JP3277449B2 - Liquid crystal panel manufacturing method - Google Patents

Liquid crystal panel manufacturing method

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JP3277449B2
JP3277449B2 JP31742895A JP31742895A JP3277449B2 JP 3277449 B2 JP3277449 B2 JP 3277449B2 JP 31742895 A JP31742895 A JP 31742895A JP 31742895 A JP31742895 A JP 31742895A JP 3277449 B2 JP3277449 B2 JP 3277449B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は液晶パネルの製造方
法に関する。より詳しくは、一対の大判の基板を互いに
接合した後複数の空セルを切り出して液晶パネルを多数
個同時に作製する多数個取り技術に関する。さらに詳し
くは、空セルを切り出す際の切断技術に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal panel. More particularly, the present invention relates to a multi-cavity technique for manufacturing a large number of liquid crystal panels simultaneously by cutting a plurality of empty cells after joining a pair of large-sized substrates to each other. More specifically, the present invention relates to a cutting technique for cutting out empty cells.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4を参照して従来の多数個取り方式に
よる液晶パネルの製造方法を簡潔に説明する。先ず
(A)に示す様に、一対の基板201,202を用意す
る。これらの基板201,202は大判サイズであり予
め複数の区画に分かれて電極等が形成されている。例え
ば、一方の基板202には区画毎に表示アレイが形成さ
れており画素電極やこれを駆動するスイッチング素子を
含んでいる。他方の基板201には対向電極や表示アレ
イに対応したカラーフィルタ等が形成されている。例え
ば基板201側に各区画203に対応してシールパタン
204をスクリーン印刷等により形成する。個々のシー
ルパタン204には予め開口205が形成されている。
次に(B)に示す様に、両基板201,202を互いに
重ね合わせ、シールパタン204を介して接合する。こ
れにより、複数個の空セル206が形成される。空セル
206の内部は開口205を介して外部に連通してい
る。続いて(C)に示す様に、各空セル206の境界に
沿ってダイヤモンドカッター等によりスクライブ線20
7を入れる。スクライブ線207は両基板201,20
2の表面に各々縦方向及び横方向に形成される。このス
クライブ線207はいわば毛掻き線であって、ガラス等
からなる基板201,202の表面に極く浅く切り込ま
れたものである。このスクライブ技術は通常のガラス板
をダイヤモンドカッターで切り出す方法と基本的には同
様である。最後に(D)に示す様に、スクライブ線に沿
って機械的な圧力を加え一対の基板を破断(ブレイク)
して、空セル206を個々に分離する。この後開口20
5を介して空セル206の内部に液晶を注入し、開口2
05を封止する。なお、一方の基板にはシールパタン2
04の外側に外部接続用の端子208が露出している。
2. Description of the Related Art A conventional method for manufacturing a liquid crystal panel by a multi-cavity method will be briefly described with reference to FIG. First, a pair of substrates 201 and 202 are prepared as shown in FIG. These substrates 201 and 202 have a large size and are divided into a plurality of sections in advance, and electrodes and the like are formed in advance. For example, a display array is formed for each section on one substrate 202, and includes pixel electrodes and switching elements for driving the pixel electrodes. On the other substrate 201, a counter electrode, a color filter corresponding to the display array, and the like are formed. For example, a seal pattern 204 is formed on the substrate 201 side corresponding to each section 203 by screen printing or the like. An opening 205 is formed in each seal pattern 204 in advance.
Next, as shown in (B), the two substrates 201 and 202 are overlapped with each other and joined via a seal pattern 204. Thereby, a plurality of empty cells 206 are formed. The inside of the empty cell 206 communicates with the outside through the opening 205. Subsequently, as shown in (C), the scribe line 20 is cut along the boundary of each empty cell 206 by a diamond cutter or the like.
Insert 7. The scribe line 207 is formed on both substrates 201 and 20.
2 are formed on the surface in the vertical and horizontal directions, respectively. The scribe line 207 is a so-called shaving line, which is cut very shallowly on the surfaces of the substrates 201 and 202 made of glass or the like. This scribing technique is basically the same as a method of cutting a normal glass plate with a diamond cutter. Finally, as shown in (D), mechanical pressure is applied along the scribe line to break the pair of substrates (break).
Then, the empty cells 206 are individually separated. After this the opening 20
Liquid crystal is injected into the empty cell 206 through the opening 5 and the opening 2 is opened.
05 is sealed. Note that one substrate has a seal pattern 2
The external connection terminal 208 is exposed outside the substrate 04.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】以上説明した様に、従
来の液晶パネル製造方法ではスクライブとブレイクでガ
ラス等からなる基板をカッティングしているが、この工
程において以下の解決すべき課題が発生していた。先
