KR100689820B1 - 반도체 제조설비의 리프트장치 및 그 구동방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 제조설비의 리프트장치를 제공한다. 상기 리프트장치는 실린더와, 상기 실린더에 연통된 에어공급유로에 에어를 공급하는 에어공급원과, 상기 실린더에 공급된 에어에 의해 일정 행정거리에서 승/하강되도록 장착된 피스톤 및 다양하게 설정 가능한 상기 피스톤의 승/하강 구동시간에 따라 상기 실린더로 공급되는 에어를 조절하여 상기 피스톤을 구동시키는 에어조절유닛을 포함하되, 상기 에어조절유닛은 상기 피스톤의 승/하강 구동시간에 따른 상기 에어공급원으로부터 공급되는 에어량이 설정되는 제어부와, 상기 제어부와 전기적으로 연결되며, 상기 피스톤의 승/하강 구동시간을 선택적으로 입력할 수 있는 타이머와, 상기 타이머를 통해 선택적으로 입력된 상기 피스톤의 구동시간에 해당되도록 설정된 에어량에 대한 신호를 상기 제어부로부터 전송받아, 상기 실린더의 내부로 상기 설정된 에어량 만큼 에어를 공급하도록 상기 에어공급유로 상에 설치된 에어조절기, 및 상기 에어조절기를 통해 공급되는 에어량에 따라 상기 실린더 내에서 승/하강되는 상기 피스톤의 승/하강 구동속도를 표시하도록 상기 제어부에 전기적으로 연결된 표시기가 더 설치되다. 또한, 상기 리프트장치의 구동방법을 더 제공한다.
실린더, 피스톤
Description
도 1은 종래의 반도체 제조설비의 리프트장치를 개략적으로 보여주는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치를 개략적으로 보여주는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치의 구동을 보여주는 블록도이다.
도 4는 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치 구동방법을 보여주는 흐름도이다.
도 5는 도 4에 도시된 피스톤 구동시간 설정단계를 보여주는 흐름도이다.
** 도면의 주요부분에 대한 부호설명 **
100 : 실린더(Cylinder)
130 : 피스톤(Piston)
150 : 챔버(Chamber)
170 : 척(Chuck)
180 : 에어공급유로
300 : 에어조절유닛
310 : 에어조절기
320 : 에어공급원
330 : 전자밸브
340 : 위치감지기
341 : 제1 감지기
342 : 제2 감지기
350 : 타이머(Timer)
360 : 제어부
370 : 표시기
본 발명은 반도체 제조설비의 리프트장치 및 그 구동방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 다양한 피스톤 승/하강 구동시간을 입력시켜 실린더로 공급되는 에어를 자동으로 조절하게 함으로써 피스톤을 안정적으로 승/하강 구동되도록 한 반도체 제조설비의 리프트장치 및 그 구동방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조설비는 식각 및 증착 등의 반도체 제조공정을 진행할 경우, 챔버 내에서 웨이퍼를 척 상에 안착시킨 상태에서 승/하강시키기 위해 리 프트장치를 사용한다.
이와 같은 종래의 반도체 제조설비의 리프트 장치를 설명하면 다음과 같다.
도 1을 참조하여, 종래의 리프트 장치의 동작에 대해서 설명하도록 한다.
상기와 같은 종래의 리프트 장치는 척(미도시)이 상부에 마련된 피스톤(130)이 실린더(100) 내에 장착되며, 실린더(100) 내에 에어를 공급하는 에어공급원(미도시)과, 에어공급원으로 부터 공급되는 에어를 실린더(100) 내에 공급하여 피스톤(130)을 승/하강 시키기 위해 실린더(100) 상/하부에 연통된 에어공급유로(110, 120)로 구성된다.
그리고 에어공급유로(110, 120)에는 에어공급원으로 부터 공급되는 에어량을 조절하기 위한 에어조절밸브(140)가 각각 설치된다.
여기서, 에어조절밸브(140)에서 조절되는 에어량에 따라 피스톤(130)의 승/하강 구동속도를 조절할 수 있다.
이와 같은 구성을 갖는 리프트장치를 사용하여 척 상부에 안착된 웨이퍼(미도시)를 승/하강 시키는 경우, 작업자는 에어공급유로(110, 120)에 장착된 에어조절밸브(140)를 조작하여 동일양의 에어가 실린더(100) 내로 공급될 수 있도록 조절한다.
