 특징으로 한다. A heat conduction member is formed between the substrate and the cooling member to conduct and diffuse heat from the substrate to the cooling member.
열전도 부재로는, 예를 들어, 열전도성이 있으면서, 접촉면의 표면 조도에 추종가능한 부드러운 소재를 사용한다. As the heat conductive member, for example, a soft material having thermal conductivity and capable of following the surface roughness of the contact surface is used.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 13 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, The inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on Claim 13 of this invention which solves the said subject,
상기 인라인식 유기 EL 제조장치에 있어서, In the inline organic EL manufacturing apparatus,
상기 냉각 부재는, 재이용가능한 것을 특징으로 한다.The cooling member is reusable.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 14 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, The inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on Claim 14 of this invention which solves the said subject,
상기 인라인식 유기 EL 제조장치에 있어서, In the inline organic EL manufacturing apparatus,
상기 기판 및 상기 냉각 부재, 또는, 상기 기판 또는 상기 냉각 부재로부터의 복사열을 흡수하는 복사열 흡수 수단을 형성한 것을 특징으로 한다. A radiation heat absorbing means for absorbing the radiant heat from the substrate and the cooling member or the substrate or the cooling member is formed.
예를 들어, 복사열 흡수 수단으로서 헬륨 냉동기의 크라이오면을 사용하여 기판, 냉각 부재로부터의 복사열을 흡수함으로써 기판의 온도 상승을 억제하여 기판의 반송 속도를 높인 상태에서도 기판에 대하여 연속적인 막형성을 가능하게 하여 생산 효율의 향상을 도모할 수 있다. For example, by absorbing the radiant heat from the substrate and the cooling member using the cryo surface of the helium refrigerator as the radiant heat absorbing means, it is possible to continuously form the film with respect to the substrate even when the temperature of the substrate is suppressed and the conveyance speed of the substrate is increased. In this way, production efficiency can be improved.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 청구항 15 에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치는, The inline organic EL manufacturing apparatus which concerns on Claim 15 of this invention which solves the said subject,
상기 인라인식 유기 EL 제조장치에 있어서, In the inline organic EL manufacturing apparatus,
상기 반송 수단은, 반송 속도를 일정하게 함과 동시에, The conveying means makes the conveying speed constant and at the same time,
복수의 처리실에서의 박막의 막형성 속도를 각각 제어하도록 한 것을 특징으로 한다.It is characterized by controlling the film formation rates of the thin films in the plurality of processing chambers, respectively.
발명을 실시하기 위한 최선의 형태Best Mode for Carrying Out the Invention
본 발명은, 인라인식 유기 EL 제조장치에 있어서, 그 양산성을 향상시키기 위해, 형성된 막의 질, 생산 효율에 주목하여, 기판 반송에 관한 부분 및 기판 온도에 관한 부분을 연구한 것이다. 그 구체적인 몇몇 실시형태를 도 1 내지 도 9 에 나타내고, 특히, 기판 반송의 효율에 관한 부분을 도 1∼도 4 에, 기판 온도에 관한 부분을 도 5∼도 8 에, 그리고 장치 전체의 구성을 도 9 에 나타내어, 상세하게 설명한다. In order to improve the mass productivity of an inline organic EL manufacturing apparatus, this invention studies the part which concerns on board | substrate conveyance, and the board | substrate temperature which focused on the quality of the formed film | membrane and production efficiency. Some specific embodiments thereof are shown in Figs. 1 to 9, in particular, parts relating to the efficiency of substrate transport are shown in Figs. 1 to 4, parts relating to substrate temperature are shown in Figs. 9, it demonstrates in detail.
(실시예 1)(Example 1)
도 1, 도 2 에, 본 발명에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치에서 사용되는 홀더의 실시형태예를 나타낸다. 1 and 2 show examples of embodiments of holders used in the inline organic EL production apparatus according to the present invention.