ず、スクライブ線に沿って機械的な圧力を加えガラス基
板をブレイク(破断)する時大量の静電気が発生し、表
示アレイに含まれる薄膜トランジスタ等のスイッチング
素子や周辺の駆動回路が破壊し、大量の不良が発生して
いた。又、スクライブとブレイクによるガラスのカッテ
ィングでは切断された端面の形状が不規則になる為、液
晶パネルの外形ばらつきが大きくなる。この為、後工程
の検査や実装段階で液晶パネルの精密な位置決めが困難
になる。最悪の場合にはブレイク時に液晶パネル外形の
寸法異常や欠けが生じ、歩留りが低下する。さらに、ス
クライブ後ブレイクにおいてシールパタンから外側にあ
る外部接続用の端子の幅寸法が短いとガラスが割れ難く
なる。この為、従来のスクライブとブレイクを用いたカ
ッティングでは端子の幅寸法を通常1.5mm以上確保す
る必要があり、液晶パネルの外形が大型化していた。こ
れにより、1枚の大判ガラスから得られる液晶パネルの
個数がその分減少し、理収が小さい。
As described above, in the conventional method of manufacturing a liquid crystal panel, a substrate made of glass or the like is cut by scribing and breaking. However, the following problems to be solved occur in this process. I was First, when a mechanical pressure is applied along a scribe line to break a glass substrate, a large amount of static electricity is generated, and a switching element such as a thin film transistor included in a display array and a peripheral driving circuit are destroyed. A defect had occurred. Further, in the cutting of glass by scribing and breaking, the shape of the cut end face becomes irregular, so that the variation in the outer shape of the liquid crystal panel increases. For this reason, it becomes difficult to precisely position the liquid crystal panel in the inspection and the mounting stage in the post-process. In the worst case, a dimensional abnormality or chipping of the outer shape of the liquid crystal panel occurs at the time of a break, and the yield decreases. Further, if the width of the external connection terminal outside the seal pattern is short in the break after scribing, the glass is less likely to break. For this reason, in the conventional cutting using scribe and break, the width of the terminal usually needs to be secured at 1.5 mm or more, and the outer shape of the liquid crystal panel has been increased. As a result, the number of liquid crystal panels obtained from one large-size glass is reduced correspondingly, and the cost is low.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上述した従来の技術の課
題を解決する為以下の手段を講じた。即ち、本発明に従
って液晶パネルは以下の工程により製造される。先ず一
方の基板に、開口を有する枠状のシールパタンを複数個
形成すると共に、これらシールパタンを内包する様に切
削水進入防止用の保護シールパタンを形成する。次に接
合工程を行ない、該シールパタンを介して一方の基板に
他方の基板を接合し個々のシールパタン毎に開口を有す
る空セルを形成すると共に、該保護シールパタンに囲ま
れた複数個の空セルを外部から密閉する。さらにダイシ
ング工程を行ない、外部から切削水を供給しながら両基
板を片方ずつ個々の空セルの境界に沿って所定の深さで
切削し分離溝を形成する。続いて分割工程を行ない、該
分離溝に沿って圧力を加え両基板を破断して個々の空セ
ルに分離する。最後に封入工程を行ない、分離された空
セルの内部に開口を介して液晶を注入し且つ該開口を封
止する。特徴事項として、前記ダイシング工程は、外部
接続用の端子を有しない片方の基板に比較的浅い分離溝
を形成し、その後外部接続用の端子を有する残る片方の
基板に比較的深い分離溝を形成する。
The following means have been taken in order to solve the above-mentioned problems of the prior art. That is, the liquid crystal panel is manufactured by the following steps according to the present invention. First, a plurality of frame-shaped seal patterns having openings are formed on one substrate, and a protective seal pattern for preventing cutting water from entering is formed so as to include these seal patterns. Next, a joining step is performed, and the other substrate is joined to one substrate via the seal pattern to form empty cells having openings for each seal pattern, and a plurality of cells surrounded by the protective seal pattern are formed. Seal the empty cell from the outside. Further, a dicing process is performed, and both substrates are cut one by one along a boundary of each empty cell at a predetermined depth while supplying cutting water from the outside to form a separation groove. Subsequently, a dividing step is performed, pressure is applied along the separation groove to break both substrates, and the cells are separated into individual empty cells. Finally, an encapsulation step is performed to inject liquid crystal into the separated empty cells through the opening and seal the opening. As a characteristic matter, the dicing step is performed by an external
Relatively shallow separation groove on one substrate without connection terminals
And then the remaining one having terminals for external connection
A relatively deep isolation groove is formed in the substrate.