그러나 공정조건이 변경됨에 따라 작업자는 피스톤(130)의 승/하강 구동시간을 변경하기 위해 다시 에어조절밸브(140)를 조작하게 되는데 이때, 작업자가 직접 수작업으로 에어조절밸브(140)를 조절하게 되므로 각 에어공급유로(110, 120)를 통해 실린더(100)로 공급되는 에어량에 있어서 미세한 차이가 발생하게 된다.
이러한 경우, 실린더(100) 상/하부로 공급되는 에어량이 동일하지 않게 됨으로써, 피스톤(130) 승강시 급속으로 상승했다가 하강시 느리게 하강하는 등의 피스톤(130) 승/하강 구동시간의 오차가 발생한다.
따라서 피스톤이 느리게 구동하다가 다시 빠르게 구동되는 경우 척 상부에 안착된 웨이퍼가 흔들리게 되고, 이로 인해 챔버 내에 파우더가 생성되거나 척 상부에서 웨이퍼가 슬라이딩되어 파손됨으로써 공정사고가 유발되는 문제점이 있다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로써, 본 발명의 목적은 공정 진행시 웨이퍼를 승/하강시키는 리프트장치에 있어서, 피스톤을 다양한 승/하강 구동시간에 따라서 승하강되도록 함과 아울러 이에 따른 에어를 동일한 양으로 일정하게 공급하게 함으로써 피스톤 승/하강 구동시간 오차로 인한 공정사고를 방지하도록 한 반도체 제조설비의 리프트장치 및 그 구동방법을 제공함에 있다.
본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치는 실린더와, 상기 실린더에 연통된 에어공급유로에 에어를 공급하는 에어공급원과, 상기 실린더에 공급된 에어에 의해 일정 행정거리에서 승/하강되도록 장착된 피스톤 및 다양하게 설정 가능한 상기 피스톤의 승/하강 구동시간에 따라 상기 실린더로 공급되는 에어를 조절하여 상기 피스톤을 구동시키는 에어조절유닛을 포함한다.
여기서 상기 에어조절유닛은 상기 피스톤의 승/하강 구동시간에 따른 상기 에어공급원으로부터 공급되는 에어량이 설정되는 제어부와, 상기 제어부와 전기적으로 연결되며, 상기 피스톤의 승/하강 구동시간을 선택적으로 입력할 수 있는 타이머와, 상기 타이머를 통해 선택적으로 입력된 상기 피스톤의 구동시간에 해당되도록 설정된 에어량에 대한 신호를 상기 제어부로부터 전송받아, 상기 실린더의 내부로 상기 설정된 에어량 만큼 에어를 공급하도록 상기 에어공급유로 상에 설치된 에어조절기, 및 상기 에어조절기를 통해 공급되는 에어량에 따라 상기 실린더 내에서 승/하강되는 상기 피스톤의 승/하강 구동속도를 표시하도록 상기 제어부에 전기적으로 연결된 표시기가 더 설치된다.
여기서 상기 실린더는 상기 피스톤의 승/하강 위치를 감지하는 위치감지기를 구비하되, 상기 위치감지기는 상기 피스톤의 최고 상승위치에 상응되는 상기 실린더의 내벽에 설치된 제 1감지기와, 상기 피스톤의 최하 하강위치에 상응되는 상기 실린더의 내벽에 설치된 제 2감지기를 구비하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 에어공급유로는 일단이 상기 에어공급원에 연통되고, 타단이 상기 실린더의 상/하부에 연통되도록 분기되되, 상기 타단의 제1단은 상기 피스톤의 최고 상승위치의 상부에 위치되도록 상기 실린더에 연통되고, 상기 타단의 제2단은 상기 피스톤의 최저 하강위치의 하부에 위치되도록 상기 실린더에 연통되며, 상기 타단이 분기되는 위치에 해당되는 상기 에어공급유로에는 상기 제1단과 제2단으로 에어의 공급방향을 제어하는 전자밸브가 장착되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치 구동방법은 에어공급원을 통해 상기 실린더 내로 에어를 공급하는 제 1 실린더 내 에어공급단계와, 상기 실린더 내에 설치된 위치감지기를 통해 상기 실린더의 내부에서 회동하는 피스톤의 승/하강 위치를 감지하여 제어부로 신호를 전송하는 피스톤 위치감지단계와, 상기 제어부를 통해 상기 전송된 신호를 통해 상기 피스톤의 승/하강 구동시간과 그에 따른 상기 실린더 내로 공급되는 에어량 설정단계와, 상기 제어부를 통해 상기 피스톤의 구동속도를 산출하는 피스톤 구동속도 산출단계와, 타이머를 통해 상기 피스톤이 승/하강될 구동시간을 선택적으로 입력하여 상기 제어부로 전송하는 피스톤 구동시간 입력단계와, 상기 타이머를 통해 선택적으로 입력되어 상기 제어부에 입력된 상기 피스톤 구동시간에 따른 에어량을 기준으로 에어공급원을 통해 상기 실린더로 에어를 공급하는 제 2 실린더 내 에어공급단계와, 상기 실린더로 공급되는 에어에 의해 상기 피스톤이 일정 행정거리 내에서 구동하는 피스톤 구동단계 및 상기 산출된 상기 피스톤의 승/하강 구동속도를 표시기에 가시적으로 표시하는 단계를 포함한다.