또, 도 1 의 (a), 도 2 의 (a) 는 기판 및 홀더의 사시도이고, 도 1 의 (b), 도 2 의 (b) 는, 각각 도 1 의 (a) 의 A-A 선 화살표 방향에서 본 단면도, 도 2 의 (a) 의 B-B 선 화살표 방향에서 본 단면도이다.1 (a) and 2 (a) are perspective views of the substrate and the holder, and FIGS. 1 (b) and 2 (b) are AA line arrow directions in FIG. 1 (a), respectively. It is sectional drawing seen from the, and sectional drawing seen from the BB line arrow direction of FIG.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 홀더 (1A: 지지 수단) 는, 직사각형상의 기판 (2a) 의 주연부를 그 하방측에서 유지하는 L 자 단면의 프레임 (3a) 과, 프레임 (3a) 의 중앙부에 십자모양으로 배치되고, 기판 (2a) 을 그 하방측에서 유지하는 유지 부재 (4a) 를 갖고, 프레임 (3a) 과 십자모양의 유지 부재 (4a) 가 형성하는 개구 부분에, 막형성되는 박막의 패턴이 형성된 마스크 (5a) 를 배치한 것이다. 또, 유지 부재 (4a) 는 십자모양에 한정되지 않고, 예를 들어, 중앙에 1 개이거나 또는 다수개의 조합이어도 된다. 홀더 (1A) 에서는, 한 장의 기판 (2a) 을 홀더 (1A) 의 상방으로부터 설치하고, 도 1 에서의 기판 (2a) 의 하면측에 마스크 (5a) 에 의한 패턴이 막형성되어, 도 1 의 예에서는, 한 장의 기판 (2a) 에 4 장분의 유기 EL 소자가 되는 박막이 막형성된다. 유지 부재 (4a) 나 마스크 (5a) 의 패턴은 유기 EL 소자의 크기에 따라 결정되고, 1 장의 기판 (2a) 으로부터, 크 기에 따라 4 장, 6 장, 8 장 …의 유기 EL 소자가 막형성된다. 즉, 홀더 (1A) 는, 1 장의 기판 (2a) 에 대응하는 것으로, 프레임 (3a) 과 유지 부재 (4a) 에 의해 1 장의 기판 (2a) 의 주연부를 유지하여, 자체 중량 등에 의한 휨을 방지함과 동시에, 마스크 (5a) 에 의해 기판 (2a) 에 막형성되는 패턴의 마스크 기능을 제공하는 것이다. 또, 마스크 (5a) 는 유지 부재 (4a) 와 일체로 되어 있고, 기판 (2a) 과 접하는 측에 위치한다. As shown in FIG. 1, the
또, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 홀더 (1B: 지지 수단) 는, 직사각형상의 기판 (2b) 의 주연부를 그 하방측에서 유지하는 L 자 단면의 프레임 (3b) 을 복수개 (도 2 에 있어서는 4 개) 평면 배치하여 일체화한 것으로, 각 프레임 (3b) 이 형성하는 개구 부분에, 막형성되는 박막의 패턴이 형성된 마스크 (5b) 를 배치한 것이다. 홀더 (1B) 에서는, 4 장의 기판 (2b) 을 홀더 (1B) 의 상방으로부터 설치하고, 도 2 에서의 기판 (2b) 의 하면측에 마스크 (5b) 에 의한 패턴이 막형성되어, 4 장의 기판 (2b) 각각에 유기 EL 소자의 박막이 막형성된다. 즉, 홀더 (1B) 는, 잘려진 판인 기판 (2b) 에 대응한 것으로, 프레임 (3b) 에 의해 잘려진 판인 기판 (2b) 의 주연부를 유지하여, 자체 중량 등에 의한 휨을 방지함과 동시에, 마스크 (5b) 에 의해 기판 (2b) 에 막형성되는 패턴의 마스크 기능을 제공하는 것이다.As shown in FIG. 2, the
또, 도 1, 도 2 에는 도시하고 있지 않지만, 기판 (2a, 2b) 의 휨을 보다 효과적으로 억제하기 위해, 기판 (2a, 2b) 의 상방측에서부터 기판 (2a, 2b) 을 누르는 누름 부재를 설치해도 된다. 예를 들어, 후술하는 도 7 에서의 냉각판 (13) 은 누름 부재로서의 기능도 하는 것이다. 그리고, 정전(靜電) 척, 마그넷 척을 사용하여, 프레임 (3a, 3b) 과 누름 부재 사이에 기판 (2a, 2b) 를 끼워서 유지시켜도 된다. In addition, although not shown in FIG. 1, FIG. 2, in order to suppress the curvature of the board |
본 발명에 관한 인라인식 유기 EL 제조장치 (이하, 본 제조장치라고 함) 는, 기판을 반송하면서 막을 형성하는 것이다. 상기 홀더 (1A, 1B) 를 사용하여 기판을 반송함으로써, 기판의 휨을 방지하고, 반송하면서 막을 형성할 수 있어, 기판의 휨에 따른 막형성 불량을 방지할 수 있다. 그리고, 박막의 패턴에 따라서 다른 패턴이 형성된 마스크를 갖는 홀더를 미리 준비하면, 각각 다른 박막 패턴을 막형성하는 것이 가능하다. 예를 들어, 본 제조장치에서는, 유기 박막용 마스크를 갖는 홀더 (A: 제 1 지지 수단) 와, 전극 박막용 마스크를 갖는 홀더 (B: 제 2 지지 수단) 를 각각 따로 따로 사용함으로써, 각각 다른 박막 패턴을 형성하는 것이 가능해진다. 그리고, 후술하는 도 9 에 나타내는 바와 같이, 홀더를 세정하는 세정실 (24, 29: 세정 수단) 을 설치하여, 사용 후의 홀더를 세정하고 순회시킴으로써 홀더의 재이용이 가능해져, 생산 효율의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 홀더와 마스크를 일체화함으로써, 마스크 단일체를 개별적으로 반송할 필요가 없어, 마스크를 위한 반송 장치 등을 별도로 설치하지 않아도 된다.The in-line organic EL manufacturing apparatus (henceforth a manufacturing apparatus) which concerns on this invention forms a film, conveying a board | substrate. By conveying a board | substrate using the said
홀더 (1) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같은 카세트 (6) 에 복수 수용되고, 장치 반입구 (예를 들어, 도 9 의 반입부 (E1) 참조) 등에 카세트 (6) 와 함께 설치된다. 카세트 (6) 는, 개구부를 갖는 상자모양의 케이스체 내부에 대향 배치된 복수의 홈부 (6a) 를 형성하고, 1 쌍의 홈부 (6a) 에 1 개의 홀더 (1) 를 삽입하여 설치함으로써, 복수의 홀더 (1) 를 1 개의 카셋트 (6) 내에 수용하는 것이다. 이와 같이, 복수의 홀더 (1) 를 수용가능한 카세트 (6) 를, 장치 반입구 등 분위기 (진공도) 의 커다란 전환을 필요로 하는 장소에서 사용함으로써, 복수의 홀더, 즉 복수의 기판에 대하여 1 회의 압력 제어에 의해 원하는 분위기 (압력) 로 조정할 수 있어, 분위기 (압력) 의 조정 시간을 단축시킬 수 있다. 그리고, 일단 원하는 압력 (분위기) 으로 전환되면, 막형성실 등의 분위기 (진공도) 에 영향을 미치지 않고, 카세트 (6) 로부터 홀더 (1) 를 순차적으로 꺼내어 연속적으로 반송하면서 막형성 처리할 수 있기 때문에, 여분의 반송 시간이나 분위기 (진공도) 의 조정 시간 등을 줄일 수 있어, 생산 효율을 향상시킬 수 있다. 예를 들어, 도 9 에 있어서는, 대기/진공 전환실 (22a, 22b) (대기/진공의 전환), 진공/N2 전환실 (31) (진공/N2 의 전환), N2/대기 전환실 (35a, 35b) (N2/대기의 전환) 등에서 카세트 (6) 가 사용되어, 다른 분위기 (진공도) 의 처리실 사이를, 카세트 (6) 와 함께 복수의 홀더 (1) 를 통과시킬 수 있다. The
도 4 에, 본 제조장치에서 사용되는 반송장치의 실시형태의 일례를 나타낸다. An example of embodiment of the conveying apparatus used by this manufacturing apparatus is shown in FIG.
또, 도 4 의 (a) 는 막형성실에서의 반송장치를 측면방향에서 본 개략도이고, 도 4 의 (b) 는, 도 4 의 (a) 의 C-C 선 화살표 방향에서 본 단면도이다. 4A is a schematic view of the conveying apparatus in the film forming chamber viewed from the lateral direction, and FIG. 4B is a sectional view seen from the arrow C-C line in FIG. 4A.