【0005】具体的には、前記シールパタンの形成工程
は少なくとも一個所に空気孔を有する保護シールパタン
を形成し、前記接合工程は該空気孔から内部の空気を排
出可能な状態で両基板を接合した後該空気孔を封止して
該保護シールパタンに囲まれた複数の空セルを密閉す
More specifically, the step of forming the seal pattern forms a protective seal pattern having an air hole in at least one place, and the step of joining includes bonding the two substrates in such a manner that the internal air can be discharged from the air hole. After joining, the air holes are sealed to seal a plurality of empty cells surrounded by the protective seal pattern .

【0006】本発明によれば、シールパタンを一方の基
板の表面にスクリーン印刷等で形成する際、基板の外周
部に沿ってダイシング時切削水の空セル進入を防止する
為の保護シールパタンを設ける。この場合、両基板を加
熱して接合する際内部の空気を外部に排出できる様に、
保護シールパタンに空気孔を設ける。なお、保護シール
パタンは1枚の基板に対して1個である必要はなく、2
個又は3個以上設ける事ができる。この場合、個々の保
護シールパタンは少なくとも1個の空気孔を除いた部分
がシール用の樹脂で連続しており、その中に複数個の空
セルが包含される。一対のガラス基板を貼り合わせた
後、空気孔に接着剤樹脂等を塗布し加熱硬化させて封止
する。これにより、内部の空セルは外部から完全に密閉
される。続いて互いに貼り合わせた2枚のガラス基板の
先ず一方を例えば基板厚みの約3割ないし9割に相当す
る深さまでダイシングを行ない分離溝を形成する。分離
溝は完全に切断されておらず基板肉厚の一部が残存して
いる。ダイシングは例えば高速回転する砥石車を用いて
切削を行なうが、この際冷却及び潤滑用の切削水を外部
から供給する。内部の空セルは保護シールパタンによっ
て予め密閉されている為、切削水を大量に供給しても空
セルの開口から内部に進入する惧れがない。この様にし
て片方の基板に分離溝を形成した後、残る片方の基板に
も同様にダイシングで分離溝を形成する。基板の残され
た肉厚分はダイシング後、機械的な圧力を分離溝に沿っ
て加える事で容易に切断できる。この様にして、個々の
空セルを精度良く分離できる。ここで、最初にダイシン
グカットする基板を外部接続用の端子を有しない方と
し、最後にダイシングカットする基板を端子が形成され
た方にする。この時分離溝の深さは最初のダイシングカ
ットより最後のダイシングカットの方を大きくする。こ
れにより一層効率的に基板の切断加工が行なえる。
According to the present invention, when a seal pattern is formed on the surface of one substrate by screen printing or the like, a protective seal pattern for preventing empty cells from entering cutting water during dicing along the outer periphery of the substrate. Provide. In this case, when the two substrates are heated and joined, the air inside can be exhausted to the outside,
Provide air holes in the protective seal pattern. Note that the number of protective seal patterns does not need to be one for one substrate.
Individual or three or more can be provided. In this case, each of the protective seal patterns except for at least one air hole is continuous with the sealing resin, and includes a plurality of empty cells. After bonding the pair of glass substrates, an adhesive resin or the like is applied to the air holes, and is cured by heating and sealing. Thereby, the empty cell inside is completely sealed from the outside. Subsequently, the first one of the two glass substrates bonded to each other is diced to a depth corresponding to, for example, about 30 to 90% of the substrate thickness to form a separation groove. The separation groove is not completely cut, and a part of the thickness of the substrate remains. The dicing is performed, for example, by using a grinding wheel that rotates at a high speed. In this case, cutting water for cooling and lubrication is supplied from the outside. Since the empty cells inside are sealed in advance by the protective seal pattern, there is no fear that even if a large amount of cutting water is supplied, the empty cells may enter the inside through the openings of the empty cells. After the separation groove is formed on one of the substrates in this manner, the separation groove is similarly formed on the remaining one of the substrates by dicing. After dicing, the remaining thickness of the substrate can be easily cut by applying mechanical pressure along the separation groove. In this way, individual empty cells can be separated with high accuracy. Here, the substrate to be diced and cut first has no terminal for external connection, and the substrate to be diced and cut last has the terminal formed. At this time, the depth of the separation groove is made larger in the last dicing cut than in the first dicing cut. This allows the substrate to be cut more efficiently.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明にかか
る液晶パネル製造方法の最良な実施形態を詳細に説明す
る。図1は本発明にかかる液晶パネル製造方法の工程図
である。先ず(A)に示す様に上下一対の基板1,2を
用意する。両基板とも例えば数十cm角程度の大判ガラス
からなり、複数に分かれた区画毎に所望の電極等が予め
形成されている。例えば下側の基板2に枠状のシールパ
タン3を前述した区画に対応して複数個形成する。例え
ば、紫外線硬化型樹脂あるいは熱硬化型樹脂を基板2の
表面にスクリーン印刷してシールパタン3を形成する。
この際、個々のシールパタン3の一部に開口4が残され
る。この時同時に、これらシールパタン3を内包する様
に基板2の外周に沿って切削水進入防止用の保護シール
パタン5を形成する。本例では全てのシールパタン3を
内包する様に1個の保護シールパタン5が形成されてい
るが、本発明はこれに限られるものではない。少なくと
も数個のシールパタン3を内包する保護シールパタン5
をいくつか形成する様にしても良い。保護シールパタン
5は少なくとも一個所に空気孔6を備えている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of a liquid crystal panel manufacturing method according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a process chart of a liquid crystal panel manufacturing method according to the present invention. First, a pair of upper and lower substrates 1 and 2 are prepared as shown in FIG. Both substrates are made of, for example, large-sized glass of about several tens of cm square, and desired electrodes and the like are formed in advance for each of the divided sections. For example, a plurality of frame-shaped seal patterns 3 are formed on the lower substrate 2 corresponding to the above-described sections. For example, an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin is screen-printed on the surface of the substrate 2 to form the seal pattern 3.
At this time, the opening 4 is left in a part of each seal pattern 3. At the same time, a protective seal pattern 5 for preventing cutting water from entering is formed along the outer periphery of the substrate 2 so as to include these seal patterns 3. In this example, one protective seal pattern 5 is formed so as to include all the seal patterns 3, but the present invention is not limited to this. Protective seal pattern 5 including at least several seal patterns 3
May be formed. The protective seal pattern 5 has an air hole 6 in at least one place.

