KR100673793B1 - 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛 - Google Patents

평판 표시패널 검사장치용 광원유닛 Download PDF

Info

Publication number
KR100673793B1
KR100673793B1 KR1020040098729A KR20040098729A KR100673793B1 KR 100673793 B1 KR100673793 B1 KR 100673793B1 KR 1020040098729 A KR1020040098729 A KR 1020040098729A KR 20040098729 A KR20040098729 A KR 20040098729A KR 100673793 B1 KR100673793 B1 KR 100673793B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
incident
reflector
port
display panel
Prior art date
Application number
KR1020040098729A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060059600A (ko
Inventor
이병귀
Original Assignee
주식회사 디이엔티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 디이엔티 filed Critical 주식회사 디이엔티
Priority to KR1020040098729A priority Critical patent/KR100673793B1/ko
Priority to TW094104867A priority patent/TWI268363B/zh
Priority to CNB2005100511135A priority patent/CN100420915C/zh
Publication of KR20060059600A publication Critical patent/KR20060059600A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100673793B1 publication Critical patent/KR100673793B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features

Abstract

본 발명은 평판 표시패널의 육안검사시 그 표면에 빛을 조사하는 광원유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 간단한 구조의 광파이프를 이용하여 빛을 균일하게 조사할 수 있도록 한 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛에 관한 것이다.
이에, 본 발명의 구성은 램프와, 상기 램프에서 발산된 빛을 전방으로 조사하는 반사경과, 상기 반사경의 전방에 구비되어 빛을 조사영역 전체에 걸쳐 균일화하는 광조절부와, 상기 광조절부의 전방에 구비되어 프로젝션 렌즈를 포함하는 것으로, 상기 광조절부를, 일측 단부에 상기 반사경에서 포커싱된 빛이 입사되는 광입사구가 형성되고, 타측 단부에는 상기 광입사구로 입사된 빛이 출사되는 광출사구가 형성되며, 상기 광입사구와 광출사구를 상호 연결하여 빛을 유도하는 광통로가 형성되는 광파이프로 구성하되; 상기 광통로에 반사면을 형성하여 상기 광입사구로 입사된 빛이 상기 반사면에 의해 다중으로 반사된 후 상기 광출사구를 통해 출사되도록 한 것을 특징으로 한다. 따라서, 종래와는 달리 제작이 간편하고 소형·경량화 설계가 용이할 뿐만 아니라 제조원가를 절감할 수 있는 효과를 가진다.
광파이프, 반사면, IR필터

