KR100678347B1 - 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법 - Google Patents

디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100678347B1
KR100678347B1 KR1020040075755A KR20040075755A KR100678347B1 KR 100678347 B1 KR100678347 B1 KR 100678347B1 KR 1020040075755 A KR1020040075755 A KR 1020040075755A KR 20040075755 A KR20040075755 A KR 20040075755A KR 100678347 B1 KR100678347 B1 KR 100678347B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
display panel
circuit pattern
optical means
camera
present
Prior art date
Application number
KR1020040075755A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060027428A (ko
Inventor
김명진
Original Assignee
(주)넥스트인스트루먼트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)넥스트인스트루먼트 filed Critical (주)넥스트인스트루먼트
Priority to KR1020040075755A priority Critical patent/KR100678347B1/ko
Publication of KR20060027428A publication Critical patent/KR20060027428A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100678347B1 publication Critical patent/KR100678347B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N2021/1765Method using an image detector and processing of image signal
    • G01N2021/177Detector of the video camera type
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513Liquid crystal panels

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

투입되는 디스플레이 패널 상에 존재하는 회로패턴 모양에 관계없이 조명 및 카메라로 이루어진 광학수단만을 가변시켜 원하는 신호를 간편하게 검출할 수 있는 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법이 개시되어 있다. 본 발명에 따르면 통상의 광학적 검사장치에 조명 및 카메라로 이루어진 통상의 광학수단을 가변가능하게 장착한 상태 하에서 검사하고자 하는 디스플레이 패널을 투입하는 단계; 투입된 디스플레이 패널에 존재하는 회로패턴의 길이 방향이 수평으로 배열되어 디스플레이 패널 이동 방향과 수직되게 배열되어 있는지를 확인하는 단계; 및 상기 회로패턴이 수평배열을 유지하면 광학수단을 고정한 상태에서 스캔공정을 실시한 후 작업을 완료하는 단계; 또는 회로패턴이 수직배열을 유지하면 광학수단은 0°이상 90°미만의 각도로 가변시켜 스캔공정을 실시한 후 작업을 완료하는 단계를 포함한다.