【0008】次に(B)に示す様に、シールパタン3を
介して下側の基板2に上側の基板1を接合する。例えば
シールパタン3として熱硬化型樹脂を用いた場合には加
熱加圧により両基板1,2を貼り合わせる。紫外線硬化
型樹脂の場合には加圧状態で紫外線を照射して両基板
1,2を互いに貼り合わせる。この時同時に保護シール
パタン5も硬化する。両基板1,2を接合すると、個々
のシールパタン3毎に空セル7が形成される。シールパ
タン3によって囲まれた空セル7の内部は開口4を介し
て外部に連通している。しかしながら全ての空セル7は
保護シールパタン5により囲まれており、外部から密閉
可能である。なおこの接合工程では加熱を行なう際空気
孔6から内部の空気が排出可能となっており、両基板
1,2の間隔を精密に制御できる。
Next, as shown in FIG. 1B, the upper substrate 1 is joined to the lower substrate 2 via the seal pattern 3. For example, when a thermosetting resin is used as the seal pattern 3, the substrates 1 and 2 are bonded together by heating and pressing. In the case of an ultraviolet curable resin, the substrates 1 and 2 are bonded to each other by irradiating ultraviolet rays in a pressurized state. At this time, the protective seal pattern 5 is also cured. When the two substrates 1 and 2 are joined, an empty cell 7 is formed for each seal pattern 3. The inside of the empty cell 7 surrounded by the seal pattern 3 communicates with the outside through the opening 4. However, all empty cells 7 are surrounded by the protective seal pattern 5 and can be sealed from the outside. In this bonding step, the inside air can be exhausted from the air holes 6 when heating is performed, so that the distance between the substrates 1 and 2 can be precisely controlled.