Description

평판 표시패널 검사장치용 광원유닛{RADIATION UNIT FOR FLAT DISPLAY PANEL TESTER}
도 1은 본 발명의 일 실시예를 보인 것으로,
도 1a는 사시도.
도 1b는 평면도.
도 2는 광파이프 내부의 광경로를 보인 도면.
도 3은 종래 광원유닛의 일 예를 보인 도면.
※ 도면의 주요 부분에 대한 도면의 설명
10 : 램프 20 : 반사경
30 : 프로젝션 렌즈
40 : 광파이프
41 : 광입사구 42 : 광출사구
43 : 광통로 44 : 반사면
50 : IR필터 60A.60B : 제1,2 회전판
61A,61B : 서보모터 62 : 칼라필터
63 : 중성밀도필터
본 발명은 평판 표시패널의 육안검사시 그 표면에 빛을 조사하는 광원유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 광학계를 이용하여 균일한 빛으로 패널의 표면을 조사할 수 있도록 한 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛에 관한 것이다.
일반적으로 평판 표시패널은 TV나 컴퓨터의 모니터에 사용되고 있는 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)을 대체하기 위해 개발된 차세대 표시장치로, LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), EL(Electro Luminance) 등이 대표적으로 사용되고 있다.
한편, 상기 평판 표시패널을 생산하는 과정에서 백라이트, 구동회로 등을 조립하기 전에 패널의 외관을 검사하여, 패널에 남아 있는 이물질이나 얼룩, 회로 배선 자체의 결함, 합착된 기판 사이 간격의 균일도, 스크레치 등을 검사하게 된다.
상기와 같은 검사공정을 수행하기 위해, 스테이지상에 패널을 장착하여 그 경사각을 조절하면서 검사를 수행할 수 있도록 구성된 평판 표시패널 검사장치가 사용되고 있는데, 상기 검사장치에는 패널의 표면에 빛을 조사하기 위한 광원유닛이 장착되어 있다.
도 3은 종래 광원유닛의 일 예를 보인 것으로, 도시된 바와 같이 종래의 광원유닛은 램프(100)에서 발산된 빛을 전방으로 조사하는 반사경(200)과, 상기 반사경의 전방에 설치되어 빛을 조사영역 전체에 걸쳐 균일화(uniformity)하는 인터그레이터(300)와, 상기 인터그레이터를 통과한 빛에서 특정 파장대의 빛을 통과시키 는 칼라필터(400)와, 상기 칼라필터를 통과하여 단촛점으로 집광된 사각형의 빛을 소정의 광폭으로 조사하는 프로젝션 렌즈(500)로 구성된다.
상기 인터그레이터는 빛의 촛점을 다수개로 분산함과 동시에 사각형으로 형성하는 제1 플라이 아이 렌즈(310, fly eye lens)와, 상기 제1 플라이 아이 렌즈를 통과한 빛의 촛점을 믹싱하고 다시 다수개의 촛점으로 분산하여 균일성(uniformity)을 확보하는 제2 플라이 아이 렌즈(320)와, 상기 제2 플라이 아이 렌즈를 통과한 빛의 량을 조절하는 아이리스(330)와, 상기 아이리스를 통과한 다촛점의 빛을 단촛점으로 포커싱하는 제1,2 집광렌즈(340,350)와, 상기 제2 집광렌즈를 통과한 빛의 잔상을 제거하는 마스크(360)로 구성된다.
상기와 같이, 종래의 광원유닛에 사용되는 인터그레이터는 빛을 균일화하기 위해 서로 다른 기능을 수행하는 고가의 렌즈를 다수개 중첩하여 구성한다. 즉, 그 구조가 매우 복잡하여 제작이 어려울 뿐만 아니라 제조원가의 상승을 초래하는 문제점이 있었다. 또한 부피 및 중량이 커서 광원유닛의 설계시 소형·경량화에 어려움을 초래하였다.
이에, 본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 램프에서 발산된 빛을 간단한 구성으로 균일하게 조사할 수 있도록 한 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛을 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 이루기 위해 본 발명의 일 양상에 따른 광원유닛은 램프 와, 상기 램프에서 발산된 빛을 전방으로 조사하는 반사경과, 상기 반사경의 전방에 구비되어 빛을 조사영역 전체에 걸쳐 균일화하는 광조절부와, 상기 광조절부의 전방에 구비되어 프로젝션 렌즈를 포함하는 것으로,
상기 광조절부를, 일측 단부에 상기 반사경에서 포커싱된 빛이 입사되는 광입사구가 형성되고, 타측 단부에는 상기 광입사구로 입사된 빛이 출사되는 광출사구가 형성되며, 상기 광입사구와 광출사구를 상호 연결하여 빛을 유도하는 광통로가 형성되는 광파이프로 구성하되;
상기 광통로에 반사면을 형성하여 상기 광입사구로 입사된 빛이 상기 반사면에 의해 다중으로 반사된 후 상기 광출사구를 통해 출사되도록 한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 광파이프는 광입사구의 면적을 반사경의 포커싱 영역과 대응되게 형성하고, 광출사구의 면적은 프로젝션 렌즈의 입사측과 대응되게 형성하여 빛의 입사 및 출사과정에서 손실을 최소화하는 것을 특징으로 한다.
상술한 본 발명의 양상은 첨부된 도면을 참조하여 설명되는 바람직한 실시예들을 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 바람직한 실시예를 통해 당업자가 본 발명을 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.
도 1a,b는 본 발명의 일 실시예를 보인 사시도 및 평면도이며, 도 2는 광파이프 내부의 광경로를 보인 도면이다. 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 광원유닛은 램프(10)와, 상기 램프에서 발산된 빛을 전방으로 조사하는 반사경(20)과, 상기 반사경의 전방에 구비되어 빛을 조사영역 전체에 걸쳐 균일화하는 광조절부 와, 상기 광조절부의 전방에 구비되어 프로젝션 렌즈(30)를 포함한다.
전술한 광조절부는 일측 단부에 반사경(20)에 의해 포커싱된 빛이 입사되는 광입사구(41)가 형성되고, 타측 단부에는 상기 광입사구로 입사된 빛이 출사되는 광출사구(42)가 형성되며, 상기 광입사구와 광출사구를 상호 연결하여 빛을 유도하는 광통로(43)가 형성된 광파이프(40)로 구성한다.
이때, 광통로(43) 내측면 또는 외측면에 반사면(44)을 형성하여 광입사구(41)로 입사된 빛이 상기 반사면에 의해 다중으로 반사된 후 광출사구(42)를 통해 출사되도록 한다.
광파이프(40)의 광입사구(41)에 포커싱된 빛은 조사영역 전체에 걸쳐 광집적도가 균일하지 못하다. 그러나, 본 발명에 따르면 다양한 각도로 광입사구(41)에 입사된 빛은 광통로(43)를 통과하는 과정에서 반사면(44)에 의해 각기 다양한 각도로 다중반사가 이루어진다. 즉 불균일하게 입사된 빛이 다중반사로 인해 모두 산란되어 광출사구(42)에 도달한 빛은 조사영역 전체에 걸쳐 균일한 광집적도를 갖게 된다.
광입사구(41)의 면적은 반사경(20)의 포커싱 영역과 대응되게 형성되고, 광출사구(42)의 면적은 프로젝션 렌즈(30)의 입사측과 대응되게 형성된다. 따라서, 빛이 광파이프(40)에 입사 및 출사되는 과정에서 발생가능한 손실이 최소화된다.
반사경(20)과 광파이프(40)의 광입사구(41) 사이에 적외선 차단용 IR필터(50, infrared ray filter)가 장착된다. 상기 IR필터는 빛에 포함된 열적외선을 차단함으로써 열에 민감한 각종 부품이 열화로 인해 손상되는 것을 방지한다.
또한, 광파이프(40)의 광출사구(42)측에는 프로젝션 렌즈(30)의 전,후방으로 제1,2 회전판(60A,60B)과 이를 회전시키는 서보모터(61A,61B)가 각각 설치된다. 상기 제1 회전판에는 다수개의 중성밀도필터(62)가 등간격으로 구비되고, 제2 회전판에는 다수개의 칼라필터(63)가 등간격으로 구비된다.
중성밀도필터는 ND(Neutral Density) Filter 즉 빛의 파장에 의존하지 않는 농도특성을 보유하여 투과되는 광량을 조정할 수 있는 광학부품으로, 제1 회전판(60A)에 구비된 중성밀도필터는 그 밀도가 서로 다른 것을 사용한다. 또한 칼라필터는 특정 파장대의 빛만 통과시켜 조사하는 필터로서, 제2 회전판(60B)에 구비된 칼라필터는 그 파장대가 서로 다른 것을 사용한다.
이에 따라, 제1,2 회전판(60A,60B)을 각각 회전시키며 중성밀도필터와 칼라필터를 상호 겹쳐지도록 함으로써, 광파이프(40)에서 출사되는 빛의 광량을 조절함과 동시에 필요한 파장대의 빛을 선택하여 조사할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명은 간단한 구조의 광파이프를 이용하여 빛을 균일하게 조사할 수 있으므로, 종래와는 달리 제작이 간편하고 소형·경량화 설계가 용이할 뿐만 아니라 제조원가를 절감할 수 있는 효과를 가진다.
한편, 본 발명은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이 다.

