KR100683523B1 - Apparatus for Scribing of Substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 복수개의 패널을 다수의 독립된 액정패널로 절단하기 위한 스크라이빙 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing apparatus for cutting a plurality of panels into a plurality of independent liquid crystal panels.

본 발명의 기판 스크라이빙 장치는 기판을 절단하기 위한 절단수단과, 기판 절단시 발생되는 파티클을 흡입하는 진공흡입수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.The substrate scribing apparatus of the present invention is characterized by including cutting means for cutting the substrate and vacuum suction means for sucking particles generated when cutting the substrate.

이에 따라, 스크라이빙 공정시 발생되는 글래스 파티클을 효과적으로 제거하여 글래스 파티클에 의한 글래스 파손 등의 불량을 방지할 수 있게 된다. Accordingly, by effectively removing the glass particles generated during the scribing process, it is possible to prevent defects such as glass breakage caused by the glass particles.

Description

기판 스크라이빙 장치{Apparatus for Scribing of Substrate} Substrate scribing apparatus {Apparatus for Scribing of Substrate}             

도 1은 다수개의 액정패널을 포함하는 기판을 나타내는 평면도.1 is a plan view showing a substrate including a plurality of liquid crystal panels.

도 2는 종래의 스크라이빙 장치를 도시한 측면도.2 is a side view showing a conventional scribing apparatus.

도 3은 종래의 스크라이빙 장치를 도시한 정면도.3 is a front view showing a conventional scribing apparatus.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 도시한 측면도.Figure 4 is a side view showing a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 도시한 정면도.5 is a front view showing a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

2A : 기판 4A, 4B : 액정패널2A: substrate 4A, 4B: liquid crystal panel

6 : 스크라이빙선 10 : 휠뭉치6: scribing ship 10: wheel

10A : 휠 12 : 파티클10A: Wheel 12: Particles

14 : 진공흡입기 2 : 패널 14: vacuum inhaler 2: panel

본 발명은 기판스트라이빙 장치에 관한 것으로, 특히, 액정표시소자의 제조장치에서 복수개의 패널을 다수의 독립된 액정패널로 절단하기 위한 기판 스크라이빙 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate scribing apparatus, and more particularly, to a substrate scribing apparatus for cutting a plurality of panels into a plurality of independent liquid crystal panels in the apparatus for manufacturing a liquid crystal display device.

통상, 액정표시소자(Liquid Crystal Display; LCD)에서는 액정패널 상에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들의 광투과율을 그에 공급되는 비디오 데이터 신호로 조절함으로써 데이터 신호에 해당하는 화상을 패널 상에 표시하게 된다. 이러한 액정표시소자는 액정층에 전계를 인가하기 위한 전극들, 액정셀 별로 데이터 공급을 절환하기 위한 박막트랜지스터, 외부에서 공급되는 데이터를 액정셀들에 공급하는 신호배선 및 박막트랜지스터의 제어신호를 공급하기 위한 신호배선 등이 형성된 하판과, 칼라필터 등이 형성된 상판과, 상판과 하판 사이에 형성되어 일정한 셀갭을 확보하는 스페이서와, 스페이서에 의해 상하판 사이에 마련된 공간에 채워진 액정을 구성으로 한다. In general, a liquid crystal display (LCD) displays an image corresponding to a data signal on a panel by adjusting light transmittance of liquid crystal cells arranged in a matrix form on a liquid crystal panel with a video data signal supplied thereto. . The liquid crystal display device has electrodes for applying an electric field to the liquid crystal layer, a thin film transistor for switching data supply for each liquid crystal cell, a signal line for supplying externally supplied data to the liquid crystal cells, and a control signal for the thin film transistor. The lower plate on which signal wirings and the like are formed, the upper plate on which color filters and the like are formed, a spacer formed between the upper plate and the lower plate to ensure a constant cell gap, and a liquid crystal filled in a space provided between the upper and lower plates by the spacer.