홀더 (1A) 는 휨 방지 기능 및 마스크 기능을 갖는 것이지만, 반송장치 (7: 반송 수단) 에 형성된 위치 결정 부재 (8a, 8b) 를 사용함으로써, 반송되면서도, 반송장치 (7) 위에서의 위치 정밀도를 향상시키는 가이드 (안내) 로서도 기능하는 것이다. 구체적으로는, 반송장치 (7) 는, 직선 형상으로 배치된 2 개의 벨트 (7a) 와, 벨트 (7a) 를 구동시키는 복수의 롤러 (7b) 를 갖고 있고, 2 개의 벨트 (7a) 상의 소정 위치에 위치 결정 부재 (8a, 8b) 가 배치된다. 위치 결정 부재 (8a) 는, 홀더 (1A) 의 진행 방향의 위치를 결정하기 위한 것이고, 위치 결정 부재 (8b) 는, 홀더 (1A) 의 진행 방향에 수직인 방향의 위치를 결정하기 위한 것이다. 벨트 (7a), 롤러 (7b) 는, 기판의 막형성 부분에 영향을 주지 않는 위치, 구체적으로는 홀더 (1A) 의 프레임 (3a) 부분에 배치되어, 홀더 (1A) 와 함께 기판을 반송가능하게 지지하는 것이다. 그리고, 막을 형성할 때에는, 형성되는 박막의 막두께가 기판의 반송방향을 따라서 균일하게 되도록, 일정한 소정 속도로 홀더 (1A) 를 이동시킨다. Although the
이와 같이, 위치 결정 부재 (8a, 8b) 에 의해 반송시의 홀더 (1A) 의 위치 결정이 정확하게 이루어짐으로써, 홀더 (1A) 가 갖는 기판의 위치 결정도 정확하게 이루어지게 된다. 즉, 홀더 (1A) 의 하방측에 배치되고, 증발 재료를 공급하는 증발원 (9) 에 대해서도 막형성시의 위치 결정 정밀도가 향상하게 되어, 위치 어긋남에 의한 막형성 불량을 줄일 수 있게 된다. 또, 본 실시예에 있어서는, 벨트 (7a) 측에만 볼록형상의 위치 결정 부재 (8a, 8b) 를 형성한 구성으로 했지만, 홀더 (1A) 측에, 위치 결정 부재 (8a, 8b) 에 대응하는 오목부를 형성하고, 서로 끼워 맞춤으로써 위치 결정해도 되고, 반대로, 벨트 (7a) 측에 오목부를, 홀더 (1A) 측에 볼록부를 형성하고, 서로 끼워 맞춤으로써 위치 결정해도 된다. 또, 롤을 적절하게 배치하면서, 또한 홀더 (1A) 를 슬립시키지 않고서 롤과 홀더 (1A) 사이의 마찰력을 유지할 수 있는 경우는, 벨트식 컨베이어가 아니라, 롤러식 컨베이어에 의해 홀더 (1A) 를 반송해도 된다. In this way, the positioning of the
인라인식 유기 EL 제조장치에서는, 생산 효율을 향상시키기 위해, 박막의 증발 재료를 공급하는 증발원을 1 개의 진공실 내에 직선 형상으로 배치하고, 각 증발원의 상방에서 기판이 연속적으로 반송되면서 막이 형성되는 구성으로 하고 있다. 종래의 인라인식 유기 EL 제조장치에서는, 상기 구성에 의해 기판 온도가 상승하기 쉬워, 생산 효율과 막형성 품질이 트레이트 오프 관계에 있었다. 그래서 본 제조장치에서는, 기판이 연속적으로 반송되면서 막형성되는 상태에 있어서도 기판의 온도 상승을 억제함으로써 양호한 막형성 상태가 되도록 하여, 생산 효율을 향상시키고 있다. 그 구체적인 실시형태예를 도 5 및 도 7 에 나타낸다. In the inline organic EL manufacturing apparatus, in order to improve the production efficiency, the evaporation source for supplying the evaporation material of the thin film is arranged in a straight line in one vacuum chamber, and the film is formed while the substrate is continuously conveyed from above each evaporation source. Doing. In the conventional inline organic EL production apparatus, the substrate temperature tends to rise due to the above configuration, and production efficiency and film formation quality have a trade-off relationship. Therefore, in this manufacturing apparatus, even in the state in which a film is formed while the substrate is continuously conveyed, the temperature rise of the substrate is suppressed so as to obtain a good film forming state, thereby improving production efficiency. Examples of the specific embodiment are shown in FIGS. 5 and 7.
도 5 는, 복수의 증발원 (9) 이 배치된 진공 용기의 내부를 나타내는 개략도이다. 5 is a schematic view showing the inside of a vacuum container in which a plurality of
도 5 에 나타내는 바와 같이, 본 제조장치는, 기판 온도의 상승을 억제하기 위해, 기판이나 후술하는 냉각판 (12: 도 7 참조) 으로부터의 복사열을 흡수하는 크라이오 패널 (10a, 10b: 복사열 흡수 수단) 을 구비한다. 크라이오 패널 (10a, 10b) 은, 증발원 (9) 으로부터 공급되는 증발 재료의 증착을 방해하지 않는 공간에서, 홀더 (1) 의 양면에 근접하도록 평행하게 배치되어 있는 것으로서, 증발원 (9) 의 수에 맞추어 반송장치를 따라서 복수 설치된다. 크라이오 패널 (10a, 10b) 은, 크라이오 펌프 등의 내부에 사용되는 크라이오 패널과 동등한 것으 로서, 액체 He 등을 사용한 냉동기의 크라이오면을 사용한 것이다. As shown in FIG. 5, in order to suppress the increase in the substrate temperature, the apparatus for
진공 용기의 내부에서는, 기판의 주위가 진공이기 때문에 기판으로부터의 열전도를 매개하는 기체가 거의 없다. 그래서, 본 발명에서는, 저온 (-20℃∼-200℃) 으로 유지가능한 크라이오 패널 (10a, 10b) 을 사용하여 기판 등으로부터의 복사열을 적극적으로 흡수함으로써 (냉복사), 기판의 온도 상승을 방지하도록 하고 있다.Inside the vacuum vessel, there is almost no gas that mediates heat conduction from the substrate since the periphery of the substrate is a vacuum. Therefore, in the present invention, the temperature rise of the substrate is increased by actively absorbing radiant heat from the substrate or the like by using the
도 6 에, 크라이오 패널을 사용하지 않은 경우와 사용한 경우의 기판의 온도 변화를 나타낸다. 6, the temperature change of the board | substrate with and without using a cryopanel is shown.
이것은, 유리 기판의 초기 온도를 25℃, 크라이오 패널 (10a, 10b) 의 온도를 -200℃, 증발원 (9) 의 온도를 300℃, 기판의 반송 속도를 5.8㎜/sec 로 하고, 막형성 회수를 연속 12 회 실시한 것이다. This is 25 degrees C, the temperature of the
도 6 의 (a) 의 크라이오 패널을 사용하지 않은 경우와, 도 6 의 (b) 의 크라이오 패널을 사용한 경우와의 비교에서, 크라이오 패널에 의한 냉각으로 인해 기판 온도의 상승이 상당히 억제되어 있는 것을 알 수 있다.In the case where the cryopanel of FIG. 6A is not used and the cryopanel of FIG. 6B is used, the increase of the substrate temperature is considerably suppressed due to the cooling by the cryopanel. It can be seen that.