여기서 상기 에어조절유닛은 상기 피스톤의 승/하강 구동시간에 따른 상기 에어공급원으로부터 공급되는 에어량이 설정되는 제어부와, 상기 제어부와 전기적으로 연결되며, 상기 피스톤의 승/하강 구동시간을 선택적으로 입력할 수 있는 타이머와, 상기 타이머를 통해 선택적으로 입력된 상기 피스톤의 구동시간에 해당되도록 설정된 에어량에 대한 신호를 상기 제어부로부터 전송받아, 상기 실린더의 내부로 상기 설정된 에어량 만큼 에어를 공급하도록 상기 에어공급유로 상에 설치된 에어조절기, 및 상기 에어조절기를 통해 공급되는 에어량에 따라 상기 실린더 내에서 승/하강되는 상기 피스톤의 승/하강 구동속도를 표시하도록 상기 제어부에 전기적으로 연결된 표시기가 더 설치된다.
여기서 상기 실린더는 상기 피스톤의 승/하강 위치를 감지하는 위치감지기를 구비하되, 상기 위치감지기는 상기 피스톤의 최고 상승위치에 상응되는 상기 실린더의 내벽에 설치된 제 1감지기와, 상기 피스톤의 최하 하강위치에 상응되는 상기 실린더의 내벽에 설치된 제 2감지기를 구비하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 에어공급유로는 일단이 상기 에어공급원에 연통되고, 타단이 상기 실린더의 상/하부에 연통되도록 분기되되, 상기 타단의 제1단은 상기 피스톤의 최고 상승위치의 상부에 위치되도록 상기 실린더에 연통되고, 상기 타단의 제2단은 상기 피스톤의 최저 하강위치의 하부에 위치되도록 상기 실린더에 연통되며, 상기 타단이 분기되는 위치에 해당되는 상기 에어공급유로에는 상기 제1단과 제2단으로 에어의 공급방향을 제어하는 전자밸브가 장착되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치 구동방법은 에어공급원을 통해 상기 실린더 내로 에어를 공급하는 제 1 실린더 내 에어공급단계와, 상기 실린더 내에 설치된 위치감지기를 통해 상기 실린더의 내부에서 회동하는 피스톤의 승/하강 위치를 감지하여 제어부로 신호를 전송하는 피스톤 위치감지단계와, 상기 제어부를 통해 상기 전송된 신호를 통해 상기 피스톤의 승/하강 구동시간과 그에 따른 상기 실린더 내로 공급되는 에어량 설정단계와, 상기 제어부를 통해 상기 피스톤의 구동속도를 산출하는 피스톤 구동속도 산출단계와, 타이머를 통해 상기 피스톤이 승/하강될 구동시간을 선택적으로 입력하여 상기 제어부로 전송하는 피스톤 구동시간 입력단계와, 상기 타이머를 통해 선택적으로 입력되어 상기 제어부에 입력된 상기 피스톤 구동시간에 따른 에어량을 기준으로 에어공급원을 통해 상기 실린더로 에어를 공급하는 제 2 실린더 내 에어공급단계와, 상기 실린더로 공급되는 에어에 의해 상기 피스톤이 일정 행정거리 내에서 구동하는 피스톤 구동단계 및 상기 산출된 상기 피스톤의 승/하강 구동속도를 표시기에 가시적으로 표시하는 단계를 포함한다.
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이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치의 구성을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치를 개략적으로 보여주는 단면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 리프트장치의 동작을 보여주는 블럭도이다.