이러한 액정표시소자의 제조방법에 있어서, 하부기판 상에는 다수의 박막트랜지스터 어레이가 독립적으로 형성된다. 박막트랜지스터 어레이에는 게이트라인과 데이터라인이 직교되는 방향으로 형성되며, 게이트라인과 데이터라인의 교차부에는 박막트랜지스터와 화소전극이 형성된다. 박막트랜지스터 어레이 각각은 독립된 표시소자를 구성하게 된다. 이러한 하부기판은 다수의 칼라필터 어레이가 독립적으로 형성되어진 상부기판과 일정한 갭을 가지고 합착되게 된다. 상부기판과 하부기판을 합착한 후 개별적인 표시소자로 분리하기 위하여 도 1에 도시된 바와 같은 스크라이빙선(6)을 따라 패널(2)을 절단하게 된다. 도 1에 도시된 패널(2)은 스크라이빙(Scribing)/브레이킹(Breaking) 장비 예를 들면, 다이아몬드 휠(Diamond Wheel)에 의해 다수개의 표시소자(4A, 4B)로 분리되게끔 절단된다. 이때, 다이아 몬드 휠은 점선으로 나타낸 스크라이빙선(6)을 따라 패널(2)을 절삭하게 된다. In the method of manufacturing the liquid crystal display device, a plurality of thin film transistor arrays are formed independently on the lower substrate. The thin film transistor array includes a gate line and a data line in a direction perpendicular to each other, and a thin film transistor and a pixel electrode are formed at an intersection of the gate line and the data line. Each thin film transistor array constitutes an independent display device. The lower substrate is bonded to the upper substrate having a plurality of color filter arrays formed independently with a predetermined gap. After the upper substrate and the lower substrate are bonded together, the panel 2 is cut along the scribing line 6 as shown in FIG. 1 to separate them into individual display elements. The panel 2 shown in FIG. 1 is cut so as to be separated into a plurality of display elements 4A and 4B by scribing / breaking equipment, for example, a diamond wheel. At this time, the diamond wheel cuts the panel 2 along the scribing line 6 indicated by the dotted line.

도 2 및 도 3에 있어서, 휠 뭉치(10)에 장착되어진 다이아몬드 휠(10A)은 회전함에 의해 패널(2)의 기판(2A) 상에 스크라이빙선(6)을 따라 수직 크랙(Crack)을 형성하게 된다. 그런데, 기판(2A)에 수직크랙을 형성하는 과정 중에 글래스 파티클(Particle)(12)이 발생하게 되며, 발생된 글래스 파티클(12)에 의해 장비가 오염되어 작업성이 저하됨과 아울러 글래스 파티클(12)의 유입에 따라 갭 불량이 발생하게 된다. 또한, 기판(2A)의 표면에 흡착된 상태로 후속공정이 진행되는 경우 패널(2) 재절단시 글래스가 파손되는 문제점이 초래되게 된다. 이를 방지하기 위하여, 종래에는 스크라이빙 공정후 기판(2A) 상에 흡착된 글래스 파티클을 강제로 제거해야 하는 추가공정을 진행하여야 한다.2 and 3, the diamond wheel 10A mounted on the wheel bundle 10 rotates to cause vertical cracks along the scribing line 6 on the substrate 2A of the panel 2. To form. However, the glass particles 12 are generated during the process of forming the vertical cracks on the substrate 2A, and the glass particles 12 are contaminated with the equipment, resulting in deterioration of workability and the glass particles 12. As a result, gap defects occur. In addition, when the subsequent process is performed while being adsorbed on the surface of the substrate 2A, the glass is broken when the panel 2 is re-cut. In order to prevent this, conventionally, after the scribing process, an additional process of forcibly removing the glass particles adsorbed onto the substrate 2A must be performed.

따라서, 본 발명의 목적은 스크라이빙 공정시 발생하는 글래스 파티클을 제거할 수 있는 기판 스크라이빙 장치를 제공하는 것이다.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a substrate scribing apparatus capable of removing glass particles generated during a scribing process.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 스크라이빙 장치는 기판을 절단하기 위한 절단수단과, 기판 절단시 발생되는 파티클을 흡입하기 위한 진공흡입수단을 구비하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the substrate scribing apparatus according to the present invention is characterized by comprising a cutting means for cutting the substrate, and a vacuum suction means for sucking the particles generated when cutting the substrate.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above object will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 and 5.