도 7 는, 도 1 에 나타낸 홀더 (1A) 에, 열전도 부재, 냉각 부재를 형성한 구성을 나타내는 단면도이다. FIG. 7: is sectional drawing which shows the structure in which the heat conductive member and the cooling member were formed in the
도 7 에 나타내는 홀더는, 도 1 에 나타낸 홀더 (1A) 에 유(柔)구조물 (11: 열전도 부재), 냉각판 (12: 냉각 부재) 을 형성한 것이다. 구체적으로는, 홀더 (1A) 가 유지하는 기판 (2a) 위에 유구조물 (11) 이 배치되고, 또, 유구조물 (11) 위에 냉각판 (12) 이 배치된 구성이다. 이들 유구조물 (11) 및 냉각판 (12) 은 , 기판 (2a) 에서 막이 형성되는 면과 반대측 면에 배치된다. 또, 기판 (2a) 으로부터 냉각판 (12) 으로의 열전도성이 충분히 확보될 수 있으면, 유구조물 (11) 은 반드시 형성할 필요는 없다.The holder shown in FIG. 7 forms the oil structure 11 (heat conductive member) and the cooling plate 12 (cooling member) in the
상기 구성은, 기판 (2a) 으로부터의 열전도, 열확산을 냉각판 (12) 측으로 적극적으로 실시함으로써 기판 (2a) 의 온도 상승을 억제하고자 하는 것이다. 구체적으로는, Cu 등과 같이 열전도성이 높은 재료에 의해 냉각판 (12)을 구성하고, 기판 (2a) 을 냉각판 (12) 에 접촉시켜 기판 (2a) 의 온도를 열전도, 열확산에 의해 빠져 나가게 하여, 기판 (2a) 자체의 온도 상승을 방지하고 있다. 그리고, 냉각판 (12) 자체의 체적을 크게 하는 등, 냉각판 (12) 자체의 열용량을 크게 하는 구성으로 하여 냉각판 (12) 을 포함한 기판 (2a) 측 온도가 잘 상승되지 않도록 해도 된다. 또한, 냉각판 (12) 과 기판 (2a) 의 열전도성을 보다 좋게 하기 위해서, 서로의 접촉면의 밀착성을 양호하게 하는 유구조물 (11) 을 냉각판 (12) 과 기판 (2a) 사이에 끼우도록 해도 된다. 유구조물 (11) 로서는, 예를 들어, 실리콘 고무, 그라파이트 시트, 카본 시트 등을 사용한다. 또, 열전도율이 0.2W/(mㆍK) 정도이더라도, 진공 중에서 탈가스량이 적고, 기판과의 밀착성이 양호한 것이 있으면 유구조물로서 사용할 수 있고, 예를 들어, 쉘모양의 것도 사용할 수 있다. The above structure is intended to suppress the temperature rise of the
본 제조장치에서는, 기판 (2a) 을 반입하기 전에, 냉각판 (12) 을 미리 기판 (2a) 위에 장착하고, 기판 (2a) 의 막형성, 밀봉 처리 후, 반출시에 기판 (2a) 위로부터 제거하도록 한다. 이 경우, 한번 사용한 냉각판 (12) 은 20℃ 정도까지 냉각하고, 재이용하도록 한다. 또한, 본 제조장치의 내부에 있어, 막형성 전에 냉각판 (12) 을 기판 (2a) 위에 장착하고, 막형성 후에 냉각판 (12) 을 기판 (2a) 위로부터 제거하도록 해도 된다. 이 경우, 한번 사용한 냉각판 (12) 을 본 제조장치 내에서 냉각할 수 있도록 하면, 냉각판 (12) 을 장치 내에서 순회시켜 재이용하도록 하는 것도 가능하다. In this manufacturing apparatus, before loading the board |
도 8 에, 기판과 냉각판 사이에 유구조물이 끼여 있지 않은 경우와 끼여 있는 경우의 기판의 온도 변화를 나타낸다. 8, the temperature change of the board | substrate in the case where the oil structure is not stuck between the board | substrate and a cooling plate, and is pinched is shown.
이것은, 유리 기판의 초기 온도를 25℃, 유구조물 (11) (실리콘 고무) 의 두께를 1㎜, 냉각판 (12) (Cu) 의 두께를 5㎜, 증발원의 온도를 300℃, 기판의 반송 속도를 5.8㎜/sec 로 하고, 막형성 회수를 연속 12회 실시한 것이다. This conveys the substrate temperature of 25 degreeC, the thickness of the structure 11 (silicone rubber) to 1 mm, the thickness of the cooling plate 12 (Cu) to 5 mm, and the temperature of an evaporation source to 300 degreeC, the board | substrate of the initial temperature of a glass substrate. The speed | rate is set to 5.8 mm / sec, and 12 times of film formation is performed continuously.
도 8 의 (a) 의 유구조물을 사이에 끼우지 않은 경우와, 도 8 의 (b) 의 유구조물을 사이에 끼운 경우와의 비교에서, 기판 (2a) 으로부터 냉각판 (12) 으로의 열전도 및 열확산이 접촉성이 좋은 유구조물 (11) 을 통하여 이루어져, 기판 온도의 상승이 상당히 억제되는 것을 알 수 있다. 그리고, 도 5 에 나타낸 크라이오 패널 (10a, 10b) 을 병용함으로써, 도 8 의 (c) 에 나타내는 바와 같이, 보다 효과적으로 기판 온도의 상승을 억제하는 것이 가능해진다. In the comparison between the case where the structure of FIG. 8A is not sandwiched and the case of the structure of FIG. 8B, the heat conduction from the
이와 같이, 열복사의 흡수나 열전도를 사용한 기판의 냉각에 의해 기판의 온도 상승을 억제할 수 있기 때문에, 기판의 반송 속도를 고속으로 한 상태에서도 연속적으로 막을 형성하는 것이 가능해져, 생산 효율을 향상시킬 수 있다. 또, 기판의 온도 상승을 억제할 수 있기 때문에, 기판과 증발원의 거리를 근접시켜 무 효 증기량을 감소시킨 상태로 막형성이 가능해져, 증발 재료의 낭비를 줄일 수 있다. Thus, since the temperature rise of a board | substrate can be suppressed by the absorption of heat radiation and cooling of a board | substrate using heat conduction, it becomes possible to form a film continuously even in the state which made the conveyance speed of a board | substrate high speed, and improves production efficiency. Can be. In addition, since the temperature rise of the substrate can be suppressed, the film can be formed in a state where the distance between the substrate and the evaporation source is close and the amount of effective vapor is reduced, thereby reducing the waste of the evaporation material.
도 9 에, 본 제조장치의 개략적인 평면도를 나타낸다. 9, the schematic top view of this manufacturing apparatus is shown.
또, 도면 중 「P」는 진공 펌프를 나타내고, 「N2」는 질소의 공급 라인을 나타낸다. In addition, "P" in the figure indicates a vacuum pump, "N 2" shows the supply line of nitrogen.