도 2 및 도 3을 참조로 하면, 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치는 웨이퍼(W)가 안착되는 척(170)이 마련된 챔버(150)에서 상기 척(170)을 승/하강 구동시키도록 연결된 실린더(100)가 설치되고, 실린더(100) 내부로 에어를 공급하되, 실린더(100) 상/하부에 각각 연통된 에어공급유로(180)와, 에어공급유로(180)를 통해 실린더(100) 내로 에어를 공급하는 에어공급원(320)과, 에어공급원(320)으로 공급되는 에어에 의해 상기 척(170)과 연결되어 승/하강 구동되도록 실린더(100) 내부에 장착되는 피스톤(130)과, 피스톤(130)의 승/하강 구동시간에 따른 구동속도로 피스톤(130)을 구동시키는 에어조절유닛(300)으로 구성된다.
그리고 상기 실린더(100)는 상기 피스톤(130)의 승/하강 위치를 감지하는 위치감지기(340)를 구비한다.
여기서 상기 위치감지기(340)는 상기 피스톤(130)의 최고 상승위치(H)에 상응되는 상기 실린더(100)의 내벽에 설치된 제 1감지기(341)와, 상기 피스톤(130)의 최저 하강위치(L)에 상응되는 상기 실린더(100)의 내벽에 설치된 제 2감지기(342)를 구비한다.
또한, 상기 에어공급유로(180)는 일단(181)이 상기 에어공급원(320)에 연통되고, 타단(182)이 상기 실린더(100)의 상/하부에 연통되도록 분기되되, 상기 타단(182)의 제1단(182a)은 상기 피스톤(130)의 최고 상승위치(H)의 상부에 위치되도록 상기 실린더(100)에 연통되고, 상기 타단(182)의 제2단(182b)은 상기 피스톤(130)의 최저 하강위치(L)의 하부에 위치되도록 상기 실린더(100)에 연통된다.
여기서 상기 타단(182)이 분기되는 위치에 해당되는 상기 에어공급유로(180)에는 상기 제1단(182a)과 제2단(182b)으로 에어의 공급방향을 제어하는 전자밸브(330)가 장착된다.
도 3을 참조하면, 에어조절유닛(300)은 피스톤(130)의 승/하강 구동시간을 선택적으로 입력할 수 있는 타이머(350)와, 타이머(350)에서 선택적으로 입력된 상기 타이머(130)의 승/하강 구동시간에 따라서 에어공급원(320)으로부터 공급되는 에어량이 설정되는 제어부(360)와, 제어부(360)에 설정된 에어량에 따라 실린더(100) 내로 에어를 공급하도록 에어공급유로(180) 상에 설치된 에어조절기(310)와 에어공급유로(180) 상에는 에어조절기(310)를 통과한 에어를 위치감지기(340)로부터 신호를 받아 실린더(100) 내 상/하부로 안내하기 위한 전자밸브(330)로 구성된다.
여기서 상기 위치감지기(340)는 상기 피스톤(130)의 최고 상승위치(H)에 상응되는 상기 실린더(100)의 내벽에 설치된 제 1감지기(341)와, 상기 피스톤(130)의 최저 하강위치(L)에 상응되는 상기 실린더(100)의 내벽에 설치된 제 2감지기(342)를 구비한다.
또한, 상기 에어공급유로(180)는 일단(181)이 상기 에어공급원(320)에 연통되고, 타단(182)이 상기 실린더(100)의 상/하부에 연통되도록 분기되되, 상기 타단(182)의 제1단(182a)은 상기 피스톤(130)의 최고 상승위치(H)의 상부에 위치되도록 상기 실린더(100)에 연통되고, 상기 타단(182)의 제2단(182b)은 상기 피스톤(130)의 최저 하강위치(L)의 하부에 위치되도록 상기 실린더(100)에 연통된다.
여기서 상기 타단(182)이 분기되는 위치에 해당되는 상기 에어공급유로(180)에는 상기 제1단(182a)과 제2단(182b)으로 에어의 공급방향을 제어하는 전자밸브(330)가 장착된다.