【0009】次に(C)に進み、両基板1,2を接合し
た後空気孔6を封止して保護シールパタン5に囲まれた
複数の空セル7を密閉する。例えば接着剤樹脂等からな
る封止材8を空気孔6に塗布し加熱硬化させる。
Next, the process proceeds to (C), after the two substrates 1 and 2 are joined, the air holes 6 are sealed to seal a plurality of empty cells 7 surrounded by the protective seal pattern 5. For example, a sealing material 8 made of an adhesive resin or the like is applied to the air holes 6 and cured by heating.

【0010】工程(D)に進み、外部から切削水を供給
しながら両基板1,2を片方ずつ個々の空セル7の境界
に沿って所定の深さで切削し、分離溝9を形成する。例
えば、互いに貼り合わせた2枚の基板の先ず一方をフル
カットせずに基板厚みの約3割から9割に相当する深さ
でダイシングにより分離溝9を形成する。ダイシングは
例えば回転砥石車を用い冷却及び潤滑用に切削水を供給
しながら行なう。又、残る一方の基板も同様にダイシン
グカットする。この時、空セル7は保護シールパタン5
により完全に外部から密閉されている為、切削水が開口
4を介して空セル7の内部に進入する惧れがない。この
様に、本発明はスクライブ/ブレイクといった従来のガ
ラスカット方法に代えて、ダイシングにより切削水が空
セルに進入しない状態でカットする事を特徴とする。
Proceeding to step (D), the two substrates 1 and 2 are cut one by one at a predetermined depth along the boundaries of the individual empty cells 7 while supplying cutting water from the outside to form separation grooves 9. . For example, the separation groove 9 is formed by dicing at a depth corresponding to about 30 to 90% of the thickness of the substrate without first fully cutting one of the two substrates bonded to each other. Dicing is performed while supplying cutting water for cooling and lubrication using, for example, a rotary grinding wheel. In addition, the other substrate is also diced and cut. At this time, the empty cell 7 is
Therefore, there is no fear that the cutting water enters the empty cell 7 through the opening 4 because it is completely sealed from the outside. As described above, the present invention is characterized in that instead of the conventional glass cutting method such as scribing / breaking, cutting is performed by dicing without cutting water entering empty cells.

【0011】最後に工程(E)で、分離溝に沿って機械
的な圧力を加え両基板1,2の残された肉厚分を破断し
て個々の空セル7に分離する。この後上述した分割工程
により分離された空セル7の内部に開口4を介して液晶
を注入し且つ開口4を封止する。この封入工程により液
晶パネルが完成する。なお、液晶パネルの一方の基板に
はシールパタン3から外方に露出した部分に外部接続用
の端子10が設けられている。この様に、本発明ではダ
イシングで基板をフルカットするのではなく、所謂ハー
フカットを行ない分離溝に残された基板の肉厚部分は機
械的な圧力を分離溝に沿って加える事により破断してい
る。分離溝は全てこの手法で切断される。
Finally, in a step (E), a mechanical pressure is applied along the separation groove to break the remaining thickness of both substrates 1 and 2 to separate them into individual empty cells 7. Thereafter, liquid crystal is injected into the empty cells 7 separated by the above-described dividing step through the openings 4 and the openings 4 are sealed. The liquid crystal panel is completed by this encapsulation process. In addition, a terminal 10 for external connection is provided on a portion of one substrate of the liquid crystal panel which is exposed outward from the seal pattern 3. As described above, in the present invention, the substrate is not completely cut by dicing, but the so-called half-cut is performed, and the thick portion of the substrate left in the separation groove is broken by applying mechanical pressure along the separation groove. ing. All separation grooves are cut in this manner.