도 9 에 나타내는 바와 같이, 본 제조장치는, FPD 에서의 유기 EL 소자의 형성을 인라인으로 실시하기 위해 구성된 것으로, 독립적으로 분위기 및 진공도를 제어가능한 복수의 처리실과, 복수의 처리실로 기판을 연속적으로 반송하는 반송장치를 갖고, 각 처리실에 있어서, 다른 조건하에서 각각의 목적에 맞는 소정 처리를 실행할 수 있도록 구성되어 있는 것이다.As shown in FIG. 9, this manufacturing apparatus is comprised so that formation of organic electroluminescent element in FPD may be performed inline, and a board | substrate is continuously made by the several process chamber which can control an atmosphere and a vacuum degree independently, and a some process chamber. It has a conveying apparatus to convey, and is comprised so that it may be able to perform predetermined | prescribed process according to each objective in each process chamber under different conditions.
본 제조장치로는, 게이트 도어 (21) 의 설치 지점을 가능한 한 적게 함으로써 게이트 도어 (21) 의 개폐에 걸리는 시간, 그리고 진공도의 조정 시간을 삭감하도록 하고 있어, 그 결과 기판을 정지시키지 않고 각 처리실로 기판을 연속적으로 반송시킬 수 있도록 하고 있다. 구체적으로는, 분위기 (진공도) 를 크게 바꾸는 처리실과의 접속 부분에만 게이트 밸브 (21) 를 형성하고, 다른 부분에서는 중간 압력으로 하기 위한 차동 배기를 실시하는 차동 배기부 (D1∼D4) 를 형성함으로써, 각 처리실 사이의 압력차를 유지하도록 하고 있다. In this manufacturing apparatus, the time taken for opening / closing the
게이트 밸브 (21) 는, 분위기 (진공도) 가 크게 변하는 처리실 전후에 형성되어 있고, 차동 배기부 (D1∼D4) 에서는 기판이 연속적으로 반송되는 데에 대하 여, 게이트 밸브 (21) 가 형성된 처리실의 전후에서는 소정 분위기 (진공도) 로 변경될 때까지 기판의 반송이 정지된다. 그래서, 본 제조장치에서는, 기판을 지지하는 홀더를 복수장 수용가능한 카세트 (6) 를 사용함으로써, 카세트 (6) 와 함께 복수장의 홀더 (1), 기판 주위의 분위기를 일괄하여 전환시킬 수 있다. 카세트 (6) 주위의 분위기는, 소정 처리실에서 대기/진공, 진공/N2, N2/대기 등으로 변경된다. 또, 카세트 (6) 를 사용함으로써, 분위기 전환 후의 기판의 연속 반송을 가능하게 하여 생산 효율의 향상을 도모할 수 있다. 특히, 카세트 (6) 를, 장치의 내부인 밀봉실 (33) 전후의 처리실에서 사용함으로써, 분위기의 일괄 변경, 홀더 (1), 기판의 일괄 이동을 실시하여 분위기 변경을 위한 조정 시간을 단축하고, 여분의 대기 시간을 줄여, 막형성 공정 및 밀봉 공정의 처리 능력 저하를 방지하고 있다. The
차동 배기부 (D1∼D4) 는, 그 공간이 홀더가 통과할 수 있는 개구부를 갖는 구획벽에 의해 형성된다. 차동 배기부 (D1, D2, D4) 에 인접하고, 다른 진공도를 갖는 각 처리실 사이의 압력차를 유지하도록 하기 위해, 차동 배기부 (D1, D2, D4) 에서의 진공도는 각 처리실의 진공도의 중간의 진공도로 제어된다. 차동 배기부 (D1, D2, D4) 의 진공도는, 차동 배기부 (D1, D2, D4) 를 배기시키는 진공 펌프나 도시하지 않은 밸런스용 N2 을 사용함으로써, 적절한 진공도로 제어된다. 차동 배기부 (D3) 는 차동 배기부 (D1, D2, D4) 와는 다른 목적을 위하여 형성된 것으로, 구체적으로는, 각 처리실 사이의 분위기가 서로 영향을 미치지 않도록 하 기 위해서 인접하는 각 처리실의 진공도보다 더욱 높은 진공도의 압력으로 제어된다. The differential exhaust sections D1 to D4 are formed by partition walls having openings through which the space can pass. In order to maintain the pressure difference between the processing chambers adjacent to the differential exhaust sections D1, D2 and D4 and having different vacuum degrees, the vacuum degree in the differential exhaust sections D1, D2 and D4 is equal to the middle of the vacuum degrees of the respective processing chambers. The degree of vacuum is controlled. The vacuum degree of the differential exhaust parts D1, D2, and D4 is controlled to an appropriate degree of vacuum by using a vacuum pump for evacuating the differential exhaust parts D1, D2 and D4 and a balance N 2 ( not shown). The differential exhaust unit D3 is formed for a different purpose from the differential exhaust units D1, D2, and D4. Specifically, the differential exhaust unit D3 is formed to have a different degree of vacuum than that of the adjacent process chambers so that the atmosphere between the process chambers does not influence each other. It is controlled at a higher vacuum.