도 3을 참조하면, 에어조절유닛(300)은 피스톤(130)의 승/하강 구동시간을 선택적으로 입력할 수 있는 타이머(350)와, 타이머(350)에서 선택적으로 입력된 상기 타이머(130)의 승/하강 구동시간에 따라서 에어공급원(320)으로부터 공급되는 에어량이 설정되는 제어부(360)와, 제어부(360)에 설정된 에어량에 따라 실린더(100) 내로 에어를 공급하도록 에어공급유로(180) 상에 설치된 에어조절기(310)와 에어공급유로(180) 상에는 에어조절기(310)를 통과한 에어를 위치감지기(340)로부터 신호를 받아 실린더(100) 내 상/하부로 안내하기 위한 전자밸브(330)로 구성된다.
삭제
그리고 에어조절유닛(300)에는 에어조절기(310)를 통해 공급되는 에어량에 따라 실린더(100) 내부에서 승/하강되는 피스톤(130)의 승/하강 구동속도를 표시하는 표시기(370)가 더 설치된다.
다음은 상기의 구성을 갖는 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치의 동작과 효과를 설명하도록 한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 작업자는 챔버(150)내의 웨이퍼(W)를 승/하강시키기 위해 공정에 적절한 피스톤(130) 승/하강 구동시간을 설정하여야 하는데, 이때, 제어부(360)에는 피스톤(130) 승/하강 구동시간에 따른 에어공급량이 설정된다.
먼저, 제어부(360)에 설정되는 에어공급량 설정 방법에 대해 설명하도록 한다.
에어공급원(320)으로부터 공급되는 에어를 에어조절기(310)를 통해 실린더 (100) 내로 공급하면, 전자밸브(330)는 위치감지기(340)로부터 피스톤(130)의 위치신호를 받아 제어부(360)를 통해 실린더(100) 상/하부로 안내하여 에어를 공급한다.
그리고 실린더(100) 내의 피스톤(130)은 공급되는 에어에 의해 승/하강 구동을 하게 되며, 이때, 승/하강하는 피스톤(130)의 승강위치와 하강위치는 제 1,2감지기(341, 342)를 통해 감지된다.
제 1,2감지기(341, 342)는 제어부(360)로 신호를 보내주게 되며, 이때 걸린 피스톤(130)의 승/하강 구동시간과 에어조절기(310)를 통해 공급된 에어량이 제어부(360)에 설정된다.
이와 같은 방법으로 다양한 에어량 조절에 따른 피스톤(130)의 승/하강 구동시간이 다양하게 제어부(360)에 설정되는 것이다. 따라서 피스톤(130)의 승/하강 구동시간에 따라 피스톤(130) 구동속도를 결정할 수 있다.
상기와 같이 제어부(360)에 피스톤(130) 승/하강 구동시간에 따른 에어조절기(310)에서 제어되는 에어량이 설정된 상태에서, 작업자는 피스톤(130)의 승/하강 구동시간을 공정조건에 맞도록 타이머(350)를 통해 입력시켜준다.
이어, 피스톤(130) 승/하강 구동시간이 입력된 타이머(350)는 제어부(360)로 신호를 보내주게 되며, 제어부(360)는 에어조절기(310)로 상기 구동시간에 해당하는 에어량을 공급할 수 있도록 신호를 보내 동작시킨다.
따라서 에어공급원(320)으로 부터 공급되는 에어는 에어공급유로(180)를 따라 공급됨과 아울러 에어조절기(310)에 의해 상기와 같은 조건에서 그 에어공급량이 조절된다. 이와 같이 조절된 에어는 전자밸브(330)를 통과하게 되는데, 전자밸브(330)의 동작은 다음과 같다.
전자밸브(330)는 피스톤(130)이 승강위치에 있을 때는 제 1감지기(341)가 그 위치를 감지하여 제어부(360)를 통해 실린더(100) 상부에 연통된 에어공급유로(180)로 에어를 공급하도록 안내하여 피스톤(130)을 하강시키며, 피스톤(130) 하강 후, 다시 상승시키기 위해 실린더(100)하부에 연통된 에어공급유로(180)로 에어를 공급하도록 안내한다.
즉, 하나의 전자밸브(330)는 제 1,2감지기(341, 342)에서의 피스톤(130) 위치에 대한 신호가 제어부(360)로 전달되어 제어부(360)를 통해 전달되는 것이다.
따라서 상기와 같이 작업자가 원하는 피스톤(130) 구동시간을 타이머(350)를 통해 입력시키고, 그에 대한 에어공급량을 에어조절기(310)를 통해 조절하여 공급시킴으로써 피스톤(130) 승/하강 구동을 안정적으로 수행하게 함으로써 척(170) 상의 웨이퍼(W)로의 진동을 최소화 할 수 있다.
