KR100667165B1 - 반도체 제조용 공정챔버 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 반도체 공정을 진행하기 위한 진공챔버;상기 진공챔버를 개폐하기 위하여 수직이동되며, 상기 진공챔버의 개방 시 수평방향으로 회전 가능한 개폐유닛; 및상기 개폐유닛을 수직이동시켜 상기 진공챔버를 개폐시킬 수 있도록, 상기 개폐유닛을 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 지지된 상기 개폐유닛을 수직이동 가능하게 하는 구동부로 이루어진 수직이송부;를 포함하는 반도체 제조용 공정챔버.
- 삭제
- 제 1항에 있어서, 상기 개폐유닛은 상기 진공챔버의 상부면에 접촉하는 커버와, 상기 커버와 결합되어 공간을 형성하는 상부챔버를 구비하며,상기 상부챔버의 일측에는 상기 지지부를 밀착시키기 위한 볼트가 구비되며, 상기 볼트가 풀리게 되면 상기 개폐유닛이 상기 지지부를 축으로 하여 회전 가능한 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 공정챔버.
- 제 3항에 있어서, 상기 구동부는 리니어 액츄에어터로 구동되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 공정챔버.
- 제 3항에 있어서, 상기 지지부는 볼부시 또는 볼스플라인으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 공정챔버.
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