본 제조장치에서는, 플라즈마 세정실 (24)-유기 EL 막형성실 (25) 사이, 플라즈마 세정실 (24)-홀더 반송실 (27) 사이에 차동 배기부 (D1, D2) 를 형성함으로써, 양 처리실 사이의 진공도의 압력차를 유지하도록 하고 있다. 예를 들어, 플라즈마 세정실 (24) 의 압력을 P1, 유기 EL 막형성실 (25) 의 압력을 P3 으로 하고 P1> P3 으로 하는 경우, P1> P2> P3 이 되는 압력 (P2) 의 차동 배기부 (D1) 를 형성함으로써, P1, P3 의 압력을 유지하기 쉽게 하고, 처리실 사이의 게이트 밸브를 불필요하게 하고 있다. 마찬가지로, 홀더 반송실 (27) 의 압력은, 유기 EL 막형성실 (25) 의 압력과 동일한 압력 (P3) 이기 때문에, P1> P4> P3 이 되는 압력 (P4) 의 차동 배기부 (D2) 를 형성함으로써, P1, P3 의 압력을 유지하기 쉽게 하고, 처리실 사이의 게이트 밸브를 불필요하게 하고 있다. In the present production apparatus, the differential exhaust portions D1 and D2 are formed between the
또, 유기 EL 막형성실 (25)-전극 막형성실 (28) 사이에는 양 처리실의 진공도보다 고진공도의 차동 배기부 (D3) 를 형성함으로써, 양 처리실의 무효 증기가 서로 들어가지 않도록 하고 있다. 예를 들어, 전극 막형성실 (28) 의 압력을 P7 로 하면, P7> P3> P5 가 되는 압력 (P5) 의 차동 배기부 (D3) 를 형성함으로써, 서로 처리실 분위기에 영향을 주지 않아, 처리실 사이의 게이트 밸브를 불필요하게 하고 있다. 또, P7 과 P5 의 압력차가 큰 경우에는, P7> P6> P5 가 되는 압력 (P6) 의 차동 배기부 (D4), 즉, 인접하는 전극 막형성실 (28), 차동 배기부 (D3) 의 각 진공도의 중간의 압력 (P6) 의 차동 배기부 (D4) 를 차동 배기부 (D3) 에 직 렬로 접속하여 형성하면, 양 처리실 사이의 진공도의 압력차를 유지하기 쉬워진다.In addition, a differential exhaust portion D3 having a higher vacuum than the vacuum of both processing chambers is formed between the organic EL
이와 같이, 차동 배기부 (D1∼D4) 를 형성함으로써 게이트 도어 (21) 의 설치를 필요로 하지 않고, 기판을 정지시키지 않고 연속적인 반송이 가능해져, 생산 효율이 향상되게 된다. Thus, by providing the differential exhaust parts D1 to D4, continuous conveyance is possible without requiring the installation of the
본 제조장치에서의 기판의 움직임 (S1∼S3), 카세트 (6) 의 움직임 (K1∼K3), 홀더 (1) 의 움직임 (H1, H2) 에 대해 설명한다. The movements S1 to S3 of the substrate, the movements K1 to K3 of the
또, 유기 EL 소자의 패턴이 형성된 마스크를 미리 장착한 홀더를 홀더 (A: 제 1 지지 수단), 전극의 패턴이 형성된 마스크를 미리 장착한 홀더를 홀더 (B: 제 2 지지 수단) 로 하여 다음에 설명한다. Moreover, the holder (A: 1st support means) which mounted the mask in which the pattern of organic electroluminescent element was formed previously, and the holder in which the mask in which the pattern of the electrode was formed in advance were mounted as a holder (B: 2nd support means), To explain.
기판 자체는, S1, S2, S3 의 순서로 이동하고, 그 이동 과정에서 유기 EL 막형성실 (25) 에서 유기 EL 소자의 박막이 형성되고, 전극 막형성실 (28) 에서 전극이 형성되고, 밀봉 처리실 (33) 에서 밀봉되어, 유기 EL 소자에 의한 FPD 가 제조된다.The substrate itself moves in the order of S1, S2, S3, and in the moving process, a thin film of an organic EL element is formed in the organic EL
홀더 (A) 에 기판을 설치한다. 그리고, 기판을 갖는 복수의 홀더 (A) 를 카세트 (6) 에 수용하여 반입부 (E1) 에 설치한다. 본 제조장치가 시동하면, 게이트 밸브 (21a) 를 열어 카세트 (6) 를 대기/진공 전환실 (22a) 로 이동하고, 게이트 밸브 (21a) 를 닫은 후, 대기/진공 전환실 (22a) 에서 진공 펌프에 의해 대기로부터 소정 진공도까지 배기한다. 소정 진공도에 도달하면, 게이트 밸브 (21b) 를 열어 카세트 대기실 (23) 로 카셋트 (6) 를 이동한다. 이 카세트 대기실 (23) 로부터 마스크 홀더 교환실 (26) 까지는 홀더 (A) 가 기판과 함께 연속 적으로 반송되게 된다. 모든 홀더 (A) 를 카세트 (6) 로부터 반출한 후, 빈 카세트 (6) 에 사용 후의 홀더 (A), 즉 기판을 갖지 않는 빈 홀더 (A) 가 복귀되고, 그 후, 빈 홀더 (A) 와 함께 카세트 (6) 가 대기/진공 전환실 (22b) 로 이동된다. 그리고, 게이트 밸브 (21c) 를 닫은 후, 대기/진공 전환실 (22b) 이 대기압으로 되돌아가고, 게이트 밸브 (21d) 를 연 후, 카세트 (6) 가 반출부 (E2) 로 반출된다. The substrate is placed in the holder (A). And the some holder A which has a board | substrate is accommodated in the
도 9 의 카세트 이동 범위 (K1) 에 나타내는 바와 같이, 기판 및 홀더 (A) 의 반입에 사용되는 카세트 (6) 는 소정 영역 내에서만 순회하도록 이동하기 때문에, 적어도 2 개 이상의 복수의 카세트 (6) 를 사용하면, 대기/진공 전환실 (22a, 22b) 에서 독립적으로 대기/진공의 전환을 실시함으로써 대기/진공의 전환에 수반되는 시간을 삭감하여, 생산 효율을 높이는 것이 가능하다. 또, 카세트 대기실 (23) 로부터 복수의 홀더 (A) 를 연속적으로 반송하고 있는 동안, 대기/진공 전환실 (22a) 에서 다음 카세트 (6) 의 분위기를 진공으로 전환해 두면, 대기/진공 전환실 (22a) 에서 카세트 대기실 (23) 로 카셋트 (6) 를 순차 이동시킬 수 있어, 다른 카세트 (6) 에 수용된 복수의 홀더 (A) 를 연속적으로 본 제조장치 내부의 처리실 내로 반송하는 것이 가능해진다. As shown in the cassette movement range K1 of FIG. 9, since the
카세트 대기실 (23) 로 이동된 카세트 (6) 로부터는, 본 제조장치 내부의 처리실로 홀더 (A) 가 순차 반송된다. 처음에, 플라즈마 세정실 (24: 세정 수단) 로 이동되어, 홀더 (A) 에 장착된 마스크와 함께 기판의 막형성면이 O2 플라즈마 등 을 사용하여 세정된다. 세정된 홀더 (A) 는, 차동 배기부 (D1) 를 통과하여 유기 EL 막형성실 (25) 로 순차 반송되고, 복수층의 유기 박막이 막형성된다. 유기 EL 막형성실 (25) 은, 도 4 에 나타내는 반송장치, 도 5 에 나타내는 크라이오 패널, 도 7 에 나타내는 냉각판 등을 갖기 때문에, 홀더 (A) 의 위치가 어긋나는 일 없이 반송이 가능하며, 또 기판의 온도 상승을 소정 범위 내로 억제하여 막을 형성할 수 있다. 유기 EL 막형성실 (25) 에서는, 반송장치의 반송 속도를 일정한 소정 속도로 하고, 각각의 유기 박막의 막형성 속도를 적절히 설정함으로써 소정 두께의 유기 박막이 막형성되도록 하고 있다. 또, 유기 EL 막형성실 (25) 은, 막형성되는 박막의 적층수나 그 목적에 따라서 복수의 증발원 등이 형성되어 있다. From the
