KR100666575B1 - 증발원 및 이를 이용한 증착 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (37)
- 증착물질이 저장되는 도가니를 구비하며, 상기 증착물질이 증발되도록 상기 도가니를 고주파 유도가열하는 증발원부와;상기 증발원부에 결합되며, 상기 증발된 증착물질이 수용되는 노즐몸체와, 상기 노즐몸체에 연결되어 상기 노즐몸체 내부의 증발된 증착물질을 기판 상으로 분사하는 분사노즐과, 상기 노즐몸체를 가열하는 히터를 구비하는 노즐부를 포함하는 증발원.
- 제 1항에 있어서, 상기 증발원부는상기 도가니의 외부에 마련된 반응조와, 상기 도가니와 상기 반응조의 사이에 개재되어 상기 도가니를 가열하는 고주파 유도가열코일 및, 상기 고주파 유도가열코일과 상기 도가니의 사이에 개재되어 상기 고주파 유도가열코일과 상기 도가니를 분리하는 절연체를 포함한 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 2항에 있어서, 상기 도가니는 그라파이트(Graphite) 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 2항에 있어서, 상기 절연체는 알루미나(Al2O3) 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 2항에 있어서, 상기 고주파 유도가열코일의 내부에는 냉각수가 흐르도록 냉각수 통로가 마련된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 2항에 있어서, 상기 증발원부는 상기 도가니와 상기 절연체의 사이에 개재되어 상기 도가니의 열을 단열하는 제1단열재를 더 포함한 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 6항에 있어서, 상기 제1단열재는 소프트 그라파이트 펠트(Soft graphite felt) 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 6항에 있어서, 상기 증발원부는 상기 반응조와 상기 고주파 유도가열코일의 사이에 개재되어 상기 고주파 유도가열코일과 상기 도가니의 열을 단열하는 제2단열재를 더 포함한 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 8항에 있어서, 상기 제2단열재는 뮬라이트(Mullite) 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 8항에 있어서, 상기 증발원부는 상기 반응조의 외부에 배치되어 상기 반응조 내부의 열을 냉각시켜주는 냉각커버를 더 포함한 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 10항에 있어서, 상기 냉각커버는 구리(Cu) 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 10항에 있어서, 상기 냉각커버에는 냉각수가 흐르도록 냉각수관이 마련된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 2항에 있어서, 상기 도가니의 하부에는 상기 도가니를 지지하는 도가니 지지대가 마련된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 13항에 있어서, 상기 도가니 지지대는 뮬라이트(Mullite) 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 13항에 있어서, 상기 도가니 지지대는 상기 반응조의 내부에 위치한 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 15항에 있어서, 상기 도가니 지지대와 상기 반응조의 사이에는 상기 고주파 유도가열코일을 지지하는 코일 지지대가 마련된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 2항에 있어서, 상기 도가니의 상부는 개구되며,상기 개구된 도가니의 상부에는 상기 도가니를 밀폐하는 도가니 커버가 결합 되고,상기 도가니 커버에는 상기 도가니 내부의 증착물질이 증발되어 외부로 유출되도록 증착물질 증발구가 마련된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 17항에 있어서, 상기 도가니 커버의 상부에는 상기 노즐부에 결합되는 넥이 구비되고,상기 넥에는 상기 증착물질 증발구와 상기 노즐부 내부를 연결하는 증착물질 이동통로가 마련된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 1항에 있어서, 상기 노즐몸체 내부에는 상기 증발원부에서 증발된 증착물질이 수용되도록 증착물질 수용공간이 마련된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 19항에 있어서, 상기 노즐몸체와 상기 분사노즐은 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 20항에 있어서, 상기 노즐몸체와 상기 분사노즐은 각각 그라파이트 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 19항에 있어서, 상기 노즐부는 상기 노즐몸체의 외부에 마련되어 상기 노즐몸체를 둘러싸는 하우징을 더 포함하고,상기 히터는 상기 노즐몸체와 상기 하우징의 사이에 개재된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 22항에 있어서, 상기 노즐부는 상기 하우징과 상기 히터의 사이에 개재되어 상기 히터의 열을 단열하는 제3단열재를 더 포함한 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 23항에 있어서, 상기 제3단열재는 그라파이트 재질 또는 뮬라이트 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 23항에 있어서, 상기 노즐부는 상기 하우징의 외부에 배치되어 상기 하우징 내부의 열을 냉각시켜주는 노즐부 냉각커버를 더 포함한 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 25항에 있어서, 상기 노즐부 냉각커버는 구리 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 19항에 있어서, 상기 분사노즐의 전면 주변에는 상기 노즐몸체와 상기 히 터의 열을 차단하는 열차단판이 마련된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 27항에 있어서, 상기 열차단판은 서스(SUS) 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 27항에 있어서, 상기 분사노즐의 측면 주변에는 상기 분사노즐의 열을 단열하는 제4단열재가 마련된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 29항에 있어서, 상기 제4단열재는 리지드 그라파이트 펠트(Rigid graphite felt) 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 19항에 있어서, 상기 도가니의 상부는 개구되며,상기 개구된 도가니의 상부에는 상기 도가니 내부의 증착물질이 증발되어 외부로 유출되도록 증착물질 증발구가 마련된 도가니 커버가 결합되고,상기 도가니 커버의 상부에는 상기 증착물질 증발구와 연결되도록 증착물질 이동통로가 마련된 넥이 결합되며,상기 넥은 상기 노즐몸체에 결합된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 31항에 있어서, 상기 넥과 상기 노즐몸체는 나사결합된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 31항에 있어서, 상기 도가니와 상기 도가니 커버는 나사결합된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 31항에 있어서, 상기 도가니 커버와 상기 넥은 각각 리지드 그라파이트 펠트(Rigid graphite felt) 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 1항 내지 제 34항 중 어느 한 항의 증발원과;상기 증발원을 이송시키기 위한 증발원 이송유닛을 포함하는 증착 장치.
- 제 35항에 있어서, 상기 증착물질은 금속 또는 무기물 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 36항에 있어서, 상기 증착물질은 알루미늄(Al)인 것을 특징으로 하는 증착 장치.
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