Description

디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법{Method for defecting inferior goods of pattern in circuit of display panel}
도 1은 통상의 디스플레이 패널의 회로패턴을 나타낸 도면이다.
<도면의주요부분에대한부호의설명>
10 : 디스플레이 패널 12 : 회로패턴
본 발명은 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 투입되는 디스플레이 패널 상에 존재하는 회로패턴 모양에 관계없이 조명 및 카메라로 이루어진 광학수단만을 가변시켜 원하는 신호를 간편하게 검출할 수 있는 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 패널의 회로패턴을 검사하는 방법으로 널리 사용되는 방법은 육안으로 하는 수동 검사하는 방법과 더불어 조명 및 카메라를 이용하여 자동으로 검사를 수행하는 광학적인 검사방법이 사용된다.
전술한 광학적인 검사방법에서의 회절 및 간섭 신호는 디스플레이 패널에 있는 회로패턴의 폭에 따라 변화하고, 회로패널의 주기가 클수록 회절 및 간섭 현상은 감소하고 불량 검출신호가 급격히 감소하게 된다. 따라서 회로패턴의 불량을 검출하기 위해서는 회로패턴의 주기가 작은 방향으로 디스플레이 패널을 스캔 하여야만 한다.
그러나 종래의 광학적인 검사장치에서는 광학수단을 고정시키고 투입되는 디 스플레이 패널을 고정 배치한 상태 하에서 가변 또는 회전시켜 검사를 수행하기 때문에 회로패턴 검사를 위해서 장시간이 요구되며, 검사장치의 원가가 상승하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 투입되는 디스플레이 패널 상에 존재하는 회로패턴 모양에 관계없이 조명 및 카메라로 이루어진 광학수단만을 가변시켜 원하는 신호를 간편하게 검출할 수 있는 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법을 제공하는데 있다.
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 발명은,
통상의 광학적 검사장치에 조명 및 카메라로 이루어진 통상의 광학수단을 가변가능하게 장착한 상태 하에서 회로패턴을 검사하고자 하는 디스플레이 패널을 투입하는 단계(S1);
투입된 상기 디스플레이 패널에 존재하는 상기 회로패턴의 길이 방향이 카메라에 대하여 수평으로 배열되어 상기 디스플레이 패널 이동 방향과 수직되게 배열되어 있는지를 확인하는 단계(S2); 및
상기 단계(S2)에서 상기 회로패턴이 수평배열을 유지하면 상기 광학수단을 고정한 상태에서 스캔공정을 실시한 후 작업을 완료하는 단계(3-1); 또는 상기 단계(S2)에서 상기 회로패턴이 수직배열을 유지하면 상기 광학수단은 0°이상 90°미만의 각도로 가변시켜 스캔공정을 실시한 후 작업을 완료하는 단계(3-2)를 포함한 다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 따르면, 투입되는 디스플레이 패널 상에 존재하는 회로패턴 모양에 관계없이 조명 및 카메라로 이루어진 광학수단만을 가변시켜 원하는 신호를 간편하게 검출할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법에 대해 설명한다.
도 1은 통상의 디스플레이 패널의 회로패턴을 나타낸 도면이다.
우선 통상의 광학적 검사장치에 조명 및 카메라로 이루어진 통상의 광학수단을 가변가능하게 장착한 상태 하에서 회로패턴(12)을 검사하고자 하는 디스플레이 패널(10)을 투입한 후(단계 S1), 디스플레이 패널(10)에 존재하는 회로패턴(12)의 길이 방향이 카메라에 대하여 수평으로 배열되어 디스플레이 패널(10) 이동 방향과 수직되게 배열되어 있는지를 확인한다(단계 S2). 누구나 알 수 있듯이 디스플레이 패널(10)의 회로패턴(12)은 두변의 크기가 1:3의 비율을 가지고 있으며, 긴 쪽을 길이 그리고 짧은 쪽을 폭 이라 한다.
전술한 바와 같이 회로패턴(12)이 수평배열을 유지하면, 광학수단을 고정 즉, 회로패턴(12)과 마주보도록 한 상태에서 스캔공정을 실시한 후 작업을 완료한다(단계 3-1). 이와 같이 회로패턴(12)의 길이 방향이 디스플레이 패널(10)의 이동 방향과 수직일 때 카메라 또는 조명의 방향으로 회로패턴(12)의 폭이 작기 때문에 원하는 신호를 검출할 수 있다.
한편, 디스플레이 패널(10)에 존재하는 회로패턴(12)의 주기가 작은 방향이 카메라에 대하여 수직배열 이면, 광학수단은 0°이상 90°미만의 각도로 가변시켜 스캔공정을 실시한 후 작업을 완료한다(단계 3-2).
누구나 알 수 있듯이 회절 간섭 현상은 회로패턴의 주기가 작을수록 신호가 강하게 발생한다. 따라서 디스플레이 패널(10)을 스캔할 때 회로패턴(12)의 폭 방향이 디스플레이 패널(10)의 스캔방향과 같을 때는 카메라에 보이는 회로패턴(12)의 주기가 작기 때문에 카메라를 회로패턴(12)의 길이 방향에 대하여 수평으로 배열시킨다. 한편, 디스플레이 패널(10)의 회로패턴(12)의 길이 방향이 스캔방향과 일치하면 주기가 길어지기 때문에 회절 신호가 작아지므로 카메라를 0°이상 90°미만으로 회전시켜 신호를 검출하고, 카메라를 각도를 키울수록 더욱 강한 신호를 얻을 수 있다.
전술한 바와 같이 통상의 광학적 검사장치에 조명 및 카메라로 이루어진 광학수단을 가변시킴으로써, 투입되는 디스플레이 패널(10)에서의 회로패턴(12) 모양에 관계없이 용이하게 원하는 신호를 검출 할 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 통상의 광학적 검사장치에 조명 및 카메라로 이루어진 광학수단을 가변될 수 있도록 장착함으로써, 디스플레이 패널에서의 회로패턴 모양에 관계없이 용이하게 원하는 신호를 검출 할 수 있는 잇점이 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.