유기 EL 막형성실 (25) 에서 유기 박막이 막형성된 후, 기판을 갖는 홀더 (A) 는, 마스크 홀더 교환실 (26: 교환 수단) 로 순차 반송되고, 여기서, 기판만이 홀더 (A) 로부터 분리되어, 홀더 (B) 로 옮겨 장착된다. 즉, 기판을 지지하는 홀더를, 유기 EL 소자용 홀더 (A) 에서 전극용 홀더 (B) 로 교환하고 있다. After the organic thin film is formed in the organic EL
분리된 홀더 (A) 는, 홀더 반송실 (27) 을 통과하고 차동 배기부 (D2) 를 경유하여, 플라즈마 세정실 (24) 에서 세정된 후, 카세트 대기실 (23) 의 카세트 (6) 로 순차 복귀된다. 카세트 (6) 에 최대 탑재 매수의 홀더 (A) 가 복귀되면, 카세트 (6) 는 대기/진공 전환실 (22b) 로 이동되어, 대기로 전환된 후, 반출부 (E2) 로 반출된다. 이와 같이, 홀더 (A) 는, 도 9 의 홀더의 이동 궤적 (H1) 에 나타내는 바와 같이, 반입부 (E1) 로부터 카세트 (6) 와 함께 반입되고, 복수의 처리 실을 거친 후, 플라즈마 세정실 (24) 에서 세정되고, 카세트 (6) 와 함께 반출부 (E2) 로 복귀된다. 홀더 (A) 는 플라즈마 세정실 (24) 에서 세정되기 때문에 재이용이 가능하고, 예를 들어, 카세트 대기실 (23) 등에서 기판만을 홀더 (A) 에 설치할 수 있도록 구성하면, 기판만 본 제조장치의 반입부 (E1) 에 세팅하기만 하면 된다.The separated holder A passes through the
한편, 전극용 홀더 (B) 는, 기판이 설치되지 않은 상태에서 카세트 (6) 에 복수 수용되고 반입부 (E3) 에 설치된다. 본 제조장치가 시동하면, 게이트 밸브 (21g) 를 열어 카세트 (6) 를 대기/진공/N2 전환실 (35a) 로 이동하고, 게이트 밸브 (21g) 를 닫는다. 그 후, 대기/진공/N2 전환실 (35a) 에서 진공 펌프에 의해 대기로부터 소정 진공도까지 배기시키고, 소정 진공도에 도달하면 N2 를 공급하여 N2 분위기로 전환한다. 그리고, 게이트 밸브 (21h) 를 열어, 카세트 대기실 (34) 로 카셋트 (6) 를 이동한다. 모든 홀더 (B) 를 카세트 (6) 로부터 반출한 후, 빈 카세트 (6) 에 사용 후의 홀더 (B) 가 복귀된다. 이 때, 홀더 (B) 에는, 유기 EL 소자가 형성되고, 밀봉처리된 기판이 설치되어 있다. 그 후, 기판, 홀더 (B) 와 함께 카세트 (6) 가 대기/진공/N2 전환실 (35b) 로 이동되고, 게이트 밸브 (21i) 를 닫은 후, 대기/진공/N2 전환실 (35b) 이 대기압으로 되돌아간다. 대기/진공/N2 전환실 (35b) 이 대기압으로 되돌아간 후, 게이트 밸브 (21j) 를 열어, 기판, 홀더 (B) 와 함께 카세트 (6) 가 반출부 (E4) 로 반출된다. On the other hand, the electrode holder B is accommodated in the
도 9 의 카세트 이동 범위 (K3) 에 나타내는 바와 같이, 홀더 (B) 의 반입에 사용되는 카세트 (6) 도 소정 영역 내에서만 순회하도록 이동한다. 따라서, 적어도 2 개 이상의 복수의 카세트 (6) 를 사용하면, 대기/진공/N2 전환실 (35a, 35b) 에서 독립적으로 대기/진공의 전환을 실시함으로써, 대기/진공/N2 의 전환에 수반되는 시간을 삭감하여, 생산 효율을 높이는 것이 가능하다. 또, 카세트 대기실 (34) 로부터 복수의 홀더 (B) 를 연속적으로 반송하고 있는 동안, 대기/진공/N2 전환실 (35a) 에서 다음 카세트 (6) 의 분위기를 N2 로 전환해 두면, 대기/진공/N2 전환실 (35a) 로부터 카세트 대기실 (34) 로 카셋트 (6) 를 순차 이동시킬 수 있어, 다른 카세트 (6) 에 수용된 복수의 홀더 (B) 를 연속적으로 본 제조장치 내부의 처리실 내로 반송하는 것이 가능해진다. As shown in the cassette movement range K3 of FIG. 9, the
홀더 (B) 는, 도 9 의 홀더의 이동 궤적 (H2) 에 나타내는 바와 같이, 반입부 (E3) 로부터 카세트 (6) 와 함께 반입되고, 카세트 대기실 (34) 로 이동된 카세트 (6) 로부터 순차 처리실 내로 반송되고, 그 후, 카세트 (6) 와 함께 반출부 (E4) 로 복귀된다. 본 제조장치 내부에서는, 홀더 (B) 는, 카세트 대기실 (34) 로 이동된 카세트 (6) 로부터 밀봉 처리실 (33) 을 통과하여, 카세트 대기실 (32) 의 카세트 (6) 로 이동된다. 그리고, 게이트 밸브 (21f) 를 열어, 카세트 (6) 와 함께 홀더 (B) 를 진공/N2 전환실 (31) 로 이동하고, 게이트 밸브 (21f) 를 닫은 후, 진공 펌프를 사용하여 N2 분위기로부터 소정 진공도로 전환한다. 소정 진공 도에 도달 후, 게이트 밸브 (21e) 를 열어 카세트 (6) 와 함께 홀더 (B) 를 카세트 대기실 (30) 로 이동한다. 그리고, 홀더 (B) 가, 카세트 대기실 (30) 로 이동된 카세트 (6) 로부터 순차 반송되어, 홀더 세정실 (29: 세정 수단) 에서 마스크와 함께 세정되고, 차동 배기부 (D4, D3) 를 통과하여 홀더 교환실 (26) 로 반송된다.As shown in the movement trace H2 of the holder of FIG. 9, the holder B is carried in from the
홀더 교환실 (26) 에 있어서, 홀더 (B) 로 옮겨 장착된 기판은, 홀더 (B) 와 함께 차동 배기부 (D3, D4) 를 통과하여, 전극 막형성실 (28) 로 순차 반송된다. 전극 막형성실 (28) 에서는, 유기 EL 소자의 배선이 되는 금속 박막이 형성된다. 금속 박막이 형성된 기판은, 홀더 (B) 와 함께 카세트 대기실 (30) 의 카세트 (6) 로 순차 복귀된다. 최대 탑재수의 홀더 (B) 가 카세트 (6) 로 복귀되면, 게이트 밸브 (21c) 를 열어 카세트 (6) 와 함께 홀더 (B) 를 진공/N2 전환실 (31) 로 이동하고, 게이트 밸브 (21e) 를 닫은 후, N2 를 공급하여 진공 분위기로부터 N2 분위기로 전환한다. 그리고, 게이트 밸브 (21f) 를 열어, 카세트 (6) 와 함께 홀더 (B) 를 카세트 대기실 (32) 로 이동시키고, 게이트 밸브 (21f) 를 닫는다. 그 후, 카세트 대기실 (32) 로 이동된 카세트 (6) 로부터 홀더 (B) 를 밀봉 처리실 (33) 로 순차 반송하고, 밀봉재를 사용하여 유기 EL 소자를 밀봉한다. 밀봉 후, 홀더 (B) 는 카세트 대기실 (34) 의 카세트 (6) 로 순차 반송되고, 최대 탑재수의 홀더 (B) 가 카세트 (6) 로 복귀되면, 게이트 밸브 (21i) 를 열어 카세트 (6) 와 함께 홀더 (B) 를 대기/진공/N2 전환실 (35b) 로 이동한다. 게이트 밸브 (21i) 를 닫은 후, 대기/진공/N2 전환실 (35b) 을 대기압으로 되돌리고, 그 후, 게 이트 밸브 (21j) 를 열어 카세트 (6) 와 함께 홀더 (B) 를 반출부 (E4) 로 반출한다. 이 때, 홀더 (B) 와 함께, 유기 EL 소자가 형성되고, 밀봉 처리된 기판, 즉, 유기 EL 소자의 FPD 가 완성된 상태로 기판이 반출된다. In the