Claims (3)

  1. 램프(10)와, 상기 램프에서 발산된 빛을 전방으로 조사하는 반사경(20)과, 상기 반사경의 전방에 구비되어 빛을 조사영역 전체에 걸쳐 균일화하는 광조절부와, 상기 광조절부의 전방에 구비되어 프로젝션 렌즈(30)를 포함하는 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛에 있어서,
    상기 광조절부를,
    일측 단부에 상기 반사경에서 포커싱된 빛이 입사되는 광입사구(41)가 형성되고, 타측 단부에는 상기 광입사구로 입사된 빛이 출사되는 광출사구(42)가 형성되며, 상기 광입사구와 광출사구를 상호 연결하여 빛을 유도하는 광통로(43)가 형성된 광파이프(40)로 구성하되;
    상기 광통로에 반사면(44)을 형성하여 상기 광입사구로 입사된 빛이 상기 반사면에 의해 다중으로 반사된 후 상기 광출사구를 통해 출사되도록 한 것을 특징으로 하는 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 광입사구(41)의 면적을 상기 반사경(20)의 포커싱 영역과 대응되게 형성하고, 상기 광출사구(42)의 면적은 상기 프로젝션 렌즈(30)의 입사측과 대응되게 형성한 것을 특징으로 하는 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 반사경(20)과 광파이프(40)의 광입사구(41) 사이에 적외선 차단용 IR필터(50)를 장착한 것을 특징으로 하는 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛.
KR1020040098729A 2004-11-29 2004-11-29 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛 KR100673793B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040098729A KR100673793B1 (ko) 2004-11-29 2004-11-29 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛
TW094104867A TWI268363B (en) 2004-11-29 2005-02-18 Light source for flat display panel tester
CNB2005100511135A CN100420915C (zh) 2004-11-29 2005-02-28 用于平面显示屏检测器的光源