【0012】図2は本発明の要部となるダイシング工程
及び分割工程の具体例を示す工程図である。(A)に示
す様に、先ず一方の基板2にダイシングで分離溝9aを
形成する。この基板2は外部接続用の端子を有しない方
であり、以下対向基板と呼ばれる。この対向基板2には
例えば基板肉厚の5割程度の深さで比較的浅い分離溝9
aを形成する。次に(B)に示す様に、基板の上下関係
を逆転した上で、外部接続用の端子10を有する他方の
基板1に同じくダイシングで分離溝9bを形成する。こ
の場合、例えば基板の肉厚の9割程度に達する深い分離
溝9bを形成する。なお、端子10が形成されている基
板1を以下回路基板と呼ぶ事にする。対向基板2側の分
離溝9aは比較的浅い為比較的強い機械的強度を保って
いる。従って、回路基板1に比較的深い分離溝9bを切
削しても、この段階で空セル7が個々にばらばらになる
惧れがない。逆に、先に対向基板2側に深い分離溝9a
を形成すると、後で回路基板1側に分離溝を形成する際
ダイシング加工に不都合が生じる。最後に(C)に示す
様に、分離溝9a,9bに沿って機械的な圧力を加え個
々の空セル7に分離する。この際、回路基板1側の分離
溝9bは予め深く切削されている為極めて容易に且つ精
度良く破断でき、シールパタン3から外方に露出した端
子10の幅寸法を小さくしても、設計通りに破断加工で
き、歩留りの悪化をもたらさない。又予め分離溝を形成
した上でブレイクを行なうので従来のスクライブ方式に
比べ機械的な圧力が小さくて済み、その分回路基板側の
静電破壊を抑制できる。又、予め相当な肉厚分だけダイ
シングを行なっている為、比較的不規則な端面形状にな
りやすいブレイク部分の肉厚量が薄くなり、その分パネ
ル外形の精度が良くなる。
FIG. 2 is a process chart showing a specific example of a dicing step and a dividing step which are main parts of the present invention. As shown in (A), first, a separation groove 9a is formed in one of the substrates 2 by dicing. This substrate 2 has no external connection terminals, and is hereinafter referred to as a counter substrate. The counter substrate 2 has a relatively shallow separation groove 9 having a depth of about 50% of the thickness of the substrate, for example.
a is formed. Next, as shown in FIG. 3B, after the upper and lower relations of the substrates are reversed, the other substrate 1 having the terminals 10 for external connection is formed with the separation grooves 9b by dicing in the same manner. In this case, a deep isolation groove 9b reaching, for example, about 90% of the thickness of the substrate is formed. Note that the substrate 1 on which the terminals 10 are formed is hereinafter referred to as a circuit substrate. Since the separation groove 9a on the counter substrate 2 side is relatively shallow, relatively high mechanical strength is maintained. Therefore, even if the relatively deep separation groove 9b is cut in the circuit board 1, there is no possibility that the empty cells 7 are individually separated at this stage. Conversely, first, the deep separation groove 9a is formed on the counter substrate 2 side.
Is formed, there is a problem in dicing when a separation groove is formed on the circuit board 1 side later. Finally, as shown in (C), mechanical pressure is applied along the separation grooves 9a and 9b to separate the cells into individual empty cells 7. At this time, since the separation groove 9b on the circuit board 1 side is deeply cut in advance, it can be broken very easily and accurately, and even if the width dimension of the terminal 10 exposed to the outside from the seal pattern 3 is reduced, as designed. And can be processed without breaking the yield. Further, since the break is performed after forming the separation groove in advance, the mechanical pressure is smaller than in the conventional scribing method, and the electrostatic breakdown on the circuit board side can be suppressed accordingly. Further, since dicing is performed in advance by a considerable thickness, the thickness of the break portion, which tends to have a relatively irregular end surface shape, is reduced, and the accuracy of the panel outer shape is improved accordingly.

【0013】最後に図3を参照して、本発明に従って製
造された液晶パネルの一例を説明する。図示する様に、
本液晶パネルは回路基板101と対向基板102を所定
の間隙を介して互いに接合したものである。両基板10
1,102の間隙には液晶103が封入されている。な
お、図示を容易にする為シールパタンは省かれている。
回路基板101の内表面には表示アレイ104が集積形
成されている。又、表示アレイ104の周辺部には垂直
駆動回路105及び水平駆動回路106も集積形成され
ている。又、回路基板101の露出した上端側には外部
接続用の端子107が形成されている。この端子107
は配線108を介して垂直駆動回路105及び水平駆動
回路106に接続している。一方、対向基板102の内
表面には図示しないが対向電極や場合によってはカラー
フィルタが形成されている。
Finally, an example of a liquid crystal panel manufactured according to the present invention will be described with reference to FIG. As shown
In the present liquid crystal panel, a circuit board 101 and a counter substrate 102 are joined to each other with a predetermined gap. Both substrates 10
A liquid crystal 103 is sealed in the gap between 1 and 102. Note that a seal pattern is omitted for ease of illustration.
The display array 104 is formed integrally on the inner surface of the circuit board 101. Further, a vertical drive circuit 105 and a horizontal drive circuit 106 are also integratedly formed around the display array 104. On the exposed upper end side of the circuit board 101, a terminal 107 for external connection is formed. This terminal 107
Are connected to a vertical drive circuit 105 and a horizontal drive circuit 106 via a wiring 108. On the other hand, although not shown, a counter electrode and a color filter are formed on the inner surface of the counter substrate 102 in some cases.