본 발명에 의하면, 기판을 지지하는 지지 수단 (홀더) 과 기판용 마스크를 일체화하고, 홀더를 사용하여 기판을 유지하도록 했기 때문에, 간단한 구조로 기판이 휘어지는 것을 방지하는 것과 아울러 마스크 기능을 홀더에 부여할 수 있다. 기판의 휨을 방지함으로써 기판이 휘어지는 것으로 인한 막형성 불량을 줄일 수 있고, 또, 홀더에 마스크 기능을 부여함으로써, 마스크에 관련된 공정 시간을 단축하는 것이 가능해져, 생산 효율의 향상을 도모할 수 있다. 그리고, 막형성되는 박막에 따라서 다른 패턴이 형성된 마스크를 홀더에 장착해 두고, 제조장치 내에서 홀더를 교환함으로써, 기판에 패턴이 다른 박막을 형성할 수 있다. According to the present invention, since the support means (holder) for supporting the substrate and the substrate mask are integrated and the substrate is held by the holder, the substrate is prevented from bending with a simple structure and the mask function is provided to the holder. can do. By preventing the warping of the substrate, it is possible to reduce film formation defects due to the warpage of the substrate, and by providing the mask function to the holder, it is possible to shorten the process time associated with the mask, thereby improving production efficiency. Then, by attaching a mask in which a pattern is formed in accordance with the thin film to be formed into the holder, and replacing the holder in the manufacturing apparatus, a thin film having a different pattern can be formed on the substrate.
본 발명에 의하면, 진공도가 다른 처리실 사이에, 차동 배기부에 의한 중간 압력실을 형성했기 때문에, 진공도가 다른 처리실 사이에 게이트 밸브를 설치할 필요가 없어지고, 또, 압력 조정도 불필요해져, 기판을 정지시키지 않고 연속적으로 반송하는 것이 가능하다. 그 결과, 반송 속도의 고속화가 용이해져, 생산 효율을 향상시킬 수 있다. According to the present invention, since the intermediate pressure chamber formed by the differential exhaust unit is formed between the processing chambers having different vacuum degrees, there is no need to provide a gate valve between the processing chambers having different vacuum degrees, and pressure adjustment is also unnecessary. It is possible to convey continuously without stopping. As a result, the speed | rate of conveyance speed becomes easy and a production efficiency can be improved.
본 발명에 의하면, 열전도 부재를 통한 냉각 부재나 복사열을 흡수하는 복사열 흡수 수단 등을 사용하기 때문에, 기판의 온도 상승을 억제할 수 있고, 고속의 반송 속도로 연속적으로 막을 형성하는 것이 가능해져, 생산 효율을 향상시킬 수 있다. 또, 기판의 온도 상승을 억제함으로써, 기판과 증발원의 거리를 근접시킬 수 있고, 무효증기량을 감소시켜, 증발 재료의 낭비를 감소시킬 수 있다. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, since the cooling member through a heat conductive member, the radiation heat absorbing means which absorbs radiant heat, etc. are used, the temperature rise of a board | substrate can be suppressed and it becomes possible to form a film continuously at a high conveyance speed, and to produce The efficiency can be improved. Further, by suppressing the temperature rise of the substrate, the distance between the substrate and the evaporation source can be made close, the amount of reactive vapor can be reduced, and the waste of the evaporation material can be reduced.
본 발명에 의하면, 반송 수단에 홀더의 위치 결정 부재를 형성했기 때문에, 막을 형성하는 처리실에서의 위치 결정의 정밀도를 향상시킬 수 있어, 막형성 불량의 발생을 방지하고, 생산 효율을 향상시킬 수 있다. According to this invention, since the positioning member of a holder was formed in the conveying means, the precision of positioning in the process chamber which forms a film | membrane can be improved, the occurrence of a film formation defect can be prevented, and production efficiency can be improved. .
본 발명에 의하면, 복수의 홀더를 수용가능한 카세트를, 장치의 반입부, 반출부뿐만 아니라, 장치 내부의 압력 변화가 큰 처리실 사이에서도 사용하기 때문에, 카세트와 함께 복수의 기판, 홀더 주위의 진공도를 일괄적으로 변경함으로써, 진공도의 변경에 수반하는 조정 시간을 단축하여 여분의 대기 시간을 줄이고, 막형성을 위한 처리실, 밀봉을 위한 처리실 등의 처리 능력을 충분히 살리도록 하여 생산 효율의 향상을 도모할 수 있다.According to the present invention, since a cassette capable of accommodating a plurality of holders is used not only in the carrying in and out portions of the apparatus, but also between the processing chambers where the pressure change inside the apparatus is large, the degree of vacuum around the plurality of substrates and the holder together with the cassette can be improved. By changing collectively, it is possible to shorten the adjustment time accompanying the change of the degree of vacuum, to reduce the extra waiting time, and to improve the production efficiency by fully utilizing the processing capacity of the processing chamber for film formation and the processing chamber for sealing. Can be.
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