Claims (1)

  1. 통상의 광학적 검사장치에 조명 및 카메라로 이루어진 통상의 광학수단을 가변가능하게 장착한 상태 하에서 검사하고자 하는 디스플레이 패널을 투입하는 단계(S1);
    투입된 상기 디스플레이 패널에 존재하는 상기 회로패턴의 길이 방향이 상기 카메라에 대하여 수평으로 배열되어 상기 디스플레이 패널 이동 방향과 수직되게 배열되어 있는지를 확인하는 단계(S2); 및
    상기 단계(S2)에서 상기 회로패턴이 수평배열을 유지하면 상기 광학수단을 고정한 상태에서 스캔공정을 실시한 후 작업을 완료하는 단계(3-1); 또는 상기 단계(S2)에서 상기 회로패턴이 수직배열을 유지하면 상기 광학수단은 0°이상 90°미만의 각도로 가변시켜 스캔공정을 실시한 후 작업을 완료하는 단계(3-2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법.
KR1020040075755A 2004-09-22 2004-09-22 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법 KR100678347B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040075755A KR100678347B1 (ko) 2004-09-22 2004-09-22 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040075755A KR100678347B1 (ko) 2004-09-22 2004-09-22 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060027428A KR20060027428A (ko) 2006-03-28
KR100678347B1 true KR100678347B1 (ko) 2007-02-06

Family

ID=37138446

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040075755A KR100678347B1 (ko) 2004-09-22 2004-09-22 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100678347B1 (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63163138A (ja) 1986-12-24 1988-07-06 Fujitsu Ltd 回折格子の検査方法
JP2004184142A (ja) 2002-12-02 2004-07-02 Hitachi Ltd 欠陥検査方法及びその装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63163138A (ja) 1986-12-24 1988-07-06 Fujitsu Ltd 回折格子の検査方法
JP2004184142A (ja) 2002-12-02 2004-07-02 Hitachi Ltd 欠陥検査方法及びその装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060027428A (ko) 2006-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI484164B (zh) Optical re - inspection system and its detection method
TWI495867B (zh) Application of repeated exposure to multiple exposure image blending detection method
KR20040044071A (ko) 표시용 기판의 검사방법 및 장치
JPWO2007132925A1 (ja) 表面検査装置
KR100863341B1 (ko) 중복 영상을 이용한 에프피디 기판 및 반도체 웨이퍼검사시스템
JP2009097977A (ja) 外観検査装置
KR101464877B1 (ko) 불규칙 패턴을 가지는 대상물을 검사하는 불량 검사 시스템
KR100678347B1 (ko) 디스플레이 패널의 회로패턴 불량검출 방법
CN113125343A (zh) 光学检测设备与光学检测方法
KR101129708B1 (ko) 프로브 유닛의 블럭 베이스 검사장치, 및 이를 이용한 프로브 유닛의 블럭 베이스 검사방법
TW200508597A (en) Apparatus for automatically inspecting image quality of LCD panel
JP2000146537A (ja) パタ―ン欠陥検出装置および修正装置
KR20110119079A (ko) 기판검사장치 및 기판검사방법
KR101217173B1 (ko) 기판검사장치 및 기판검사방법
KR101198406B1 (ko) 패턴 검사 장치
JP2015210226A (ja) 外観検査装置及び外観検査方法
KR101144797B1 (ko) 박막형 검사대상체 검사장치 및 동작방법
TWM477571U (zh) 一種用以擷取一物件影像的擷取裝置以及影像檢測裝置
KR20140031687A (ko) 기판 표면 검사 시스템 및 검사 방법
KR101217174B1 (ko) 기판검사장치 및 기판검사방법
KR100478448B1 (ko) 액정 패널의 에지면 검사 방법
JP4967132B2 (ja) 対象物表面の欠陥検査方法
CN111665260A (zh) 显示面板检查装置
KR20160032576A (ko) 고속 카메라 및 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템 및 방법
KR20070070357A (ko) Lcd 탑샤시용 탭 검사장치 및 검사방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130104

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140110

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150106

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160104

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161221

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180102

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190102

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200102

Year of fee payment: 14