【0014】表示アレイ104には行状のゲート配線1
09と列状の信号配線110がパタニング形成されてい
る。ゲート配線109は垂直駆動回路105に接続し、
信号配線110は水平駆動回路106に接続している。
ゲート配線109と信号配線110の各交差部には画素
電極111とスイッチング素子112が形成されてい
る。このスイッチング素子112は例えば薄膜トランジ
スタからなり、そのゲート電極はゲート配線109に接
続され、ドレイン電極は対応する画素電極111に接続
され、ソース電極は信号配線110に接続されている。
かかる構成はアクティブマトリクス型と呼ばれている。
なお本発明はこのアクティブマトリクス型の液晶パネル
に限られるものではなく、例えば単純マトリクス型の液
晶パネルにも適用可能である事はいうまでもない。
The display array 104 has row-like gate wirings 1.
09 and the column-shaped signal wiring 110 are formed by patterning. The gate wiring 109 is connected to the vertical drive circuit 105,
The signal wiring 110 is connected to the horizontal drive circuit 106.
A pixel electrode 111 and a switching element 112 are formed at each intersection of the gate wiring 109 and the signal wiring 110. The switching element 112 is formed of, for example, a thin film transistor. The gate electrode is connected to the gate wiring 109, the drain electrode is connected to the corresponding pixel electrode 111, and the source electrode is connected to the signal wiring 110.
Such a configuration is called an active matrix type.
Note that the present invention is not limited to the active matrix type liquid crystal panel, and it is needless to say that the present invention can be applied to a simple matrix type liquid crystal panel.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、2
枚のガラス基板をシールパタンで貼り合わせる際、片方
の基板の外周部に切削水進入防止用の保護シールパタン
を形成している。この保護シールパタンには予め空気孔
が設けられており、両基板を加熱接合した後空気孔を封
止して内部の空セルを外部から完全に密閉する。この状
態で外部から切削水を供給しながらダイシングにより所
謂ハーフカットで分離溝を切削する。この時、内部の空
セルは保護シールパタンにより密閉されている為切削水
が空セル内部に進入する惧れがない。この後、分離溝に
残された基板の比較的薄い肉厚部分を機械的な加圧でブ
レイクする。従来のスクライブ方式に比べ本発明ではブ
レイクされるガラス基板の肉厚が薄い為僅な機械的圧力
で個々の空セルに分離でき、その分静電破壊を顕著に抑
制可能である。又、比較的不規則な破断形状になりやす
いブレイク部分の肉厚が薄い為、その分液晶パネルの外
形寸法ばらつきが小さくなり、後工程での位置出し作業
や位置決め作業が容易になる。又、パネル外形寸法のば
らつきが小さくなる為歩留りが向上する。さらに、シー
ルパタンから外方に露出した端子の寸法を1mm以下に抑
える事が可能になり、液晶パネルの小型化及び軽量化が
達成できる。又、パネルの小型化が可能となる事から、
大判ガラスからのパネル取り個数が増え、理収がアップ
する。
As described above, according to the present invention, 2
When two glass substrates are bonded by a seal pattern, a protective seal pattern for preventing cutting water from entering is formed on the outer periphery of one of the substrates. The protective seal pattern is provided with air holes in advance, and after heating and joining the two substrates, the air holes are sealed to completely seal the empty cells inside from the outside. In this state, the separation groove is cut by so-called half cutting by dicing while supplying cutting water from the outside. At this time, since the empty cells inside are sealed by the protective seal pattern, there is no fear that the cutting water enters the inside of the empty cells. Thereafter, the relatively thin wall portion of the substrate left in the separation groove is broken by mechanical pressure. Compared to the conventional scribing method, in the present invention, since the glass substrate to be broken is thin, it can be separated into individual empty cells with a small mechanical pressure, and the electrostatic breakdown can be remarkably suppressed accordingly. In addition, since the thickness of the break portion, which tends to be a relatively irregular broken shape, is thin, the variation in the outer dimensions of the liquid crystal panel is reduced by that amount, and the positioning operation and the positioning operation in the subsequent process are facilitated. Further, since the variation in the panel outer dimensions is reduced, the yield is improved. Further, the size of the terminal exposed to the outside from the seal pattern can be suppressed to 1 mm or less, and the size and weight of the liquid crystal panel can be reduced. Also, since the size of the panel can be reduced,
The number of panels taken from large format glass is increased, and the cost is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかる液晶パネル製造方法を示す工程
図である。
FIG. 1 is a process chart showing a liquid crystal panel manufacturing method according to the present invention.