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040098729A KR100673793B1 (ko) 2004-11-29 2004-11-29 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060059600A KR20060059600A (ko) 2006-06-02
KR100673793B1 true KR100673793B1 (ko) 2007-01-24

Family

ID=36773111

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040098729A KR100673793B1 (ko) 2004-11-29 2004-11-29 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR100673793B1 (ko)
CN (1) CN100420915C (ko)
TW (1) TWI268363B (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100934764B1 (ko) * 2005-12-08 2009-12-30 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 검사용 조명 장치
CN108072952B (zh) * 2016-11-18 2020-01-31 海信集团有限公司 光导管调节装置
CN109724011A (zh) * 2019-02-20 2019-05-07 深圳市升宇智能科技有限公司 一种多通道高均匀性柱形光源
CN110031191A (zh) * 2019-04-29 2019-07-19 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板的光路测试装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030034196A (ko) * 2000-09-19 2003-05-01 허니웰 인터내셔널 인코포레이티드 금속처리된 테이퍼 도파관을 구비한 디스플레이 스크린
KR20040097141A (ko) * 2002-03-06 2004-11-17 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 효율이 증가된 프로젝션 디바이스
KR20050016120A (ko) * 2003-08-04 2005-02-21 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 빔 호모지나이저, 레이저 조사장치 및 반도체 장치의제조방법

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3375265B2 (ja) * 1997-03-21 2003-02-10 シャープ株式会社 光透過型表示パネルの欠陥修正方法および欠陥修正装置
US6123429A (en) * 1997-05-17 2000-09-26 Tokyo Electron Limited Light source device
KR100789138B1 (ko) * 2001-09-05 2007-12-27 삼성전자주식회사 조명장치 및 이를 적용한 반사형 액정표시장치
CN2593228Y (zh) * 2002-12-19 2003-12-17 姚志图 平面上置光源

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030034196A (ko) * 2000-09-19 2003-05-01 허니웰 인터내셔널 인코포레이티드 금속처리된 테이퍼 도파관을 구비한 디스플레이 스크린
KR20040097141A (ko) * 2002-03-06 2004-11-17 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 효율이 증가된 프로젝션 디바이스
KR20050016120A (ko) * 2003-08-04 2005-02-21 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 빔 호모지나이저, 레이저 조사장치 및 반도체 장치의제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
TWI268363B (en) 2006-12-11
CN100420915C (zh) 2008-09-24
TW200617426A (en) 2006-06-01
CN1782660A (zh) 2006-06-07
KR20060059600A (ko) 2006-06-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960007198B1 (ko) 조명장치 및 그를 사용한 투영형 화상표시장치
EP1635207A2 (en) Variable intensity dimmer for projection systems having substantially constant dimming behaviour over the cross section of the electromagbnetic radiation beam
KR0130057B1 (ko) 투사형 액정 표시장치(Projection type inage display apparatus)
JPH0351882A (ja) 投影形画像表示装置
JPH0756109A (ja) 軸外れ太陽光を排除した背面投影スクリ−ン
US5554251A (en) Optical device assemble apparatus
JP5220015B2 (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
KR100673793B1 (ko) 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛
US20090026388A1 (en) Illumination Homogenizer
US7137708B2 (en) Infra-red and ultraviolet filtration in projection systems
JP2002341304A (ja) 液晶表示装置の修正方法、輝点欠陥部の修正方法、レーザ処理装置及び液晶表示装置
JPH11326615A (ja) 反射板及び反射型液晶表示装置
JP3831744B1 (ja) 基板検査用照明装置
JP2004252253A (ja) 照明装置およびそれを備えた表示装置
JP3095855B2 (ja) 外観検査用投光装置
US20060250693A1 (en) Projection optics apparatus and display device thereof
JP3095856B2 (ja) 外観検査用投光装置
JP2000056283A (ja) 液晶パネルの画素欠陥修正装置
KR100647986B1 (ko) 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛
JP2004109127A (ja) Fpd用基板の欠陥検査装置
KR100673794B1 (ko) 평판 표시패널 검사용 광조사장치
JP2796231B2 (ja) 液晶表示装置及び液晶表示装置の欠陥修正方法
TW201921131A (zh) 光配向用曝光裝置
TWI432779B (zh) 非對稱式照明系統及非對稱式投影裝置
JP2013037939A (ja) 光源装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130109

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140117

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150116

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160108

Year of fee payment: 10

LAPS Lapse due to unpaid annual fee