한편, 도 1에 도시된 일정한 행정거리(S)에서 왕복 구동하는 피스톤(130)의 구동속도는 구동시간에 반비례하므로, 즉 타이머(350)에 입력되는 시간이 짧을수록 피스톤(130)의 승/하강 속도가 증가하게 됨으로써 이를 작업자가 가시적으로 확인 할 수 있도록 제어부(360)와 연결된 표시기(370)가 더 설치될 수 있다.
따라서 제어부(360)는 실린더(100) 내에서 승/하강되는 피스톤(130)의 행정거리(S)와, 타이머(350)에 입력되는 시간을 기준으로 속도를 산출하여 표시기(370)에 실시간으로 표시한다.
그럼으로써, 작업자는 공정에 필요한 적절한 피스톤(130) 승/하강 구동시간을 설정하여 안정적인 구동속도로 공정을 진행 할 수 있다.
다음은 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따르는 리프트장치의 구동방법에 대해서 설명하도록 한다.
도 4는 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치 구동방법을 보여주는 흐름 도이고, 도 5는 도 4에 도시된 피스톤 구동시간 설정방법을 보여주는 흐름도이다.
도 2 및 도 4를 참조로 하면, 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치 구동방법은 다양한 피스톤(130)의 승하강 구동시간에 따라 실린더(100)로 공급되는 에어량을 설정하는 피스톤 구동시간 설정단계(S100)를 거치게 되는데, 보다 상세히게는 에어공급원(320)을 통해 실린더(100) 내로 에어를 공급하는 제 1 실린더 내 에어공급단계(S110)를 거친 후에 실린더(100) 내 상/하부에 설치된 위치감지기(340)를 통해 피스톤(130)의 승/하강 위치를 감지하여 제어부(360)로 신호를 보내주는 피스톤 위치감지단계(S120)를 거친다.
따라서, 제어부(360)는 피스톤(130)의 승/하강 위치에 대한 정보를 받는 동시에 피스톤(130)의 행정거리(S)가 일정하므로 공급되는 에어량에 따른 피스톤(130)의 구동속도를 산출할 수 있게 된다.
그러므로 제어부(360)는 실린더(100) 내로 공급된 에어량 산출(S131)과 상기 피스톤(130)의 구동속도를 산출(S132)하여 제어부(360)에 상기 동작값들을 입력하는 피스톤 동작값 입력단계를 거쳐 피스톤 구동시간 설정단계(S100)를 마친다.
여기서, 상기와 같은 과정을 반복하되, 실린더(100) 내로 공급되는 에어량을 가변시키면서 제어부(360)를 통해 그에 따른 피스톤(130) 승/하강 구동시간 및 구동속도를 산출하여 설정할 수 있음으로써 다양한 피스톤(130) 승/하강 구동시간을 설정하여 에어량 및 피스톤(130) 구동속도를 제어할 수 있게 하는 것이다.
상기와 같이 다양한 피스톤(130) 구동시간이 설정된 제어부(360)를 통해 다음과 같은 과정을 거친다.
먼저 작업자를 통해 타이머(350)를 통해 공정 조건에 부합되는 피스톤(130) 승/하강시간을 입력시켜 제어부(360)로 신호를 보내주는 피스톤 구동시간 입력단계(S120)를 거치고, 제어부(360)에 입력된 피스톤(130) 구동시간에 따라서 제어부(360)에 설정된 에어량을 기준으로 에어공급원(320)을 통해 실린더(100)로 에어를 공급하는 제 2 실린더 내 에어공급단계(S300)를 마친 후에 실린더(100)로 공급되는 에어에 의해 피스톤(130)이 승/하강구동하는 피스톤 구동단계(S400)를 거치게 된다.
상기와 같은 방법으로 타이머(350)를 통해 원하는 피스톤(130) 구동시간을 입력시켜 제어부(360)를 통해 상기 구동시간에 해당하는 에어량에 따라서 실린더(100) 내로 에어를 공급하도록 함으로써 피스톤(130)을 안정적으로 구동시킬 수 있는 것이다.
