KR100678347B1 - 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 통상의 디스플레이 패널의 회로패턴을 나타낸 도면이다.
누구나 알 수 있듯이 회절 간섭 현상은 회로패턴의 주기가 작을수록 신호가 강하게 발생한다. 따라서 디스플레이 패널(10)을 스캔할 때 회로패턴(12)의 폭 방향이 디스플레이 패널(10)의 스캔방향과 같을 때는 카메라에 보이는 회로패턴(12)의 주기가 작기 때문에 카메라를 회로패턴(12)의 길이 방향에 대하여 수평으로 배열시킨다. 한편, 디스플레이 패널(10)의 회로패턴(12)의 길이 방향이 스캔방향과 일치하면 주기가 길어지기 때문에 회절 신호가 작아지므로 카메라를 0°이상 90°미만으로 회전시켜 신호를 검출하고, 카메라를 각도를 키울수록 더욱 강한 신호를 얻을 수 있다.
Claims (1)
- 통상의 광학적 검사장치에 조명 및 카메라로 이루어진 통상의 광학수단을 가변가능하게 장착한 상태 하에서 검사하고자 하는 디스플레이 패널을 투입하는 단계(S1);투입된 상기 디스플레이 패널에 존재하는 상기 회로패턴의 길이 방향이 상기 카메라에 대하여 수평으로 배열되어 상기 디스플레이 패널 이동 방향과 수직되게 배열되어 있는지를 확인하는 단계(S2); 및상기 단계(S2)에서 상기 회로패턴이 수평배열을 유지하면 상기 광학수단을 고정한 상태에서 스캔공정을 실시한 후 작업을 완료하는 단계(3-1); 또는 상기 단계(S2)에서 상기 회로패턴이 수직배열을 유지하면 상기 광학수단은 0°이상 90°미만의 각도로 가변시켜 스캔공정을 실시한 후 작업을 완료하는 단계(3-2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법.
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JP2004184142A (ja) | 2002-12-02 | 2004-07-02 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法及びその装置 |
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- 2004-09-22 KR KR1020040075755A patent/KR100678347B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
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JPS63163138A (ja) | 1986-12-24 | 1988-07-06 | Fujitsu Ltd | 回折格子の検査方法 |
JP2004184142A (ja) | 2002-12-02 | 2004-07-02 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法及びその装置 |
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