【図2】本発明にかかる液晶パネル製造方法の要部とな
るダイシング工程の一例を示す工程図である。
FIG. 2 is a process diagram showing an example of a dicing process which is a main part of the liquid crystal panel manufacturing method according to the present invention.

【図3】本発明に従って製造された液晶パネルの一例を
示す模式的な斜視図である。
FIG. 3 is a schematic perspective view showing an example of a liquid crystal panel manufactured according to the present invention.

【図4】従来の液晶パネル製造方法の一例を示す工程図
である。
FIG. 4 is a process chart showing an example of a conventional liquid crystal panel manufacturing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 基板 3 シールパタン 4 開口 5 保護シールパタン 6 空気孔 7 空セル 8 封止材 9 分離溝 10 端子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Substrate 3 Seal pattern 4 Opening 5 Protective seal pattern 6 Air hole 7 Empty cell 8 Sealing material 9 Separation groove 10 Terminal

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−232422(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/13 101 G02F 1/1341 Continuation of front page (56) References JP-A-5-232422 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02F 1/13 101 G02F 1/1341

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 一方の基板に、開口を有する枠状のシー
ルパタンを複数個形成すると共に、これらシールパタン
を内包する様に切削水進入防止用の保護シールパタンを
形成する形成工程と、 該シールパタンを介して一方の基板に他方の基板を接合
し個々のシールパタン毎に開口を有する空セルを形成す
ると共に、該保護シールパタンに囲まれた複数個の空セ
ルを外部から密閉する接合工程と、 外部から切削水を供給しながら両基板を片方ずつ個々の
空セルの境界に沿って所定の深さで切削し分離溝を形成
するダイシング工程と、 該分離溝に沿って圧力を加え両基板を破断して個々の空
セルに分離する分割工程と、 分離された空セルの内部に開口を介して液晶を注入し且
つ該開口を封止する封入工程とを行なう液晶パネル製造
方法において、 前記ダイシング工程は、外部接続用の端子を有しない片
方の基板に比較的浅い分離溝を形成し、その後外部接続
用の端子を有する残る片方の基板に比較的深い分離溝を
形成することを特徴とする 液晶パネル製造方法。
A step of forming a plurality of frame-shaped seal patterns having openings on one substrate and forming a protective seal pattern for preventing cutting water from entering so as to include the seal patterns; Joining the other substrate to one substrate via a seal pattern to form empty cells having an opening for each seal pattern, and sealing a plurality of empty cells surrounded by the protective seal pattern from the outside A dicing step of cutting both substrates one by one along a boundary of each empty cell at a predetermined depth while supplying cutting water from the outside to form a separation groove, and applying a pressure along the separation groove. A liquid crystal panel manufacturing method comprising: a dividing step of breaking both substrates and separating the cells into individual empty cells; and a sealing step of injecting liquid crystal into the separated empty cells through an opening and sealing the opening . , Serial dicing step, pieces no terminals for external connection
A relatively shallow isolation groove is formed in the other substrate, and then external connection
A relatively deep separation groove on the other substrate with terminals for
A method for manufacturing a liquid crystal panel, comprising:
【請求項2】 前記形成工程は少なくとも一個所に空気
孔を有する保護シールパタンを形成し、前記接合工程は
該空気孔から内部の空気を排出可能な状態で両基板を接
合した後該空気孔を封止して該保護シールパタンに囲ま
れた複数の空セルを密閉する請求項1記載の液晶パネル
製造方法。
2. The forming step includes forming a protective seal pattern having an air hole in at least one place, and the joining step includes joining the two substrates in a state where internal air can be discharged from the air hole, and then forming the air hole. 2. The method according to claim 1, wherein a plurality of empty cells surrounded by the protective seal pattern are sealed.
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