도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 스크라이빙 장치를 도시한 측면도 및 정면도이다. 도 4 및 도 5에 있어서, 기판 스크라이빙 장치는 기판(2A)에 수직크랙을 형성하기 위한 다이아몬드 휠(10A)이 장착되어진 휠 뭉치(10)와, 휠 뭉치(10)를 감싸는 형태로 장착되어진 진공흡입기(14)를 구비한다. 진공흡입기(14)는 캡형태로 형성되어 휠 뭉치(10)는 감싸는 흡입로(14A)를 구비함과 아울러, 다이아몬드 휠(10A)의 회전 및 스크라이빙 동작에 방해가 되지 않게끔 휠 뭉치(10)에 장착되게 된다. 이러한, 진공흡입기(14)는 휠 뭉치(10)와 함께 이동되게 된다. 다이아몬드 휠(10A)은 회전하면서 기판(2A)의 스크라이빙선을 따라 수직크랙을 형성하면서 클래스 파티클을 발생시킨다. 진공흡입기(14)는 다이아몬드 휠(10A)이 스크라이빙 공정을 진행하는 과정에서 발생되는 글래스 파티클을 진공흡입력에 의해 계속적으로 흡입하여 제거하게 된다. 이에 따라, 본 발명의 기판 스크라이빙 장치에서는 글래스 파티클을 효과적으로 제거할 수 있으므로 글래스 파티클에 의한 장비오염 및 갭 불량을 방지할 수 있음과 아울러 기판의 재절단시 글래스 파손을 방지할 수 있게 된다. 4 and 5 are side and front views illustrating a substrate scribing apparatus according to an embodiment of the present invention. 4 and 5, the substrate scribing apparatus is mounted in the form of enclosing the wheel bundle 10 and the wheel bundle 10 on which the diamond wheel 10A is mounted to form vertical cracks on the substrate 2A. It is provided with a vacuum inhaler (14). The vacuum inhaler 14 is formed in the form of a cap so that the wheel bundle 10 has a suction passage 14A that surrounds it, and the wheel bundle so as not to interfere with the rotation and scribing operation of the diamond wheel 10A. 10). This, the vacuum inhaler 14 is to be moved with the wheel bundle (10). The diamond wheel 10A rotates to generate class particles while forming vertical cracks along the scribing line of the substrate 2A. The vacuum inhaler 14 continuously sucks and removes the glass particles generated by the diamond wheel 10A during the scribing process by the vacuum suction input. Accordingly, in the substrate scribing apparatus of the present invention, the glass particles can be effectively removed, thereby preventing equipment contamination and gap defects caused by the glass particles, and also preventing glass breakage when the substrate is recut.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 스크라이빙 장치에서는 휠 뭉치에 장착되어진 진공흡입기를 이용하여 스크라이빙 공정시 발생되는 글래스 파티클을 효과적으로 제거할 수 있게 된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 스크라이빙 장치에서는 글래스 파티클의 제거하는 추가공정이 필요하지 않을 뿐만 아니라 글래스 파티클에 의한 장비오염 및 갭 불량을 방지하여 작업성을 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 본 발명에 따른 기판 스크라이빙 장치에서는 기판의 재절단시 글래스 파티클에 의한 글래스 파손을 방지할 수 있게 된다. As described above, in the substrate scribing apparatus according to the present invention, it is possible to effectively remove the glass particles generated during the scribing process by using the vacuum suction device mounted on the wheel bunch. Accordingly, in the substrate scribing apparatus according to the present invention, not only an additional process of removing the glass particles is required, but also it is possible to improve the workability by preventing equipment contamination and gap defects caused by the glass particles. In addition, in the substrate scribing apparatus according to the present invention, it is possible to prevent glass breakage due to the glass particles when the substrate is recut.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (3)

기판 스크라이빙 장치에 있어서,In the substrate scribing apparatus, 기판을 절단하기 위한 절단수단과,Cutting means for cutting the substrate, 상기 기판 절단시 발생되는 파티클을 흡입하는 진공흡입수단을 구비하며,It is provided with a vacuum suction means for sucking the particles generated when cutting the substrate, 상기 진공흡입수단은 상기 절단수단에 장착되어 함께 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 스크라이빙 장치.And said vacuum suction means is mounted on said cutting means and moved together. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 진공흡입수단은 상기 절단수단을 감싸게끔 형성되어 상기 발생된 파티클을 흡입하는 흡입로를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 스크라이빙 장치. And said vacuum suction means is provided to surround said cutting means and has a suction path for sucking said generated particles. 삭제delete
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100724474B1 (en) * 2002-10-22 2007-06-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Device for cutting liquid crystal display panel and method for cutting the same
KR100751353B1 (en) * 2005-12-09 2007-08-22 삼성에스디아이 주식회사 Method of scribing substrate and an apparatus for that method

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980066365A (en) * 1997-01-23 1998-10-15 김광호 LCD panel manufacturing device and clean room system using the same

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