따라서 본 발명의 반도체 제조설비의 리프트장치에 의하면, 웨이퍼를 승/하강 시키기 위해서 사용하는 리프트장치에 있어서, 웨이퍼를 승/하강 시키는 피스톤을 작업자가 필요에 따라 피스톤 승/하강 구동시간을 설정하여 피스톤 구동속도를 조절할 수 있게 함으로써, 공정에 필요한 피스톤 구동속도를 설정하게 할 수 있고, 에어조절기를 통해 에어량을 조절하여 피스톤을 일정한 속도로 승/하강시킬 수 있도록 함으로써 비정상적인 피스톤 구동에 의하여 웨이퍼가 손상되거나 공정챔버 내에 웨이퍼 흔들림으로 인한 파우더 생성을 효율적으로 방지 할 수 있다.
따라서 웨이퍼 파손으로 인한 제품 불량 및 작업시간 지연을 용이하게 방지하여 작업성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Claims (7)
- 실린더;상기 실린더에 연통된 에어공급유로에 에어를 공급하는 에어공급원;상기 실린더에 공급된 에어에 의해 일정 행정거리에서 승/하강되도록 장착된 피스톤; 및다양하게 설정 가능한 상기 피스톤의 승/하강 구동시간에 따라 상기 실린더로 공급되는 에어를 조절하여 상기 피스톤을 구동시키는 에어조절유닛을 포함하되,상기 에어조절유닛은 상기 피스톤의 승/하강 구동시간을 선택적으로 입력할 수 있는 타이머와, 상기 피스톤의 승/하강 구동시간에 따른 상기 에어공급원으로부터 공급되는 에어량이 설정되는 제어부와, 상기 타이머를 통해 선택적으로 입력된 상기 피스톤의 구동시간에 해당되도록 설정된 에어량에 대한 신호를 상기 제어부로부터 전송받아, 상기 실린더의 내부로 상기 설정되는 에어량 만큼 에어를 공급하는 상기 에어공급유로 상에 설치된 에어조절기, 및 상기 에어조절기를 통해 공급되는 에어량에 따라 상기 실린더 내에서 승/하강되는 상기 피스톤의 승/하강 구동속도를 표시하도록 상기 제어부에 전기적으로 연결된 표시기가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 리프트장치.
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- 에어공급원을 통해 상기 실린더 내로 에어를 공급하는 제 1 실린더 내 에어공급단계;상기 실린더 내에 설치된 위치감지기를 통해 상기 실린더의 내부에서 회동하는 피스톤의 승/하강 위치를 감지하여 제어부로 신호를 전송하는 피스톤 위치감지단계;상기 제어부를 통해 상기 전송된 신호를 통해 상기 피스톤의 승/하강 구동시간과 그에 따른 상기 실린더 내로 공급되는 에어량 설정단계;상기 제어부를 통해 상기 피스톤의 구동속도를 산출하는 피스톤 구동속도 산출단계;타이머를 통해 상기 피스톤이 승/하강될 구동시간을 선택적으로 입력하여 상기 제어부로 전송하는 피스톤 구동시간 입력단계;상기 타이머를 통해 선택적으로 입력되어 상기 제어부에 입력된 상기 피스톤 구동시간에 따른 에어량을 기준으로 에어공급원을 통해 상기 실린더로 에어를 공급하는 제 2 실린더 내 에어공급단계;상기 실린더로 공급되는 에어에 의해 상기 피스톤이 일정 행정거리 내에서 구동하는 피스톤 구동단계; 및상기 산출된 상기 피스톤의 승/하강 구동속도를 표시기에 가시적으로 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 리프트장치 구동방법.
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- 제 1항에 있어서, 상기 실린더는 상기 피스톤의 승/하강 위치를 감지하는 위치감지기를 구비하되, 상기 위치감지기는 상기 피스톤의 최고 상승위치에 상응되는 상기 실린더의 내벽에 설치된 제 1감지기와, 상기 피스톤의 최저 하강위치에 상응되는 상기 실린더의 내벽에 설치된 제 2감지기를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 리프트장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 에어공급유로는 일단이 상기 에어공급원에 연통되고, 타단이 상기 실린더의 상/하부에 연통되도록 분기되되, 상기 타단의 제1단은 상기 피스톤의 최고 상승위치의 상부에 위치되도록 상기 실린더에 연통되고, 상기 타단의 제2단은 상기 피스톤의 최하 하강위치의 하부에 위치되도록 상기 실린더에 연통되며,상기 타단이 분기되는 위치에 해당되는 상기 에어공급유로에는 상기 제1단과 제2단으로 에어의 공급방향을 제어하는 전자밸브가 장착되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 리프트장치.
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